CN216179890U - 一种带有柔性接触防护的半导体检装夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体加工技术领域，公开了一种带有柔性接触防护的半导体检装夹具，包括：底座，所述底座的上方设置有传送带，所述底座的一侧上端固定有第一电动伸缩杆，所述第一电动伸缩杆的伸缩端焊接有支板，所述支板的上端安装有微型负压泵，所述微型负压泵的抽气端连接有导气管，且导气管贯穿于所述支板远离第一电动伸缩杆的一端内部，所述导气管的另一端连接有吸盘，且吸盘固定在所述支板的一端下方。该带有柔性接触防护的半导体检装夹具设置有橡胶夹球，橡胶夹球为柔性结构，能够根据半导体元件的外形结构进行形变，以贴合半导体元件的外壁，能够稳定夹持住半导体元件，且不会因刚性接触造成半导体元件损伤。

Description

一种带有柔性接触防护的半导体检装夹具

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体为一种带有柔性接触防护的半导体检装夹具。

背景技术

半导体在集成电路、消费电子、通信***、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。半导体的制造、加工、包装等产业极大的支撑了国内外半导体市场的繁荣，在半导体生产过程中需要对半导体进行检查登记，有时就需要一种夹具对半导体元件进行夹持，便于操作。

市场上的半导体检装夹具在使用中通常通过夹具或推板对半导体元件进行夹持，接触点容易因夹持力度和夹持角度的变化产生刮擦或损伤，导致残次品的产生甚至造成良品率下降，为此，我们提出一种带有柔性接触防护的半导体检装夹具。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种带有柔性接触防护的半导体检装夹具，以解决上述背景技术中提出的市场上的半导体检装夹具在使用中通常通过夹具或推板对半导体元件进行夹持，接触点容易因夹持力度和夹持角度的变化产生刮擦或损伤，导致残次品的产生甚至造成良品率下降的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种带有柔性接触防护的半导体检装夹具，包括：

底座，所述底座的上方设置有传送带，所述底座的一侧上端固定有第一电动伸缩杆，所述第一电动伸缩杆的伸缩端焊接有支板，所述支板的上端安装有微型负压泵，所述微型负压泵的抽气端连接有导气管，且导气管贯穿于所述支板远离第一电动伸缩杆的一端内部，所述导气管的另一端连接有吸盘，且吸盘固定在所述支板的一端下方；

支架，其固定在所述第一电动伸缩杆的两侧，所述支架的内侧外壁固定有第二电动伸缩杆，所述第二电动伸缩杆的伸缩端固定有橡胶夹球。

优选的，所述吸盘通过支板与第一电动伸缩杆之间构成伸缩结构，且吸盘通过导气管与微型负压泵之间构成连通结构。

优选的，所述橡胶夹球与第二电动伸缩杆之间构成伸缩结构，且支架关于支板的中轴线位置对称设置。

优选的，所述底座还设有：

基座，其固定在所述底座上端远离第一电动伸缩杆的一侧，所述基座的上端焊接有弧形板，所述弧形板的上端开设有滑槽，所述滑槽的内部安置有视频传感器。

优选的，所述视频传感器与滑槽之间构成嵌合结构，且滑槽的结构为弧形结构，并且滑槽与弧形板的外形结构相吻合。

优选的，所述弧形板还设有：

微型电机，其嵌装在所述弧形板的顶端外壁，所述微型电机的输出端连接有吊绳，且吊绳的另一端连接在所述视频传感器的外壁。

优选的，所述吊绳与微型电机之间构成伸缩结构，且视频传感器通过吊绳和微型电机与滑槽之间构成滑动结构。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该带有柔性接触防护的半导体检装夹具设置有橡胶夹球，橡胶夹球为柔性结构，能够根据半导体元件的外形结构进行形变，以贴合半导体元件的外壁，能够稳定夹持住半导体元件，且不会因刚性接触造成半导体元件损伤。

设置的吸盘用于将半导体元件从传送带上端吸起，通过负压吸附，使半导体元件能够无伤被拾起，便于多角度检查，提高检查的精度。

设置的微型电机能够通过吊绳带动视频传感器在滑槽中滑动，对半导体元件进行多角度拍摄检查，并通过拍摄的视频和图片信息对元件进行登记，以便后期进行再处理。

附图说明

图1为本实用新型主视立体结构示意图；

图2为本实用新型支板处放大立体结构示意图；

图3为本实用新型支架处放大立体结构示意图；

图4为本实用新型弧形板部分剖视立体结构示意图。

图中：1、底座；2、传送带；3、第一电动伸缩杆；4、支板；5、微型负压泵；6、导气管；7、吸盘；8、支架；9、第二电动伸缩杆；10、橡胶夹球；11、基座；12、弧形板；13、滑槽；14、微型电机；15、视频传感器；16、吊绳。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-图2，本实用新型提供一种技术方案：一种带有柔性接触防护的半导体检装夹具，包括：底座1，底座1的上方设置有传送带2，底座1的一侧上端固定有第一电动伸缩杆3，第一电动伸缩杆3用于使吸盘7等装置升降以贴合传送带2上的半导体元件；第一电动伸缩杆3的伸缩端焊接有支板4，支板4的上端安装有微型负压泵5，微型负压泵5的抽气端连接有导气管6，且导气管6贯穿于支板4远离第一电动伸缩杆3的一端内部，导气管6的另一端连接有吸盘7，且吸盘7通过导气管6与微型负压泵5之间构成连通结构；吸盘7通过支板4与第一电动伸缩杆3之间构成伸缩结构，且吸盘7固定在支板4的一端下方；设置的吸盘7用于将半导体元件从传送带2上端吸起，通过负压吸附，使半导体元件能够无伤被拾起，便于多角度检查，提高检查的精度。

请参阅图3，一种带有柔性接触防护的半导体检装夹具，包括：支架8，其固定在第一电动伸缩杆3的两侧，且支架8关于支板4的中轴线位置对称设置，支架8用于使第二电动伸缩杆9能够稳定的通过橡胶夹球10对半导体元件进行夹持固定，防止装置晃动不稳定；支架8的内侧外壁固定有第二电动伸缩杆9，第二电动伸缩杆9的伸缩端固定有橡胶夹球10，橡胶夹球10与第二电动伸缩杆9之间构成伸缩结构；设置的橡胶夹球10为柔性结构，能够根据半导体元件的外形结构进行形变，以贴合半导体元件的外壁，能够稳定夹持住半导体元件，且不会因刚性接触造成半导体元件损伤。

请参阅图4，一种带有柔性接触防护的半导体检装夹具，包括：基座11，其固定在底座1上端远离第一电动伸缩杆3的一侧，基座11的上端焊接有弧形板12，弧形板12的上端开设有滑槽13，且滑槽13的结构为弧形结构，并且滑槽13与弧形板12的外形结构相吻合；设置的滑槽13的内部安置有视频传感器15，视频传感器15与滑槽13之间构成嵌合结构，视频传感器15用于通过拍摄对半导体元件的外观和整体结构进行检查，便于剔除外表存在瑕疵和损伤的半导体元件；微型电机14，其嵌装在弧形板12的顶端外壁，微型电机14的输出端连接有吊绳16，且吊绳16的另一端连接在视频传感器15的外壁，吊绳16与微型电机14之间构成伸缩结构，且视频传感器15通过吊绳16和微型电机14与滑槽13之间构成滑动结构；设置的微型电机14能够通过吊绳16带动视频传感器15在滑槽13中滑动，对半导体元件进行多角度拍摄检查，并通过拍摄的视频和图片信息对元件进行登记，以便后期进行再处理。

工作原理：对于这类的带有柔性接触防护的半导体检装夹具，首先半导体元件在传送带2上放置，被传送带2带动进行传送，半导体元件在传送带2上放置的位置和间距一定，当半导体元件运动至底座1处时，第一电动伸缩杆3周期性伸降，第一电动伸缩杆3先行下降，使伸缩端带动支板4下落，且此时微型负压泵5工作，通过导气管6抽走吸盘7中的空气，使与半导体元件贴紧的吸盘7将半导体元件吸起，随后两侧支架8内侧的第二电动伸缩杆9的伸缩端伸出，使材质柔软的橡胶夹球10对半导体元件的两端进行夹持，且此时微型负压泵5停止工作，吸盘7从半导体元件上脱落，转为橡胶夹球10对半导体元件进行夹持，最后底座1另一侧基座11上的弧形板12内通过滑槽13嵌装有视频传感器15(型号：基恩士-IV2)，能够对夹持住的半导体元件进行拍照检查，且弧形板12上端嵌装有微型电机14，微型电机14通过输出端连接的吊绳16，能够对位于滑槽13中的视频传感器15进行拖拽，使视频传感器15在滑槽13中滑动，通过弧形板12对半导体元件进行多角度拍摄，检查角度更完整，拍摄检查完毕后，第一电动伸缩杆3的伸缩端落下，且微型负压泵5继续工作，吸盘7在接触到半导体元件时对半导体元件进行吸附，且半导体元件两侧的第二电动伸缩杆9收回，当第一电动伸缩杆3回缩至初始位置后，吸盘7通过吸附将半导体元件回放至传送带2上端，完成半导体元件的检查。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种带有柔性接触防护的半导体检装夹具，其特征在于，包括：

底座(1)，所述底座(1)的上方设置有传送带(2)，所述底座(1)的一侧上端固定有第一电动伸缩杆(3)，所述第一电动伸缩杆(3)的伸缩端焊接有支板(4)，所述支板(4)的上端安装有微型负压泵(5)，所述微型负压泵(5)的抽气端连接有导气管(6)，且导气管(6)贯穿于所述支板(4)远离第一电动伸缩杆(3)的一端内部，所述导气管(6)的另一端连接有吸盘(7)，且吸盘(7)固定在所述支板(4)的一端下方；

支架(8)，其固定在所述第一电动伸缩杆(3)的两侧，所述支架(8)的内侧外壁固定有第二电动伸缩杆(9)，所述第二电动伸缩杆(9)的伸缩端固定有橡胶夹球(10)。

2.根据权利要求1所述的一种带有柔性接触防护的半导体检装夹具，其特征在于：所述吸盘(7)通过支板(4)与第一电动伸缩杆(3)之间构成伸缩结构，且吸盘(7)通过导气管(6)与微型负压泵(5)之间构成连通结构。

3.根据权利要求1所述的一种带有柔性接触防护的半导体检装夹具，其特征在于：所述橡胶夹球(10)与第二电动伸缩杆(9)之间构成伸缩结构，且支架(8)关于支板(4)的中轴线位置对称设置。

4.根据权利要求1所述的一种带有柔性接触防护的半导体检装夹具，其特征在于：所述底座(1)还设有：

基座(11)，其固定在所述底座(1)上端远离第一电动伸缩杆(3)的一侧，所述基座(11)的上端焊接有弧形板(12)，所述弧形板(12)的上端开设有滑槽(13)，所述滑槽(13)的内部安置有视频传感器(15)。

5.根据权利要求4所述的一种带有柔性接触防护的半导体检装夹具，其特征在于：所述视频传感器(15)与滑槽(13)之间构成嵌合结构，且滑槽(13)的结构为弧形结构，并且滑槽(13)与弧形板(12)的外形结构相吻合。

6.根据权利要求5所述的一种带有柔性接触防护的半导体检装夹具，其特征在于：所述弧形板(12)还设有：

微型电机(14)，其嵌装在所述弧形板(12)的顶端外壁，所述微型电机(14)的输出端连接有吊绳(16)，且吊绳(16)的另一端连接在所述视频传感器(15)的外壁。

7.根据权利要求6所述的一种带有柔性接触防护的半导体检装夹具，其特征在于：所述吊绳(16)与微型电机(14)之间构成伸缩结构，且视频传感器(15)通过吊绳(16)和微型电机(14)与滑槽(13)之间构成滑动结构。

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