CN217005069U - 冷却排废循环*** - Google Patents
冷却排废循环*** Download PDFInfo
- Publication number
- CN217005069U CN217005069U CN202220983416.XU CN202220983416U CN217005069U CN 217005069 U CN217005069 U CN 217005069U CN 202220983416 U CN202220983416 U CN 202220983416U CN 217005069 U CN217005069 U CN 217005069U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- cooling
- barrel body
- forced air
- pipe
- cooling water
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000001816 cooling Methods 0.000 title claims abstract description 141
- 239000002699 waste material Substances 0.000 title claims abstract description 39
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 36
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 claims abstract description 35
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 10
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 3
- 241000270295 Serpentes Species 0.000 claims description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims description 2
- 239000002918 waste heat Substances 0.000 claims 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 5
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
Images
Abstract
本实用新型公开了冷却排废循环***，包括底板和冷却桶体，所述冷却桶体的底部固定安装有循环冷却盘，所述循环冷却盘的内部固定安装有冷却水管，所述冷却水管的两端分别开设有冷却水进水端和冷却水出水端。通过折边和底板之间形成的滑道，能够使冷却桶体通过循环冷却盘在两组滑道之间进行滑动，通过第二把手的设置，便于对冷却桶体进行驱动，从而能够将冷却桶体移动至外界进行拆卸维护，结构简单，便于操作，通过循环冷却盘和冷却水管的设置，能够以水冷的方式对废液进行冷却，通过风冷组件的设置，能够以风冷的方式辅助水冷共同对废液进行冷却，调高了废液冷却的效果，从而提高了废液的处理效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体为冷却排废循环***。
背景技术
制造半导体前，必须将硅转换为晶圆片，多晶硅必须融化成单晶体，才能加工成半导体应用中使用的晶圆片，晶圆在进行一些加工工艺时，需要一些高温液体参与，在此过程中所产生的废液温度较高，无法直接排放至废液管路中，需要先对其进行冷却；
现有的冷却设备大多在装置内部固定安装，在对其进行拆卸维护时极为不便，并且在冷却往往只是使用一种冷却方式，导致废液冷却的效果不佳，从而降低了废液的处理效率。
发明内容
本实用新型的目的在于提供冷却排废循环***，通过折边与底板之间形成的滑道来便于冷却桶体的移动，通过风冷组件配合冷却水管以两种方式对废液进行冷却，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：冷却排废循环***，包括底板和冷却桶体，所述冷却桶体的底部固定安装有循环冷却盘，所述循环冷却盘的内部固定安装有冷却水管，所述冷却水管的两端分别开设有冷却水进水端和冷却水出水端，所述冷却水进水端和冷却水出水端贯穿于循环冷却盘的表面并延伸至外界，所述冷却桶体的顶部固定安装有桶体上盖，所述桶体上盖的表面开设有废液输入口，所述冷却桶体的内部设置有风冷组件；
所述底板的顶部一体成型有折边，所述折边与底板之间形成滑道，所述循环冷却盘放置于两组滑道之间，且所述冷却桶体的侧壁与折边相互贴合，所述冷却桶体的表面固定安装有第二把手。
优选的，所述风冷组件包括风冷主管、第一风冷支管和第二风冷支管，所述风冷主管贯穿于冷却桶体的表面，所述风冷主管的表面连通有第一风冷支管和第二风冷支管，所述第一风冷支管和第二风冷支管均设置于冷却桶体的内部。
优选的，所述冷却桶体的顶部焊接有两组转动座，两组所述转动座的内壁均转动连接有上盖压板，两组所述上盖压板之间通过螺钉安装有连接板，所述连接板的顶部固定安装有第一把手。
优选的，所述冷却水管在循环冷却盘的内部呈蛇形分布。
优选的，所述桶体上盖的表面开设有温度监测孔和液位监测孔，所述冷却桶体的表面开设有内部循环输出管和内部循环输入管。
优选的，所述冷却桶体的表面通过螺钉固定安装有限位板，且所述限位板焊接于风冷主管的外壁。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
通过折边和底板之间形成的滑道，能够使冷却桶体通过循环冷却盘在两组滑道之间进行滑动，通过第二把手的设置，便于对冷却桶体进行驱动，从而能够将冷却桶体移动至外界进行拆卸维护，结构简单，便于操作，通过循环冷却盘和冷却水管的设置，能够以水冷的方式对废液进行冷却，通过风冷组件的设置，能够以风冷的方式辅助水冷共同对废液进行冷却，调高了废液冷却的效果，从而提高了废液的处理效率。
附图说明
图1为本实用新型的主体结构示意图；
图2为本实用新型循环冷却盘的内部结构示意图；
图3为本实用新型冷却桶体的内部结构示意图。
图中：1、折边；2、内部循环输出管；3、冷却桶体；4、风冷主管；5、转动座；6、上盖压板；7、废液输入口；8、桶体上盖；9、第一把手；10、温度监测孔；11、液位监测孔；12、内部循环输入管；13、第二把手；14、底板；15、冷却水进水端；16、循环冷却盘；17、冷却水管；18、冷却水出水端；19、第一风冷支管；20、限位板；21、第二风冷支管。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1～3，本实用新型提供一种技术方案：冷却排废循环***，包括底板14和冷却桶体3；
冷却桶体3的底部固定安装有循环冷却盘16，循环冷却盘16的内部固定安装有冷却水管17，冷却水管17的两端分别开设有冷却水进水端15和冷却水出水端18，冷却水进水端15和冷却水出水端18贯穿于循环冷却盘16的表面并延伸至外界，冷却桶体3的顶部固定安装有桶体上盖8，桶体上盖8的表面开设有废液输入口7，冷却桶体3的内部设置有风冷组件；
底板14的顶部一体成型有折边1，折边1与底板14之间形成滑道，循环冷却盘16放置于两组滑道之间，且冷却桶体3的侧壁与折边1相互贴合，冷却桶体3的表面固定安装有第二把手13，通过折边1与底板14之间形成的滑道，能够便于冷却桶体3在装置内部的放入与取出，以便于对冷却桶体3进行拆卸维护；
风冷组件包括风冷主管4、第一风冷支管19和第二风冷支管21，风冷主管4贯穿于冷却桶体3的表面，风冷主管4的表面连通有第一风冷支管19和第二风冷支管21，第一风冷支管19和第二风冷支管21均设置于冷却桶体3的内部，通过风机将外界的空气向风冷主管4内部输送，通过风冷组件的设置，能够对废液进行风冷，从而对冷却水管17的冷却起到辅助作用；
冷却桶体3的顶部焊接有两组转动座5，两组转动座5的内壁均转动连接有上盖压板6，两组上盖压板6之间通过螺钉安装有连接板，连接板的顶部固定安装有第一把手9，上盖压板6的设置能够对桶体上盖8进行限位，以便于桶体上盖8的打开和关闭；
冷却水管17在循环冷却盘16的内部呈蛇形分布，此种结构能够增大冷却水管17与废液的接触面积，从而起到提高冷却效果的作用；
桶体上盖8的表面开设有温度监测孔10和液位监测孔11，冷却桶体3的表面开设有内部循环输出管2和内部循环输入管12，温度监测孔10和液位监测孔11的设置便于在内部安装温度传感器和液位传感器，以便于对废液的温度和冷却桶体3内部的液位进行实时监测，从而实现后续的控制，并且液位传感器能够与上位机程序相连起到防溢保护作用；
冷却桶体3的表面通过螺钉固定安装有限位板20，且限位板20焊接于风冷主管4的外壁，限位板20的设置能够对风冷主管4进行固定限位。
使用时，将内部循环输出管2和内部循环输入管12与循环泵相连，然后通过废液输入口7将废液通入冷却桶体3内，再将冷却用水通过冷却水进水端15通入冷却水管17内，使用风机将空气通入风冷主管4内，废液在冷却桶体3内部会经过冷却水管17对其进行水冷，同时会通过风冷主管4、第一风冷支管19和第二风冷支管21对其进行风冷，同时循环泵能够对废液进行循环输送，使废液冷却的更加均匀，在需要对冷却桶体3进行拆卸维护时，通过第二把手13将冷却桶体3整体沿着滑道拉出，然后通过第一把手9拉动两组上盖压板6，此时可以打开桶体上盖8对冷却桶体3的内部进行维护检查。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.冷却排废循环***，包括底板（14）和冷却桶体（3），其特征在于：所述冷却桶体（3）的底部固定安装有循环冷却盘（16），所述循环冷却盘（16）的内部固定安装有冷却水管（17），所述冷却水管（17）的两端分别开设有冷却水进水端（15）和冷却水出水端（18），所述冷却水进水端（15）和冷却水出水端（18）贯穿于循环冷却盘（16）的表面并延伸至外界，所述冷却桶体（3）的顶部固定安装有桶体上盖（8），所述桶体上盖（8）的表面开设有废液输入口（7），所述冷却桶体（3）的内部设置有风冷组件；
所述底板（14）的顶部一体成型有折边（1），所述折边（1）与底板（14）之间形成滑道，所述循环冷却盘（16）放置于两组滑道之间，且所述冷却桶体（3）的侧壁与折边（1）相互贴合，所述冷却桶体（3）的表面固定安装有第二把手（13）。
2.根据权利要求1所述的冷却排废循环***，其特征在于：所述风冷组件包括风冷主管（4）、第一风冷支管（19）和第二风冷支管（21），所述风冷主管（4）贯穿于冷却桶体（3）的表面，所述风冷主管（4）的表面连通有第一风冷支管（19）和第二风冷支管（21），所述第一风冷支管（19）和第二风冷支管（21）均设置于冷却桶体（3）的内部。
3.根据权利要求1所述的冷却排废循环***，其特征在于：所述冷却桶体（3）的顶部焊接有两组转动座（5），两组所述转动座（5）的内壁均转动连接有上盖压板（6），两组所述上盖压板（6）之间通过螺钉安装有连接板，所述连接板的顶部固定安装有第一把手（9）。
4.根据权利要求1所述的冷却排废循环***，其特征在于：所述冷却水管（17）在循环冷却盘（16）的内部呈蛇形分布。
5.根据权利要求1所述的冷却排废循环***，其特征在于：所述桶体上盖（8）的表面开设有温度监测孔（10）和液位监测孔（11），所述冷却桶体（3）的表面开设有内部循环输出管（2）和内部循环输入管（12）。
6.根据权利要求2所述的冷却排废循环***，其特征在于：所述冷却桶体（3）的表面通过螺钉固定安装有限位板（20），且所述限位板（20）焊接于风冷主管（4）的外壁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202220983416.XU CN217005069U (zh) | 2022-04-27 | 2022-04-27 | 冷却排废循环*** |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202220983416.XU CN217005069U (zh) | 2022-04-27 | 2022-04-27 | 冷却排废循环*** |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN217005069U true CN217005069U (zh) | 2022-07-19 |
Family
ID=82377710
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202220983416.XU Active CN217005069U (zh) | 2022-04-27 | 2022-04-27 | 冷却排废循环*** |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN217005069U (zh) |
-
2022
- 2022-04-27 CN CN202220983416.XU patent/CN217005069U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN217005069U (zh) | 冷却排废循环*** | |
| CN208477437U (zh) | 一种便于散热的计算机主机箱 | |
| CN210714827U (zh) | 一种用于发动机降温的装置 | |
| CN214954902U (zh) | 一种用于计算机的散热设备 | |
| CN214148894U (zh) | 一种工业循环水冷却塔 | |
| CN210608254U (zh) | 一种配电柜降温防尘装置 | |
| CN209781139U (zh) | 一种风力发电机高温冷却设备 | |
| CN218549122U (zh) | 新型配电柜 | |
| CN208548838U (zh) | 一种具有散热结构的光伏逆变器的逆变柜 | |
| CN207187753U (zh) | 具备轴承降温装置的反应釜 | |
| CN220156938U (zh) | 一种散热型视频处理装置 | |
| CN211372891U (zh) | 一种玉米降温装置 | |
| CN109443035A (zh) | 一种环保型冷却塔 | |
| CN212383211U (zh) | 一种温度可控的化工生产蒸馏釜 | |
| CN219511299U (zh) | 一种铝棒熔炼炉用冷却装置 | |
| CN216123335U (zh) | 一种医疗影像设备风冷降温装置 | |
| CN218884713U (zh) | 一种冷却水循环*** | |
| CN213411354U (zh) | 一种磁钢片切割机冷却液降温装置 | |
| CN212413673U (zh) | 一种高性能应用型变频器散热*** | |
| CN216557929U (zh) | 循环冷却器 | |
| CN215492783U (zh) | 一种具有冷凝管防溅功能的cod消解器 | |
| CN211116589U (zh) | 一种高效节能液环真空机组 | |
| CN219932265U (zh) | 一种电力汽轮机运行冷却水循环装置 | |
| CN218723386U (zh) | 一种扩散炉高温废气冷却处理装置 | |
| CN219223385U (zh) | 一种节能型循环水冷却装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CP03 | Change of name, title or address | ||
| CP03 | Change of name, title or address |
Address after: No. 26, Venture Capital Industrial Park, Suzhou Industrial Park, Jiangsu 215101 Patentee after: Xinda semiconductor equipment (Suzhou) Co.,Ltd. Country or region after: Zhong Guo Address before: 215000 unit c2-202, artificial intelligence Industrial Park, No. 88, Jinjihu Avenue, Suzhou Industrial Park, Suzhou area, China (Jiangsu) pilot Free Trade Zone, Suzhou, Jiangsu Patentee before: Xinda semiconductor equipment (Suzhou) Co.,Ltd. Country or region before: Zhong Guo |