CN217955804U - 一种晶圆扩膜装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶圆生产技术领域，具体涉及一种晶圆扩膜装置，包括基座、晶圆托板、扩膜板、顶升驱动机构、压板以及下压驱动机构；晶圆托板固定于基座上，所顶升驱动机构固定于晶圆托板的底面上，扩膜板与顶升驱动机构连接；晶圆托板上设置有与扩膜板相配合的扩膜孔；压板设置于晶圆托板的上方，压板与下压驱动机构连接，压板上设置有用于避让扩膜板的避让孔。本实用新型将晶圆产品放到晶圆托板上的指定位置后，通过下压驱动机构驱动压板向下将晶圆产品压紧在晶圆托板上，然后通过顶升驱动机构驱动扩膜板穿过扩膜孔向上顶升晶圆产品，使已经划好片的晶圆间隙扩大；该装置结构简单，且通过下压驱动机构和压板配合能够实现晶圆产品的自动固定。

Description

一种晶圆扩膜装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆生产技术领域，具体涉及一种晶圆扩膜装置。

背景技术

在晶圆生产过程中，通常需要通过扩膜装置将划好片的晶圆扩开间隙，方便取片。现有的扩膜装置一般结构复杂，采用夹具固定晶圆产品，无法实现晶圆产品的自动固定；且通常采用气缸顶升，无法实现对扩膜过程的精准控制。

发明内容

为了克服上述现有技术存在的不足，本实用新型的目的是提供一种结构简单的晶圆扩膜装置，不仅能够实现晶圆产品的自动固定，还能对扩膜实现精准控制。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案为一种晶圆扩膜装置，包括基座、晶圆托板、扩膜板、顶升驱动机构、压板以及下压驱动机构；所述晶圆托板固定于所述基座上，所顶升驱动机构固定于所述晶圆托板的底面上，所述扩膜板与所述顶升驱动机构连接；所述晶圆托板上设置有与所述扩膜板相配合的扩膜孔；所述压板设置于所述晶圆托板的上方，所述压板与所述下压驱动机构连接，所述压板上设置有用于避让所述扩膜板的避让孔。

进一步地，所述下压驱动机构包括下压驱动气缸、支撑板、连接板以及连接杆，所述连接板和所述支撑板自下至上依次设置于所述压板的上方，所述下压驱动气缸固定于所述支撑板上，且所述下压驱动气缸的活塞杆与所述连接板连接，所述连接板通过连接杆与所述压板连接。

更进一步地，所述连接板的四个角部分别通过四根连接杆与所述压板的四个角部连接。

更进一步地，所述支撑板与所述晶圆托板通过至少两根导向杆连接，所述连接板上对应各所述导向杆的位置处均设有通孔，所述通孔中安装有直线轴承，所述导向杆贯穿对应的所述直线轴承并与所述直线轴承连接。

更进一步地，所述支撑板的四个角部分别通过四根所述导向杆与所述晶圆托板连接。

更进一步地，所述连接板的两侧均安装有缓冲器。

进一步地，所述晶圆托板的顶面上设置有若干定位柱，且若干定位柱沿晶圆产品放置区的周向间隔设置。

进一步地，所述顶升驱动机构包括固定架、扩膜板固定座、升降滑轨、升降滑块、丝杆以及伺服电机，所述固定架固定于所述晶圆托板的底面上，所述升降滑轨竖直布置且固定于所述固定架上，所述升降滑块滑动安装于所述升降滑轨上，所述伺服电机通过丝杆与所述升降滑块连接；所述扩膜板固定座固定于所述升降滑块上，所述扩膜板固定于所述扩膜板固定座的顶部。

进一步地，所述基座包括底板和支撑柱，所述晶圆托板的四个角部分别通过四根支撑柱固定于所述底板上。

更进一步地，所述底板上设置有安装窗口，四根支撑柱环绕所述安装窗口布置，所述顶升驱动机构的下端向下贯穿所述安装窗口。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果：

（1）本实用新型在将晶圆产品放到晶圆托板上的指定位置后，通过下压驱动机构驱动压板向下将晶圆产品压紧在晶圆托板上，然后通过顶升驱动机构驱动扩膜板穿过扩膜孔向上顶升晶圆产品，通过扩膜使已经划好片的晶圆间隙扩大；该装置结构简单，且通过下压驱动机构和压板配合能够实现晶圆产品的自动固定；

（2）本实用新型通过伺服电机驱动丝杆带动升降滑块上下移动，从而带动扩膜板固定座及其上的扩膜板沿竖直方向上下移动，可以精确控制扩膜板上升的距离以及速度，从而实现对扩膜过程精准控制。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1为本实用新型实施例提供的晶圆扩膜装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的晶圆扩膜装置的结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的晶圆托板和顶升驱动机构的结构示意图；

图中：1、基座；11、底板；12、支撑柱；13、安装窗口；2、晶圆托板；21、扩膜孔；22、定位柱；3、扩膜板；4、顶升驱动机构；41、固定架；42、升降滑轨；43、升降滑块；44、伺服电机；45、扩膜板固定座；5、压板；51、避让孔；6、下压驱动机构；61、下压驱动气缸；62、支撑板；63、连接板；64、连接杆；65、导向杆；66、直线轴承；67、缓冲器；7、晶圆产品。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征；在本实用新型的描述中，除非另有说明，“若干”的含义是两个或两个以上。

如图1-图3所示，本实用新型实施例提供一种晶圆扩膜装置，包括基座1、晶圆托板2、扩膜板3、顶升驱动机构4、压板5以及下压驱动机构6；所述晶圆托板2固定于所述基座1上，所顶升驱动机构4固定于所述晶圆托板2的底面上，所述扩膜板3与所述顶升驱动机构4连接；所述晶圆托板2上设置有与所述扩膜板3相配合的扩膜孔21；所述压板5设置于所述晶圆托板2的上方，所述压板5与所述下压驱动机构6连接，所述压板5上设置有用于避让所述扩膜板3的避让孔51。本实施例中将晶圆产品7放到晶圆托板2上的指定位置后，通过下压驱动机构6驱动压板5向下将晶圆产品7压紧在晶圆托板2上，然后通过顶升驱动机构4驱动扩膜板3穿过扩膜孔21向上顶升晶圆产品7，通过扩膜使已经划好片的晶圆间隙扩大；装置结构简单，且通过下压驱动机构6和压板5配合能够实现晶圆产品的自动固定。

具体地，本实施例中扩膜板3为圆柱形，其与晶圆产品中晶圆的尺寸相匹配；扩膜孔21和避让孔51都为圆形，且扩膜孔21和避让孔51的尺寸均比扩膜板3的尺寸略大。

细化上述实施例，所述下压驱动机构6包括下压驱动气缸61、支撑板62、连接板63以及连接杆64，所述连接板63和所述支撑板62自下至上依次设置于所述压板5的上方，所述下压驱动气缸61固定于所述支撑板62上，且所述下压驱动气缸61的活塞杆与所述连接板63连接，所述连接板63通过连接杆64与所述压板5连接。为了实现压板5对晶圆产品7均匀压紧，将下压驱动气缸61固定在支撑板62中间并正对压板的中间部位，由于压板5的中间需要设置避让孔51，因此本实施例在压板5的上方设置连接板63并与压板5固定，然后通过下压驱动气缸61驱动连接板63带动压板5向下将晶圆产品7均匀压紧在晶圆托板2上。优化地，所述连接板63的四个角部分别通过四根连接杆64与所述压板5的四个角部连接，进一步提高压板5对晶圆产品7压紧的均匀性。

优化上述实施例，所述支撑板62与所述晶圆托板2通过至少两根导向杆65连接，所述连接板63上对应各所述导向杆65的位置处均设有通孔，所述通孔中安装有直线轴承66，所述导向杆65贯穿对应的所述直线轴承66并与所述直线轴承66连接。本实施例通过导向杆65将支撑板62固定在晶圆托板2上方，通过在连接板63上设置直线轴承66于导向杆65配合，确保下压驱动气缸61驱动连接板63在竖直方向在上运动。优化地，所述支撑板62的四个角部分别通过四根所述导向杆65与所述晶圆托板2连接。

优化地，所述连接板63的两侧均安装有缓冲器67。如图2所述，连接板63其中相对的两侧均设置有两个缓冲器67，在压板5下压到晶圆托板2上时起到缓冲作用。

具体地，所述晶圆托板2的顶面上设置有若干定位柱22，且若干定位柱22沿晶圆产品放置区的周向间隔设置。如图3所示，定位柱22有四个，分别位于晶圆产品7的四个角部外侧，可以实现晶圆产品7在晶圆托板2上的准确定位。

细化上述实施例，所述顶升驱动机构4包括固定架41、扩膜板固定座45、升降滑轨42、升降滑块43、丝杆以及伺服电机44，所述固定架41固定于所述晶圆托板2的底面上，所述升降滑轨42竖直布置且固定于所述固定架41上，所述升降滑块43滑动安装于所述升降滑轨42上，所述伺服电机44通过丝杆与所述升降滑块43连接；所述扩膜板固定座45固定于所述升降滑块43上，所述扩膜板3固定于所述扩膜板固定座45的顶部。如图2和图3所示，本实施例通过伺服电机44驱动丝杆带动升降滑块43及其上的扩膜板固定座45、扩膜板3沿竖直方向移动，可以精确控制扩膜板3上升的距离以及速度，从而实现对扩膜过程精准控制。

进一步地，所述基座1包括底板11和支撑柱12，所述晶圆托板2的四个角部分别通过四根支撑柱12固定于所述底板11上。更进一步地，所述底板11上设置有安装窗口13，四根支撑柱12环绕所述安装窗口13布置，所述顶升驱动机构4的下端向下贯穿所述安装窗口13。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种晶圆扩膜装置，其特征在于：包括基座、晶圆托板、扩膜板、顶升驱动机构、压板以及下压驱动机构；所述晶圆托板固定于所述基座上，所顶升驱动机构固定于所述晶圆托板的底面上，所述扩膜板与所述顶升驱动机构连接；所述晶圆托板上设置有与所述扩膜板相配合的扩膜孔；所述压板设置于所述晶圆托板的上方，所述压板与所述下压驱动机构连接，所述压板上设置有用于避让所述扩膜板的避让孔。

2.如权利要求1所述的一种晶圆扩膜装置，其特征在于：所述下压驱动机构包括下压驱动气缸、支撑板、连接板以及连接杆，所述连接板和所述支撑板自下至上依次设置于所述压板的上方，所述下压驱动气缸固定于所述支撑板上，且所述下压驱动气缸的活塞杆与所述连接板连接，所述连接板通过连接杆与所述压板连接。

3.如权利要求2所述的一种晶圆扩膜装置，其特征在于：所述连接板的四个角部分别通过四根连接杆与所述压板的四个角部连接。

4.如权利要求2所述的一种晶圆扩膜装置，其特征在于：所述支撑板与所述晶圆托板通过至少两根导向杆连接，所述连接板上对应各所述导向杆的位置处均设有通孔，所述通孔中安装有直线轴承，所述导向杆贯穿对应的所述直线轴承并与所述直线轴承连接。

5.如权利要求4所述的一种晶圆扩膜装置，其特征在于：所述支撑板的四个角部分别通过四根所述导向杆与所述晶圆托板连接。

6.如权利要求2所述的一种晶圆扩膜装置，其特征在于：所述连接板的两侧均安装有缓冲器。

7.如权利要求1所述的一种晶圆扩膜装置，其特征在于：所述晶圆托板的顶面上设置有若干定位柱，且若干定位柱沿晶圆产品放置区的周向间隔设置。

8.如权利要求1所述的一种晶圆扩膜装置，其特征在于：所述顶升驱动机构包括固定架、扩膜板固定座、升降滑轨、升降滑块、丝杆以及伺服电机，所述固定架固定于所述晶圆托板的底面上，所述升降滑轨竖直布置且固定于所述固定架上，所述升降滑块滑动安装于所述升降滑轨上，所述伺服电机通过丝杆与所述升降滑块连接；所述扩膜板固定座固定于所述升降滑块上，所述扩膜板固定于所述扩膜板固定座的顶部。

9.如权利要求1所述的一种晶圆扩膜装置，其特征在于：所述基座包括底板和支撑柱，所述晶圆托板的四个角部分别通过四根支撑柱固定于所述底板上。

10.如权利要求9所述的一种晶圆扩膜装置，其特征在于：所述底板上设置有安装窗口，四根支撑柱环绕所述安装窗口布置，所述顶升驱动机构的下端向下贯穿所述安装窗口。

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