CN213878025U - 一种晶圆台扩张结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆台扩张结构，包括底座、扩张环、驱动件、传动组件以及两扩张组件，两扩张组件安装于扩张环的两侧，驱动件固定于底座，每一扩张组件包括丝杆、螺母以及滑块，螺母与丝杆配合，滑块固定于螺母，滑块滑动安装于底座，扩张环安装于滑块上，驱动件通过传动组件带动丝杆转动，丝杆通过螺母带动扩张环相对底座上下移动，通过上述设计，一个驱动件就能驱动两扩张组件，精确控制扩张环上下移动的距离和速度，并且结构简单、重量轻。

Description

一种晶圆台扩张结构

技术领域

本实用新型涉及晶圆，尤其是涉及一种晶圆台扩张结构。

背景技术

在晶圆整体封装过程中，在整片的晶圆片的背面贴上蓝膜，后续需要对蓝膜进行处理，使蓝膜扩张。现有技术中扩张环一般使用气缸或双马达驱动，但气缸无法控制扩张环上下移动的距离和速度；双马达则整体重量大，成本较高。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种能够精确控制扩张环上下移动的距离和速度，并且结构简单、重量轻的晶圆台扩张结构。

本实用新型的目的采用以下技术方案实现：

一种晶圆台扩张结构，包括底座、扩张环、驱动件、传动组件以及两扩张组件，两所述扩张组件安装于所述扩张环的两侧，所述驱动件固定于所述底座，每一所述扩张组件包括丝杆、螺母以及滑块，所述螺母与所述丝杆配合，所述滑块固定于所述螺母，所述滑块滑动安装于所述底座，所述扩张环安装于所述滑块上，所述驱动件通过所述传动组件带动所述丝杆转动，所述丝杆通过所述螺母带动所述扩张环相对所述底座上下移动。

进一步地，所述扩张组件还包括连接轮，所述丝杆端部固定于所述连接轮，所述传动组件包括皮带，所述皮带套设于所述连接轮及所述驱动件的输出端。

进一步地，所述扩张组件还包括转动轮，所述转动轮转动安装于所述底座，所述驱动件的输出端与所述转动轮之间通过所述皮带传动，所述连接轮与所述转动轮之间通过所述皮带传动。

进一步地，所述转动轮、所述驱动件的输出端以及所述连接轮不在同一直线上。

进一步地，所述转动轮以及所述驱动件的输出端所在直线与所述转动轮以及所述连接轮所在直线垂直。

进一步地，所述驱动件为马达。

进一步地，所述底座设有滑轨，所述滑块滑动安装于所述滑轨。

进一步地，所述扩张环呈圆环形。

进一步地，所述晶圆台扩张结构还包括安装板，所述安装板固定于所述底座，所述驱动件固定于所述安装板。

相比现有技术，本实用新型晶圆台扩张结构还包括传动组件以及两扩张组件，两扩张组件安装于扩张环的两侧，驱动件固定于底座，每一扩张组件包括丝杆、螺母以及滑块，螺母与丝杆配合，滑块固定于螺母，滑块滑动安装于底座，扩张环安装于滑块上，驱动件通过传动组件带动丝杆转动，丝杆通过螺母带动扩张环相对底座上下移动，通过上述设计，一个驱动件就能驱动两扩张组件，精确控制扩张环上下移动的距离和速度，并且结构简单、重量轻。

附图说明

图1为本实用新型晶圆台扩张结构的一立体图；

图2为图1的晶圆台扩张结构的另一立体图；

图3为图1的晶圆台扩张结构的又一立体图。

图中：10、底座；11、滑轨；20、扩张环；30、驱动件；40、安装板；50、传动组件；51、皮带；52、转动轮；60、扩张组件；61、连接轮；62、丝杆；63、螺母；64、滑块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明的是，当组件被称为“固定于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在另一中间组件，通过中间组件固定。当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在另一中间组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在另一中间组件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

请参阅图1至图3，本实用新型晶圆台扩张结构包括底座10、扩张环20、驱动件30、安装板40、传动组件50以及两扩张组件60。

底座10设有两滑轨11。两滑轨11分别位于底座10的相对两侧。

扩张环20呈圆环形。

驱动件30包括输出端。在本实施例中，驱动件30为马达。

传动组件50包括皮带51以及转动轮52。皮带51以及转动轮52的数量根据实际需求设置。

每一扩张组件60包括连接轮61、丝杆62、螺母63以及滑块64。连接轮61固定于丝杆62的端部，螺母63与丝杆62配合。滑块64与螺母63固定连接。

组装晶圆台扩张结构时，安装板40固定于底座10。驱动件30固定于安装板40。转动轮52转动安装于底座10。两扩张组件60的丝杆62转动安装于底座10。此时转动轮52、驱动件30的输出端以及连接轮61不在同一直线上。转动轮52与驱动件30的输出端所在直线与转动轮52与连接轮61所在直线垂直。一扩张组件60的连接轮61通过皮带51与驱动件30的输出端传动。另一扩张组件60的连接轮61通过皮带51与转动轮52传动。转动轮52通过皮带51与驱动件30的输出端传动。两扩张组件60的滑块64分别与底座10的两滑轨11滑动连接。扩张环20安装于两扩张组件60的滑块64上。

使用晶圆台扩张结构时，驱动件30的输出轴转动，驱动件30的输出轴通过传动组件50同时带动两扩张组件60的丝杆62转动。丝杆62通过螺母63使滑块64上下移动。由于扩张环20安装于两滑块64上，两滑块64同步动作，扩张环20跟随两滑块64上下移动。

通过上述设计，一个驱动件30就能驱动两扩张组件60，两扩张组件60同步动作，精确控制扩张环20上下移动的距离和速度，并且结构简单、重量轻。

对本领域的技术人员来说，可根据以上描述的技术方案以及构思，做出其它各种相应的改变以及形变，而所有的这些改变以及形变都应该属于本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种晶圆台扩张结构，包括底座及扩张环，其特征在于：所述晶圆台扩张结构还包括驱动件、传动组件以及两扩张组件，两所述扩张组件安装于所述扩张环的两侧，所述驱动件固定于所述底座，每一所述扩张组件包括丝杆、螺母以及滑块，所述螺母与所述丝杆配合，所述滑块固定于所述螺母，所述滑块滑动安装于所述底座，所述扩张环安装于所述滑块上，所述驱动件通过所述传动组件带动所述丝杆转动，所述丝杆通过所述螺母带动所述扩张环相对所述底座上下移动。

2.根据权利要求1所述的晶圆台扩张结构，其特征在于：所述扩张组件还包括连接轮，所述丝杆端部固定于所述连接轮，所述传动组件包括皮带，所述皮带套设于所述连接轮及所述驱动件的输出端。

3.根据权利要求2所述的晶圆台扩张结构，其特征在于：所述扩张组件还包括转动轮，所述转动轮转动安装于所述底座，所述驱动件的输出端与所述转动轮之间通过所述皮带传动，所述连接轮与所述转动轮之间通过所述皮带传动。

4.根据权利要求3所述的晶圆台扩张结构，其特征在于：所述转动轮、所述驱动件的输出端以及所述连接轮不在同一直线上。

5.根据权利要求4所述的晶圆台扩张结构，其特征在于：所述转动轮以及所述驱动件的输出端所在直线与所述转动轮以及所述连接轮所在直线垂直。

6.根据权利要求1所述的晶圆台扩张结构，其特征在于：所述驱动件为马达。

7.根据权利要求1所述的晶圆台扩张结构，其特征在于：所述底座设有滑轨，所述滑块滑动安装于所述滑轨。

8.根据权利要求1所述的晶圆台扩张结构，其特征在于：所述扩张环呈圆环形。

9.根据权利要求1所述的晶圆台扩张结构，其特征在于：所述晶圆台扩张结构还包括安装板，所述安装板固定于所述底座，所述驱动件固定于所述安装板。

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