CN216132425U - 旋转靶材绑定间隙探测设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种旋转靶材绑定间隙探测设备，通过靶材旋转夹持机构对旋转靶材夹持好，探头对着旋转靶材，通过行走电机带动行走齿轮转动，从而行走齿轮在两端固定的链条内横向移动，从而带动行走平台通过滚轮在底台上横向行走，行走的同时探头对靶材进行检测间隙，可以很好的移动探测靶材的间隙。

Description

旋转靶材绑定间隙探测设备

技术领域

本实用新型涉及旋转靶材领域，尤其涉及一种旋转靶材绑定间隙探测设备。

背景技术

随着太阳能、电子芯片、面版行业的不断发展，目前对靶材的质量要求越来越高，同时随着行业的发展，单节旋转靶材的绑定长度已达1米，为了防止客户镀膜出现打火、拉弧、中毒等异常，原有间隙清理使用放大镜及强光手电筒检查，容易导致人为误判及漏检。现有技术专利 CN110468380A 公开了一种靶材溅射装置，通过外加补偿磁铁解决永磁铁产生的磁场的两端和中间不均匀的问题，并且能通过处理模块以及摄像模块实时检测并判断磁场的均匀性，并实时的调节补偿磁场的大小以及夹角，从而确保整个磁场的均匀，从而提高薄膜均匀性以及靶材利用率。现有技术专利CN107883841A 公开了一种矩形靶材间隙检测方法，通过检测矩形靶材和检测块之间的间隙，就能够推算出矩形靶材和防着板之间的间隙，提前发现不良产品，确保安装至溅镀设备上的矩形靶材与防着板之间的间隙在正常范围内。以上两个专利一个是通过摄像头进行检测磁场，一个是通过检测块进行检测间隙，缺少对圆柱体形的旋转靶材的间隙检测装置，旋转靶材长度长，需要对其进行旋转夹持之后，再进行移动探测，缺少移动探测的结构，因此解决这一问题就显得十分必要了。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型提供一种旋转靶材绑定间隙探测设备，通过靶材旋转夹持机构对旋转靶材夹持好，探头对着旋转靶材，通过行走电机带动行走齿轮转动，从而行走齿轮在两端固定的链条内横向移动，从而带动行走平台通过滚轮在底台上横向行走，行走的同时探头对靶材进行检测间隙，可以很好的移动探测靶材的间隙，解决了背景技术中出现的问题。

本实用新型的目的是提供一种旋转靶材绑定间隙探测设备，包括有底台，底台左右两端设置有靶材旋转夹持机构；底台上设置有行走平台，行走平台上设置有探头；

所述行走平台底部有滚轮位于底台上左右移动；底台前侧边有左右两个固定柱，左右两个固定柱固定设置有环形链条，左右两个固定柱位于环形链条内两端；行走平台前侧底部设置有行走电机，行走电机后侧连接有行走齿轮，行走齿轮位于链条内且与其匹配；

行走平台上设置有竖杆，竖杆侧面通过侧臂设置有探头，探头向下对着靶材旋转夹持机构中间处。

进一步改进在于：所述底台后侧壁凹陷有滑槽，行走平台后侧往下设置有后壁，后壁前侧设置有导轮，导轮位于滑槽内进行滚动。

进一步改进在于：所述竖杆上套有上下两个轴套，轴套可转动可上下移动；侧臂设置在下方的轴套侧面；上方的轴套侧面设置有显示屏，探头与显示屏电气连接。

进一步改进在于：所述行走平台上设置有前后直线轨，前后直线轨上设置有前后移动台，竖杆设置在前后移动台上，前后移动台后侧连接有前后移动电机；前后直线轨前侧设置有限位柱。

进一步改进在于：所述靶材旋转夹持机构包括有左夹持机构和右夹持机构。

进一步改进在于：所述左夹持机构包括有设置在底台上左端的左边板，左边板顶部设置有夹持气缸，夹持气缸右侧连接有轴承块，轴承块右侧活动连接有转动的左夹持块；右夹持机构包括有设置在底台上右端的右边板，右边板左侧顶端设置有伺服电机，伺服电机左侧活动连接有转动的右夹持块；左夹持块和右夹持块左右相对设置对旋转靶材进行夹持。

本实用新型的有益效果：本实用新型通过左夹持块和右夹持块对旋转靶材夹持好，夹持气缸进行夹紧，伺服电机带动旋转靶材进行转动探测，覆盖面广；通过调整下方轴套高度，调整探头对着旋转靶材的间隔高度，再通过前后移动电机带动前后移动台前后移动，使得探头处于靶材中心位置处，这样探测效果更好，使用方便；通过行走电机带动行走齿轮转动，从而行走齿轮在两端固定的链条内横向移动，从而带动行走平台通过滚轮在底台上横向行走，行走平台后侧的导轮位于滑槽内滚动滑行，这样行走平台可以稳定的横向行走，更加有利于探测间隙；这样行走的同时探头对靶材进行检测间隙，可以很好的移动探测靶材的间隙，靶材可转动，探测范围广。

附图说明

图1是本实用新型的主视图。

图2是本实用新型行走平台部分的左视图。

图3是本实用新型底台的后视图。

其中：1-底台，2-行走平台，3-探头，4-滚轮，5-固定柱，6-链条，7-行走电机，8-行走齿轮，9-竖杆，10-侧臂，11-滑槽，12-后壁，13-导轮，14-轴套，15-显示屏，16-前后直线轨，17-前后移动台，18-前后移动电机，19-限位柱，20-左边板，21-夹持气缸，22-轴承块，23-左夹持块，24-右边板，25-伺服电机，26-右夹持块。

具体实施方式

为了加深对本实用新型的理解，下面将结合实施例对本实用新型作进一步详述，该实施例仅用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型保护范围的限定。

如图1-3所示，本实施例提供一种旋转靶材绑定间隙探测设备，包括有底台1，底台1左右两端设置有靶材旋转夹持机构；靶材旋转夹持机构包括有左夹持机构和右夹持机构，左夹持机构包括有设置在底台1上左端的左边板20，左边板20顶部设置有夹持气缸21，夹持气缸21右侧连接有轴承块22，轴承块22右侧活动连接有转动的左夹持块23；右夹持机构包括有设置在底台1上右端的右边板24，右边板24左侧顶端设置有伺服电机25，伺服电机25左侧活动连接有转动的右夹持块26；左夹持块23和右夹持块26左右相对设置对旋转靶材进行夹持。这样通过左夹持块23和右夹持块26对旋转靶材夹持好，夹持气缸21进行夹紧，伺服电机25带动旋转靶材进行转动探测，覆盖面广。

底台1上设置有行走平台2，行走平台2底部有滚轮4位于底台1上左右移动；底台1前侧边有左右两个固定柱5，左右两个固定柱5固定设置有环形链条6，左右两个固定柱5位于环形链条6内两端；行走平台2前侧底部设置有行走电机7，行走电机7后侧连接有行走齿轮8，行走齿轮7位于链条6内且与其匹配；所述底台1后侧壁凹陷有滑槽11，行走平台2后侧往下设置有后壁12，后壁12前侧设置有导轮13，导轮13位于滑槽11内进行滚动。这样通过行走电机7带动行走齿轮8转动，从而行走齿轮8在两端固定的链条6内横向移动，从而带动行走平台2通过滚轮4在底台1上横向行走，行走平台2后侧的导轮13位于滑槽11内滚动滑行，这样行走平台2可以稳定的横向行走，更加有利于探测间隙。

行走平台2上设置有竖杆9，所述竖杆9上套有上下两个轴套14，轴套14可转动可上下移动，下方的轴套14侧面侧面通过侧臂10设置有探头3，探头3向下对着靶材旋转夹持机构中间处；上方的轴套14侧面设置有显示屏15，探头3与显示屏15电气连接。所述行走平台2上设置有前后直线轨16，前后直线轨16上设置有前后移动台17，竖杆9设置在前后移动台17上，前后移动台17后侧连接有前后移动电机18；前后直线轨16前侧设置有限位柱19。这样通过调整下方轴套14高度，调整探头3对着旋转靶材的间隔高度，再通过前后移动电机18带动前后移动台17前后移动，使得探头3处于靶材中心位置处，这样探测效果更好，使用方便。

实际使用时：首先夹持气缸21回缩，将旋转靶材两端分别放在左夹持块23和右夹持块26内，启动夹持气缸21使得左夹持块23右移对旋转靶材进行夹紧；之后启动前后移动电机18对前后移动台17在前后直线就16上前后移动，调整好探头3的位置，之后人工调整下方的轴套14的高度和角度，使得探头3位于靶材中心位置处与且靶材间距1-15mm，之后设定伺服电机25以1r/min的转速带动靶材进行转动，启动行走电机7带动行走平台2左右移动，从而带动探头3左右移动着对旋转着的靶材进行检查间隙，检查的间隙结果通过显示屏15反馈。

Claims (6)

1.一种旋转靶材绑定间隙探测设备，包括有底台（1），底台（1）左右两端设置有靶材旋转夹持机构；底台（1）上设置有行走平台（2），行走平台（2）上设置有探头（3）；

其特征在于：所述行走平台（2）底部有滚轮（4）位于底台（1）上左右移动；底台（1）前侧边有左右两个固定柱（5），左右两个固定柱（5）固定设置有环形链条（6），左右两个固定柱（5）位于环形链条（6）内两端；行走平台（2）前侧底部设置有行走电机（7），行走电机（7）后侧连接有行走齿轮（8），行走齿轮（8）位于链条（6）内且与其匹配；

行走平台（2）上设置有竖杆（9），竖杆（9）侧面通过侧臂（10）设置有探头（3），探头（3）向下对着靶材旋转夹持机构中间处。

2.如权利要求1所述旋转靶材绑定间隙探测设备，其特征在于：所述底台（1）后侧壁凹陷有滑槽（11），行走平台（2）后侧往下设置有后壁（12），后壁（12）前侧设置有导轮（13），导轮（13）位于滑槽（11）内进行滚动。

3.如权利要求1所述旋转靶材绑定间隙探测设备，其特征在于：所述竖杆（9）上套有上下两个轴套（14），轴套（14）可转动可上下移动；侧臂（10）设置在下方的轴套（14）侧面；上方的轴套（14）侧面设置有显示屏（15），探头（3）与显示屏（15）电气连接。

4.如权利要求3所述旋转靶材绑定间隙探测设备，其特征在于：所述行走平台（2）上设置有前后直线轨（16），前后直线轨（16）上设置有前后移动台（17），竖杆（9）设置在前后移动台（17）上，前后移动台（17）后侧连接有前后移动电机（18）；前后直线轨（16）前侧设置有限位柱（19）。

5.如权利要求1所述旋转靶材绑定间隙探测设备，其特征在于：所述靶材旋转夹持机构包括有左夹持机构和右夹持机构。

6.如权利要求5所述旋转靶材绑定间隙探测设备，其特征在于：所述左夹持机构包括有设置在底台（1）上左端的左边板（20），左边板（20）顶部设置有夹持气缸（21），夹持气缸（21）右侧连接有轴承块（22），轴承块（22）右侧活动连接有转动的左夹持块（23）；右夹持机构包括有设置在底台（1）上右端的右边板（24），右边板（24）左侧顶端设置有伺服电机（25），伺服电机（25）左侧活动连接有转动的右夹持块（26）；左夹持块（23）和右夹持块（26）左右相对设置对旋转靶材进行夹持。

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