CN217903087U - 复合装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种复合装置，包含有一机台、多个横梁、至少一龙门、多个加工单元与至少一第一输送单元。横梁设于机台的顶端。龙门设于机台，并位于横梁的上方。加工单元分别设于横梁与龙门。第一输送单元设于机台。加工单元可依据实际需求调整为所需要的加工装置，如焊剂装置、焊接装置、吸取装置、沾胶装置、点胶装置、检测装置、清洁装置或任一加工装置。本实用新型于实际应用时可将多种类型的制程机具整合为单一机具，使用的梁与模组并无数量的限制，可依客制化扩增加工装置、龙门与横梁。

Description

复合装置

技术领域

本实用新型提供涉及机械加工领域，尤其涉及一种复合装置。

背景技术

现有的晶圆(芯片)黏合装置，包含有一机台、一基板输送单元、一晶圆输送单元、一第一横梁、一第二横梁、一龙门、一视觉单元、一压合单元、一点胶单元、一取放单元、一顶出单元与一检测单元。

基板输送单元设于机台。晶圆输送单元设于机台，并且相邻于基板输送单元。第一横梁与第二横梁设于机台，并位于基板输送单元的上方。龙门设于机台，并位于第一横梁与第二横梁的上方。视觉单元与压合单元设于龙门。点胶单元设于第一横梁面对第二横梁的一侧。取放单元设于第二横梁面对第一横梁的一侧。顶出单元设于晶圆输送单元的下方。检测单元设于第二横梁未面对第一横梁的一侧。基板输送单元、晶圆输送单元、视觉单元、压合单元、点胶单元、取放单元、顶出单元与检测单元为本领域的常规技术知识，故相关构件在此不过多赘述，特此声明。

基板输送单元将欲黏合的基板输送至点胶单元的下方，使点胶单元于基板的欲黏合处进行点胶。视觉单元以视觉检视基板，以定位基板的欲黏合处。待点胶完成后，基板输送单元将已完成点胶的基板输送至取放单元的下方。视觉检视为所属领域的通常知识，不多于此赘述，特先陈明。

晶圆输送单元将以切割的晶圆输送至顶出单元的上方。视觉单元以视觉检视晶圆，以定位欲被取放的晶粒。顶出单元依据视觉单元的视觉或程序设定，顶出欲被取放的晶粒。取放单元以真空吸力吸取晶粒，并将晶粒放置于欲黏合处。

压合单元再将晶粒与基板予以压合。基板输送单元将已压合的基板输送至检测单元，使检测单元检测基板的压合。晶圆输送单元、视觉单元、压合单元、点胶单元、取放单元、顶出单元与检测单元重复上述的动作。

虽上述的黏合装置能够完成晶粒与基板黏合作业，但随着电子产品的高度发展，现有的黏合装置仅能进行黏合作业，而无法实施多种不同的制程，为此业界要添购更多对应各种制程的机台，因此造成业界于场地、成本、人员的增加。

综合上述，针对现有的黏合装置无法配合制程而扩增或改变其加工单元，乃成为目前业界亟思改良创新的项目。

实用新型内容

本实用新型创作人鉴于上述现有技术的各项缺点，经多年的研究实验后，终于成功研发完成本实用新型的复合装置。

本实用新型揭露一种复合装置，包含有一机台、多个横梁、至少一龙门、多个加工单元与至少一第一输送单元。横梁设于机台的顶端。龙门设于机台，并位于横梁的上方。加工单元分别设于横梁与龙门。第一输送单元设于机台。

其中，上述的复合装置还包括有至少一第二输送单元，第二输送单元设于机台，并相邻于横梁。

其中，第一输送单元包含有一寸动轨道、至少一寸动夹爪与一输送平台，输送平台设于机台，并位于横梁的下方；寸动轨道设于机台，并连动输送平台；寸动夹爪设于横梁之间，寸动夹爪连动寸动轨道。

其中，加工单元为压合装置、焊剂装置、焊接装置、吸取装置、沾胶装置、点胶装置、检测装置或清洁装置的至少一种。

其中，上述的复合装置还包括有至少一延伸加工单元，延伸加工单元设于机台，并位于横梁之间。延伸加工单元为一清洁装置。

其中，上述的复合装置还包括有一底加工单元，底加工单元设于机台，并位于第二输送单元的下方。

其中，第一输送单元为基板输送装置，第二输送单元为晶圆输送装置或晶粒托盘输送装置，底加工单元为顶出装置。

其中，上述的复合装置还包括有一视觉单元，视觉单元设于所述龙门。

其中，各加工单元包含有一视觉模组。

其中，上述的复合装置还包括有至少一辅助加工单元，所述辅助加工单元位于所述机台的一侧或一端，所述辅助加工单元为一进料装置。

通过如上的本实用新型，加工单元可依据实际需求调整为所需要的加工装置，如焊剂装置、焊接装置、吸取装置、沾胶装置、点胶装置、检测装置、清洁装置或任一加工装置。本实用新型于实际应用时可将多种类型的制程机具整合为单一机具，使用的梁与模组并无数量的限制，并也能够配合可依客制化扩增加工装置、龙门、横梁、第一输送单元、底加工单元与第二输送单元，故本实用新型能够降低业者的场地、成本与人员的费用。

附图说明

图1为本实用新型的第一实施例的复合装置的俯视示意图。

图2为本实用新型的第一实施例的复合装置的前视示意图。

图3为本实用新型的第一实施例的图2的A-A线方向剖面示意图。

图4为本实用新型的第一实施例的图2的B-B线方向剖面示意图。

图5为本实用新型的第二实施例的复合装置的立体外观示意图。

附图标记说明：

10:机台；11:横梁；12:第一横梁；13:第二横梁；14:第三横梁；15:龙门；16:第二输送单元；17:第一输送单元；170:寸动轨道；171:寸动夹爪；172:输送平台；18:底加工单元；20:加工单元；21:第一加工单元；22:第二加工单元；23:第三加工单元；24:第四加工单元；25:第五加工单元；26:第六加工单元；27:延伸加工单元；28:视觉单元；30:基板；40:第一辅助加工单元；41:第二辅助加工单元；42:第三辅助加工单元。

具体实施方式

为了使所属技术领域中具有通常识者能够充分了解本实用新型的技术特征、内容与优点及其所能达到的功效，兹将本实用新型配合图式，并以实施例的表达形式详细说明如下，而其中所使用的图式，其主旨仅为示意及辅助说明书的用途，未必为本实用新型实施后的真实比例与精准配置，故不应就所附的图式的比例与配置关系解读、局限本实用新型于实际实施上的权利范围，事先声明。

请参阅图1，本实用新型之一实施例的复合装置的俯视示意图。请参阅图2，本实用新型之一实施例的复合装置的前视示意图。请参阅图3，本实用新型的一实施例的图2的A-A线方向剖面示意图。请参阅图4，本实用新型的一实施例的图2的B-B线方向剖面示意图。如图所示，复合装置包含有一机台10、多个横梁11、至少一龙门15、至少一第二输送单元16、至少一第一输送单元17、至少一底加工单元18、多个加工单元20、至少一延伸加工单元27与至少一视觉单元28。

横梁11的数量可依据实际需求而增加。于本实施例中，横梁11为第一横梁12、第二横梁13与第三横梁14，并呈一列状依序设于机台10的顶端。横梁11也能够为多列状设于机台10的顶端。

龙门15可移动地设于机台10，并位于横梁11的上方。于本实施例中，龙门15位于第一横梁12、第二横梁13与第三横梁14的上方。

第二输送单元16设于机台10，并相邻于横梁11。于本实施例中，第二输送单元16相邻于第一横梁12、第二横梁13与第三横梁14。底加工单元18设于机台10，并位于第二输送单元16的下方。

第一输送单元17设于机台10，于本实施例中，第一输送单元17为寸动装置，第一输送单元17包含有一寸动轨道170、至少一寸动夹爪171与一输送平台172。

输送平台172设于机台10，并位于横梁11的下方。于本实施例中，输送平台172位于第一横梁12、第二横梁13与第三横梁14的下方，且相邻于第二输送单元16。

寸动轨道170设于机台10，并于横梁11的下方，并相邻输送平台172。于本实施例中，寸动轨道170位于第一横梁12、第二横梁13与第三横梁14的下方，且相邻于输送平台172。寸动轨道170连动输送平台172。

寸动夹爪171设于横梁11之间。于本实施例中，寸动夹爪171位于第一横梁12面对第二横梁13的一侧。寸动夹爪171连动寸动轨道170。另一寸动夹爪(图中未示)设于第二横梁13面对第三横梁14的一侧或第三横梁14未面对第二横梁13的一侧。寸动夹爪171带动寸动轨道170，移动的寸动轨道170进一步带动输送平台172。寸动装置、寸动轨道170、寸动夹爪171与输送平台172的位移机构与相关作动机构为所属领域的通常知识，故相关构件不多于此赘述，特先陈明。

加工单元20设于横梁11与龙门15。加工单元20可为第一加工单元21、第二加工单元22、第三加工单元23、第四加工单元24、第五加工单元25与第六加工单元26。

于本实施例中，第一加工单元21设于第一横梁12面对第二横梁13的一侧。第一加工单元21包含有一第一视觉模组(图中未示)。第二加工单元22设于第二横梁13面对第一横梁12的一侧。第二加工单元22包含有一第二视觉模组(图中未示)。第三加工单元23设于第二横梁13面对第三横梁14的一侧。第三加工单元23包含有一第三视觉模组(图中未示)。第四加工单元24设于第三横梁14面对第二横梁13的一侧。第四加工单元24包含第四视觉模组(图中未示)。第五加工单元25设于第三横梁14未面对第二横梁13的一侧。第五加工单元25包含第五视觉模组(图中未示)。

第一加工单元21、第二加工单元22、第三加工单元23、第四加工单元24、第五加工单元25与第六加工单元26可选择性相对于机台10呈一X轴向、一Y轴向或一Z轴向移动。第一加工单元21、第二加工单元22、第三加工单元23、第四加工单元24与、第五加工单元25与第六加工单元26可为压合装置、焊剂装置、焊接装置、吸取装置、沾胶装置、点胶装置、检测装置、清洁装置或任一加工装置的至少一种。压合装置、吸取装置、沾胶装置、点胶装置、检测装置、清洁装置或任一加工装置的位移机构与相关作动机构为所属领域的通常知识，故相关构件在此不过多赘述，事先声明。

延伸加工单元27设于机台10，并位于横梁11之间，且相邻于寸动轨道170。于本实施例中，延伸加工单元27位于第二横梁13与第三横梁14之间，并相邻于寸动轨道170。另外，延伸加工单元27也能够视实际状况，并设于第一横梁12与第二横梁13之间。

延伸加工单元27可为一清洁装置，清洁装置包含有称重模组、体积量测模组、黏度量测模组或清胶模组。当上述的点胶装置发生脏污的情况或胶水的质量有问题时，点胶装置朝向延伸加工单元27(清洁装置)方向移动，并移动至称重模组的上方，点胶装置的点胶针头将胶水点于称重模组，称重模组量测胶水的重量。若胶水的重量超过或低于预定重量，则点胶装置依据称重模组的回馈，调整所点出的胶水的重量。同理，点胶装置可将胶水点于体积量测模组或黏度量测模组，若胶水的体积或黏度不符合设定，则可依据回馈的数值进行调整。若点胶装置的点胶针头有脏污，则可利用清胶模组进行清洁，待清洁完毕后，点胶装置可恢复至工作位置(即原先点胶位置处)。称重模组、体积量测模组、黏度量测模组或清胶模组的作动机构为所属领域的通常知识，故相关构件或作动在此不过多赘述，事先声明。

视觉单元28与第六加工单元26设于龙门15。视觉单元28相邻于第六加工单元26。

于一实施例，第一加工单元21为一焊剂装置。第二加工单元22为焊接装置。第三加工单元23为点胶装置。第四加工单元24为取放装置。第五加工单元25为检测装置。第六加工单元26为压合装置。延伸加工单元27为清洁装置。第二输送单元16为晶圆输送装置或晶粒托盘输送装置。底加工单元18为顶出装置。第一输送单元17为基板输送装置。

多个基板30或至少一基板30被放置于输送平台172。寸动夹爪171带动寸动轨道170，移动的寸动轨道170进一步带动输送平台172，以使输送平台172将基板30输送至第一加工单元21。第一视觉模组210对基板30进行视觉对位。视觉对位为所属领域的通常知识，故在此不过多赘述，事先声明。

第一加工单元21依据第一视觉模组的视觉对位，而将助焊剂放置于基板30欲焊接处。输送平台172将已具有焊剂的基板30输送至第二加工单元22。

第二视觉模组对已具有焊剂的基板30进行视觉对位。第二加工单元22依据第二视觉模组的视觉对位，以对具有助焊剂的基板30进行焊接。待焊接后，输送平台172将已焊接的基板30输送至第三加工单元23。

第三视觉模组对视觉对位欲黏合的基板30。第三加工单元23依据第三视觉模组的视觉对位而对基板30进行点胶。输送平台172将已点胶的机板输送至第四加工单元24。若在点胶过程中，第三加工单元23的点胶针头有脏污情况，第三加工单元23移动至延伸加工单元27处并进行清洁相关程序。待第三加工单元23清洁后，第三加工单元23再移动回至最初位置，以进行相关加工程序。

第二输送单元16可输送已切割的晶圆或放置有晶粒的托盘(Tray)，于本实施例中，第二输送单元16输送已切割的晶圆至第四加工单元24。第四视觉模组240分别视觉定位欲位于第二输送单元16的至少一欲被取放的晶粒，以及位于输送平台172的至少一已被点胶的基板30。底加工单元18依据第四视觉模组的视觉定位而顶出欲被取放的晶粒。第四加工单元24依据第四视觉模组的视觉定位而以真空吸力或机械手臂于第二输送单元16取出被顶出的晶粒，再将晶粒放置于已被点胶的基板30。

待晶粒放置于基板30后，视觉单元28视觉对位晶粒与基板30，第六加工单元26依据视觉单元28的视觉对位而对晶粒与基板30进行压合的动作。待压合完成后，输送平台172将已压合的基板30输送至第五加工单元25。

第五视觉模组对位于输送平台172的基板30进行视觉对位。第五加工单元25依据视觉对位而对基板30进行检测。待检测后，输送平台172将基板30输送至另一制程。

请参阅图5，本实用新型的第二实施例的复合装置的立体外观示意图。如图所示，于机台10的一端或与一侧分别设有至少一辅助加工单元。于本实施例中，辅助加工单元可为一第一辅助加工单元40、一第二辅助加工单元41与一第三辅助加工单元42。第一辅助加工单元40位于第三横梁14未面对第二横梁13的一侧。第二辅助加工单元41与第三辅助加工单元42位于第一横梁12、第二横梁13与第三横梁14的一端。辅助加工单元可为料带、料盘或震动盘，其用于进料。所以辅助加工单元可视为一进料装置。

综上所述，本实用新型的加工单元20、龙门15、横梁11、第一输送单元17、底加工单元18与第二输送单元16可依据实际需求调整为所需要的数量。加工单元20并可依据加工需求设置为所需要的加工装置，如焊剂装置、焊接装置、吸取装置、沾胶装置、点胶装置、检测装置、清洁装置或任一加工装置。所以本实用新型于实际应用时可将多种类型的制程机具整合为单一机具，使用的梁与模组并无数量的限制，并也能够配合可依客制化扩增加工装置、龙门15、横梁11、第一输送单元17、底加工单元18与第二输送单元16，故本实用新型能够降低业者的场地、成本与人员的费用。

以上所述仅为举例性，用以说明本实用新型的技术内容的可行具体实施例，而非用于限制本实用新型。本实用新型所属技领域具有通常知识者基于说明书中所揭示内容的教示所为的等效置换、修改或变更，均包含于本实用新型的申请专利范围中，未脱离本实用新型的权利范畴。

Claims (10)

1.一种复合装置，其特征在于，包含：

一机台；

多个横梁，设于所述机台的顶端；

至少一龙门，设于所述机台，并位于所述多个横梁的上方；

多个加工单元，分别设于所述多个横梁与所述龙门；以及

至少一第一输送单元，设于所述机台。

2.根据权利要求1所述的复合装置，其特征在于，还包括：

至少一第二输送单元，所述第二输送单元设于所述机台，并相邻于所述多个横梁。

3.根据权利要求2所述的复合装置，其特征在于，所述第一输送单元包括：

一寸动轨道、至少一寸动夹爪与一输送平台，所述输送平台设于所述机台，并位于所述多个横梁的下方；

所述寸动轨道设于所述机台，并连动所述输送平台；

所述寸动夹爪设于所述多个横梁之间，所述寸动夹爪连动所述寸动轨道。

4.根据权利要求1所述的复合装置，其特征在于，所述多个加工单元为压合装置、焊剂装置、焊接装置、吸取装置、沾胶装置、点胶装置、检测装置或清洁装置的至少一种。

5.根据权利要求1所述的复合装置，其特征在于，还包括：

至少一延伸加工单元，所述延伸加工单元设于所述机台，并位于所述多个横梁之间，所述延伸加工单元为一清洁装置。

6.根据权利要求2所述的复合装置，其特征在于，还包括：

一底加工单元，所述底加工单元设于所述机台，并位于所述第二输送单元的下方。

7.根据权利要求6所述的复合装置，其特征在于，所述第一输送单元为一基板输送装置，所述第二输送单元为一晶圆输送装置或一晶粒托盘输送装置，所述底加工单元为一顶出装置。

8.根据权利要求1所述的复合装置，其特征在于，还包括：

一视觉单元，所述视觉单元设于所述龙门。

9.根据权利要求4所述的复合装置，其特征在于，所述多个加工单元均具有一视觉模组。

10.根据权利要求1所述的复合装置，其特征在于，还包括：

至少一辅助加工单元，所述辅助加工单元位于所述机台的一侧或一端，所述辅助加工单元为一进料装置。

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