CN214612163U - 新型多晶硅铸锭用高导热复合坩埚 - Google Patents

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李健
谢炎
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Abstract

本实用新型涉及一种新型多晶硅铸锭用高导热复合坩埚,属于多晶硅铸锭用坩埚技术领域,包括坩埚体,所述坩埚体为上端开口的腔型结构,所述坩埚体的内腔底部铺设有石墨烯‑二氧化硅复合材料层,所述石墨烯‑二氧化硅复合材料层的上方铺设有石英陶瓷结构层。本实用新型的一种新型多晶硅铸锭用高导热复合坩埚,通过在坩埚中添加石墨烯‑二氧化硅复合材料层,能有效地增强材料的力学性能和热学性能,使新型复合坩埚具有较高强度的同时还具有很好的韧性,可以有效地减少坩埚的溢流率,同时使用该复合坩埚可降低铸锭过程的能耗,提高多晶硅晶体的质量,满足市场需求。

Description

新型多晶硅铸锭用高导热复合坩埚
技术领域
本实用新型涉及一种新型多晶硅铸锭复合坩埚,尤其涉及一种新型多晶硅铸锭用高导热复合坩埚,其属于多晶硅铸锭用坩埚技术领域。
背景技术
多晶硅铸锭制备过程中,石英陶瓷坩埚是多晶硅铸锭阶段必须采用的重要用品,硅料在坩埚内熔化、晶体生长、退火冷却,铸成多晶硅锭,将硅锭按照技术要求切割成硅片,便成为生产制造太阳能电池的基体材料。
目前石英陶瓷坩埚主要采用注浆成型的方式制备成坯体,然后在1200℃左右烧结得到密度约为1.92g/cm3的陶瓷坩埚。这种陶瓷坩埚的热导率较低,一般仅为0.86-0.88W/mK。在铸锭的定向凝固阶段,热导率较低,热量散失较慢,就会造成侧壁与底部散热量差异较大,而为了获得高质量的铸锭多晶,需要较为平整的长晶界面,热量从侧面散失就会导致凹形的长晶界面,严重影响晶体的质量。陶瓷坩埚的材料基体为陶瓷,其晶相为晶体和玻璃体,制备铸造多晶硅时,在原料熔化,晶体生长过程中,硅熔体和坩埚长时间接触,会产生黏滞作用。由于两种材料的热膨胀系数不同,如果硅材料和坩埚壁结合紧密,在晶体冷却时很可能造成晶体硅或坩埚破裂造成溢流。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是:克服现有技术中存在的不足,提供一种新型多晶硅铸锭用高导热复合坩埚。
本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下:
一种新型多晶硅铸锭用高导热复合坩埚,包括坩埚体,所述坩埚体为上端开口的腔型结构,所述坩埚体的内腔底部铺设有石墨烯-二氧化硅复合材料层,所述石墨烯-二氧化硅复合材料层的上方铺设有石英陶瓷结构层。
更进一步地,所述石墨烯-二氧化硅复合材料层的厚度为8-10mm,所述石英陶瓷结构层的厚度为5-8mm,所述坩埚体底部、石墨烯-二氧化硅复合材料层和石英陶瓷结构层的总厚度为22-25mm。
更进一步地,所述坩埚体为石英陶瓷结构。
更进一步地,所述坩埚体采用注凝成型方式制成。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:通过在坩埚内部添加石墨烯-二氧化硅复合材料层,该复合材料具有重量轻、强度高、导热性能好和耐高温的特性,其结合了石墨烯材料以及二氧化硅各自的优点,能有效地增强材料的力学性能和热学性能,使新型复合坩埚具有较高强度的同时还具有很好的韧性,可以有效地减少坩埚的溢流率;石墨烯具有非常好的热传导性能,纯的无缺陷的单层石墨烯的导热系数高达5300W/mK,是目前为止导热系数最高的碳材料,当它作为载体时,导热系数也可达600W/mK,但是石墨烯当暴露在高温环境下,石墨烯通常会降解,但是陶瓷材料则具有耐高温和耐火性的特征,该特征对石墨烯的耐高温性能很有帮助,使用二者结合后的坩埚进行多晶硅铸锭可降低铸锭过程的能耗,并且提高铸锭过程中多晶硅晶体的质量,适用于大规模工业生产。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
在图中,1、坩埚体;2、石英陶瓷结构层;3、石墨烯-二氧化硅复合材料层。
具体实施方式
以下结合附图1对本实用新型的原理和特征进行描述,所举实例只用于解释本实用新型,并非用于限定本实用新型的范围。
一种新型多晶硅铸锭用高导热复合坩埚,包括坩埚体1,所述坩埚体1为上端开口的腔型结构,所述坩埚体1的内腔底部铺设有石墨烯-二氧化硅复合材料层3,所述石墨烯-二氧化硅复合材料层3的上方铺设有石英陶瓷结构层2;所述坩埚基层1为石英陶瓷结构。
所述石墨烯-二氧化硅复合材料层3的厚度为8-10mm,所述石英陶瓷结构层2的厚度为5-8mm,所述坩埚体1底部、石墨烯-二氧化硅复合材料层3和石英陶瓷结构层2的总厚度为22-25mm。
实施例
一种新型多晶硅铸锭用高导热复合坩埚的制备方法,包括以下步骤:
(1)石墨烯-二氧化硅复合材料的制备:将氧化石墨烯溶于水中超声分散得到氧化石墨烯水溶液,所述氧化石墨烯水溶液的浓度为1mg/ml,然后按照甲苯和氧化石墨烯水溶液的质量比为1:2的比例加入甲苯乳化得到氧化石墨烯乳液;再根据单体硅氧烷与氧化石墨烯的用量比为50:1的比例将单体硅氧烷加入到氧化石墨烯乳液中,然后用氨水调节pH=9值后搅拌,进行乳液聚合反应6小时,反应结束后洗涤过滤得到石墨烯-二氧化硅复合材料;
(2)石英陶瓷坩埚的制备:通过新型的注凝成型技术制备坩埚体1,坩埚体1干燥后,在坩埚体1底部刷一层石墨烯-二氧化硅复合材料的溶液,然后盖上专用的盖子压实,形成石墨烯-二氧化硅复合材料层3,然后在其上方浇筑一层二氧化硅浆料,盖上盖子压实,形成石英陶瓷结构层2,干燥后脱模,养护和高温烧结。
实验数据分析
对实施例中生产的新型多晶硅铸锭用高导热复合坩埚进行抗折强度、弹性模量、导热系数、密度和显气孔率进行检测,并且与普通坩埚进行对比,对比结果如下:
表1
普通坩埚 高导热复合坩埚
抗折强度MPa 23 25
弹性模量GPa 20 30
导热系数W/mK 1.0 1.2
密度g/cm<sup>3</sup> 1.92 1.90
显气孔率% 12 11
由附表1可知,经过高导热复合坩埚与普通坩埚的对比分析得出结论:按照上述方法生产的高导热复合坩埚的抗折强度更强,弹性模量和导热系数更大,其显气孔率和密度更低,使用寿命更长。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种新型多晶硅铸锭用高导热复合坩埚,包括坩埚体(1),所述坩埚体(1)为上端开口的腔型结构,其特征在于:所述坩埚体(1)的内腔底部铺设有石墨烯-二氧化硅复合材料层(3),所述石墨烯-二氧化硅复合材料层(3)的上方铺设有石英陶瓷结构层(2)。
2.根据权利要求1所述的新型多晶硅铸锭用高导热复合坩埚,其特征在于:所述石墨烯-二氧化硅复合材料层(3)的厚度为8-10mm,所述石英陶瓷结构层(2)的厚度为5-8mm,所述坩埚体(1)底部、石墨烯-二氧化硅复合材料层(3)和石英陶瓷结构层(2)的总厚度为22-25mm。
3.根据权利要求1所述的新型多晶硅铸锭用高导热复合坩埚,其特征在于:所述坩埚体(1)为石英陶瓷结构。
4.根据权利要求1所述的新型多晶硅铸锭用高导热复合坩埚,其特征在于:所述坩埚体(1)采用注凝成型方式制成。
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