CN216785809U - 一种新型废气处理的循环水装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种新型废气处理的循环水装置，包括循环水箱、液位传感器、PH值检测传感器、循环水泵、排水泵以及补水电磁阀，循环水箱内部右侧安装有液位传感器，循环水箱前端面下侧安装有PH值检测传感器，循环水泵前阀右端连接有循环水泵，排水泵前阀右端连接有排水泵，循环水箱补水管上端连接有补水电磁阀，该设计解决了原有废气处理机用循环水装置不具备自动排水和补水功能的问题，本实用新型结构合理，能够实现自动排水和补水功能，大大降低了人工成本。

Description

一种新型废气处理的循环水装置

技术领域

本实用新型是一种新型废气处理的循环水装置，属于半导体废气处理技术领域。

背景技术

目前半导体工艺设备、废气处理机等设备由于工艺需要加高温，所以需要水冷却***，而且废气处理***需要喷淋水对一些有害易溶于水或酸碱性溶液的废气进行吸收处理。由于废气处理的废气在处理过程中会发热，导致溶液的会不断蒸发，从而溶液需要定期进行补液工作。另外废气处理后溶液具有酸碱性，且有一些残留副产物，所以需要定期进行冷却水箱排水、补水的工作。以往废气处理机通过人工操作，耗费人力财力，给冷却水***带来很多不便，一旦忘记更换冷却水箱内的冷却水，会导致整个***供水不可靠的现象，废气得不到有效处理存在很大的安全隐患，给生产带来诸多不便，现在急需一种新型废气处理的循环水装置来解决上述出现的问题。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种新型废气处理的循环水装置，以解决上述背景技术中提出的问题，本实用新型结构合理，能够实现自动排水和补水功能，大大降低了人工成本。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种新型废气处理的循环水装置，包括循环水箱、液位传感器、PH值检测传感器、循环水泵、排水泵以及补水电磁阀，所述循环水箱上端面左侧安装有监视窗，所述循环水箱内部右侧安装有液位传感器，所述循环水箱前端面下侧安装有PH值检测传感器，所述循环水箱右端面下侧焊接有循环水出水管，所述循环水出水管右端连接有循环水泵前阀，所述循环水泵前阀右端连接有循环水泵，所述循环水泵后端连接有循环水泵出水管，所述循环水泵出水管后端连接有循环水泵后阀，所述循环水泵后阀后端连接有循环水管，所述循环水箱右端面下侧安装有水箱排水管，所述水箱排水管右端连接有排水泵前阀，所述排水泵前阀右端连接有排水泵，所述排水泵后端连接有排水泵出水管，所述排水泵出水管后端连接有排水泵后阀，所述排水泵后阀后端连接有排水出水管，所述循环水箱上端面后侧设置有循环水箱补水管，所述循环水箱补水管上端连接有补水电磁阀。

进一步地，所述液位传感器和PH值检测传感器均通过信号线与外界PLC控制器信号连接，外界PLC控制器通过信号线与外界计算机控制器信号连接，所述循环水泵、循环水泵前阀、循环水泵后阀、排水泵前阀、排水泵、排水泵后阀和补水电磁阀均通过导线与外界PLC控制器进行信号连接。

进一步地，所述循环水箱上端面左侧开设有观察通腔，且观察通腔与监视窗相卡装。

进一步地，所述排水出水管与外界废水处理池入口相连通，所述补水电磁阀上端面通过管道与外界净水储存罐出口相连通。

进一步地，所述PH值检测传感器后端面与循环水箱相贯通。

进一步地，所述循环水管与外界废气处理机冷却液入口相连接，所述循环水箱后端面上侧设置有循环水入口管，且循环水入口管与外界废气处理机冷却液出口相连通。

本实用新型的有益效果：本实用新型的一种新型废气处理的循环水装置，因本实用新型添加了循环水箱、液位传感器、PH值检测传感器、循环水泵、排水泵以及补水电磁阀，通过PH值检测传感器对循环水箱内部液体PH值进行实时监测， PH值检测传感器将测量信号反馈至外界PLC控制器，外界PLC控制器发送指令将排水泵、排水泵前阀和排水泵后阀一同打开，及时将循环水箱内的废液排出，当液位传感器检测到循环水箱内部液体高度低于预设值时，外界PLC控制器发送指令将补水电磁阀打开，以此向循环水箱进行自动补水，并且外界PLC控制器会自动控制循环水泵、循环水泵前阀和循环水泵后阀打开，以此把循环水箱内部冷却液体循环输送到外界废气处理机内部进行循环冷却。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型一种新型废气处理的循环水装置的结构示意图；

图2为本实用新型一种新型废气处理的循环水装置的右视图；

图3为本实用新型一种新型废气处理的电路原理图；

图中：1-循环水箱、2-监视窗、3-液位传感器、4-PH值检测传感器、5-循环水出水管、6-循环水泵、7-循环水泵前阀、8-循环水泵出水管、9-循环水泵后阀、10-循环水管、11-水箱排水管、12-排水泵前阀、13-排水泵、14-排水泵出水管、15-排水泵后阀、16-排水出水管、17-循环水箱补水管、18-补水电磁阀。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

请参阅图1-图3，本实用新型提供一种技术方案：一种新型废气处理的循环水装置，包括循环水箱1、液位传感器3、PH值检测传感器4、循环水泵6、排水泵13以及补水电磁阀18，循环水箱1上端面左侧安装有监视窗2，循环水箱1内部右侧安装有液位传感器3，循环水箱1前端面下侧安装有PH值检测传感器4，循环水箱1右端面下侧焊接有循环水出水管5，循环水出水管5右端连接有循环水泵前阀7，循环水泵前阀7右端连接有循环水泵6，循环水泵6后端连接有循环水泵出水管8，循环水泵出水管8后端连接有循环水泵后阀9，循环水泵后阀9后端连接有循环水管10，循环水箱1右端面下侧安装有水箱排水管11，水箱排水管11右端连接有排水泵13前阀12，排水泵13前阀12右端连接有排水泵13，排水泵13后端连接有排水泵出水管14，排水泵出水管14后端连接有排水泵后阀15，排水泵后阀15后端连接有排水出水管16，循环水箱1上端面后侧设置有循环水箱补水管17，循环水箱补水管17上端连接有补水电磁阀18，该设计解决了原有废气处理机用循环水装置不具备自动排水和补水功能的问题。

液位传感器3和PH值检测传感器4均通过信号线与外界PLC控制器信号连接，外界PLC控制器通过信号线与外界计算机控制器信号连接，循环水泵6、循环水泵前阀7、循环水泵后阀9、排水泵13前阀12、排水泵13、排水泵后阀15和补水电磁阀18均通过导线与外界PLC控制器进行信号连接，该设计方便液位传感器3和PH值检测传感器4将测量信号反馈至外界PLC控制器，而后外界PLC控制器再将信号传送给外界计算机控制器，此时外界计算机控制器根据水箱液位高度和PH值的变化，控制排水泵13、排水泵13前阀12和排水泵后阀15的开关进行排水，同时也可以控制补水电磁阀18打开，进行自动补水工作。

循环水箱1上端面左侧开设有观察通腔，且观察通腔与监视窗2相卡装，观察通腔方便使用人员通过监视窗22观察循环水箱1内部水溶液及副产物情况，排水出水管16与外界废水处理池入口相连通，补水电磁阀18上端面通过管道与外界净水储存罐出口相连通，排水出水管16方便将排水泵13排出的废水导流至外界废水处理池中进行处理，而补水电磁阀18方便向循环水箱1进行补水，PH值检测传感器4后端面与循环水箱1相贯通，该设计方便PH值检测传感器4对循环水箱1内部液体PH值进行实时监测。

循环水管10与外界废气处理机冷却液入口相连接，循环水箱1后端面上侧设置有循环水入口管，且循环水入口管与外界废气处理机冷却液出口相连通，该设计方便循环水箱1内部冷却液体循环对外界废气处理机进行冷却。

作为本实用新型的一个实施例：通过PH值检测传感器4对循环水箱1内部液体PH值进行实时监测，当循环水箱1内部液体PH值超出设定值时，PH值检测传感器4将测量信号反馈至外界PLC控制器，而后外界PLC控制器再将信号传送给外界计算机控制器，此时外界计算机控制器再对外界PLC控制器发送指令将排水泵13、排水泵13前阀12和排水泵后阀15一同打开，及时将循环水箱1内的废液排出；当液位传感器3检测到循环水箱1内部液体高度低于预设值时，同样将测量信号反馈至外界PLC控制器，而后外界PLC控制器再将信号传送给外界计算机控制器，此时外界计算机控制器再对外界PLC控制器发送指令将补水电磁阀18打开，以此向循环水箱1进行自动补水，当液位传感器3检测到补水量达到预设值时，外界PLC控制器会发送指令将补水电磁阀18关闭，从而不再进行人工往循环水箱1内进行补水的工作，大大节省了人工成本；并且外界PLC控制器会自动控制循环水泵6、循环水泵前阀7和循环水泵后阀9打开，以此把循环水箱1内部冷却液体循环输送到外界废气处理机内部进行循环冷却。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点，对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (6)

1.一种新型废气处理的循环水装置，包括循环水箱、液位传感器、PH值检测传感器、循环水泵、排水泵以及补水电磁阀，其特征在于：所述循环水箱上端面左侧安装有监视窗，所述循环水箱内部右侧安装有液位传感器，所述循环水箱前端面下侧安装有PH值检测传感器，所述循环水箱右端面下侧焊接有循环水出水管，所述循环水出水管右端连接有循环水泵前阀，所述循环水泵前阀右端连接有循环水泵，所述循环水泵后端连接有循环水泵出水管，所述循环水泵出水管后端连接有循环水泵后阀，所述循环水泵后阀后端连接有循环水管，所述循环水箱右端面下侧安装有水箱排水管，所述水箱排水管右端连接有排水泵前阀，所述排水泵前阀右端连接有排水泵，所述排水泵后端连接有排水泵出水管，所述排水泵出水管后端连接有排水泵后阀，所述排水泵后阀后端连接有排水出水管，所述循环水箱上端面后侧设置有循环水箱补水管，所述循环水箱补水管上端连接有补水电磁阀。

2.根据权利要求1所述的一种新型废气处理的循环水装置，其特征在于：所述液位传感器和PH值检测传感器均通过信号线与外界PLC控制器信号连接，外界PLC控制器通过信号线与外界计算机控制器信号连接，所述循环水泵、循环水泵前阀、循环水泵后阀、排水泵前阀、排水泵、排水泵后阀和补水电磁阀均通过导线与外界PLC控制器进行信号连接。

3.根据权利要求1所述的一种新型废气处理的循环水装置，其特征在于：所述循环水箱上端面左侧开设有观察通腔，且观察通腔与监视窗相卡装。

4.根据权利要求1所述的一种新型废气处理的循环水装置，其特征在于：所述排水出水管与外界废水处理池入口相连通，所述补水电磁阀上端面通过管道与外界净水储存罐出口相连通。

5.根据权利要求1所述的一种新型废气处理的循环水装置，其特征在于：所述PH值检测传感器后端面与循环水箱相贯通。

6.根据权利要求1所述的一种新型废气处理的循环水装置，其特征在于：所述循环水管与外界废气处理机冷却液入口相连接，所述循环水箱后端面上侧设置有循环水入口管，且循环水入口管与外界废气处理机冷却液出口相连通。

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