CN214327875U - 一种适用于双面镀膜的载板装置及镀膜设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种适用于双面镀膜的载板装置及镀膜设备，该载板装置包括第一基片载板和第二基片载板，所述第一基片载板上设置有第一通孔，第二基片载板上设置有第二通孔，所述第二通孔与所述第一通孔连通形成截面为T型的凸台孔。本实用新型的载板装置实现了双面同时镀膜，且不使用盖板，减少设备制造和采购成本；提高了生产效率和制程良率。
Description
技术领域
本实用新型涉及镀膜设备技术领域，具体为一种适用于双面镀膜的载板装置及镀膜设备。
背景技术
真空镀膜设备，主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括真空离子蒸发、磁控溅射(Molecular Beam Epitaxy，简称MBE)、分子束外延(Pulsed LaserDeposition，简称PLD)、激光溅射沉积等很多种，主要为蒸发和溅射两类。
现有技术中的真空镀膜设备均为单面镀膜方式，在有双面镀膜需求时，通常采用的方法是：镀完一面后，通过自动化翻面再镀另一面膜，因此需要二台镀膜设备，还要辅助翻面的自动化设备，产量和镀膜效率低下，影响了真空镀膜的工作进程。并且，传统的镀膜设备的载板需要盖板压覆掩膜，而载板易形变，易造成绕镀现象，导致制程良率低。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种适用于双面镀膜的载板装置及镀膜设备，解决传统镀膜设备的载板因设计缺陷导致的产量和镀膜效率低，以及制程良率低等的技术问题。
为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
一种适用于双面镀膜的载板装置，包括第一基片载板和第二基片载板，所述第一基片载板上设置有第一通孔，第二基片载板上设置有第二通孔，所述第二通孔与所述第一通孔连通形成截面为T型的凸台孔。
在一种优选的实施方式中，所述第一基片载板为载板托盘，所述第二基片载板为小载板，所述载板托盘上的第一通孔的孔径小于所述小载板上的第二通孔的孔径，使载板托盘上的第一通孔和小载板上的第二通孔连通并形成所述凸台孔。
在一种优选的实施方式中，所述第二通孔的侧壁倾斜设置，使所述第二通孔呈漏斗状；其中，所述第二通孔的侧壁在垂直方向上的倾斜角度为20－25°。
优选的，所述第二通孔的侧壁在垂直方向上的倾斜角度为22°。
在一种优选的实施方式中，所述凸台孔的台阶宽度为0.95－1.2mm。
优选的，所述凸台孔的台阶宽度为1.2mm。
在一种优选的实施方式中，所述载板托盘和小载板的边缘均对应设置螺孔，所述螺孔中设置螺钉，将所述载板托盘和小载板固定连接。
在一种优选的实施方式中，所述载板托盘上设置定位销，所述小载板上对应设置与所述定位销适配的定位孔。
在一种优选的实施方式中，所述载板托盘采用钛合金材质制成。
在一种优选的实施方式中，所述小载板采用不锈钢材质制成。
优选的，所述第一通孔和第二通孔均为方形孔。
在一种优选的实施方式中，所述载板托盘和小载板的表面均通过微米级精打磨处理，使载板托盘和小载板无缝贴合。
本实用新型还提供一种包括上述载板装置的镀膜设备。
与现有技术相比，本实用新型的一种适用于双面镀膜的载板装置及镀膜设备，其有益效果在于：本实用新型通过载板的设计达到双面同时镀膜，且不使用盖板，减少设备制造和采购成本；提升设备产能，由于载板槽位平面精加工设计，载片四个边缘部分与载板依托且紧密贴敷，在载片的背面镀膜过程中起到自动边缘掩膜的作用，减少产品不良率产生。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型一种实施例中载板装置侧面剖视图；
图2为本实用新型另一种实施例中载板装置侧面剖视图；
图3为本实用新型一种实施例中载板装置正视图；
图4为本实用新型一种实施例中载板装置立体图；
图5为本实用新型一种实施例中载板装置侧视图；
图6为本实用新型另一种实施例中载板装置正视图；
其中，1－1、第一基片载板；1－2、第一通孔；1－3、侧壁；2－1、第二基片载板；2－2、第一通孔；1、载板托盘；2、小载板；3、螺钉；4、定位销。
具体实施方式
下面结合具体实施例来进一步描述本实用新型，本实用新型的优点和特点将会随着描述而更为清楚。但这些实施例仅是范例性的，并不对本实用新型的范围构成任何限制。本领域技术人员应该理解的是，在不偏离本实用新型的精神和范围下可以对本实用新型技术方案的细节和形式进行修改或替换，但这些修改和替换均落入本实用新型的保护范围内。
在本实施例的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明创造和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明创造的限制。
此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
参考附图1，本实用新型的一种适用于双面镀膜的载板装置，包括第一基片载板1－1和第二基片载板2－1，所述第一基片载板1－1上设置有第一通孔1－2，第二基片载板2－1上设置有第二通孔2－2，所述第二通孔2－2与所述第一通孔1－2连通形成截面为T型的凸台孔。
本实用新型中，所述第二通孔2－2与所述第一通孔1－2连通形成截面为T型的凸台孔，用于将所述基片放置在凸台孔的凸台凹槽中，凸台孔的结构设置，使得基片的两面可以同时镀膜，并且不必使用盖板，减少了设备制造和采购的成本，提高了工作效率，提升了设备产能。并且，由于载板槽位平面精加工设计，载片四个边缘部分与凸台的台阶依托且紧密贴合，台阶宽度范围即为掩膜的宽度，在基片的背面镀膜过程中起到自动边缘掩膜的作用，降低了产品的不良率。
参考附图2，在本实用新型的另一种优选实施方式中，所述第一通孔1－2的侧壁1－3倾斜设置，使所述第一通孔1－2呈漏斗状；其中，所述第一通孔1－2的侧壁1－3在垂直方向上的倾斜角度为20－25°。优选的，所述第一通孔1－2的侧壁1－3在垂直方向上的倾斜角度为22°。该结构设置，孔壁的斜面使通孔的开口扩大，当基片在通孔上方与通孔的位置发生偏差时，基片落下后，基片的边沿会与侧壁1-3的斜面接触，然后在斜面的导向作用下，沿斜面落入第一通孔1－2与第二通孔2－2形成的凹槽中，从而使基片在安装时的机械手和视觉***出现偏差或者往复精度出现问题时，基片仍然可以准确的进入凹槽，提高安装基片的成功率，提高良品率，节约成本。
参考附图3－5，在一种优选的实施方式中，所述第一基片载板为载板托盘1，所述第二基片载板为小载板2，优选的，所述载板托盘1和小载板2的边缘上对应设有螺孔，所述螺孔中设有螺钉3，将所述载板托盘1和小载板2固定连接，便于拆卸和安装；所述载板托盘1和小载板2上分别对应开设若干第一通孔和第二通孔，并且，所述载板托盘1上的第一通孔的孔径小于所述小载板2上的第二通孔的孔径，使所述载板托盘1上的第一通孔和小载板2上的第二通孔连通并形成所述凸台孔。其中，所述凸台孔的台阶宽度为0.95－1.2mm。小载板2的孔径略大于载板托盘1的孔径，二者的孔径差异范围即为所述凸台孔的台阶宽度，即为掩膜宽度，起到了基片底面机械掩膜的作用。
在本实施方式中，所述载板托盘1和小载板2上分别对应开设的第一通孔和第二通孔均为方形孔，所述载板托盘1和小载板2上的通孔的孔径差即为凸台孔的台阶宽度0.95－1.2mm，进一步优选的，载板托盘1和小载板2上的通孔的孔径差为1.2mm。
参考附图6，为了便于载板托盘1和小载板2的固定安装，并且保证每个所述凸台孔的台阶宽度精准一致，在一种优选的实施方式中，所述载板托盘1上设置定位销4，所述小载板2上对应设置与所述定位销4适配的定位孔，所述定位销4穿设在所述定位孔中。具体实施时，可在所述载板托盘1上设置多个定位销4，小载板2上对应设置多个定位孔，先将小载板2与载板托盘1按照定位销4和定位孔套设后固定，再在所述载板托盘1和小载板2的边缘上对应的螺孔中螺入螺钉3，将所述载板托盘1和小载板2固定连接。
在一种优选的实施方式中，所述载板托盘1采用钛合金材质制成。钛合金强度高、耐蚀性好、耐热性高，满足真空镀膜的要求。所述小载板2采用不锈钢材质制成。不锈钢小载板可以满足刚性无形***度要求，减少了因为盖板长期取放导致的微型变，起到机械掩膜效果。
在另一种优选的实施方式中，所述载板托盘1和小载板2的表面均通过微米级精打磨处理，使载板托盘1和小载板2无缝贴合。
本实用新型中，上述载板托盘1和基片尺寸可以依据使用需求进行设计，只需工艺性能能满足要求即可，尺寸上不封顶。同样，小载板2模块化设计可依据使用要求定制和组合。
本具体的实施例中，上述基片可以为用于形成电池片的硅片，以此硅片为衬底可实现双面镀膜制成例如异质结电池(HeteroJunction with intrinsic Thinfilm，简称HJT)等高效太阳能电池。
该适用于双面镀膜的载板装置的具体的技术特点在于：1、不锈钢小载板与载板托盘固定连接形成凸台孔型结构，起到了对电池片背面机械掩膜作用，实现镀膜时透明导电氧化物薄膜(通常为ITO材料)边缘的隔离。2、不锈钢小载板台阶宽度1.2mm，理论机械掩膜宽0.95mm，遮挡面积小，电池填充因子高；3、不锈钢小载板不会对非晶硅钝化层造成破坏；4、100℃时，极限机械掩膜宽度＞0.2mm，极限放片容差极限＞0.25mm；5、不锈钢小载板内槽工艺温度升高时凹槽边缘由于热膨胀而变宽，避免损伤电池片。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (10)
1.一种适用于双面镀膜的载板装置，其特征在于：包括第一基片载板和第二基片载板，所述第一基片载板上设置有第一通孔，所述第二基片载板上设置有第二通孔，所述第二通孔与所述第一通孔连通形成截面为T型的凸台孔。
2.根据权利要求1所述的适用于双面镀膜的载板装置，其特征在于：所述第一基片载板为载板托盘，所述第二基片载板为小载板，所述载板托盘上的所述第一通孔的孔径小于所述小载板上的所述第二通孔的孔径，使所述载板托盘上的所述第一通孔和所述小载板上的所述第二通孔连通并形成所述凸台孔。
3.根据权利要求1或2所述的适用于双面镀膜的载板装置，其特征在于：所述第二通孔的侧壁倾斜设置，使所述第二通孔呈漏斗状；
其中，所述第二通孔的侧壁在垂直方向上的倾斜角度为20－25°。
4.根据权利要求1或2所述的适用于双面镀膜的载板装置，其特征在于：所述凸台孔的台阶宽度为0.95－1.2mm。
5.根据权利要求2所述的适用于双面镀膜的载板装置，其特征在于：所述载板托盘和所述小载板的边缘均对应设置螺孔，所述螺孔中设置螺钉，将所述载板托盘和所述小载板固定连接。
6.根据权利要求2所述的适用于双面镀膜的载板装置，其特征在于：所述载板托盘上设置定位销，所述小载板上对应设置与所述定位销适配的定位孔。
7.根据权利要求2所述的适用于双面镀膜的载板装置，其特征在于：所述载板托盘采用钛合金材质制成。
8.根据权利要求2所述的适用于双面镀膜的载板装置，其特征在于：所述小载板采用不锈钢材质制成。
9.根据权利要求2所述的适用于双面镀膜的载板装置，其特征在于：所述载板托盘和所述小载板的表面均通过微米级精打磨处理，使所述载板托盘和所述小载板无缝贴合。
10.一种镀膜设备，其特征在于：包括如权利要求1至9任一项所述的载板装置。
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