CN216138858U - 一种超精密气浮移动旋转平台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种超精密气浮移动旋转平台，包括花岗岩底座，所述花岗岩底座的一侧设有两个第一支撑块，两个所述第一支撑块之间固定有第一滑行块，所述第一滑行块上套有第一气浮轴承，所述花岗岩底座的另一侧设有两个第二支撑块，两个所述第二支撑块之间固定有第二滑行块，所述第二滑行块上套有第二气浮轴承；本实用新型结构简单，设计新颖，特设的气浮轴承与滑行块之间采用闭式套接结构，通过在气浮轴承中间设置通孔，并将滑行块穿过通孔，使气浮轴承套于滑行块上，采用这样的结构，能够增加滑行时的稳定性。

Description

一种超精密气浮移动旋转平台

技术领域

本实用新型涉及气浮运动平台术领域，具体为一种超精密气浮移动旋转平台。

背景技术

气浮运动平台是精密机械中的关键部件之一，它为微光刻技术、数控加工、生物技术、IC封装设备、纳米表面形貌测量等领域提供一个能够实现精密定位和精确运动的载物平台；应用较多的要数在先进的电子制造设备，比如光刻机贴片机等，高性能的运动平台是其工作的主要机构；现有技术中，用于移动的气浮轴承都是卡接在滑块中，但是这样的结构连接，在移动过程中不够稳定；还有就是用于固定工件的工作台，只能做前后左右的移动，无法带动工件进行旋转。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种超精密气浮移动旋转平台，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种超精密气浮移动旋转平台，包括花岗岩底座，所述花岗岩底座的一侧设有两个第一支撑块，两个所述第一支撑块之间固定有第一滑行块，所述第一滑行块上套有第一气浮轴承，所述花岗岩底座的另一侧设有两个第二支撑块，两个所述第二支撑块之间固定有第二滑行块，所述第二滑行块上套有第二气浮轴承；

所述第一气浮轴承与第二气浮轴承结构一致，包括通孔，所述通孔的每侧内壁上均设有两个气槽，每个所述气槽的两侧均设有气孔；

所述第一滑行块旁的花岗岩底座上设有第一拖链，所述第一拖链连接着第一直线电机，所述第一直线电机安装在第一安装板上，所述第一安装板固定在第一气浮轴承的一侧，所述第一气浮轴承的另一侧设有第一连接板，所述第一连接板下端设有第一固定板；

所述第二滑行块旁的花岗岩底座上设有第二拖链，所述第二拖链连接着第二直线电机，所述第二直线电机安装在第二安装板上，所述第二安装板固定在第二气浮轴承的一侧，所述第二气浮轴承的另一侧设有第二连接板，所述第二连接板下端设有第二固定板；

所述第一固定板与第二固定之间固定有第三滑行块和第四滑行块，所述第三滑行块上套有第三气浮轴承，所述第四滑行块上套有第四气浮轴承，所述第三气浮轴承和第四气浮轴承之间固定有工作台安装板，所述工作台安装板上设有工作台；

所述工作台包括工作台底座和工作台面，所述工作台底座内设有旋转电机，所述旋转电机连接着工作台面，所述旋转电机两侧设有辅助轴承，一侧所述旋转电机的辅助轴承下端设有走气孔，所述走气孔与工作台底座外壁相通，所述工作台面与旋转电机交接处设有光栅，所述工作台面上端设有多个安装孔。

优选的，所述第三滑行块一侧的花岗岩底座上设有第三拖链，所述第三拖链连接着第三直线电机，所述第三直线电机安装在第三安装板上，所述第三安装板固定在第三气浮轴承的一侧。

优选的，所述第三气浮轴承和第四气浮轴承与所述第一气浮轴承和第二气浮轴承结构一致。

优选的，所述第一连接板与第一固定板之间设有多个第一加强筋，所述第二连接板与第二固定板之间设有多个第二加强筋。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单，设计新颖，特设的气浮轴承与滑行块之间采用闭式套接结构，通过在气浮轴承中间设置通孔，并将滑行块穿过通孔，使气浮轴承套于滑行块上，采用这样的结构，能够增加滑行时的稳定性；而且本实用新型的气浮轴承的通孔内壁上还设有气槽和气孔，能够减少气浮轴承与滑行块之间的摩擦，增加移动时的顺滑度；本实用新型的工作台能够进行360度的旋转，在保证工件前后左右移动的同时，还能够对其进行多角度多方位的调节。

附图说明

图1为本实用新型整体结构俯视示意图；

图2为本实用新型整体结构侧视示意图；

图3为本实用新型气浮轴承结构示意图；

图4为本实用新型气浮轴承剖面结构示意图；

图5为本实用新型工作台剖面结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：一种超精密气浮移动旋转平台，包括花岗岩底座1，所述花岗岩底座1的一侧设有两个第一支撑块11，两个所述第一支撑块11之间固定有第一滑行块111，所述第一滑行块111上套有第一气浮轴承2，第一气浮轴承可在第一滑行块上进行前后滑行，所述花岗岩底座1的另一侧设有两个第二支撑块12，两个所述第二支撑块12之间固定有第二滑行块121，所述第二滑行块121上套有第二气浮轴承3，第二气浮轴承可在第二滑行块上进行前后滑行；

所述第一气浮轴承2与第二气浮轴承3结构一致，包括通孔21，所述通孔21的每侧内壁上均设有两个气槽211，每个所述气槽211的两侧均设有气孔212，上述实施例中，气浮轴承与滑行块之间采用的是闭式套接结构，就是通过在气浮轴承中间设置通孔，并将滑行块穿过通孔，使气浮轴承套于滑行块上，采用这样的结构，能够增加滑行时的稳定性；而且气浮轴承的通孔内壁上还设有气槽和气孔，能够减少气浮轴承与滑行块之间的摩擦，增加移动时的顺滑度；

所述第一滑行块111旁的花岗岩底座1上设有第一拖链13，所述第一拖链13连接着第一直线电机22，通过启动第一直线电机即可使第一拖链进行运行，所述第一直线电机22安装在第一安装板23上，所述第一安装板23固定在第一气浮轴承2的一侧，当第一拖链进行运行时，第一直线电机随之一起移动，从而带动第一安装板一起向前或者向后移动，从而实现第一气浮轴承的移动；所述第一气浮轴承2的另一侧设有第一连接板24，所述第一连接板24下端设有第一固定板25，当第一气浮轴承移动时，会带动第一气浮轴承另一侧的第一固定板进行向前或者向后移动；

所述第二滑行块121旁的花岗岩底座1上设有第二拖链14，所述第二拖链14连接着第二直线电机31，通过启动第二直线电机即可使第二拖链进行运行，所述第二直线电机31安装在第二安装板32上，所述第二安装板32固定在第二气浮轴承3的一侧，当第二拖链进行运行时，第二直线电机随之一起移动，从而带动第二安装板一起向前或者向后移动，从而实现第二气浮轴承的移动；所述第二气浮轴承3的另一侧设有第二连接板33，所述第二连接板33下端设有第二固定板34，当第二气浮轴承移动时，会带动第二气浮轴承另一侧的第二固定板进行向前或者向后移动；

所述第一固定板25与第二固定板34之间固定有第三滑行块4和第四滑行块5，当驱动第一气浮轴承和第二气浮轴承一起进行向前或者向后移动时，第一固定板与第二固定板之间的第三滑行块和第四滑行块，也会随之一起进行向前或者向后移动；所述第三滑行块4上套有第三气浮轴承41，第三气浮轴承可在第三滑行块上进行左右滑行，所述第四滑行块5上套有第四气浮轴承51，第四气浮轴承可在第四滑行块上进行左右滑行，所述第三气浮轴承41和第四气浮轴承51之间固定有工作台安装板52，当第三气浮轴承在第三直线电机驱动下进行左右滑行时，其通过工作台安装板的连接，可使工作台安装板另一侧的第四气浮轴承在第四滑行块上一起进行左右滑行，所述工作台安装板52上设有工作台6，从而实现工作台的左右移动；

所述工作台6包括工作台底座61和工作台面62，所述工作台底座61内设有旋转电机63，所述旋转电机63连接着工作台面62，通过旋转电机可以带动工作台面进行旋转，所述旋转电机63两侧设有辅助轴承631，辅助轴承用于辅助旋转电机的旋转，以提高旋转时的稳定性，一侧所述旋转电机63的辅助轴承631下端设有走气孔632，所述走气孔632与工作台底座61外壁相通，通过设计该走气孔，气体进入后，能有效减少辅助轴承与旋转电机之间的摩擦，增加旋转时的顺滑度，所述工作台面62与旋转电机63交接处设有光栅64，光栅用于工件的定位，所述工作台面62上端设有多个安装孔621，安装孔用于固定工件。

本实用新型中，所述第三滑行块4一侧的花岗岩底座1上设有第三拖链15，所述第三拖链15连接着第三直线电机43，通过启动第三直线电机即使第三拖链进行运行，所述第三直线电机43安装在第三安装板42上，所述第三安装板42固定在第三气浮轴承41的一侧，当第三拖链进行运行时，第三直线电机随之一起移动，从而带动第三安装板一起向左或者向右移动，从而实现第三气浮轴承的移动。

本实用新型中，所述第三气浮轴承41和第四气浮轴承51与所述第一气浮轴承2和第二气浮轴承3结构一致，特设的气浮轴承的通孔内壁上还设有气槽和气孔，能够减少气浮轴承与滑行块之间的摩擦，增加移动时的顺滑度。

本实用新型中，所述第一连接板24与第一固定板25之间设有多个第一加强筋241，通过第一加强筋来提高第一连接板与第一固定板之间连接的稳定性，所述第二连接板33与第二固定板34之间设有多个第二加强筋331，通过第二加强筋来提高第二连接板与第二固定板之间连接的稳定性，从而提高第一固定板和第二固定板之间的第三滑行块和第四滑行块连接固定的稳定性。

工作原理：首先将需要进行加工的工件安装在工作台面上，然后启动第一直线电机和第二直线电机，带动第一气浮轴承和第二气浮轴承进行前后移动，调整好前后位置后，再启动第三直线电机，带动第三气浮轴承进行左右移动，由于第三气浮轴承与第四气浮轴承之间通过工作台安装板进行连接，因为当第三气浮轴承进行移动时，也会带动第四气浮轴承和工作台安装板一起移动，从而实现工作台的左右移动，调整好左右位置之后，再启动旋转电机，通过旋转电机可带动工作台面进行旋转，调整工件所需的角度方位。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (4)

1.一种超精密气浮移动旋转平台，包括花岗岩底座（1），其特征在于：所述花岗岩底座（1）的一侧设有两个第一支撑块（11），两个所述第一支撑块（11）之间固定有第一滑行块（111），所述第一滑行块（111）上套有第一气浮轴承（2），所述花岗岩底座（1）的另一侧设有两个第二支撑块（12），两个所述第二支撑块（12）之间固定有第二滑行块（121），所述第二滑行块（121）上套有第二气浮轴承（3）；

所述第一气浮轴承（2）与第二气浮轴承（3）结构一致，包括通孔（21），所述通孔（21）的每侧内壁上均设有两个气槽（211），每个所述气槽（211）的两侧均设有气孔（212）；

所述第一滑行块（111）旁的花岗岩底座（1）上设有第一拖链（13），所述第一拖链（13）连接着第一直线电机（22），所述第一直线电机（22）安装在第一安装板（23）上，所述第一安装板（23）固定在第一气浮轴承（2）的一侧，所述第一气浮轴承（2）的另一侧设有第一连接板（24），所述第一连接板（24）下端设有第一固定板（25）；

所述第二滑行块（121）旁的花岗岩底座（1）上设有第二拖链（14），所述第二拖链（14）连接着第二直线电机（31），所述第二直线电机（31）安装在第二安装板（32）上，所述第二安装板（32）固定在第二气浮轴承（3）的一侧，所述第二气浮轴承（3）的另一侧设有第二连接板（33），所述第二连接板（33）下端设有第二固定板（34）；

所述第一固定板（25）与第二固定板（34）之间固定有第三滑行块（4）和第四滑行块（5），所述第三滑行块（4）上套有第三气浮轴承（41），所述第四滑行块（5）上套有第四气浮轴承（51），所述第三气浮轴承（41）和第四气浮轴承（51）之间固定有工作台安装板（52），所述工作台安装板（52）上设有工作台（6）；

所述工作台（6）包括工作台底座（61）和工作台面（62），所述工作台底座（61）内设有旋转电机（63），所述旋转电机（63）连接着工作台面（62），所述旋转电机（63）两侧设有辅助轴承（631），一侧所述旋转电机（63）的辅助轴承（631）下端设有走气孔（632），所述走气孔（632）与工作台底座（61）外壁相通，所述工作台面（62）与旋转电机（63）交接处设有光栅（64），所述工作台面（62）上端设有多个安装孔（621）。

2.根据权利要求1所述的一种超精密气浮移动旋转平台，其特征在于：所述第三滑行块（4）一侧的花岗岩底座（1）上设有第三拖链（15），所述第三拖链（15）连接着第三直线电机（43），所述第三直线电机（43）安装在第三安装板（42）上，所述第三安装板（42）固定在第三气浮轴承（41）的一侧。

3.根据权利要求1所述的一种超精密气浮移动旋转平台，其特征在于：所述第三气浮轴承（41）和第四气浮轴承（51）与所述第一气浮轴承（2）和第二气浮轴承（3）结构一致。

4.根据权利要求1所述的一种超精密气浮移动旋转平台，其特征在于：所述第一连接板（24）与第一固定板（25）之间设有多个第一加强筋（241），所述第二连接板（33）与第二固定板（34）之间设有多个第二加强筋（331）。

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