CN215356747U - 一种激光切割设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于激光加工技术领域，涉及一种激光切割设备，包括机架以及安装在机架上的传输机构、清洗装置、涂胶装置和上下料组件，还包括安装在机架上的座体及安装在座体上的运动平台、激光加工组件和料盒升降机构。该激光切割设备通过使清洗装置具有涂胶和清洗双重功能，并通过传输机构、运动平台、上下料组件等零部件之间的协调配合，确保可以将涂胶时间较长的物料放在清洗装置中涂胶和清洗，将涂胶时间较短的物料放在涂胶装置中涂胶，在清洗装置中清洗，以此节省中间等待时间，让各物料的加工工序的衔接更加紧密，以在同时对多个物料进行加工时，可有效地提高该激光切割机清洗腔的利用率，以在保证切割质量的同时，提高激光切割机的产能。

Description

一种激光切割设备

技术领域

本实用新型涉及激光加工技术领域，尤其涉及一种激光切割设备。

背景技术

在高速电子元器件制备时，已逐渐采用低介电常数膜及铜质材料作为晶圆材料，但是这些晶圆难以使用普通的金刚石刀片进行切割加工。通常采用冷加工的激光开槽技术进行切割，具体地，将短脉冲激光聚焦到晶圆表面后进行照射，激光脉冲被低介质常数膜连续吸收，但吸收到一定程度的热能后，低介电常数膜会瞬间汽化，由于相互作用的原理，被汽化的物质会消耗掉晶片的热能，以此实现微热影响的冷加工。为提高生产效率，有效地防止因崩缺、表层脱落等不良因素造成的加工质量问题，更进一步地，通常采用短脉冲激光先在切割道内刻蚀，形成凹槽；然后再使用金刚石刀片在凹槽中间区域实施全切割加工，从而将晶圆切割成若干个小的晶粒。

目前，晶圆激光开槽工艺一般包含晶圆涂胶、晶圆激光开槽和晶圆清洗这三个工序，且晶圆进入激光开槽机后，将依次进行涂胶、开槽和清洗。在实际应用中，上述三种工序可以同时进行，也即机台上通常会有三片晶圆，一片进行涂胶，一片进行开槽，一片进行清洗，所以，机台产能最终取决于整个工艺中时间最长的那片晶圆。具体地，对于晶粒较小的晶圆，虽然涂胶时间较短，但激光开槽时间最长；反之，对于一些晶粒较大的晶圆，激光开槽耗时相对较少，但这种晶圆的涂胶时间又最长。为提升机台的整体产能，通常是缩短涂胶时间，但由于需保证后续晶圆激光开槽的质量，涂胶时间又很难缩短，也即，难以做到既快又保证开槽质量。

实用新型内容

本实用新型实施例的目的在于提供一种激光切割设备，用于解决现有的技术切割设备难以同时保证切割质量和产能的技术问题。

为了解决上述技术问题，采用了如下所述的技术方案：

该激光切割设备包括机架和安装在所述机架上的座体，所述激光切割设备还包括安装在所述座体上的运动平台、激光加工组件和料盒升降机构，所述激光切割设备还包括安装在所述机架上的传输机构、校正组件、支撑组件、清洗装置、涂胶装置和上下料组件；

所述运动平台具有上料工位和加工工位，用于使物料在上料工位和加工工位上转运；

所述激光加工组件用于对所述运动平台的加工工位上的物料进行激光切割；

所述料盒升降机构用于在料盒初始位置和所述校正组件的工作台面之间传送物料；

所述传输机构位于所述清洗装置、涂胶装置和运动平台之间围合的区域内，所述传输机构用于将所述料盒升降机构传来的料盒中的物料传输至所述支撑组件和/或校正组件上；

所述清洗装置能与所述校正组件交接物料，用于对一部分物料进行涂胶和清洗，以及用于对另一部分物料进行清洗；

所述涂胶装置能与所述支撑组件交接物料，用于对另一部分物料进行涂胶；

所述上下料组件用于将涂胶后的物料从所述校正组件或支撑组件上搬运至所述运动平台的上料工位上，以及用于将切割后的物料搬送去清洗；

其中，所述的一部分物料的涂胶时间大于所述的另一部分物料的涂胶时间。

在一些实施例中，于朝向操作员正面的方向上，所述支撑组件、所述涂胶装置、所述清洗装置、所述校正组件和料盒初始位置依次并排设置。

或者，在另一些实施例中，于朝向操作员正面的方向上，所述校正组件、所述清洗装置、所述涂胶装置、所述支撑组件和料盒初始位置依次并排设置。

在一些实施例中，所述清洗装置包括支架、腔体、载台、移动组件和摆臂组件，所述支架设置于所述机架上，所述腔体设置于所述支架上并围合形成有容腔，所述腔体的底部开设有与所述容腔相通的开口；

所述载台设置于所述移动组件上，所述移动组件与所述腔体相互独立，且于靠近所述腔体的所述开口的一侧，所述移动组件设置于所述机架上；所述移动组件用于带动所述载台在所述容腔内进行升降及旋转运动；

所述摆臂组件设置于所述腔体组件的所述容腔内，用于对物料进行清洗和涂胶。

在一些实施例中，所述移动组件包括升降结构和旋转结构，所述旋转结构设置于所述升降结构的输出端上，所述升降结构用于带动所述旋转结构沿所述载台的中心线方向升降；所述载台设置于所述旋转结构的输出端上，所述旋转结构用于带动所述载台在所述容腔内进行旋转。

在一些实施例中，所述清洗装置还包括管路组件，所述管路组件设置于所述腔体上；所述摆臂组件包括摆臂机构以及设置于所述摆臂机构上的清洗喷嘴组件和涂胶喷嘴组件，所述清洗喷嘴组件和所述涂胶喷嘴组件均与所述管路组件连接，所述清洗喷嘴组件用于通过所述管路组件传输的清洗液对物料进行清洗，所述涂胶喷嘴组件用于通过所述管路组件传输的胶液对物料进行涂胶。

或者，在另一些实施例中，所述涂胶装置还用于对物料进行清洗，所述涂胶装置和所述清洗装置的结构相同且对称设置。

在一些实施例中，所述上下料组件为多轴机器人。

在一些实施例中，所述激光加工组件位于所述激光切割设备的靠近操作员的一侧上；所述料盒升降机构侧向位于所述激光加工组件和料盒初始位置之间。

在一些实施例中，所述激光加工组件包括光路组件、视觉机构和激光器，所述光路组件位于所述运动平台的远离所述上下料组件的一端上，所述激光器位于所述激光切割设备的靠近操作员的一侧上；所述视觉机构位于所述运动平台的加工工位的周围。

与现有技术相比，本实用新型实施例提供的激光切割设备主要有以下有益效果：

该激光切割设备通过使清洗装置具有涂胶和清洗的双重功能，并通过传输机构、运动平台、上下料组件等零部件之间的协调配合，确保该激光切割设备可以将涂胶时间较长的物料放在清洗装置中进行涂胶和清洗，将涂胶时间较短的物料放在涂胶装置中涂胶，在清洗装置中清洗，以此充分利用清洗装置中具有涂胶和清洗双重功能的这一特性，节省中间等待时间，让各物料的加工工序的衔接更加紧密，以在同时对多个物料进行加工时，可以有效地提高该激光切割机清洗腔的利用率，进而以在保证切割质量的同时，提高激光切割机的产能。总体上，该激光切割机的自动化生产流程简单实用，切割质量好且产能高。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型中的方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作一个简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。其中：

图1是本实用新型一个实施例中激光切割设备中的平面结构示意图，其中，上下料组件为四轴机器人；

图2是本实用新型一个实施例中激光切割设备中各零部件的平面位置简图；

图3是图1中激光切割设备的清洗装置的立体结构示意图；

图4是图3中清洗装置另一角度的立体结构示意图；

图5是图1中激光切割设备的涂胶装置的立体结构示意图。

附图中的标号如下：

10、激光切割设备；20、料盒；21、料盒初始位置；22、晶圆；30、操作员；

100、机架；200、座体；

300、运动平台；310、上料工位；320、加工工位；330、下料工位；400、激光加工组件；410、光路组件；420、视觉机构；430、激光器；500、料盒升降机构；

600、传输机构；700、校正组件；800、支撑组件；

900、清洗装置；910、支架；920、腔体；921、容腔；922、开口；930、载台；940、移动组件；941、升降结构；942、旋转结构；950、摆臂组件；951、摆臂机构；952、清洗喷嘴组件；953、涂胶喷嘴组件；960、管路组件；970、门帘组件；

1000、涂胶装置；1100、上下料组件、1110、上料机械手；1120、下料机械手。

具体实施方式

除非另有定义，本文所使用的所有技术和科学术语与属于本实用新型技术领域的技术人员通常理解的含义相同；本文在说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型，例如，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置为基于附图所示的方位或位置，仅是便于描述，不能理解为对本技术方案的限制。

本实用新型的说明书和权利要求书及上述附图说明中的术语“包括”和“具有”以及它们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含；本实用新型的说明书和权利要求书或上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别不同对象，而不是用于描述特定顺序。“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

本实用新型的说明书和权利要求书及上述附图说明中，当元件被称为“固定于”或“安装于”或“设置于”或“连接于”另一个元件上，它可以是直接或间接位于该另一个元件上。例如，当一个元件被称为“连接于”另一个元件上，它可以是直接或间接连接到该另一个元件上。

此外，在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本实用新型的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。

需说明的是，该激光切割设备10可以对某一片晶圆22进行涂胶(以保护晶粒在激光开槽过程中不受损伤)、开槽(利用激光蚀刻形成凹槽)和清洗(利用清洗液将保护液和激光开槽产生的杂质清洗掉)等操作，还可以同时对三片晶圆22分别进行涂胶、开槽和清洗操作。另外，实际上，该激光切割设备10可以为激光开槽机，如对同一尺寸晶粒大小的晶圆22，或对不同尺寸晶粒大小的晶圆22进行激光开槽，还可以为其他合适的切割设备。

本实用新型实施例提供一种激光切割设备10，如图1和图2所示，该激光切割设备10包括机架100和安装在机架100上的座体200，激光切割设备10还包括安装在座体200上的运动平台300、激光加工组件400和料盒升降机构500，因运动平台300、激光加工组件400等均属于比较精密的仪器，具体在本实施例中，为提高整体的稳定性，座体200可以优选为大理石座体200，也即，座体200可以采用大理石材料制成。

再如图1和图2所示，激光切割设备10还包括安装在机架100上的传输机构600、校正组件700、支撑组件800、清洗装置900、涂胶装置1000和上下料组件1100。如图2所示，运动平台300具有上料工位310和加工工位320，其中，该运动平台300主要用于使物料在上料工位310和加工工位320上转运。具体在本实施例中，再如图2所示，运动平台300还具有下料工位330，这样，运动平台300可以将涂胶完后的物料(如晶圆22)从上料工位310转运到加工工位320上供激光加工组件400进行激光切割，激光切割完成后，上下料组件1100可以将加工工位320上的物料转运到下料工位330上，如没有下料工位330，可以直接转运到清洗装置900中，或具有清洗功能的涂胶装置1000中进行清洗。需说明的是，运动平台300优选为三维运动平台300，这样，利于提高整体的搬运速度，从而提高激光切割设备10的加工效率，也即提升其产能。

在本实施例中，激光加工组件400主要用于对运动平台300的加工工位320上的物料(如涂胶后的晶圆22)进行激光切割。料盒升降机构500主要用于在料盒初始位置21和校正组件700的工作台面之间传送物料。通常，料盒初始位置21和校正组件700的工作台面之间具有一定的高度差，可以理解地，为确保物料被输送到激光切割机的工作台面上，需采用料盒升降机构500带动料盒20内的晶圆22上升到校正组件700的工作台面上，然后下降回到料盒升降机构500的初始位置待命。具体在本实施例中，为方便操作，校正机构的工作台面通常液位激光切割设备10的工作台面。

如图1和图2所示，为提高搬运速度，以及确保整体结构的紧凑性，传输机构600位于清洗装置900、涂胶装置1000和运动平台300之间围合的区域内，传输机构600主要用于将料盒升降机构500传来的料盒20中的物料传输至支撑组件800和/或校正组件700上。对应地，上下料组件1100主要用于将涂胶后的物料从校正组件700或支撑组件800上搬运至运动平台300的上料工位310上，以及用于将切割后的物料搬送去清洗。可以理解地，传输机构600将物料传送到支撑组件800或校正组件700上后，后续主要由上下料组件1100和运动平台300来传送物料。这样，一定程度上可减少上下料组件1100的活动范围，确保整体运行的稳定性和结构的紧凑性。

另外，在本实施例中，清洗装置900能与校正组件700交接物料，用于对一部分物料进行涂胶和清洗，以及用于对另一部分物料进行清洗。也即，清洗装置900既具有清洗功能，还具有涂胶功能。对应地，涂胶装置1000能与支撑组件800交接物料，用于对另一部分物料进行涂胶。其中，上述的一部分物料的涂胶时间大于上述的另一部分物料的涂胶时间。

可以理解地，根据物料的涂胶时间长短，传输机构600可以选择性地将涂胶时间较长的物料传输至校正组件700上，以便交接到清洗装置900中直接进行涂胶，然后在涂胶完成后，转移到加工工位320上完成切割加工后，又传送至清洗装置900中进行清洗；或者，传输机构600可以选择性地将涂胶时间较短的物料传输至支撑组件800中，以便交接到涂胶装置1000中进行涂胶，然后在涂胶完成后，转移到加工工位320上完成切割加工后，传送至清洗装置900中进行清洗，也即，该激光切割机在物料的自动化加工过程中，可以充分利用清洗装置900中具有涂胶和清洗双重功能的这一特性，节省中间等待时间，让各物料的加工工序的衔接更加紧密，以在同时对多个物料进行加工时，可以有效地提高该激光切割机清洗腔的利用率，进而在保证切割质量的同时提高激光切割机的产能。总体上，该激光切割机的自动化生产流程简单实用，切割质量好且产能高。

为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面将结合附图1至图5，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

在一些实施例中，如图1和图2所示，于朝向操作员30正面的方向上，支撑组件800、涂胶装置1000、清洗装置900、校正组件700和料盒初始位置21依次并排设置。

或者，在另一些实施例中，于朝向操作员30正面的方向上，校正组件700、清洗装置900、涂胶装置1000、支撑组件800和料盒初始位置21依次并排设置。可以理解地，涂胶装置1000和清洗装置900的位置可以根据具体情况互换，只是位置互换后，物料如晶圆22的自动化生产流程会相应发生些变化，但最终达到的效果非常相近。

在一些实施例中，如图3和图4所示，为使清洗装置900具有清洗和涂胶双重功能，清洗装置900包括支架910、腔体920、载台930、移动组件940和摆臂组件950，支架910设置于机架100上，腔体920设置于支架910上并围合形成有容腔921，腔体920的底部开设有与容腔921相通的开口922。其中，载台930设置于移动组件940上并位于容腔921内，用于承载物料如晶圆22。也即晶圆22将放置于载台930上进行清洗或涂胶操作。再如图3和图4所示，于靠近腔体920的开口922的一侧，移动组件940设置于机架100上。摆臂组件950设置于腔体920组件的容腔921内。在本实施例中，移动组件940主要用于带动载台930在容腔921内进行升降及旋转运动；摆臂组件950主要用于对物料进行清洗和涂胶。

可以理解地，因为腔体920设置于支架910上，而移动组件940设置于机架100上，也即是说，腔体920可以通过一架体进行支撑，而移动组件940通过另一架体进行支撑，两者之间没有连接关系，简言之，移动组件940与腔体920是相互独立的，这样，可以有效地避免移动组件940带动载台930在升降或旋转过程中引起腔体920震动传递到腔体920上，从而有效地避免因震动而影响到安装在腔体920上的一些精密器件的精度，也进而不会进一步增大震动，利于降低整个机台的震动。总体上，该清洗装置900的结构简单，减震效果好。

进一步地，在一些实施例中，如图3和图4所示，移动组件940包括升降结构941和旋转结构942，其中，旋转结构942设置于升降结构941的输出端上，升降结构941用于带动旋转结构942沿载台930的中心线方向升降；载台930设置于旋转结构942的输出端上，旋转结构942用于带动载台930在容腔921内进行旋转。可以理解地，载台930可以在升降结构941的作用下，在容腔921内升降，以与校正组件700(若是涂胶组件，则这里是支撑组件800)完成物料如晶圆22的交接。

进一步地，在一些实施例中，如图3和图4所示，为使清洗装置900具有清洗和涂胶双重功能，清洗装置900还包括管路组件960，其中，管路组件960设置于腔体920上，可以由多条管路组成，如输送胶液的管路、输送清洗液的管路等。再如图3和图4所示，摆臂组件950包括摆臂机构951以及设置于摆臂机构951上的清洗喷嘴组件952和涂胶喷嘴组件953，其中，清洗喷嘴组件952和涂胶喷嘴组件953均与管路组件960连接，清洗喷嘴组件952用于通过管路组件960传输的清洗液对物料进行清洗，涂胶喷嘴组件953用于通过管路组件960传输的胶液对物料进行涂胶。可以理解地，在实际使用中，可以根据实际需要，直接控制管路组件960中各管路的控制开关来实现清洗喷嘴组件952和涂胶喷嘴组件953的工作与否。

再如图3和图4所示，清洗装置900还包括门帘组件970，其中，门帘组件970设置于腔体920上，主要用于尽量减少清洗装置900清洗物料时产生的气雾对腔体920内外的各器件造成的影响。

进一步地，在一些实施例中，如图3至图5所示，涂胶装置1000还用于对物料进行清洗，也即是说，在本实施例中，涂胶装置1000和清洗装置900一样，既具有涂胶功能又具有清洗功能。为简化激光切割机的整体结构，涂胶装置1000和清洗装置900的结构相同且对称设置。需说明的是，当涂胶装置1000也具有清洗和涂胶双重功能时，设置在涂胶装置1000周围的支撑组件800除了支撑作用外，还可以有校正功能。对应地，设置在清洗装置900周围的校正组件700除了校正功能外，还可以有支撑作用。还需说明的是，若涂胶装置1000只有涂胶功能，则其摆臂组件950的摆臂机构951上则可以只设置涂胶喷嘴组件953。

进一步地，在一些实施例中，上下料组件1100可以为多轴机器人，其中，多轴机器人可以为六轴机器人、四轴机器人等。具体在本实施例中，如图1和图2所示，上下料组件1100包括上料机械手1110和下料机械手1120，也即可以称为四轴机器人。其中，上料机械手1110设置于运动平台300的上料工位310附近，主要用于将涂胶后的物料转运到运动平台300的上料工位310上；对应地，下料机械手1120设置于运动平台300的下料工位330附近，主要用于将切割后的物料从运动平台300的加工工位320转运到下料工位330上，或者直接转运到清洗装置900中进行清洗，或转运到具有清洗功能的涂胶装置1000中进行清洗。

可以理解地，在本实施例中，通过采用多轴机器人一定程度上可以提升物料的转运速度，利于提升激光切割机的产能，另外，因为多轴机器人通常的占用面积比较小，故此，还提高激光切割机整体的紧凑性。

在一些实施例中，如图2所示，为进一步提高激光切割机整体的紧凑性，进行合理布局，激光加工组件400位于激光切割设备10的靠近操作员30的一侧上；料盒升降机构500侧向位于激光加工组件400和料盒初始位置21之间。

在一些实施例中，如图1和图2所示，具体地，激光加工组件400包括光路组件410、视觉机构420和激光器430，其中，为进一步提高激光切割设备10的紧凑性，光路组件410位于运动平台300的远离上下料组件1100的一端上，激光器430位于激光切割设备10的靠近操作员30的一侧上，以此方便操作员30观察切割情况；视觉机构420位于运动平台300的加工工位320的周围。

由上可知，在本实施例中，以该激光切割设备10能同时加工三片晶圆22，其中，第一片晶圆22(晶粒较小)的涂胶时间小于第二片晶圆22(晶粒较大)的涂胶时间，清洗装置900具有清洗和涂胶功能，涂胶装置1000具有涂胶功能为例，进行说明其工作原理：

1)操作员30将料盒20放置在料盒20原始位置，料盒升降机构500将料盒20顶升到校正组件700的工作台面上；

2)传输机构600将第一片晶圆22夹持传输至支撑组件800上，涂胶装置1000的升降结构941顶升载台930与支撑组件800交接第一片晶圆22，涂胶装置1000对第一片晶圆22进行涂胶；

3)传输机构600将第二片晶圆22夹持传输至校正组件700上，校正组件700对晶圆22进行校正后，清洗装置900的升降结构941顶升载台930与校正组件700交接第二片晶圆22，清洗装置900对第二片晶圆22进行涂胶；可以理解地，此时，第一片晶圆22和第二片晶圆22分别在涂胶装置1000和清洗装置900中进行涂胶；

4)第一片晶圆22先完成涂胶后，支撑组件800从涂胶装置1000中交接到涂胶后的第一片晶圆22，上下料组件1100中的上料机械手1110再从支撑组件800上取出涂胶后的第一片晶圆22，并将第一片晶圆22搬送至运动平台300的上料工位310上；运动平台300将涂胶后的第一片晶圆22从上料工位310转运到加工工位320上；视觉机构420对加工工位320上的第一片晶圆22进行视觉拍照，运动平台300精准对位完成后，激光器430和光路组件410配合工作对第一片晶圆22进行激光切割开槽；

5)在第一片晶圆22从涂胶装置1000中腾出位置后，传输机构600可以将第三片晶圆22夹持传输至支撑组件800上，涂胶装置1000的升降结构941顶升载台930与支撑组件800交接第三片晶圆22，涂胶装置1000对第三片晶圆22进行涂胶；

6)在第一片晶圆22从涂胶装置1000中腾出位置后，第三片晶圆22在涂胶装置1000内涂胶时，传输机构600可以将在清洗装置900中涂胶完成后的第二片晶圆22传输至支撑组件800上(此种是针对本实施例中上下料组件1100为上料机械手1110和下料机械手1120的情况)，准备进行开槽操作，并为第一片晶圆22腾出清洗装置900的清洗位置；

7)第一片晶圆22完成激光开槽后，上下料组件1100的下料机械手1120将开槽后的第一片晶圆22搬送至清洗装置900的载台930上，清洗装置900对开槽后的第一片晶圆22进行清洗；上下料组件1100的上料机械手1110可以将涂胶后的第二片晶圆22搬送至运动平台300的上料工位310上，运动平台300将涂胶后的第二片晶圆22从上料工位310转运到加工工位320上；视觉机构420对加工工位320上的第二片晶圆22进行视觉拍照，运动平台300精准对位完成后，激光器430和光路组件410配合工作对第二片晶圆22进行激光切割开槽；

8)切割后的第一片晶圆22完成清洗后，清洗装置900的升降结构941与校正组件700交接晶圆22，传输机构600从校正组件700上将完成加工后的第一片晶圆22传输至料盒20中；

9)随后，第二片晶圆22完成激光开槽后，上下料组件1100的下料机械手1120将开槽后的第二片晶圆22搬送至清洗装置900的载台930上，清洗装置900对开槽后的第二片晶圆22进行清洗；此时，上下料组件1100的上料机械手1110可以将在涂胶装置1000中涂胶后的第三片晶圆22搬送至运动平台300的上料工位310上，运动平台300将涂胶后的第三片晶圆22从上料工位310转运到加工工位320上；视觉机构420对加工工位320上的第三片晶圆22进行视觉拍照，运动平台300精准对位完成后，激光器430和光路组件410配合工作对第三片晶圆22进行激光切割开槽；

10)传输机构600将第四片晶圆22夹持传输至支撑组件800上，涂胶装置1000的升降结构941顶升载台930与支撑组件800交接第四片晶圆22，涂胶装置1000对第四片晶圆22进行涂胶；

11)切割后的第二片晶圆22完成清洗后，清洗装置900的升降结构941与校正组件700交接晶圆22，传输机构600从校正组件700上将完成加工后的第二片晶圆22传输至料盒20中；

12)随后，第三片晶圆22完成激光开槽后，上下料组件1100的下料机械手1120将开槽后的第三片晶圆22搬送至清洗装置900的载台930上，清洗装置900对开槽后的第三片晶圆22进行清洗；此时，上下料组件1100的上料机械手1110可以将在涂胶装置1000中涂胶后的第四片晶圆22搬送至运动平台300的上料工位310上，运动平台300将涂胶后的第四片晶圆22从上料工位310转运到加工工位320上；视觉机构420对加工工位320上的第四片晶圆22进行视觉拍照，运动平台300精准对位完成后，激光器430和光路组件410配合工作对第四片晶圆22进行激光切割开槽；

13)传输机构600将第五片晶圆22夹持传输至支撑组件800上，涂胶装置1000的升降结构941顶升载台930与支撑组件800交接第五片晶圆22，涂胶装置1000对第五片晶圆22进行涂胶；

14)切割后的第三片晶圆22完成清洗后，清洗装置900的升降结构941与校正组件700交接晶圆22，传输机构600从校正组件700上将完成加工后的第三片晶圆22传输至料盒20中，以此完成三片晶圆22的加工。

需说明的是，上述为三片晶圆22完成涂胶、开槽和清洗的整个生产流程，后续晶圆22可以依据第三片晶圆22的工艺步骤循环执行。在该激光切割机中，可同时对多个晶圆22进行生产。另外，在涂胶装置也具有涂胶和清洗功能时，上述步骤可根据实际情况进行调整。整体上，该激光切割机的生产流程简单实用，切割质量好且产能高，总体结构简单而且紧凑。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型。对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的权利要求范围之内。

Claims (10)

1.一种激光切割设备，其特征在于，所述激光切割设备包括机架和安装在所述机架上的座体，所述激光切割设备还包括安装在所述座体上的运动平台、激光加工组件和料盒升降机构，所述激光切割设备还包括安装在所述机架上的传输机构、校正组件、支撑组件、清洗装置、涂胶装置和上下料组件；

所述运动平台具有上料工位和加工工位，用于使物料在上料工位和加工工位上转运；

所述激光加工组件用于对所述运动平台的加工工位上的物料进行激光切割；

所述料盒升降机构用于在料盒初始位置和所述校正组件的工作台面之间传送物料；

所述传输机构位于所述清洗装置、涂胶装置和运动平台之间围合的区域内，所述传输机构用于将所述料盒升降机构传来的料盒中的物料传输至所述支撑组件和/或校正组件上；

所述清洗装置能与所述校正组件交接物料，用于对一部分物料进行涂胶和清洗，以及用于对另一部分物料进行清洗；

所述涂胶装置能与所述支撑组件交接物料，用于对另一部分物料进行涂胶；

所述上下料组件用于将涂胶后的物料从所述校正组件或支撑组件上搬运至所述运动平台的上料工位上，以及用于将切割后的物料搬送去清洗；

其中，所述的一部分物料的涂胶时间大于所述的另一部分物料的涂胶时间。

2.根据权利要求1所述的激光切割设备，其特征在于，于朝向操作员正面的方向上，所述支撑组件、所述涂胶装置、所述清洗装置、所述校正组件和料盒初始位置依次并排设置。

3.根据权利要求1所述的激光切割设备，其特征在于，于朝向操作员正面的方向上，所述校正组件、所述清洗装置、所述涂胶装置、所述支撑组件和料盒初始位置依次并排设置。

4.根据权利要求1所述的激光切割设备，其特征在于，所述清洗装置包括支架、腔体、载台、移动组件和摆臂组件，所述支架设置于所述机架上，所述腔体设置于所述支架上并围合形成有容腔，所述腔体的底部开设有与所述容腔相通的开口；

所述载台设置于所述移动组件上，所述移动组件与所述腔体相互独立，且于靠近所述腔体的所述开口的一侧，所述移动组件设置于所述机架上；所述移动组件用于带动所述载台在所述容腔内进行升降及旋转运动；

所述摆臂组件设置于所述腔体组件的所述容腔内，用于对物料进行清洗和涂胶。

5.根据权利要求4所述的激光切割设备，其特征在于，所述移动组件包括升降结构和旋转结构，所述旋转结构设置于所述升降结构的输出端上，所述升降结构用于带动所述旋转结构沿所述载台的中心线方向升降；所述载台设置于所述旋转结构的输出端上，所述旋转结构用于带动所述载台在所述容腔内进行旋转。

6.根据权利要求4所述的激光切割设备，其特征在于，所述清洗装置还包括管路组件，所述管路组件设置于所述腔体上；所述摆臂组件包括摆臂机构以及设置于所述摆臂机构上的清洗喷嘴组件和涂胶喷嘴组件，所述清洗喷嘴组件和所述涂胶喷嘴组件均与所述管路组件连接，所述清洗喷嘴组件用于通过所述管路组件传输的清洗液对物料进行清洗，所述涂胶喷嘴组件用于通过所述管路组件传输的胶液对物料进行涂胶。

7.根据权利要求4至6任一项所述的激光切割设备，其特征在于，所述涂胶装置还用于对物料进行清洗，所述涂胶装置和所述清洗装置的结构相同且对称设置。

8.根据权利要求1所述的激光切割设备，其特征在于，所述上下料组件为多轴机器人。

9.根据权利要求8所述的激光切割设备，其特征在于，所述激光加工组件位于所述激光切割设备的靠近操作员的一侧上；所述料盒升降机构侧向位于所述激光加工组件和料盒初始位置之间。

10.根据权利要求9所述的激光切割设备，其特征在于，所述激光加工组件包括光路组件、视觉机构和激光器，所述光路组件位于所述运动平台的远离所述上下料组件的一端上，所述激光器位于所述激光切割设备的靠近操作员的一侧上；所述视觉机构位于所述运动平台的加工工位的周围。

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