CN217360550U - 一种涂胶显影化学品进液设备的监测工具 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种涂胶显影化学品进液设备的监测工具，包括监测壳体、以及设于监测壳体上的连接机构，监测壳体内设置有控制单元和连接控制单元的入口监测单元、阀门监测单元、液体监测单元以及压力监测单元；控制单元，用于接收和处理入口监测单元、阀门监测单元、液体监测单元以及压力监测单元发送的数据；入口监测单元，用于监测设于监测壳体上气体入口和液体入口开启关闭监测状态；阀门监测单元，用于监测设于监测壳体电磁阀开启闭合状态；液体监测单元，用于监测通过监测壳体的液体流量；压力监测单元，用于监测通过监测壳体内的气体压力；本实用新型可以便捷的对涂胶显影设备机组进行监测，降低了设备联合调试的工作量，提高了设备的生产效率。

Description

一种涂胶显影化学品进液设备的监测工具

技术领域

本实用新型涉及半导体设备技术领域，具体为一种涂胶显影化学品进液设备的监测工具。

背景技术

近年来，随着经济社会的快速发展，制造业芯片短缺的问题凸显，半导体设备技术更新换代速度加快。

在半导体行业中，涂胶显影机组有多个***模块组成，其中化学品柜进液***是涂胶显影的重要组成部分，目前的***相关主要零部件主要由，罐体、真空发生器、电磁传感器、电磁阀、稀释剂、管路等在零部件组成。

现有的设备装配完成后，只能通过涂胶显影设备机组进行联合调试、来确定进液***是否可以正常工作，无法提前确定进液***的质量能否达到技术要求。因此会大大增加设备联合调试的工作量降低了生产速率。

实用新型内容

针对上述技术问题，本实用新型提供一种涂胶显影化学品进液设备的监测工具，可以便捷的对涂胶显影设备机组进行监测，降低了设备联合调试的工作量，提高了设备的生产效率。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种涂胶显影化学品进液设备的监测工具，包括监测壳体、以及设于所述监测壳体上的连接机构，所述监测壳体内设置有控制单元和连接所述控制单元的入口监测单元、阀门监测单元、液体监测单元以及压力监测单元；

所述控制单元，用于接收和处理所述入口监测单元、所述阀门监测单元、所述液体监测单元以及所述压力监测单元发送的数据；

所述入口监测单元，用于监测设于监测壳体上气体入口和液体入口开启关闭监测状态；

所述阀门监测单元，用于监测设于监测壳体电磁阀开启闭合状态；

所述液体监测单元，用于监测通过监测壳体的液体流量；

所述压力监测单元，用于监测通过监测壳体内的气体压力。

优选的，所述监测壳体上设置有输送液体和气体的连接装置和监测装置以及设于监测壳体内储存液体的储存罐，所述连接装置用于接入气体和液体；所述监测装置用于监测接入气体的压力和接入液体的流量。

优选的，所述连接装置包括设于监测壳体上的液体接入端和气体接入端；所述监测装置包括设于监测壳体上的气体压力监测表、液体流量监测表、液位监测线路和阀门监测线路，所述液体流量监测表连接所述液体监测单元；所述气体压力监测表连接所述压力监测单元。

优选的，所述液体接入端和所述气体接入端上均设置有电磁阀，所述液体接入端和气体接入端上设置的电磁阀分别连接设于监测壳体上的液体阀门开关和气体阀门开关，所述液体阀门开关和所述气体阀门开关均连接入口监测单元。

优选的，所述监测壳体上还设置有变频器、电源显示灯、电源开关、液体排放端、气体排放端和电源接入端。

本实用新型的有益效果：其中通过将涂胶显影设备机组接入到监测壳体内，通过监测壳体内设置的入口监测单元、发明单元、液体监测单元和压力监测单元以便于对涂胶显影设备机组进液***装配完成后进行监测，以便于监测进液***是否可以正常工作、零部件是否损坏、装配连接的型号是否正确，可以便捷的对涂胶显影设备机组进行监测，降低了设备联合调试的工作量，提高了设备的生产效率。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制，在附图中：

图1为本实用新型提出的涂胶显影化学品进液设备的监测工具侧视图结构示意图。

图2为本实用新型提出的涂胶显影化学品进液设备的监测工具第一状态结构示意图。

图3为本实用新型提出的涂胶显影化学品进液设备的监测工具第二状态结构示意图。

图4为本实用新型的监测壳体俯视图结构示意图。

图5为本实用新型的提出的涂胶显影化学品进液设备的监测工具简易结构示意图。

图中：1、储存罐；2、监测壳体；3、变频器；4、气体阀门开关；5、气体压力监测表；6、液体流量监测表；7、液体阀门开关；8、电源显示灯；9、电源开关；10、液位监测线路；11、阀门监测线路；12、液体排放端；13、气体排放端；14、液体接入端；15、电源接入端；16、气体接入端。

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例和附图，进一步阐述本实用新型，但下述实施例仅为本实用新型的优选实施例，并非全部。基于实施方式中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得其它实施例，都属于本实用新型的保护范围。

请参阅图1-5，一种涂胶显影化学品进液设备的监测工具，包括监测壳体2、以及设于监测壳体2上的连接机构，监测壳体2内设置有控制单元和连接控制单元的入口监测单元、阀门监测单元、液体监测单元以及压力监测单元；

控制单元，用于接收和处理入口监测单元、阀门监测单元、液体监测单元以及压力监测单元发送的数据；

入口监测单元，用于监测设于监测壳体2上气体入口和液体入口开启关闭监测状态；

阀门监测单元，用于监测设于监测壳体2电磁阀开启闭合状态；

液体监测单元，用于监测通过监测壳体2的液体流量；

压力监测单元，用于监测通过监测壳体2内的气体压力。

如图1-5所示，其中首先将涂胶显影设备机组与监测壳体2连接，且本发明创造中所采用的技术手段为电路集成，并分路控制各子单元的技术架构，子架构单元与相关设备元器件相连接，并输出子单元的所需要的工作条件，通过监测零部件参数状态变化，来判断零部件的工作状态，可以便捷的对涂胶显影设备机组进行监测，降低了设备联合调试的工作量，提高了设备的生产效率。

其中入口监测单元对接入输送气体和液体的开关状态进行监测，从而便于判断气体和液体是否正常接入监测壳体2内，阀门监测单元用于监测气体接入时和液体接入时阀门开启闭合状态，以便于判断阀门是否可以正常工作，并可以通过入口监测单元验证阀门监测单元监测阀门开启闭合状态是否正常。

其中此监测方法操作简单、方便快捷。涂胶显影设备进液设备进行监测，可以同时满足设备输入输出，可以非常显著提高工作效率，确保质量的合格率和可靠性。

监测壳体2上设置有输送液体和气体的连接装置和监测装置以及设于监测壳体2内储存液体的储存罐1，连接装置用于接入气体和液体；监测装置用于监测接入气体的压力和接入液体的流量。如图1所示，其中储存罐1用于储存液体。

连接装置包括设于监测壳体2上的液体接入端14和气体接入端16；监测装置包括设于监测壳体2上的气体压力监测表5、液体流量监测表6、液位监测线路10 和阀门监测线路11，液体流量监测表6连接液体监测单元；气体压力监测表5连接压力监测单元。

其中液位监测线路10和阀门监测线路11接入到监测设备上，从而便于对数据进行直观的观察，以便于对装置的数据进行监测。

液体接入端14和气体接入端16上均设置有电磁阀，液体接入端14和气体接入端16上设置的电磁阀分别连接设于监测壳体2上的液体阀门开关7和气体阀门开关4，液体阀门开关7和气体阀门开关4均连接入口监测单元。其中通过控制电磁阀可以便于控制气体和液体的通入。

监测壳体2上还设置有变频器3、电源显示灯8、电源开关9、液体排放端 12、气体排放端13和电源接入端15。

如图1-5所示，其中通过电源显示灯8显示的状态、液体的流量、气体的压力从而便于判断涂胶显影化学品进液***主要零部件的状态。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的仅为本实用新型的优选例，并不用来限制本实用新型，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (5)

1.一种涂胶显影化学品进液设备的监测工具，包括监测壳体(2)、以及设于所述监测壳体(2)上的连接机构，其特征在于，所述监测壳体(2)内设置有控制单元和连接所述控制单元的入口监测单元、阀门监测单元、液体监测单元以及压力监测单元；

所述控制单元，用于接收和处理所述入口监测单元、所述阀门监测单元、所述液体监测单元以及所述压力监测单元发送的数据；

所述入口监测单元，用于监测设于监测壳体(2)上气体入口和液体入口开启关闭监测状态；

所述阀门监测单元，用于监测设于监测壳体(2)电磁阀开启闭合状态；

所述液体监测单元，用于监测通过监测壳体(2)的液体流量；

所述压力监测单元，用于监测通过监测壳体(2)内的气体压力。

2.根据权利要求1所述的一种涂胶显影化学品进液设备的监测工具，其特征在于：所述监测壳体(2)上设置有输送液体和气体的连接装置和监测装置以及设于监测壳体(2)内储存液体的储存罐(1)，所述连接装置用于接入气体和液体；所述监测装置用于监测接入气体的压力和接入液体的流量。

3.根据权利要求2所述的一种涂胶显影化学品进液设备的监测工具，其特征在于：所述连接装置包括设于监测壳体(2)上的液体接入端(14)和气体接入端(16)；所述监测装置包括设于监测壳体(2)上的气体压力监测表(5)、液体流量监测表(6)、液位监测线路(10)和阀门监测线路(11)，所述液体流量监测表(6)连接所述液体监测单元；所述气体压力监测表(5)连接所述压力监测单元。

4.根据权利要求3所述的一种涂胶显影化学品进液设备的监测工具，其特征在于：所述液体接入端(14)和所述气体接入端(16)上均设置有电磁阀，所述液体接入端(14)和气体接入端(16)上设置的电磁阀分别连接设于监测壳体(2)上的液体阀门开关(7)和气体阀门开关(4)，所述液体阀门开关(7)和所述气体阀门开关(4)均连接入口监测单元。

5.根据权利要求1所述的一种涂胶显影化学品进液设备的监测工具，其特征在于：所述监测壳体(2)上还设置有变频器(3)、电源显示灯(8)、电源开关(9)、液体排放端(12)、气体排放端(13)和电源接入端(15)。

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