CN214311285U - 一种高性能光罩盒 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种高性能光罩盒，包括光罩盒和支撑台，所述光罩盒的内部底端靠中间位置处固定连接有支撑台，所述光罩盒的顶部一侧固定连接有连接轴，所述连接轴的表面固定连接有上盖体，所述光罩盒的内壁靠近连接轴固定安装有第一限位块，所述光罩盒的内部一侧滑动连接有滑块，通过第一限位块、卡块和凸块的设置，降低了光罩盒对光罩产生的损坏、碰撞和摩擦，当光罩放置在光罩盒内，光罩盒内壁两个相邻的第一限位块和第二限位块分别与光罩两个相邻的面贴合，从而对光罩进行定位，本实用新型使光罩在前后左右的位移都被限制，有效提高了光罩在运输过程中所产生的移动情况，增加了保护效果。

Description

一种高性能光罩盒

技术领域

本实用新型属于光罩盒相关技术领域，具体涉及一种高性能光罩盒。

背景技术

光罩，在制作IC的过程中，利用光蚀刻技术，在半导体上形成图型，为将图型复制於晶圆上，必须透过光罩作用的原理，类似于冲洗照片时，利用底片将影像复制至相片上，业内又称光掩模版、掩膜版，材质：石英玻璃、金属铬和感光胶，该产品是由石英玻璃作为衬底，在其上面镀上一层金属铬和感光胶，成为一种感光材料，把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上，被曝光的区域会被显影出来，在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光掩模版，然后应用于对集成电路进行投影定位，通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻，其生产加工工序为：曝光，显影，去感光胶，最后应用于光蚀刻，由于任何附着于光罩上的尘埃颗粒(如微粒、粉尘或有机物)都会造成投影成像的质量劣化，用于产生图形的光罩必须保持绝对洁净，因此在一般的硅片工艺中，都提供无尘室的环境以避免空气中的颗粒污染，然而，目前的无尘室也无法达到绝对无尘状态，现代的半导体工艺皆利用抗污染的光罩盒进行光罩的保存与运输，以使光罩保持洁净。

现有的技术存在以下问题：现有的光罩盒在对光罩进行固定时，卡块和光罩之间存在间隙，使光罩在运送过程中发生移动，导致光罩与光罩盒受到碰撞和摩擦，从而形成对光罩的损坏，保护效果不佳，不利于使用。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种高性能光罩盒，以解决上述背景技术中提出的现有的光罩盒在对光罩进行固定时，卡块和光罩之间存在间隙，使光罩在运送过程中发生移动，导致光罩与光罩盒受到碰撞和摩擦，从而形成对光罩的损坏，保护效果不佳，不利于使用的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高性能光罩盒，包括光罩盒和支撑台，所述光罩盒的内部底端靠中间位置处固定连接有支撑台，所述光罩盒的顶部一侧固定连接有连接轴，所述连接轴的表面固定连接有上盖体，所述上盖体的表面开设有凹槽，所述凹槽的表面靠中间位置处固定连接有凸块，所述光罩盒的内壁靠近连接轴固定安装有第一限位块，所述光罩盒的内部一侧滑动连接有滑块，所述滑块的一侧靠底部固定连接有支撑板，所述光罩盒的内部远离滑块的一端固定连接有第二限位块。

优选的，所述支撑板的上表面固定安装有定位块，所述定位块的一侧开设有滑槽，所述定位块的一端固定安装有挡板，所述滑槽的内壁滑动连接有固定块，所述固定块的一侧固定安装有卡块，所述固定块的另一侧靠中间位置处固定安装有固定柱。

优选的，所述固定柱的表面设置有螺纹，所述固定柱的一端开设有限位槽，且固定柱的一端贯穿于光罩盒。

优选的，所述光罩盒和上盖体通过连接轴固定连接，所述固定块和定位块通过滑槽滑动连接。

优选的，所述光罩盒的内部一侧开设有定位槽，所述滑块通过定位槽滑动连接，所述光罩盒的外部一侧开设有通孔，所述固定柱的一端通过通孔贯穿于光罩盒。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种高性能光罩盒，具备以下有益效果：

本实用新型通过第一限位块、卡块和凸块的设置，降低了光罩盒对光罩产生的损坏、碰撞和摩擦，当光罩放置在光罩盒内，光罩盒内壁两个相邻的第一限位块和第二限位块分别与光罩两个相邻的面贴合，从而对光罩进行定位，光罩盒另外两个相邻的内壁通过扭动限位槽，使固定块在滑槽内壁滑动，当卡块的表面贴合光罩时，停止扭动限位槽，实现夹紧光罩，凸块与光罩的上表面贴合，本实用新型使光罩在前后左右的位移都被限制，有效提高了光罩在运输过程中所产生的移动情况，减少了光罩与光罩盒之间的碰撞和摩擦，增加了保护效果，提高了装置的实用性。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制，在附图中：

图1为本实用新型提出的一种高性能光罩盒结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种高性能光罩盒俯视图；

图3为本实用新型提出的图中A处局部放大图；

图中：1、滑块；2、光罩盒；3、定位块；4、第一限位块；5、支撑板；6、支撑台；7、固定块；8、固定柱；9、第二限位块；10、限位槽；11、螺纹；12、卡块；13、滑槽；14、挡板；15、上盖体；16、凸块；17、凹槽；18、连接轴。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种高性能光罩盒，包括光罩盒2和支撑台6，光罩盒2的内部底端靠中间位置处固定连接有支撑台6，光罩盒2的顶部一侧固定连接有连接轴18，连接轴18设置有两个，且两个连接轴18关于光罩盒2对称设置，连接轴18的表面固定连接有上盖体15，光罩盒2和上盖体15通过连接轴18固定连接，上盖体15的表面开设有凹槽17，凹槽17的表面靠中间位置处固定连接有凸块16，光罩盒2的内壁靠近连接轴18固定安装有第一限位块4，光罩盒2的内部一侧滑动连接有滑块1，滑块1的一侧靠底部固定连接有支撑板5，光罩盒2的内部远离滑块1的一端固定连接有第二限位块9，光罩盒2的内部一侧开设有定位槽，滑块1通过定位槽滑动连接，

支撑板5的上表面固定安装有定位块3，定位块3设置有四个，每两个定位块3为一组，且每组定位块3关于支撑板5对称设置，定位块3的一侧开设有滑槽13，滑槽13设置有两个，且两个滑槽13关于定位块3对称设置，定位块3的一端固定安装有挡板14，滑槽13的内壁滑动连接有固定块7，固定块7和定位块3通过滑槽13滑动连接，固定块7的一侧固定安装有卡块12，固定块7的另一侧靠中间位置处固定安装有固定柱8，固定柱8的表面设置有螺纹11，固定柱8的一端开设有限位槽10，光罩盒2的外部一侧开设有通孔，且固定柱8的一端通过通孔贯穿于光罩盒2。

本实用新型的工作原理及使用流程：

使用时，将光罩放置在支撑台6的上表面，光罩盒2内壁两个相邻的第一限位块4和第二限位块9分别垂直于支撑台6的表面，使光罩两个相邻的面分别于第一限位块4和第二限位块9重合，从而对光罩进行定位，光罩盒另外两个相邻的内壁分别固定安装有支撑板5，通过支撑板5上表面滑动连接的卡块12对光罩灵位两个相邻的面进行固定，通过扭动限位槽10，使固定柱8在光罩盒2内部移动，从而带动固定块7在滑槽13内壁滑动，当卡块12的表面贴合光罩时，停止扭动限位槽10，实现夹紧光罩，关闭上盖体15，使上盖体15内部固定安装的凸块16贴合在光罩的上表面。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种高性能光罩盒，包括光罩盒(2)和支撑台(6)，其特征在于：所述光罩盒(2)的内部底端靠中间位置处固定连接有支撑台(6)，所述光罩盒(2)的顶部一侧固定连接有连接轴(18)，所述连接轴(18)的表面固定连接有上盖体(15)，所述上盖体(15)的表面开设有凹槽(17)，所述凹槽(17)的表面靠中间位置处固定连接有凸块(16)，所述光罩盒(2)的内壁靠近连接轴(18)固定安装有第一限位块(4)，所述光罩盒(2)的内部一侧滑动连接有滑块(1)，所述滑块(1)的一侧靠底部固定连接有支撑板(5)，所述光罩盒(2)的内部远离滑块(1)的一端固定连接有第二限位块(9)。

2.根据权利要求1所述的一种高性能光罩盒，其特征在于：所述支撑板(5)的上表面固定安装有定位块(3)，所述定位块(3)的一侧开设有滑槽(13)，所述定位块(3)的一端固定安装有挡板(14)，所述滑槽(13)的内壁滑动连接有固定块(7)，所述固定块(7)的一侧固定安装有卡块(12)，所述固定块(7)的另一侧靠中间位置处固定安装有固定柱(8)。

3.根据权利要求2所述的一种高性能光罩盒，其特征在于：所述固定柱(8)的表面设置有螺纹(11)，所述固定柱(8)的一端开设有限位槽(10)，且固定柱(8)的一端贯穿于光罩盒(2)。

4.根据权利要求2所述的一种高性能光罩盒，其特征在于：所述光罩盒(2)和上盖体(15)通过连接轴(18)固定连接，所述固定块(7)和定位块(3)通过滑槽(13)滑动连接。

5.根据权利要求3所述的一种高性能光罩盒，其特征在于：所述光罩盒(2)的内部一侧开设有定位槽，所述滑块(1)通过定位槽滑动连接，所述光罩盒(2)的外部一侧开设有通孔，所述固定柱(8)的一端通过通孔贯穿于光罩盒(2)。

Images