CN218179431U - 一种硅片烘干装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种硅片烘干装置,包括壳体;壳体的内侧底部设置有花篮支撑架以用于承托花篮,壳体的内侧部设置有连通外部风机的风管组件;壳体的内侧底部还设置有匀流板,匀流板位于花篮的花篮底杆下侧,且匀流板上开设有多组与上侧花篮底杆一一对应的匀流风孔,每组匀流风孔均与上侧对应位置的花篮底杆错位设置。本实用新型通过在匀流板上设置直接与花篮底杆对应的匀流风孔且匀流风孔和花篮底杆错位设置,可以通过减少抽风时的通风横截面使热风中的热量更长时间的存在匀流板上方,从而利用热风把匀流板加热并实现通过匀流板的热辐射把花篮底杆上的水滴烤干,从而有效提升烘干效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及自动化设备技术领域,尤其是光伏电池片生产设备,特别涉及一种硅片烘干装置。
背景技术
在太阳能电池硅片的制备过程中,硅片的高效烘干是重要工序之一。现有技术的硅片烘干槽,其在放入装满清洗后硅片的花篮之后,花篮及硅片上的水分会同时流动并在底部的花篮底杆上形成水滴,因此,需要采用大量的热风循环去烘干硅片和花篮底杆上的水分,从而导致硅片烘干效率较低,而且大量的热风循环会消耗大量的电能而导致烘干能耗较高。
实用新型内容
为解决上述技术问题,本实用新型提供了一种硅片烘干装置,以解决现有技术由于花篮底杆上存在水滴而导致烘干效率较低的问题。
为达到上述目的,本实用新型的技术方案如下:
一种硅片烘干装置,包括壳体;所述壳体的内侧底部设置有花篮支撑架以用于承托花篮,所述壳体的内侧部设置有连通外部风机的风管组件;
所述壳体的内侧底部还设置有匀流板,所述匀流板位于所述花篮的花篮底杆下侧,且所述匀流板上开设有多组与上侧所述花篮底杆一一对应的匀流风孔,每组所述匀流风孔均与上侧对应位置的所述花篮底杆错位设置。
本实用新型可以通过减少抽风时的通风横截面使热风中的热量更长时间的存在匀流板上方,从而利用热风把匀流板加热,并通过控制花篮底杆距离匀流板的高度,最终实现通过匀流板的热辐射把花篮底杆上的水滴烤干,从而有效提升烘干效率。
其中,所述匀流板的材质为PVDF。由于匀流板的材质为比热容相对较小的PVDF材质,更有利于利用热风把匀流板加热以提高烘干效率。
进一步的,还设置有PVDF材质的遮挡板,所述匀流板上均匀开设有匀流风孔,并通过所述遮挡板对不同部位的匀流风孔进行遮挡以预留出多组对应不同所述花篮底杆的匀流风孔,可以实现根据实际需要或不同花篮支撑架规格实现匀流风孔位置及数量的调节,从而满足不同的烘干需求。
进一步的,所述遮挡板的端部固定安装在升降滑块上,所述升降滑块上下滑动安装在水平滑块上,所述水平滑块水平滑动安装在所述壳体内侧壁的水平导轨上,所述水平滑块上还安装有对应所述升降滑块的升降气缸,所述壳体的内侧壁还安装有对应所述水平滑块的水平气缸。采用此方案可以实现自动调节遮挡板的位置以提高设备的自动化程度。
进一步的,所述匀流板的下侧面还设置有一层绝热层,且所述绝热层上开设有对应所述匀流风孔的通孔。通过绝热层设置,可以减少匀流板下侧的热量流失,从而更有效的实现匀流板的加热以提高烘干效率。
其中,所述风管组件包括通过轴座安装在所述壳体侧板上的管接头,以及通过支架安装在所述壳体侧板内侧的吹风管,所述吹风管与所述管接头连通且所述吹风管的侧壁沿轴向开设有多组并列的吹风孔。通过该种结构设置,可以实现对吹风管吹风角度的调整,并实现双侧同时对中间花篮的高效吹风及烘干。
其中,所述排风管设置在所述壳体的内侧底部并位于所述支撑底板的下侧,且所述排风管的侧壁上均匀开设有进风孔,通过该种方案既可以实现花篮及硅片上水分的滴落,又可以实现有效的排风。
其中,所述壳体的内部底侧设置有支撑底板,所述支撑底板上设置有通槽以用于实现上侧水分及热风向下侧的排出,所述匀流板及花篮支撑架均安装在所述支撑底板上侧;
所述支撑底板的下侧设置有集液槽及排风管,通过所述外部风机及循环外管连通所述排风管与风管组件,通过热风的循环利用以实现节能环保。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。
图1为本实用新型实施例所公开的烘干装置主视示意图;
图2为本实用新型实施例所公开的烘干装置俯视示意图;
图3为本实用新型实施例所公开的烘干装置侧视示意图。
图中:10.壳体;11.支撑底板;12.匀流板;121.匀流风孔;13.花篮支撑架;14.风管组件;141.管接头;142.吹风管;15.集液槽;16.排风管;17. 循环外管;18.支架;20.花篮;21.花篮底杆;30.硅片。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
实施例1:
参考图1-3,本实施例1提供的硅片烘干装置,包括壳体10;壳体10 的内侧底部设置有花篮支撑架13以用于承托花篮20,壳体10的内侧部设置有连通外部风机的风管组件14;壳体10的内侧底部还设置有匀流板12,匀流板12位于花篮20的花篮底杆21下侧,且匀流板12上开设有多组与上侧花篮底杆21一一对应的匀流风孔121,每组匀流风孔121均与上侧对应位置的花篮底杆21错位设置。
本实施例1摒弃了传统的大量热风循环烘干的理念,当装有清洗后硅片30的花篮20放置在花篮支撑架13内之后,通过在匀流板12上设置与花篮底杆21错位的匀流风孔121,因此可以通过减少抽风时的通风横截面使热风中的热量更长时间的存在匀流板12上方,从而利用热风把匀流板 12加热,并通过控制花篮底杆21距离匀流板12的高度,最终实现通过匀流板12的热辐射把花篮底杆21上的水滴烤干,从而有效提升烘干效率。
实施例2:
基于实施例1,本实施例2中匀流板12的材质为PVDF。由于匀流板 12的材质为比热容相对较小的PVDF材质,因此可以利用热风更高效的把匀流板12加热,并通过控制花篮底杆21距离匀流板12的高度,最终实现通过匀流板12的热辐射把花篮底杆21上的水滴烤干,从而有效提升烘干效率。
实施例3:
基于实施例2,本实施例3还设置有PVDF材质的遮挡板,匀流板12 上均匀开设有匀流风孔121,并通过遮挡板对不同部位的匀流风孔121进行遮挡以预留出多组对应不同花篮底杆21的匀流风孔121。从而通过遮挡板对不同部位的匀流风孔121进行遮挡以满足不同规格花篮支撑架13的花篮底杆21烘干需求。
实施例4:
基于实施例3,本实施例4中遮挡板的端部固定安装在升降滑块上,升降滑块上下滑动安装在水平滑块上,水平滑块水平滑动安装在壳体10内侧壁的水平导轨上,水平滑块上还安装有对应升降滑块的升降气缸,壳体 10的内侧壁还安装有对应水平滑块的水平气缸。从而实现对遮挡板遮挡位置的自动调整,提高设备的自动化程度。
实施例5:
基于实施例1,匀流板12的下侧面还设置有一层绝热层,且绝热层上开设有对应匀流风孔121的通孔。通过绝热层设置,可以减少匀流板12下侧的热量流失,从而更有效的实现匀流板12的加热以提高烘干效率。
实施例6:
基于实施例1,本实施例6中风管组件14包括通过轴座安装在壳体10 侧板上的管接头141,以及通过支架18安装在壳体10侧板内侧的吹风管 142,吹风管142与管接头141连通且吹风管142的侧壁沿轴向开设有多组并列的吹风孔。通过该种结构设置,可以实现对吹风管142吹风角度的调整,并实现双侧同时对中间花篮的高效吹风及烘干。
实施例7:
基于实施例1,本实施例7中壳体10的内部底侧设置有支撑底板11,支撑底板11上设置有通槽以用于实现上侧水分及热风向下侧的排出,匀流板12及花篮支撑架13均安装在支撑底板11上侧;支撑底板11的下侧设置有集液槽15及排风管16,通过外部风机及循环外管17连通排风管16 与风管组件14,通过热风的循环利用以实现节能环保。
实施例8:
基于实施例1,本实施例8中排风管16设置在壳体10的内侧底部并位于支撑底板11的下侧,且排风管16的侧壁上均匀开设有进风孔,通过该种方案既可以实现花篮及硅片上水分的滴落,又可以实现有效的排风。
对所公开的实施例的上述说明,使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对上述实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的,本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下,在其它实施例中实现。因此,本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例,而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
Claims (8)
1.一种硅片烘干装置,其特征在于,包括壳体(10);所述壳体(10)的内侧底部设置有花篮支撑架(13)以用于承托花篮(20),所述壳体(10)的内侧部设置有连通外部风机的风管组件(14);
所述壳体(10)的内侧底部还设置有匀流板(12),所述匀流板(12)位于所述花篮(20)的花篮底杆(21)下侧,且所述匀流板(12)上开设有多组与上侧所述花篮底杆(21)一一对应的匀流风孔(121),每组所述匀流风孔(121)均与上侧对应位置的所述花篮底杆(21)错位设置。
2.根据权利要求1所述的一种硅片烘干装置,其特征在于,所述匀流板(12)的材质为PVDF。
3.根据权利要求2所述的一种硅片烘干装置,其特征在于,还设置有PVDF材质的遮挡板,所述匀流板(12)上均匀开设有匀流风孔(121),并通过所述遮挡板对不同部位的匀流风孔(121)进行遮挡以预留出多组对应不同所述花篮底杆(21)的匀流风孔(121)。
4.根据权利要求3所述的一种硅片烘干装置,其特征在于,所述遮挡板的端部固定安装在升降滑块上,所述升降滑块上下滑动安装在水平滑块上,所述水平滑块水平滑动安装在所述壳体(10)内侧壁的水平导轨上,所述水平滑块上还安装有对应所述升降滑块的升降气缸,所述壳体(10)的内侧壁还安装有对应所述水平滑块的水平气缸。
5.根据权利要求1所述的一种硅片烘干装置,其特征在于,所述匀流板(12)的下侧面还设置有一层绝热层,且所述绝热层上开设有对应所述匀流风孔(121)的通孔。
6.根据权利要求1所述的一种硅片烘干装置,其特征在于,所述风管组件(14)包括通过轴座安装在所述壳体(10)侧板上的管接头(141),以及通过支架(18)安装在所述壳体(10)侧板内侧的吹风管(142),所述吹风管(142)与所述管接头(141)连通且所述吹风管(142)的侧壁沿轴向开设有多组并列的吹风孔。
7.根据权利要求1所述的一种硅片烘干装置,其特征在于,所述壳体(10)的内部底侧设置有支撑底板(11),所述支撑底板(11)上设置有通槽以用于实现上侧水分及热风向下侧的排出,所述匀流板(12)及花篮支撑架(13)均安装在所述支撑底板(11)上侧;
所述支撑底板(11)的下侧设置有集液槽(15)及排风管(16),通过所述外部风机及循环外管(17)连通所述排风管(16)与风管组件(14)。
8.根据权利要求7所述的一种硅片烘干装置,其特征在于,所述排风管(16)设置在所述壳体(10)的内侧底部并位于所述支撑底板(11)的下侧,且所述排风管(16)的侧壁上均匀开设有进风孔。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN202221765282.0U CN218179431U (zh) | 2022-07-08 | 2022-07-08 | 一种硅片烘干装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202221765282.0U CN218179431U (zh) | 2022-07-08 | 2022-07-08 | 一种硅片烘干装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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CN218179431U true CN218179431U (zh) | 2022-12-30 |
Family
ID=84611665
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (1)
Country | Link |
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CN (1) | CN218179431U (zh) |
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