CN217717471U - 一种用于芯片视觉检测的相机微调平台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于芯片视觉检测的相机微调平台，其涉及芯片检测技术领域。其技术方案要点包括固定支座和偏转座，所述固定支座与偏转座之间分别设置有转轴、偏转调节组件和紧固组件；所述偏转调节组件用于驱动所述偏转座围绕所述转轴进行偏转调节，所述紧固组件用于锁定偏转座与固定支座的相对位置；所述偏转调节组件包括分别位于所述转轴两侧的微调头和弹簧。本实用新型能够对相机模块的光轴进行偏转调节，来降低零件加工误差和装配误差对相机模块安装精度带来的影响，从而提高拍摄图像的清晰度，进而提高检测精度。

Description

一种用于芯片视觉检测的相机微调平台

技术领域

本实用新型涉及芯片检测技术领域，更具体地说，它涉及一种用于芯片视觉检测的相机微调平台。

背景技术

在半导体行业中，对于芯片一般都采用机器视觉技术来对芯片表面缺陷进行自动化检测。

现有授权公告号为CN214794502U的中国专利，公开了一种裸芯片表面缺陷智能检测***，其包括相机、镜头、升降支架、检测工作台和计算机，相机安装在升降支架上，通过升降支架进行上下移动，调整相机与裸芯片之间的距离，镜头采用变焦镜头，可以进行焦距变换。

随着芯片的精密化程度不断提高，为了保证检测精度，相机的安装精度同样重要。

但是上述专利中相机只能进行上下移动，如果光轴发生偏转，则无法进行调节，进而会影响拍照效果。而现有的微调平台一般也只能进行平移调节或者旋转调节，无法对光轴进行偏转调节。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种用于芯片视觉检测的相机微调平台，其能够对相机模块的光轴进行偏转调节，来降低零件加工误差和装配误差对相机模块安装精度带来的影响，从而提高拍摄图像的清晰度，进而提高检测精度。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：

一种用于芯片视觉检测的相机微调平台，包括固定支座和偏转座，所述固定支座与偏转座之间分别设置有转轴、偏转调节组件和紧固组件；所述偏转调节组件用于驱动所述偏转座围绕所述转轴进行偏转调节，所述紧固组件用于锁定偏转座与固定支座的相对位置；

所述偏转调节组件包括分别位于所述转轴两侧的微调头和弹簧。

进一步地，所述偏转座的数量为多个，且所述固定支座以及多个所述偏转座依次连接；

多个所述偏转座包括X轴偏转座、Y轴偏转座或者Z轴偏转座中的至少两个。

进一步地，多个所述偏转座分别包括X轴偏转座、Y轴偏转座和Z轴转轴，所述固定支座、X轴偏转座、Y轴偏转座以及Z轴偏转座依次连接。

进一步地，所述固定支座与X轴偏转座之间设置有沿X轴方向布置的第一转轴，以及第一偏转调节组件和第一紧固组件；

所述X轴偏转座与Y轴偏转座之间设置有沿Y轴方向布置的第二转轴，以及第二偏转调节组件和第二紧固组件；

所述Y轴偏转座与Z轴偏转座之间设置有沿Z轴方向布置的第三转轴，以及第三偏转调节组件和第三紧固组件。

进一步地，所述固定支座包括第一竖板，第一竖板上对称设置有两个第一竖直侧板，所述X轴偏转座位于两个第一竖直侧板之间；

所述X轴偏转座包括第二竖板，第二竖板上对称设置有两个水平侧板，所述Y轴偏转座位于两个水平侧板之间；

所述Y轴偏转座包括第三竖板，所述第三竖板上对称设置有两个第二竖直侧板，所述Z轴偏转座位于两个第二竖直侧板之间；

所述第一竖直侧板与第二竖板之间设置有所述第一转轴，所述水平侧板与第三竖板之间设置有所述第二转轴，所述Z轴偏转座与第三竖板之间设置有所述第三转轴。

进一步地，所述第一偏转调节组件包括安装于其一所述水平侧板上的第一微调头，以及设置于所述第一竖板与第二竖板之间的第一弹簧；

所述第二偏转调节组件包括安装于所述第三竖板上的第二微调头，以及设置于所述第二竖板与第三竖板之间的第二弹簧；

所述第三偏转调节组件包括安装于其一所述第二竖直侧板上的第三微调头，以及设置于该第二竖直侧板与Z轴偏转座之间的第三弹簧。

进一步地，所述紧固组件包括紧固螺栓；

所述第一紧固组件包括第一紧固螺栓，所述第一竖直侧板上设置有与所述第一紧固螺栓配合的第一调节孔，所述第二竖板侧壁设置有与所述第一紧固螺栓配合的第一紧固孔；

所述第二紧固组件包括第二紧固螺栓，所述水平侧板上设置有与所述第二紧固螺栓配合的第二调节孔，所述第三竖板上设置有与所述第二紧固螺栓配合的第二紧固孔；

所述第三紧固组件包括第三紧固螺栓，所述Z轴偏转座上设置有与所述第三紧固螺栓配合的第三调节孔，所述第三竖板上设置有与所述第三紧固螺栓配合的第三紧固孔。

进一步地，所述Z轴偏转座上设置有用于连接相机的转接板。

综上所述，本实用新型具有以下有益效果：

1、相机微调平台能够对相机模块的光轴进行偏转调节，来降低零件加工误差和装配误差对相机模块安装精度带来的影响，从而提高拍摄图像的清晰度，进而提高检测精度；

2、采用微调头与弹簧配合来实现偏转调节，微调头的精度高，而弹簧的弹性力能够实现调节过程中的预定位，能够方便进行调节，而且结构简单，生产成本低，且便于生产加工；

3、相机微调平台可以为相机模块提供三个相互垂直的偏转调节方向，有利于提高相机模块的位置精度，提高拍摄效果。

附图说明

图1为实施例中一种用于芯片视觉检测的相机微调平台的整体结构示意图；

图2为实施例中一种用于芯片视觉检测的相机微调平台的***示意图；

图3为实施例中相机微调平台与相机模块的结构示意图。

图中：1、固定支座；11、第一竖板；12、第一竖直侧板；13、第一轴孔；14、第一调节孔；15、第一弹簧孔；2、X轴偏转座；21、第二竖板；22、水平侧板；23、第二轴孔；24、第一紧固孔；25、第二弹簧孔；26、第四轴孔；27、第二调节孔；3、Y轴偏转座；31、第三竖板；32、第二竖直侧板；33、第三轴孔；34、第二紧固孔；35、第六轴孔；36、第三紧固孔；4、Z轴偏转座；41、第五轴孔；42、第三调节孔；43、第三弹簧孔；5、转接板；6、第一微调头；7、第二微调头；8、第三微调头；9、相机模块。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

本具体实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。

实施例：

一种用于芯片视觉检测的相机微调平台，参照图1至图3，其包括固定支座1和偏转座，固定支座与偏转座之间分别设置有转轴、偏转调节组件和紧固组件；偏转调节组件用于驱动偏转座围绕转轴进行偏转调节，紧固组件用于锁定偏转座与固定支座1的相对位置；偏转调节组件包括分别位于转轴两侧的微调头和弹簧；本实施例中的相机微调平台能够对相机模块9的光轴进行偏转调节，来降低零件加工误差和装配误差对相机模块9安装精度带来的影响，从而提高拍摄图像的清晰度，进而提高检测精度；本实施例中采用微调头与弹簧配合来实现偏转调节，微调头的精度高，而弹簧的弹性力能够实现调节过程中的预定位，能够方便进行调节，而且结构简单，生产成本低，且便于生产加工。

参照图1至图3，优选地，本实施例中偏转座的数量为多个，且固定支座1以及多个偏转座依次连接；多个偏转座包括X轴偏转座2、Y轴偏转座3或者Z轴偏转座4中的至少两个，优选地，本实施例中多个偏转座分别包括X轴偏转座2、Y轴偏转座3和Z轴偏转座4，固定支座1、X轴偏转座2、Y轴偏转座3以及Z轴偏转座4依次连接；本实施例中X轴与Y轴形成竖直平面，X轴与Z轴形成水平面；具体地，Z轴偏转座4上设置有与相机模块9连接的转接板5，从而方便安装；本实施例中的相机微调平台可以为相机模块9提供三个相互垂直的偏转调节方向，有利于提高相机模块9的位置精度，提高拍摄效果；当然，在其他可选的实施例中，也可以调整偏转座的数量，来提供一个或者两个偏转调节方向，在此不作限制。

参照图1和图2，具体地，固定支座1与X轴偏转座2之间设置有沿X轴方向布置的第一转轴，以及第一偏转调节组件和第一紧固组件；X轴偏转座2与Y轴偏转座3之间设置有沿Y轴方向布置的第二转轴，以及第二偏转调节组件和第二紧固组件；Y轴偏转座3与Z轴偏转座4之间设置有沿Z轴方向布置的第三转轴，以及第三偏转调节组件和第三紧固组件；第一转轴、第二转轴以及第三转轴附图中未示出；具体地，本实施例中固定支座1包括第一竖板11，第一竖板11上对称设置有两个第一竖直侧板12，X轴偏转座2位于两个第一竖直侧板12 之间；X轴偏转座2包括第二竖板21，第二竖板21上对称设置有两个水平侧板22，Y轴偏转座3位于两个水平侧板22之间；Y轴偏转座3包括第三竖板31，第三竖板31上对称设置有两个第二竖直侧板32，Z轴偏转座4位于两个第二竖直侧板32之间。

参照图1和图2，具体地，第一竖直侧板12与第二竖板21之间设置有第一转轴，且第一竖直侧板12和第二竖板21上分别设置有与第一转轴配合的第一轴孔13和第二轴孔23；水平侧板22与第三竖板31之间设置有第二转轴，且水平侧板22和第三竖板31上分别开设有与第二转轴配合的第四轴孔26和第三轴孔33；Z轴偏转座4与第三竖板31之间设置有第三转轴，且Z轴偏转座4与第三竖板31上分别开设有与第三转轴配合的第五轴孔41和第六轴孔35。

参照图1和图2，具体地，本实施例中第一偏转调节组件包括安装于其一水平侧板22上的第一微调头6，以及设置于第一竖板11与第二竖板21之间的第一弹簧（附图中未示出），优选地，第一竖板11上开设有与第一弹簧配合的第一弹簧孔15；第二偏转调节组件包括安装于第三竖板31上的第二微调头7，以及设置于第二竖板21与第三竖板31之间的第二弹簧（附图中未示出），优选地，第二竖板21上开设有与第二弹簧配合的第二弹簧孔25；第三偏转调节组件包括安装于其一第二竖直侧板32上的第三微调头8，以及设置于该第二竖直侧板32与Z轴偏转座4之间的第三弹簧（附图中未示出）。优选地，Z轴偏转座4上开设有与第三弹簧配合的第三弹簧孔43。

参照图1和图2，本实施例中紧固组件包括紧固螺栓（附图中未示出）；具体地，第一紧固组件包括第一紧固螺栓，第一竖直侧板12上设置有与第一紧固螺栓配合的第一调节孔14，第二竖板21侧壁设置有与第一紧固螺栓配合的第一紧固孔24；第二紧固组件包括第二紧固螺栓，水平侧板22上设置有与第二紧固螺栓配合的第二调节孔27，第三竖板31上设置有与第二紧固螺栓配合的第二紧固孔34；第三紧固组件包括第三紧固螺栓， Z轴偏转座4上设置有与第三紧固螺栓配合的第三调节孔42，第三竖板31上设置有与第三紧固螺栓配合的第三紧固孔36；本实施例中利用紧固螺栓来实现锁定，具有结构简单，操作方便，且稳固性好的优势。

Claims (8)

1.一种用于芯片视觉检测的相机微调平台，其特征在于：包括固定支座和偏转座，所述固定支座与偏转座之间分别设置有转轴、偏转调节组件和紧固组件；所述偏转调节组件用于驱动所述偏转座围绕所述转轴进行偏转调节，所述紧固组件用于锁定偏转座与固定支座的相对位置；

所述偏转调节组件包括分别位于所述转轴两侧的微调头和弹簧。

2.根据权利要求1所述的用于芯片视觉检测的相机微调平台，其特征在于：所述偏转座的数量为多个，且所述固定支座以及多个所述偏转座依次连接；

多个所述偏转座包括X轴偏转座、Y轴偏转座或者Z轴偏转座中的至少两个。

3.根据权利要求2所述的用于芯片视觉检测的相机微调平台，其特征在于：多个所述偏转座分别包括X轴偏转座、Y轴偏转座和Z轴转轴，所述固定支座、X轴偏转座、Y轴偏转座以及Z轴偏转座依次连接。

4.根据权利要求3所述的用于芯片视觉检测的相机微调平台，其特征在于：所述固定支座与X轴偏转座之间设置有沿X轴方向布置的第一转轴，以及第一偏转调节组件和第一紧固组件；

所述X轴偏转座与Y轴偏转座之间设置有沿Y轴方向布置的第二转轴，以及第二偏转调节组件和第二紧固组件；

所述Y轴偏转座与Z轴偏转座之间设置有沿Z轴方向布置的第三转轴，以及第三偏转调节组件和第三紧固组件。

5.根据权利要求4所述的用于芯片视觉检测的相机微调平台，其特征在于：所述固定支座包括第一竖板，第一竖板上对称设置有两个第一竖直侧板，所述X轴偏转座位于两个第一竖直侧板之间；

所述X轴偏转座包括第二竖板，第二竖板上对称设置有两个水平侧板，所述Y轴偏转座位于两个水平侧板之间；

所述Y轴偏转座包括第三竖板，所述第三竖板上对称设置有两个第二竖直侧板，所述Z轴偏转座位于两个第二竖直侧板之间；

所述第一竖直侧板与第二竖板之间设置有所述第一转轴，所述水平侧板与第三竖板之间设置有所述第二转轴，所述Z轴偏转座与第三竖板之间设置有所述第三转轴。

6.根据权利要求5所述的用于芯片视觉检测的相机微调平台，其特征在于：所述第一偏转调节组件包括安装于其一所述水平侧板上的第一微调头，以及设置于所述第一竖板与第二竖板之间的第一弹簧；

所述第二偏转调节组件包括安装于所述第三竖板上的第二微调头，以及设置于所述第二竖板与第三竖板之间的第二弹簧；

所述第三偏转调节组件包括安装于其一所述第二竖直侧板上的第三微调头，以及设置于该第二竖直侧板与Z轴偏转座之间的第三弹簧。

7.根据权利要求5所述的用于芯片视觉检测的相机微调平台，其特征在于：所述紧固组件包括紧固螺栓；

所述第一紧固组件包括第一紧固螺栓，所述第一竖直侧板上设置有与所述第一紧固螺栓配合的第一调节孔，所述第二竖板侧壁设置有与所述第一紧固螺栓配合的第一紧固孔；

所述第二紧固组件包括第二紧固螺栓，所述水平侧板上设置有与所述第二紧固螺栓配合的第二调节孔，所述第三竖板上设置有与所述第二紧固螺栓配合的第二紧固孔；

所述第三紧固组件包括第三紧固螺栓，所述Z轴偏转座上设置有与所述第三紧固螺栓配合的第三调节孔，所述第三竖板上设置有与所述第三紧固螺栓配合的第三紧固孔。

8.根据权利要求3所述的用于芯片视觉检测的相机微调平台，其特征在于：所述Z轴偏转座上设置有用于连接相机的转接板。

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