CN217855189U - 一种应用于高密度等离子体设备传送腔体的过滤器 - Google Patents
一种应用于高密度等离子体设备传送腔体的过滤器 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型属于过滤器领域，尤其是一种应用于高密度等离子体设备传送腔体的过滤器，现提出如下方案，其包括壳体和位于其两侧的导风筒，所述导风筒的另一侧壁上均安装有连接口，一个导风筒与壳体的连接处开设有位于底端的进风口，另一个导风筒与壳体的连接处开设有位于顶端的出风口，壳体的内部密封连接有位于进风口上方的安装板，安装板上的两个连接孔内均安装有除尘布袋，除尘布袋的上方设有位于壳体内的限位框架。本装置通过除尘布袋实现对氮气中颗粒物的初步过滤，然后通过滤芯层实现对氮气中气体的精细过滤，去除氮气中的杂质，过滤效果好，且方便实现对壳体内过滤的颗粒物的去除以及对滤芯的快速更换。
Description
技术领域
本实用新型涉及过滤器技术领域，尤其涉及一种应用于高密度等离子体设备传送腔体的过滤器。
背景技术
在半导体高密度等离子体化学气相沉积设备中，预抽真空室联锁排气口是通过N2进入负载锁排气阀打开直接进入到真空的预抽真空室腔体中。N2直接进入到预抽真空室容易产生微粒物杂质，为此我们需要加装过滤器，过滤N2中的杂质，为此我们提出一种应用于高密度等离子体设备传送腔体的过滤器。
实用新型内容
本实用新型提出的一种应用于高密度等离子体设备传送腔体的过滤器，解决了背景技术中提出的问题。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种应用于高密度等离子体设备传送腔体的过滤器，包括壳体和位于其两侧的导风筒，所述导风筒的另一侧壁上均安装有连接口，一个导风筒与壳体的连接处开设有位于底端的进风口，另一个导风筒与壳体的连接处开设有位于顶端的出风口，壳体的内部密封连接有位于进风口上方的安装板，安装板上的两个连接孔内均安装有除尘布袋，除尘布袋的上方设有位于壳体内的限位框架，限位框架的顶端安装有位于出风口下方的滤芯层，壳体的顶端开口处安装有顶盖，壳体的底端两侧均安装有固定架。
值得说明的是，所述滤芯层包括从下往上依次设置的滤棉层、滤纸纤维和聚丙烯过滤层。
值得说明的是，所述壳体的底端开有排杂口，排杂口处安装有伸缩管，伸缩管的底端固接有连接环，连接环上螺纹连接有密封盖。
值得说明的是，所述壳体内滑动连接有位于限位框架和安装板之间的活动杆，活动杆的底端通过连接绳固接在密封盖上，活动杆的两侧壁上均安装有位于除尘布袋顶端的拍打件，活动杆的底端与安装板之间连接有弹簧。
值得说明的是，所述顶盖通过多个搭扣安装在壳体的顶端开口处，且壳体与顶盖的连接处安装有密封圈。
值得说明的是，所述顶盖的底端通过连接件固定接压接在滤芯层顶端的压紧环。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
本实用新型提出了一种应用于高密度等离子体设备传送腔体的过滤器，通过除尘布袋实现对氮气中颗粒物的初步过滤，然后通过滤芯层实现对氮气中气体的精细过滤，去除氮气中的杂质，过滤效果好；
且方便实现对壳体内过滤的颗粒物去除以及对滤芯的快速更换。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种应用于高密度等离子体设备传送腔体的过滤器的结构示意图；
图2为本实用新型提出的一种应用于高密度等离子体设备传送腔体的过滤器的剖视图；
图3为本实用新型提出的一种应用于高密度等离子体设备传送腔体的过滤器的连接绳、密封盖、伸缩筒、安装板、除尘布袋、弹簧、拍打件和活动杆的结构示意图；
图4为本实用新型提出的一种应用于高密度等离子体设备传送腔体的过滤器的顶盖和压紧环的结构示意图。
图中1、固定架；2、密封盖；2-1、连接环；3、伸缩筒；4、壳体；5、搭扣；6、顶盖；7、导风筒；8、连接口；9、进风口；10、压紧环；11、出风口；12、滤芯层；13、限位框架；14、除尘布袋；15、安装板；16、连接绳；17、拍打件；18、活动杆；19、弹簧。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
参照图1-4，一种应用于高密度等离子体设备传送腔体的过滤器，包括壳体4和位于其两侧的导风筒7，所述导风筒7的另一侧壁上均安装有连接口8，一个导风筒7与壳体4的连接处开设有位于底端的进风口9，另一个导风筒7与壳体4的连接处开设有位于顶端的出风口11，壳体4的内部密封连接有位于进风口9上方的安装板15，安装板15上的两个连接孔内均安装有除尘布袋14，除尘布袋14的上方设有位于壳体4内的限位框架13，限位框架13的顶端安装有位于出风口11下方的滤芯层12，壳体4的顶端开口处安装有顶盖6，壳体4的底端两侧均安装有固定架1。
滤芯层12包括从下往上依次设置的滤棉层、滤纸纤维和聚丙烯过滤层，通过滤芯层的设置，便于实现对流经气体的多重过滤，也可以采用其他种类的滤材实现对气体中颗粒物的过滤。
为了便于取出除尘布袋14过滤的杂质以及防止除尘布袋14堵塞，在壳体4的底端开有排杂口，排杂口处安装有伸缩管3，伸缩管3的底端固接有连接环2-1，连接环2-1上螺纹连接有密封盖2，壳体4内滑动连接有位于限位框架13和安装板15之间的活动杆18，活动杆18的底端通过连接绳16固接在密封盖2上，活动杆18的两侧壁上均安装有位于除尘布袋14顶端的拍打件17，活动杆18的底端与安装板15之间连接有弹簧19，在平时使用时，定时拉动密封盖2，密封盖2带动伸缩管3伸缩，从而通过连接绳16带动活动杆18和拍打件17上下运动拍打除尘布袋14，防止灰尘堆积在除尘布袋14内，在壳体4底端的颗粒物堆积一定时间后，通过打开密封盖2取出颗粒物杂质。
顶盖6通过多个搭扣5安装在壳体4的顶端开口处，且壳体4与顶盖6的连接处安装有密封圈，顶盖6的底端通过连接件固定接压接在滤芯层12顶端的压紧环10，打开搭扣5，将顶盖6从壳体4上取下，便于实现对滤芯层12的更换。
在使用时：将本装置安装在气体管道上，通过连接口8实现与气体管道的连接，氮气首先经过进风口9进入壳体4的内部，经过两个除尘布袋14的过滤，在经过滤芯层12实现对氮气的再次过滤，然后通过出风口11排出。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种应用于高密度等离子体设备传送腔体的过滤器，包括壳体(4)和位于其两侧的导风筒(7)，其特征在于，所述导风筒(7)的另一侧壁上均安装有连接口(8)，一个导风筒(7)与壳体(4)的连接处开设有位于底端的进风口(9)，另一个导风筒(7)与壳体(4)的连接处开设有位于顶端的出风口(11)，壳体(4)的内部密封连接有位于进风口(9)上方的安装板(15)，安装板(15)上的两个连接孔内均安装有除尘布袋(14)，除尘布袋(14)的上方设有位于壳体(4)内的限位框架(13)，限位框架(13)的顶端安装有位于出风口(11)下方的滤芯层(12)，壳体(4)的顶端开口处安装有顶盖(6)，壳体(4)的底端两侧均安装有固定架(1)。
2.根据权利要求1所述的一种应用于高密度等离子体设备传送腔体的过滤器，其特征在于，所述滤芯层(12)包括从下往上依次设置的滤棉层、滤纸纤维和聚丙烯过滤层。
3.根据权利要求1所述的一种应用于高密度等离子体设备传送腔体的过滤器，其特征在于，所述壳体(4)的底端开有排杂口，排杂口处安装有伸缩管(3)，伸缩管(3)的底端固接有连接环(2-1)，连接环(2-1)上螺纹连接有密封盖(2)。
4.根据权利要求3所述的一种应用于高密度等离子体设备传送腔体的过滤器，其特征在于，所述壳体(4)内滑动连接有位于限位框架(13)和安装板(15)之间的活动杆(18)，活动杆(18)的底端通过连接绳(16)固接在密封盖(2)上，活动杆(18)的两侧壁上均安装有位于除尘布袋(14)顶端的拍打件(17)，活动杆(18)的底端与安装板(15)之间连接有弹簧(19)。
5.根据权利要求1所述的一种应用于高密度等离子体设备传送腔体的过滤器，其特征在于，所述顶盖(6)通过多个搭扣(5)安装在壳体(4)的顶端开口处，且壳体(4)与顶盖(6)的连接处安装有密封圈。
6.根据权利要求5所述的一种应用于高密度等离子体设备传送腔体的过滤器，其特征在于，所述顶盖(6)的底端通过连接件固定接压接在滤芯层(12)顶端的压紧环(10)。
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