CN217785841U - 一种高压风机吸热降温*** - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种高压风机吸热降温***，包括：风机支架抽风***、集热罩、汤盘，抽风***固定连接在风机支架上；集热罩与风机支架固定相连并设置在炉体开设的炉门处，集热罩与抽风***相连以用于抽吸炉门打开时散发的热空气；汤盘与风机支架固定相连并设置在石墨舟的活动路径上方，汤盘与抽风***相连以用于抽吸石墨舟移动时散发的热空气。本实用新型提供的一种高压风机吸热降温***，能有效的降低设备和厂房内部的温度，提高生产效率。

Description

一种高压风机吸热降温***

技术领域

本实用新型涉及光伏设备扩散炉领域，特别是涉及一种高压风机吸热降温***。

背景技术

目前市面上的光伏设备，尤其是扩散炉和PECVD设备，由于载满硅片的石墨舟以及石英舟在经过高温工艺后，需要将其冷却到一定的温度再进入到下一道工序，这期间将会有大量的热量散发到设备内部，导致设备内部整体温度过高，不仅达不到工艺舟的快速降温效果，还会导致设备内部各种电气元件在高温环境中加速老化从而减少使用寿命。目前市面上所采用的降温方案为底部采用轴流风机往设备内部送冷风，暂存台处采用水冷散热器进行对石墨舟或石英舟的降温，也有在水冷散热器上面装小风扇对石墨舟或石英舟吹经水冷散热器冷却过的风。这种降温方式在一定程度上确实能够降低石墨走或石英舟的温度，但是经石墨舟和石英舟散发的热量还是散发到了设备内部，导致设备内部的温度始终较高，生产效率低。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种高压风机吸热降温***，能够有效的降低设备和厂房内部的温度，提高生产效率。

根据本实用新型的第一方面实施例的一种高压风机吸热降温***，用于冷却从炉体中取出的石墨舟，包括：风机支架、抽风***、集热罩、汤盘，所述抽风***固定连接在所述风机支架上；所述集热罩与所述风机支架固定相连并设置在所述炉体开设的炉门处，所述集热罩与所述抽风***相连以用于抽吸所述炉门打开时散发的热空气；所述汤盘与所述风机支架固定相连并设置在所述石墨舟的活动路径上方，所述汤盘与所述抽风***相连以用于抽吸所述石墨舟移动时以及在桨上停留时散发的热空气。

根据本实用新型实施例的一种高压风机吸热降温***，至少具有如下技术效果：本实用新型实施例提供的一种高压风机吸热降温***，集热罩和汤盘与抽风***相连，将炉门打开时散发的热空气与石墨舟在从炉门取出后的散发的热空气抽至抽风***，冷空气补充到石墨舟附近对石墨舟进行冷却，而传统的对石墨舟直接吹风冷却，石墨舟散发的热量还是散发到了设备内部，导致设备和厂房内部的温度始终较高。采用抽风的方式散热，能有效的降低设备和厂房内部的温度，提高生产效率。

根据本实用新型的一些实施例，所述高压风机吸热降温***包括水冷装置，所述水冷装置用于冷却从所述炉体中取出的所述石墨舟附近的空气，所述水冷装置底部连接有吸热罩壳，所述吸热罩壳与所述抽风***相连以抽吸热空气。

根据本实用新型的一些实施例，所述水冷装置和所述吸热罩壳为一组冷却部件，所述冷却部件上下方向间隔设置有多组。

根据本实用新型的一些实施例，所述抽风***包括第一风机，所述第一风机与所述集热罩通过第一风管相连。

根据本实用新型的一些实施例，所述抽风***包括第二风机，所述第二风机与所述吸热罩壳通过第二风管相连，所述第二风机通过所述第二风管与所述汤盘相连。

根据本实用新型的一些实施例，所述第一风管与所述第二风管均至少部分为波纹管。

根据本实用新型的一些实施例，所述第一风机和所述第二风机均连接有出风管。

根据本实用新型的一些实施例，所述第一风机与所述风机支架之间安装有第一减震块，所述第二风机与所述风机支架之间安装有第二减震块，所述第一减震块与所述第二减震块分别用于减少所述第一风机与所述第二风机运行时的振动。

根据本实用新型的一些实施例，所述吸热罩壳为中空盒体，所述吸热罩壳下端开设有多个与所述吸热罩壳内部空间相连通的吸热孔，所述第二风管与所述吸热罩壳内部空间相连通。

根据本实用新型的一些实施例，所述汤盘为中空盒体，所述汤盘下端开设有多个与所述汤盘内部空间相连通的通风孔，所述第二风管与所述汤盘内部空间相连通。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型实施例的安装结构示意图；

图2是本实用新型实施例的集热罩示意图；

图3是本实用新型实施例的汤盘示意图；

图4是图3中A处的放大图；

图5是本实用新型实施例的吸热罩壳示意图。

附图标记：

炉体100、桨101、炉门110；

石墨舟200；

风机支架300、第一支架301、第二支架302、水冷装置310、吸热罩壳320、吸热孔321、安装孔322；

抽风***400、出风管401、第一风机410、第一风管411、第一减震块412、第二风机420、第二风管421、第二减震块422；

集热罩500；

汤盘600。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

参照图1至图5，本实用新型实施例的一种高压风机吸热降温***，用于冷却从炉体100中取出的石墨舟200，石墨舟200中的硅片在炉体100内完成等离子体增强化气相沉积镀膜工艺，炉体100设有供石墨舟200取出的炉门110，包括：风机支架300、抽风***400、桨101、集热罩500、汤盘600；抽风***400螺栓连接在风机支架300上，炉门110处对应设置有桨101，桨101用于将石墨舟200从炉体100的炉门110处取出并运输石墨舟200，桨101的材质为碳化硅，桨101的具体结构和安装方式为现有技术，已经在专利公开号为CN202888220U的中国实用新型专利中公开，不再详述。集热罩500与风机支架300固定相连并设置在炉门110处，集热罩500与抽风***400相连通，打开炉门110时会瞬间散发出来的大量热量，抽风***400抽吸炉门110打开时散发的热空气，集热罩500为下端扩口的筒形并位于炉门110的上方，以便于提高抽吸热空气的效率；汤盘600与风机支架300螺栓连接并设置在桨101的活动路径上方，汤盘600与抽风***400相连通，在石墨舟200往外移动的过程中，此时石墨舟200的温度是最高的，抽风***400抽吸位于桨101上的石墨舟200移动和停留时散发的热空气。

本实用新型提供的一种高压风机吸热降温***，集热罩500和汤盘600均与抽风***400相连通，将炉门110打开时散发的热空气与石墨舟200在桨101上的散发的热空气抽至抽风***400，冷空气补充到石墨舟200附近对石墨舟200进行冷却，而传统的对石墨舟200直接吹风冷却，石墨舟200散发的热量还是散发到了设备内部，导致设备和厂房内部的温度始终较高。采用抽风的方式散热，能有效的降低设备和厂房内部的温度，提高生产效率。

在本实用新型的一些具体实施例中，高压风机吸热降温***还包括水冷装置310，桨101用于将石墨舟200从炉体100中运输至水冷装置310上，水冷装置310用于冷却从炉体100中取出的石墨舟200，水冷装置310选用常规的蛇形管，水冷装置310具体结构为现有技术，不再详述。水冷装置310下端螺栓连接有吸热罩壳320，吸热罩壳320与抽风***400相连通，抽风***400和吸热罩壳320抽吸热空气。通过空气对流将大部分的热量吸走，避免了大量的热量散发到设备内部，缩短了石墨舟200的冷却时间。

在本实用新型的一些具体实施例中，水冷装置310和吸热罩壳320为一组冷却部件，冷却部件在上下方向等间距的间隔设置有4组。有利于节约占地面积，节省成本。可以预见的是汤盘600设有4组，集热罩500设有6组，汤盘600、集热罩500和吸热罩壳320共用抽风***400，有利于节约设备投资。冷却部件中的吸热罩壳320在吸收高温空气的同时，外界空气经过下方冷却部件中的石墨舟200的底部的水冷装置310，进一步冷却后补充至石墨舟200附近，加速了石墨舟200的冷却。

在本实用新型的一些具体实施例中，抽风***400包括第一风机410，第一风机410连接有第一风管411，第一风机410通过第一风管411与集热罩500相连通，通过第一风机410抽取集热罩500附近的热空气。

在本实用新型的一些具体实施例中，抽风***400包括第二风机420，第二风机420连接有第二风管421，第二风机420通过第二风管421与吸热罩壳320相连通，第二风机420通过第二风管421与汤盘600相连通。通过第二风机420抽取吸热罩壳320和汤盘600附近的热空气。

在本实用新型的一些具体实施例中，抽风管410至少部分为波纹管，由于波纹管具有较好的变形能力，便于安装和拆卸。

在本实用新型的一些具体实施例中，第一风机410和第二风机420均连接有出风管401，出风管401延伸至厂房的热排***以防止热空气在厂房内积聚。所述热排***用于将热空气排出至不影响生产的位置。热排***具体结构为现有技术，不再详述。

在本实用新型的一些具体实施例中，第一风机410与风机支架300之间安装有第一减震块412，第二风机420与风机支架300之间安装有第二减震块422，第一减震块412与第二减震块422均选用优力胶材质。第一减震块412与第二减震块422用于减少第一风机410与第二风机420运行时的振动。防止风机支架300发生共振而损坏。

在本实用新型的一些具体实施例中，风机支架300包括第一支架301和第二支架302，第一风机410安装在第一支架301上，第二风机420安装在第二支架302上。第一支架301和第二支架302独立设置。

在本实用新型的一些具体实施例中，吸热罩壳320为中空盒体，吸热罩壳320上开设有安装孔322，最上方的吸热罩壳320直接螺栓连接在风机支架300上，其余的吸热罩壳320通过安装孔322螺栓连接在对应的水冷装置310底部，吸热罩壳320下端开设有多个与吸热罩壳320内部空间相连通的吸热孔321，吸热孔321均匀分布在吸热罩壳320下端。第二风管421与吸热罩壳320螺栓连接，第二风管421与吸热罩壳320内部空间相连通。通过开设多个吸热孔321，使吸收石墨舟200附近热空气的效果更均匀。

在本实用新型的一些具体实施例中，汤盘600为中空盒体，汤盘600下端开设有多个与汤盘600内部空间相连通的通风孔，通风孔均匀分布在汤盘600下端，第二风管421与汤盘600螺栓连接，第二风管421与汤盘600内部空间相连通。通过开设多个通风孔，使吸收石墨舟200附近热空气的效果更均匀。

工作过程：集热罩500通过第一风管411与第一风机410相连通，将炉门110打开时散发的热空气抽至第一风机410，桨101将石墨舟200从炉门110内取出。汤盘600与吸热罩壳320通过第二风管421与第二风机420相连通，桨101转运石墨舟200时散发的热空气由汤盘600抽至第二风机420，石墨舟200位于水冷装置310上时，吸热罩壳320在吸收其下方对应的水冷装置310上石墨舟200散发的热空气的同时，外界空气经过石墨舟200的底部的水冷装置310，进一步冷却后补充至石墨舟200附近。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种高压风机吸热降温***，用于冷却从炉体(100)中取出的石墨舟(200)，其特征在于，包括：

风机支架(300)；

抽风***(400)，固定连接在所述风机支架(300)上；

集热罩(500)，与所述风机支架(300)固定相连并设置在所述炉体(100)开设的炉门(110)处，所述集热罩(500)与所述抽风***(400)相连以用于抽吸所述炉门(110)打开时散发的热空气；

汤盘(600)，与所述风机支架(300)固定相连并设置在所述石墨舟(200)的活动路径上方，所述汤盘(600)与所述抽风***(400)相连以用于抽吸所述石墨舟(200)移动以及在桨上停留时散发的热空气。

2.根据权利要求1所述的一种高压风机吸热降温***，其特征在于：还包括水冷装置(310)，所述水冷装置(310)用于冷却从所述炉体(100)中取出的所述石墨舟(200)附近的空气，所述水冷装置(310)底部连接有吸热罩壳(320)，所述吸热罩壳(320)与所述抽风***(400)相连以抽吸热空气。

3.根据权利要求2所述的一种高压风机吸热降温***，其特征在于：所述水冷装置(310)和所述吸热罩壳(320)为一组冷却部件，所述冷却部件上下方向间隔设置有多组。

4.根据权利要求3所述的一种高压风机吸热降温***，其特征在于：所述抽风***(400)包括第一风机(410)，所述第一风机(410)与所述集热罩(500)通过第一风管(411)相连。

5.根据权利要求4所述的一种高压风机吸热降温***，其特征在于：所述抽风***(400)包括第二风机(420)，所述第二风机(420)与所述吸热罩壳(320)通过第二风管(421)相连，所述第二风机(420)通过所述第二风管(421)与所述汤盘(600)相连。

6.根据权利要求5所述的一种高压风机吸热降温***，其特征在于：所述第一风管(411)与所述第二风管(421)均至少部分为波纹管。

7.根据权利要求6所述的一种高压风机吸热降温***，其特征在于：所述第一风机(410)和所述第二风机(420)均连接有出风管(401)。

8.根据权利要求7所述的一种高压风机吸热降温***，其特征在于：所述第一风机(410)与所述风机支架(300)之间安装有第一减震块(412)，所述第二风机(420)与所述风机支架(300)之间安装有第二减震块(422)，所述第一减震块(412)与所述第二减震块(422)分别用于减少所述第一风机(410)与所述第二风机(420)运行时的振动。

9.根据权利要求8所述的一种高压风机吸热降温***，其特征在于：所述吸热罩壳(320)为中空盒体，所述吸热罩壳(320)下端开设有多个与所述吸热罩壳(320)内部空间相连通的吸热孔(321)，所述第二风管(421)与所述吸热罩壳(320)内部空间相连通。

10.根据权利要求9所述的一种高压风机吸热降温***，其特征在于：所述汤盘(600)为中空盒体，所述汤盘(600)下端开设有多个与所述汤盘(600)内部空间相连通的通风孔，所述第二风管(421)与所述汤盘(600)内部空间相连通。

Images