CN217331223U - 一种用于薄膜应力和翘曲测试的测试装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型揭示了一种用于薄膜应力和翘曲测试的测试装置，装置为环形的支架，所述支架内侧设向内延伸的支撑位，所述支撑位设有至少三个，所述支撑位用于支撑待测试的片子，所述支架上设有滑槽，所述滑槽内设有导轨，所述导轨上设有刻度，所述滑槽放置有沿着导轨向支架内滑动的指示块，所述指示块下表面设有与导轨配合的滑块。本实用新型测试装置的指示块滑至在水平的同一刻线进行测试，确保了应力测试在相同条件下进行，提高了应力测试结果的重复性，减少人为因素导致的片子滑落，造成碎片，提高利润。

Description

一种用于薄膜应力和翘曲测试的测试装置

技术领域

本实用新型涉应力测试技术领域。

背景技术

薄膜沉积在基体以后，薄膜处于应变状态，若以薄膜应力造成基体弯曲形变的方向来区分，可将应力分为拉/张应力(tensile stress)和压应力 (compressive stress)，拉应力是当膜受力向外伸张，基板向内压缩、膜表面下凹，薄膜因为有拉应力的作用，薄膜本身产生收缩的趋势，如果膜层的拉应力超过薄膜的弹性限度，则薄膜就会破裂甚至剥离基体而翘起。

压应力则呈相反的状况，膜表面产生外凸的现象，在压应力的作用下，薄膜有向表面扩张的趋势。如果压应力到极限时，则会使薄膜向基板内侧卷曲，导致膜层起泡。对于薄膜应力的测试方法具有多样性，我们常用曲率半径法，通过测试衬底和薄膜衬底的曲率半径，可得到曲率半径倒数的差值，通过公式可得到的应力的结果。在对薄膜的应力进行测试时，由于每次测试过程中，无法确保夹具与外延片之间的间距，使得应力测试结果的重复性低。此外，支撑点与外延片具有较小的接触面积，使得外延片容易滑落，导致碎片，提高成本。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是实现一种能够更加准确、高效测试薄膜应力的装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案为：一种用于薄膜应力和翘曲测试的测试装置，装置为环形的支架，所述支架内侧设向内延伸的支撑位，所述支撑位设有至少三个，所述支撑位用于支撑待测试的片子，所述支架上设有滑槽，所述滑槽内设有导轨，所述导轨上设有刻度，所述滑槽放置有沿着导轨向支架内滑动的指示块，所述指示块下表面设有与导轨配合的滑块。

所述指示块为长方形结构，向支架内侧凸出有凸块，所述滑块为向上逐渐***的倒梯形结构。

所述滑槽内的导轨设有两个，所述指示块的下表面设有两个与导轨配合的滑块。

所述支撑位设有三个，相邻夹角为120度。

所述支撑位包括固定块、连杆和托架，所述支架内侧设有用于嵌入固定块的嵌入槽，所述连杆连接固定块和托架，所述托架为位于支架内的弧形结构。

所述支架内侧设有至少一个向内凹陷的凹槽。

所述支架、支撑位和滑块均为铝合金材质。

本实用新型测试装置的指示块滑至在水平的同一刻线进行测试，确保了应力测试在相同条件下进行，提高了应力测试结果的重复性，减少人为因素导致的片子滑落，造成碎片，提高利润。

附图说明

下面对本实用新型说明书中每幅附图表达的内容及图中的标记作简要说明：

图1为用于薄膜应力和翘曲测试的测试装置结构示意图；

图2为指示块结构示意图；

上述图中的标记均为：1、支架；2、凹槽；3、支撑位；4、固定块；5、连杆； 6、托架；7、指示块；8、凸块；9、导轨；10、滑块；11、滑槽。

具体实施方式

下面对照附图，通过对实施例的描述，本实用新型的具体实施方式如所涉及的各构件的形状、构造、各部分之间的相互位置及连接关系、各部分的作用及工作原理、制造工艺及操作使用方法等，作进一步详细的说明，以帮助本领域技术人员对本实用新型的发明构思、技术方案有更完整、准确和深入的理解。

薄膜应力测试装主要有三个部件构成，包括支架1、支撑位3和滑块10，这些部件优选铝合金材质，支架1为环形结构，内圈设有至少一个向内凹陷的凹槽2，一般对称设置两个，方便取下待测试的片子，支架1内侧设向内延伸的支撑位3，每个支撑位3的结构相同，为了保证支撑可靠，一般等夹角设置三个，支撑位3包括固定块4、连杆5和托架6，支架1内侧设有用于嵌入固定块4的嵌入槽，连杆5连接固定块4和托架6，托架6为位于支架1内的弧形结构，托架6用于支撑待测试的片子，优选托架6具有一个台阶结构使得片子正好能够放置在台阶上，将原先的点接触模式改进为面接触模式。

为了使每次放置位置保持一致且准确，支架1上设有滑槽11，滑槽11向支架1内侧开口，滑槽11内设有导轨9，导轨9上设有刻度，滑槽11放置有沿着导轨9向支架1内滑动的指示块7，指示块7下表面设有与导轨9配合的滑块 10，如图2所示，滑块为向上逐渐***的倒梯形结构，滑块10为能够包裹导轨 9的结构，使得指示块7能够平稳准确滑动，通过观察刻度了解片子的准确位置，为了移动更加稳定，滑槽11内的导轨9优选设置两个，指示块7的下表面设有两个与导轨9配合的滑块10。

指示块7整体为长方形结构，向支架1内侧凸出有凸块8，用于接触片子边缘，凸块8也是优选设置有两个，该装置通过增加具有刻线的导轨9，可减少不确定因素对片子应力测试结果的影响，提高同等条件下应力测试结果的重复性。通过增大与片子的接触面，来减少碎片的几率，提高利润。

操作时，将组装好的测试盘放置在测试盘的卡塞上，操作人员将吸住片子的真空吸笔倾斜一定角度放置在台阶型支撑位3上。将指示块7滑至在水平的同一刻线进行测试，确保测试是在同等条件下进行。

上面结合附图对本发明进行了示例性描述，显然本实用新型具体实现并不受上述方式的限制，只要采用了本发明的方法构思和技术方案进行的各种非实质性的改进，或未经改进将本发明的构思和技术方案直接应用于其它场合的，均在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种用于薄膜应力和翘曲测试的测试装置，其特征在于：装置为环形的支架，所述支架内侧设向内延伸的支撑位，所述支撑位设有至少三个，所述支撑位用于支撑待测试的片子，所述支架上设有滑槽，所述滑槽内设有导轨，所述导轨上设有刻度，所述滑槽放置有沿着导轨向支架内滑动的指示块，所述指示块下表面设有与导轨配合的滑块。

2.根据权利要求1所述的用于薄膜应力和翘曲测试的测试装置，其特征在于：所述指示块为长方形结构，向支架内侧凸出有凸块，所述滑块为向上逐渐***的倒梯形结构。

3.根据权利要求2所述的用于薄膜应力和翘曲测试的测试装置，其特征在于：所述滑槽内的导轨设有两个，所述指示块的下表面设有两个与导轨配合的滑块。

4.根据权利要求1、2或3所述的用于薄膜应力和翘曲测试的测试装置，其特征在于：所述支撑位设有三个，相邻夹角为120度。

5.根据权利要求4所述的用于薄膜应力和翘曲测试的测试装置，其特征在于：所述支撑位包括固定块、连杆和托架，所述支架内侧设有用于嵌入固定块的嵌入槽，所述连杆连接固定块和托架，所述托架为位于支架内的弧形结构。

6.根据权利要求1或5所述的用于薄膜应力和翘曲测试的测试装置，其特征在于：所述支架内侧设有至少一个向内凹陷的凹槽。

7.根据权利要求6所述的用于薄膜应力和翘曲测试的测试装置，其特征在于：所述支架、支撑位和滑块均为铝合金材质。

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