CN217641233U - 一种防呆式晶圆接料装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种防呆式晶圆接料装置，其包括置料平台，接料装置还包括：升降驱动部件；暂存部件，其形成有位于置料平台升降运动路径上并上下贯通设置的暂存区，其中暂存区具有定位状态、避让状态，且当暂存区处于定位状态时，晶圆定位在暂存区内，置料平台上升穿过暂存区并承接晶圆；当暂存区处于避让状态时，暂存区向周向打开，晶圆能够随着置料平台同步上下穿过暂存区。本实用新型通过设置能够定位和避让晶圆的暂存区，每次放置晶圆时均能保证晶圆的位置保持一致，有效避免人为影响造成的位置偏差；同时通过置料平台的升降运动，便于置料平台实施精准接料和放料，结构简单，操作方便。

Description

一种防呆式晶圆接料装置

技术领域

本实用新型属于晶圆加工设备领域，具体涉及一种防呆式晶圆接料装置。

背景技术

众所周知，晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，是由硅晶棒在经过研磨、抛光、及切片后，形成的硅晶圆片。

目前，在对晶圆去除毛刺的工序中，通常是由工人使用手持吸笔将晶圆放置在置料平台上，并控制刮刀对晶圆表面的微颗粒进行刮除。

然而，在实际生产过程中，人为因素影响较大，难以确保每次晶圆的放置位置保持精准一致，从而容易导致刮刀与晶圆之间的配合出现偏差，不便于刮刀实施清洁。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种改进的防呆式晶圆接料装置。

为解决以上技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

一种防呆式晶圆接料装置，其包括置料平台，晶圆水平放置在置料平台上，接料装置还包括：

升降驱动部件，其用于驱动置料平台上下升降运动；

暂存部件，其形成有位于置料平台升降运动路径上并上下贯通设置的暂存区，其中暂存区具有与晶圆相匹配的定位状态、在置料平台运动方向上避让晶圆的避让状态，且当暂存区处于定位状态时，晶圆定位在暂存区内，置料平台上升穿过暂存区并承接晶圆；当暂存区处于避让状态时，暂存区向周向打开，晶圆能够随着置料平台同步上下穿过暂存区。

优选地，当暂存区处于定位状态或/和避让状态时，暂存区的口径自上而下逐渐变小设置。这样设置，方便将晶圆放置在暂存区内。

优选地，当暂存区处于定位状态或/和避让状态时，暂存区的中心线与置料平台的中心线相重合设置。这样设置，方便置料平台向上接料。

优选地，暂存部件包括底座、活动设置在底座上并形成暂存区的多个暂存模块。

具体的，底座包括对称设置在置料平台相对两侧的两个座本体，其中每个座本体上设有一个暂存模块，当暂存区在定位状态和避让状态之间切换时，两个暂存模块同步运动并相对靠近或远离。

进一步的，暂存部件还包括沿着暂存区的径向对应滑动连接在每个座本体上的滑动模块、及用于驱动滑动模块的动力件，其中每个暂存模块固定连接在对应的滑动模块上。这样设置，暂存模块的运动行程短，实现快速定位和避让晶圆。

优选地，每个暂存模块呈与晶圆的侧边相匹配的弧形，且暂存模块上还形成有自上而下并向内倾斜延伸的导向面、自导向面的底部向内延伸的支撑面，当暂存区处于定位状态时，晶圆放置在支撑面上。

具体的，支撑面自导向面的底部向内并向下倾斜延伸。这样设置，当晶圆定位在支撑面上时，能够减小支撑面与晶圆之间的接触面积，避免在接料或放料过程中对晶圆造成磨损。

优选地，置料平台采用吸盘，接料时，晶圆吸附在吸盘上。通过设置吸盘，便于在接料或放料时快速固定晶圆。

此外，升降驱动部件包括固定座、上下活动连接在固定座上的升降座、及用于驱动升降座的驱动件，其中置料平台固定在升降座上。

由于以上技术方案的实施，本实用新型与现有技术相比具有如下优点：

本实用新型通过设置能够定位和避让晶圆的暂存区，每次放置晶圆时均能保证晶圆的位置保持一致，有效避免人为影响造成的位置偏差；同时通过置料平台的升降运动，便于置料平台实施精准接料和放料，结构简单，操作方便。

附图说明

图1为本实用新型防呆式晶圆接料装置的结构示意图；

图2为本实用新型防呆式晶圆接料装置的结构示意图(另一视角)；

图3为本实用新型防呆式晶圆接料装置的俯视示意图；

其中：1、置料平台；10、吸盘体；11、气管接头；

2、升降驱动部件；20、固定座；21、升降座；22、驱动件；

3、暂存部件；30、底座；300、座本体；31、暂存模块；m1、导向面；m2、支撑面；q、暂存区；32、滑动模块；33、动力件。

具体实施方式

为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

如图1至图3所示，本实施例的防呆式晶圆接料装置，其包括置料平台1、升降驱动部件2、暂存部件3，其中升降驱动部件2、暂存部件3均设置在工作面板(图中未显示，但不难想到)上。

具体的，置料平台1包括水平放置的吸盘体10、连接在吸盘体10底部的气管接头11，接料时，晶圆水平吸附在吸盘体10上。

升降驱动部件2包括固定座20、上下活动连接在固定座20上的升降座21、及用于驱动升降座21的驱动件22，其中升降座21自固定座20向外水平延伸，置料平台1的气管接头11固定连接在升降座21上，驱动件22驱动升降座21沿着竖直方向往复运动，置料平台1随之同步上下升降运动。

本例中，暂存部件3包括底座30、活动设置在底座30上的多个暂存模块31，其中多个暂存模块31之间形成暂存区q，且暂存区q位于置料平台1的升降运动路径上并上下贯通设置，其中暂存区q具有与晶圆相匹配的定位状态、在置料平台1运动方向上避让晶圆的避让状态，且当暂存区q处于定位状态时，晶圆定位在暂存区q内，置料平台1上升穿过暂存区q并承接晶圆；当暂存区q处于避让状态时，暂存区q向周向打开，允许晶圆随着置料平台1上下穿过暂存区q。在放置晶圆时，只需将暂存区q切换至定位状态，将晶圆放置于暂存区q内即可保证每次晶圆的放置位置保持一致，同时置料平台1上升穿过暂存区q接取晶圆后，再将暂存区q切换至避让状态，置料平台1与晶圆同步下降穿过暂存区q并运动至刮刀的工作位置；在取出晶圆时，保持暂存区q处于避让状态，置料平台1上升穿过暂存区q并带动晶圆位于暂存区q的上方后，再将暂存区q切换至定位状态，置料平台1下降即可将晶圆再次放置于暂存区q内，便于工人或机械手取走。

为了方便实施，当暂存区q处于定位状态或避让状态时，暂存区q的口径自上而下逐渐变小设置。这样设置，方便将晶圆放置在暂存区内。

当暂存区q处于定位状态或避让状态时，暂存区q的中心线与置料平台1的中心线相重合设置。这样设置，方便置料平台向上接料。

具体的，底座30包括对称设置在置料平台1相对两侧的两个座本体300，其中每个座本体300上设有一个暂存模块31，当暂存区q在定位状态和避让状态之间切换时，两个暂存模块31同步运动并相对靠近或远离。

具体的，每个暂存模块31呈与晶圆的侧边相匹配的弧形，且暂存模块31上还形成有自上而下并向内倾斜延伸的导向面m1、自导向面m1的底部向内延伸的支撑面m2，当暂存区q处于定位状态时，晶圆放置在支撑面m2上。

同时，支撑面m2自导向面m1的底部向内并向下倾斜延伸。这样设置，当晶圆定位在支撑面上时，能够减小支撑面与晶圆之间的接触面积，避免在接料或放料过程中对晶圆造成磨损。

为了进一步方便操作，暂存部件3还包括沿着暂存区q的径向对应滑动连接在每个座本体300顶部的滑动模块32、及用于驱动滑动模块32的动力件33，其中每个暂存模块31固定连接在对应的滑动模块32上。这样设置，暂存模块的运动行程短，实现快速定位和避让晶圆。

因此，本实施例具有以下优势：

1、通过设置能够定位和避让晶圆的暂存区，每次放置晶圆时均能保证晶圆的位置保持一致，有效避免人为影响造成的位置偏差；

2、通过置料平台的升降运动，便于置料平台实施精准接料和放料，结构简单，操作方便；

3、当晶圆定位在支撑面上时，能够减小支撑面与晶圆之间的接触面积，避免在接料或放料过程中对晶圆造成磨损；

4、暂存模块的运动行程短，实现快速定位和避让晶圆；

5、结构简单，便于安装和实施。

以上对本实用新型做了详尽的描述，其目的在于让熟悉此领域技术的人士能够了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型的精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。

Claims (10)

1.一种防呆式晶圆接料装置，其包括置料平台，晶圆水平放置在所述置料平台上，其特征在于：所述接料装置还包括：

升降驱动部件，其用于驱动所述置料平台上下升降运动；

暂存部件，其形成有位于所述置料平台升降运动路径上并上下贯通设置的暂存区，其中所述暂存区具有与所述晶圆相匹配的定位状态、在所述置料平台运动方向上避让所述晶圆的避让状态，且当所述暂存区处于定位状态时，所述晶圆定位在所述暂存区内，所述置料平台上升穿过所述暂存区并承接所述晶圆；当所述暂存区处于避让状态时，所述暂存区向周向打开，所述晶圆能够随着所述置料平台同步上下穿过所述暂存区。

2.根据权利要求1所述的防呆式晶圆接料装置，其特征在于：当所述暂存区处于定位状态或/和避让状态时，所述暂存区的口径自上而下逐渐变小设置。

3.根据权利要求1所述的防呆式晶圆接料装置，其特征在于：当所述暂存区处于定位状态或/和避让状态时，所述暂存区的中心线与所述置料平台的中心线相重合设置。

4.根据权利要求1或2或3所述的防呆式晶圆接料装置，其特征在于：所述暂存部件包括底座、活动设置在所述底座上并形成所述暂存区的多个暂存模块。

5.根据权利要求4所述的防呆式晶圆接料装置，其特征在于：所述底座包括对称设置在所述置料平台相对两侧的两个座本体，其中每个所述座本体上设有一个所述暂存模块，当所述暂存区在定位状态和避让状态之间切换时，两个所述暂存模块同步运动并相对靠近或远离。

6.根据权利要求5所述的防呆式晶圆接料装置，其特征在于：所述暂存部件还包括沿着所述暂存区的径向对应滑动连接在每个所述座本体上的滑动模块、及用于驱动所述滑动模块的动力件，其中每个所述暂存模块固定连接在对应的所述滑动模块上。

7.根据权利要求5所述的防呆式晶圆接料装置，其特征在于：每个所述暂存模块呈与所述晶圆的侧边相匹配的弧形，且所述暂存模块上还形成有自上而下并向内倾斜延伸的导向面、自所述导向面的底部向内延伸的支撑面，当所述暂存区处于定位状态时，所述晶圆放置在所述支撑面上。

8.根据权利要求7所述的防呆式晶圆接料装置，其特征在于：所述支撑面自所述导向面的底部向内并向下倾斜延伸。

9.根据权利要求1所述的防呆式晶圆接料装置，其特征在于：所述置料平台采用吸盘，接料时，所述晶圆吸附在所述吸盘上。

10.根据权利要求1或9所述的防呆式晶圆接料装置，其特征在于：所述升降驱动部件包括固定座、上下活动连接在所述固定座上的升降座、及用于驱动所述升降座的驱动件，其中所述置料平台固定在所述升降座上。

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