CN217719538U - 自动晶圆搬运*** - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶圆搬运领域，具体涉及自动晶圆搬运***，包括推送臂、支撑铲、快速推升机构和容纳箱，支撑铲固定安装在推送臂上，还包括缓慢推升机构和水平校准器，缓慢推升机构固定安装在快速推升机构的底部，用于向上推动推送臂进而再次运动，水平校准器固定安装在容纳箱上，该自动晶圆搬运***，通过设置缓慢推升机构带动支撑铲进行二次升降，不需要使用使用升降平台，直接使用固定平台即可，避免发生磨损误差，并且通过在容纳箱的侧面设置水平校准器，工人能够随时对支撑铲进行检测，当支撑铲的倾斜幅度达到预设值时，工人需要对其进行更换，并且水平校准器在不使用时，水平校准器能够收回到容纳箱的侧面，避免影响机械手的工作。

Description

自动晶圆搬运***

技术领域

本实用新型涉及晶圆搬运领域，具体涉及自动晶圆搬运***。

背景技术

在对晶圆进行搬运检测时，需要使用机械手进行搬运，但由于机械手上升，并将晶圆输送到检测设备上后，还需要使用升降平台向上推动对晶圆向上推动，使得晶圆与支撑铲之间进行分离，再通过机械手进行收回，而通过平台进行升降，长期使用情况下，升降的高度会发生磨损误差，工人只能对升降平台进行更换，增加了成本，并且通过支撑铲对晶圆进行支撑时，长期使用后，支撑铲会发生倾斜，但由于倾斜的幅度不明显时，工人往往会忽视对支撑铲进行更换。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供自动晶圆搬运***。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

提供自动晶圆搬运***，包括推送臂、支撑铲、快速推升机构和容纳箱，支撑铲固定安装在推送臂上，推送臂用于水平推送支撑铲，使得支撑铲带动晶圆进行运动，推送臂固定安装在快速推升机构上，快速推升机构用于水平向上输送推送臂，且快速推升机构固定安装在容纳箱内，还包括缓慢推升机构和水平校准器，缓慢推升机构固定安装在快速推升机构的底部，用于向上推动推送臂进而再次运动，水平校准器固定安装在容纳箱上，用于判断支撑铲是否发生的弯曲。

进一步的，快速推升机构包括延伸柱台、拉升气缸、导座、导柱和安装板，导座固定安装在容纳箱的内侧顶部，导柱与导座滑动连接，安装板固定安装在导柱的底部，缓慢推升机构固定安装在安装板上，延伸柱台固定安装在缓慢推升机构的输送端上，使得缓慢推升机构工作时，能够向上推动延伸柱台，拉升气缸固定安装在容纳箱的内缘顶部，拉升气缸的输出端与安装板固定连接，推送臂固定安装在延伸柱台上。

进一步的，缓慢推升机构为电动推杆，缓慢推升机构通过安装座固定安装在安装板上，缓慢推升机构的输出端与延伸柱台固定连接。

进一步的，水平校准器包括转动支座、固定板、转板和滑移板，转动支座固定安装在容纳箱的外壁上，用于供滑移板转动收回到容纳箱的侧面，固定板固定安装在转动支座上，转板的一端与固定板的一端转动连接，滑移板可滑动的安装在转板上。

进一步的，滑移板的底部设置有滑块，滑块插设在转板内，转板上开设有供滑块滑动的条形滑槽，滑块的底部设置有用于限位的限位板。

进一步的，转板的底部设置有转轴，转轴与固定板转动连接，转板的底部还设置有增高环，增高环套设在转轴上，增高环位于转板和固定板之间。

进一步的，转动支座包括转座、水平转杆和竖直转杆，转座固定安装在容纳箱的外壁上，水平转杆的一端与转座转动连接，另一端与竖直转杆转动连接，转座上设置有第一限位板，水平转杆上设置有与第一限位板配合的第一转动抵板，使得水平转杆转动到水平状态时无法发生继续转动，水平转杆上设置有第二限位板，竖直转杆上设置有与第二限位板配合的第二转动抵板，使得竖直转杆转动到竖直状态时无法发生继续转动，固定板固定安装在转动支座的顶部。

本实用新型的有益效果：该自动晶圆搬运***，通过设置缓慢推升机构带动支撑铲进行二次升降，不需要使用使用升降平台，直接使用固定平台即可，避免发生磨损误差，并且通过在容纳箱的侧面设置水平校准器，工人能够随时对支撑铲进行检测，当支撑铲的倾斜幅度达到预设值时，工人需要对其进行更换，并且水平校准器在不使用时，水平校准器能够收回到容纳箱的侧面，避免影响机械手的工作。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对本实用新型实施例中所需要使用的附图作简单地介绍。

图1为本实用新型的立体结构示意图；

图2为本实用新型去除容纳箱的立体结构示意图；

图3为水平校准器的立体结构示意图；

图4为水平校准器的局部立体结构分解示意图；

图中：1、推送臂；2、支撑铲；3、快速推升机构；3a、延伸柱台；3b、拉升气缸；3c、导座；3d、导柱；3e、安装板；4、缓慢推升机构；5、容纳箱；6、水平校准器；6a、转动支座；6a1、转座；6a2、水平转杆；6a3、竖直转杆；6b、固定板；6c、转板；6d、滑移板；6e、滑块；6f、增高环。

具体实施方式

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

其中，附图仅用于示例性说明，表示的仅是示意图，而非实物图，不能理解为对本专利的限制；为了更好地说明本实用新型的实施例，附图某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸。

参照图1至图4所示的自动晶圆搬运***，包括推送臂1、支撑铲2、快速推升机构3和容纳箱5，支撑铲2固定安装在推送臂1上，推送臂1用于水平推送支撑铲2，使得支撑铲2带动晶圆进行运动，推送臂1固定安装在快速推升机构3上，快速推升机构3用于水平向上输送推送臂1，且快速推升机构3固定安装在容纳箱5内，还包括缓慢推升机构4和水平校准器6，缓慢推升机构4固定安装在快速推升机构3的底部，用于向上推动推送臂1进而再次运动，水平校准器6固定安装在容纳箱5上，用于判断支撑铲2是否发生的弯曲。

快速推升机构3包括延伸柱台3a、拉升气缸3b、导座3c、导柱3d和安装板3e，导座3c固定安装在容纳箱5的内侧顶部，导柱3d与导座3c滑动连接，安装板3e固定安装在导柱3d的底部，缓慢推升机构4固定安装在安装板3e上，延伸柱台3a固定安装在缓慢推升机构4的输送端上，使得缓慢推升机构4工作时，能够向上推动延伸柱台3a，拉升气缸3b固定安装在容纳箱5的内缘顶部，拉升气缸3b的输出端与安装板3e固定连接，推送臂1固定安装在延伸柱台3a上。通过控制器控制拉升气缸3b进行工作，将使得拉升气缸3b向上拉动安装板3e，安装板3e将向上带动缓慢推升机构4进行快速运动，使得缓慢推升机构4带动快速推升机构3向上运动，缓慢推升机构4将带动延伸柱台3a向上运动，使得延伸柱台3a带动推送臂1向上运动，当快速推升机构3上升完成后，通过控制器控制缓慢推升机构4进行上升，使得支撑铲2向上再次运动，当晶圆被推送到检测设备上后，再通过控制器控制缓慢推升机构4进行下降，缓慢推升机构4将带动支撑铲2进行下降，使得晶圆放置在检测设备上。

缓慢推升机构4为电动推杆，缓慢推升机构4通过安装座固定安装在安装板3e上，缓慢推升机构4的输出端与延伸柱台3a固定连接。通过控制器控制缓慢推升机构4进行工作，缓慢推升机构4将缓慢向上推动延伸柱台3a进行运动，支撑铲2将进行上升，反之，缓慢推升机构4反向工作，将使得延伸柱台3a进行下降，使得支撑铲2进行下降，不需要在检测设备上设置升降平台来支撑晶圆，只需要设置固定平台即可。

水平校准器6包括转动支座6a、固定板6b、转板6c和滑移板6d，转动支座6a固定安装在容纳箱5的外壁上，用于供滑移板6d转动收回到容纳箱5的侧面，固定板6b固定安装在转动支座6a上，转板6c的一端与固定板6b的一端转动连接，滑移板6d可滑动的安装在转板6c上。通过转动支座6a，使得固定板6b能够转动成水平状态，为滑移板6d的检测提供平台，在不进行检测时，由于重力，水平校准器6将垂落在容纳箱5的侧面，避免与推送臂1发生碰撞。

滑移板6d的底部设置有滑块6e，滑块6e插设在转板6c内，转板6c上开设有供滑块6e滑动的条形滑槽，滑块6e的底部设置有用于限位的限位板。通过设置滑块6e和限位板，使得滑移板6d能够在转板6c上进行滑动，在对支撑铲2进行水平检测时，通过将滑移板6d推动，使得滑移板6d的端部与支撑铲2的外缘接触，再通过工人推动滑移板6d，使得滑移板6d进行滑动和旋转，而这个过程中，滑移板6d的端部与支撑铲2的外缘保持接触，若是发生滑移板6d的端部与支撑铲2的外缘不接触时，那么就可以判断出支撑铲2发生了弯曲，这时，就需要工人对支撑铲2进行更换。

转板6c的底部设置有转轴，转轴与固定板6b转动连接，转板6c的底部还设置有增高环6f，增高环6f套设在转轴上，增高环6f位于转板6c和固定板6b之间。通过设置增高环6f，将使得转板6c与固定板6b之间留有间隙，在转板6c转动到固定板6b上方时，滑块6e底部的限位板不会与固定板6b发生碰撞。

转动支座6a包括转座6a1、水平转杆6a2和竖直转杆6a3，转座6a1固定安装在容纳箱5的外壁上，水平转杆6a2的一端与转座6a1转动连接，另一端与竖直转杆6a3转动连接，转座6a1上设置有第一限位板，水平转杆6a2上设置有与第一限位板配合的第一转动抵板，使得水平转杆6a2转动到水平状态时无法发生继续转动，水平转杆6a2上设置有第二限位板，竖直转杆6a3上设置有与第二限位板配合的第二转动抵板，使得竖直转杆6a3转动到竖直状态时无法发生继续转动，固定板6b固定安装在转动支座6a的顶部。通过工人向上拉动竖直转杆6a3，使得竖直转杆6a3将带动水平转杆6a2进行运动，再通过第一限位板和第一转动抵板配合，将使得水平转杆6a2转动到水平状态时无法发生继续转动，通过第二限位板和第二转动抵板配合，使得竖直转杆6a3转动成竖直状态时，竖直转杆6a3无法继续转动，竖直转杆6a3转动成竖直状态时，固定板6b将转动成水平，为滑移板6d的检测提供平台，反之，当工人松开竖直转杆6a3时，由于重力，水平转杆6a2和竖直转杆6a3将进行复位。

Claims (7)

1.自动晶圆搬运***，包括推送臂(1)、支撑铲(2)、快速推升机构(3)和容纳箱(5)，支撑铲(2)固定安装在推送臂(1)上，推送臂(1)用于水平推送支撑铲(2)，使得支撑铲(2)带动晶圆进行运动，推送臂(1)固定安装在快速推升机构(3)上，快速推升机构(3)用于水平向上输送推送臂(1)，且快速推升机构(3)固定安装在容纳箱(5)内，其特征在于，还包括缓慢推升机构(4)和水平校准器(6)，缓慢推升机构(4)固定安装在快速推升机构(3)的底部，用于向上推动推送臂(1)进而再次运动，水平校准器(6)固定安装在容纳箱(5)上，用于判断支撑铲(2)是否发生的弯曲。

2.根据权利要求1所述的自动晶圆搬运***，其特征在于，快速推升机构(3)包括延伸柱台(3a)、拉升气缸(3b)、导座(3c)、导柱(3d)和安装板(3e)，导座(3c)固定安装在容纳箱(5)的内侧顶部，导柱(3d)与导座(3c)滑动连接，安装板(3e)固定安装在导柱(3d)的底部，缓慢推升机构(4)固定安装在安装板(3e)上，延伸柱台(3a)固定安装在缓慢推升机构(4)的输送端上，使得缓慢推升机构(4)工作时，能够向上推动延伸柱台(3a)，拉升气缸(3b)固定安装在容纳箱(5)的内缘顶部，拉升气缸(3b)的输出端与安装板(3e)固定连接，推送臂(1)固定安装在延伸柱台(3a)上。

3.根据权利要求2所述的自动晶圆搬运***，其特征在于，缓慢推升机构(4)为电动推杆，缓慢推升机构(4)通过安装座固定安装在安装板(3e)上，缓慢推升机构(4)的输出端与延伸柱台(3a)固定连接。

4.根据权利要求1所述的自动晶圆搬运***，其特征在于，水平校准器(6)包括转动支座(6a)、固定板(6b)、转板(6c)和滑移板(6d)，转动支座(6a)固定安装在容纳箱(5)的外壁上，用于供滑移板(6d)转动收回到容纳箱(5)的侧面，固定板(6b)固定安装在转动支座(6a)上，转板(6c)的一端与固定板(6b)的一端转动连接，滑移板(6d)可滑动的安装在转板(6c)上。

5.根据权利要求4所述的自动晶圆搬运***，其特征在于，滑移板(6d)的底部设置有滑块(6e)，滑块(6e)插设在转板(6c)内，转板(6c)上开设有供滑块(6e)滑动的条形滑槽，滑块(6e)的底部设置有用于限位的限位板。

6.根据权利要求5所述的自动晶圆搬运***，其特征在于，转板(6c)的底部设置有转轴，转轴与固定板(6b)转动连接，转板(6c)的底部还设置有增高环(6f)，增高环(6f)套设在转轴上，增高环(6f)位于转板(6c)和固定板(6b)之间。

7.根据权利要求6所述的自动晶圆搬运***，其特征在于，转动支座(6a)包括转座(6a1)、水平转杆(6a2)和竖直转杆(6a3)，转座(6a1)固定安装在容纳箱(5)的外壁上，水平转杆(6a2)的一端与转座(6a1)转动连接，另一端与竖直转杆(6a3)转动连接，转座(6a1)上设置有第一限位板，水平转杆(6a2)上设置有与第一限位板配合的第一转动抵板，使得水平转杆(6a2)转动到水平状态时无法发生继续转动，水平转杆(6a2)上设置有第二限位板，竖直转杆(6a3)上设置有与第二限位板配合的第二转动抵板，使得竖直转杆(6a3)转动到竖直状态时无法发生继续转动，固定板(6b)固定安装在转动支座(6a)的顶部。

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