CN213863726U - 一种集成电路清洗剂存储装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种集成电路清洗剂存储装置,包括底座,所述底座的上端安装有罐体,所述罐体的上端固定有连接件,所述连接件贯通设置,所述连接件的上端安装有盖板,所述盖板内设有设备仓,所述设备仓内设有卡固机构,所述卡固机构上设有四个卡块,所述盖板的下端四周均开设有第二开口,四个卡块分别滑动套接在四个第二开口内,所述连接件的内部一周开设有卡槽,四个卡块的外端均设置在卡槽内,所述底座上设有便捷移动机构。本实用新型能够方便并且快捷的将盖板从罐体上拆装,有效的增加了集成电路清洗剂的装载效率和便捷性,同时能够有效的解决存储装置的搬运问题,使存储装置在搬运和使用时更加的便捷。
Description
技术领域
本实用新型涉及集成电路清洗剂技术领域,尤其涉及一种集成电路清洗剂存储装置。
背景技术
在大规模集成电路制造过程中,需要在基片绝缘介质上打开密集的接触孔,并依靠接触孔形成金属导线将晶体管的电极以及下一层的金属连接线连接和集成起来的,涂在绝缘介质上的感光材料经过曝光和显影后形成接触孔和导线槽的形态,经过等离子体蚀刻有选择性地去掉未经感光材料覆盖的绝缘介质,从而形成金属导线接触孔和导线槽,留在基片上的感光材料经过灰化步骤后形成气体化合物并逐渐收缩成为固体残渣,残留在基片上的感光材料残渣以及其它杂质需要经过专门对集成电路进行清洗的清洗剂清洗而祛除干净。
集成电路清洗剂在生产完毕后,需要通过存储装置进行存储,在往存储装置内输送集成电路清洗剂时,需要将盖板打开进行输送,而传统的存储装置的盖板因为密封要求较高,所以均通过螺栓进行固定安装,从而导致盖板的打开和关闭都较为麻烦,影响其装载效率,同时装有清洗剂的存储装置由于重量较重,在搬运时较为困难,不便于移动,增加了操作人员的劳动强度,为此,我们提出了一种集成电路清洗剂存储装置来解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种集成电路清洗剂存储装置。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
一种集成电路清洗剂存储装置,包括底座,所述底座的上端安装有罐体,所述罐体的上端固定有连接件,所述连接件贯通设置,所述连接件的上端安装有盖板,所述盖板内设有设备仓,所述设备仓内设有卡固机构,所述卡固机构上设有四个卡块,所述盖板的下端四周均开设有第二开口,四个卡块分别滑动套接在四个第二开口内,所述连接件的内部一周开设有卡槽,四个卡块的外端均设置在卡槽内,所述底座上设有便捷移动机构,所述便捷移动机构上设有四个第二滑轮,四个第二滑轮分别设置在底座的下方四角。
优选地,所述卡固机构包括设置在设备仓内下端的转盘,所述转盘的上端四周均开设有第一开口,四个第一开口内均设置有固定轴,四个固定轴的底端分别固定在四个卡块的上端相对一侧,所述转盘的上方设置有横板,所述横板固定在设备仓内,所述横板的上端中部设置有齿轮,所述齿轮的下端中部固定有转轴,所述转轴转动套接在横板上,所述转轴的底端固定连接在转盘的上端中部,所述齿轮的外侧设有第一滑道,所述第一滑道固定在横板的上端,所述横板的上端左侧可拆卸连接有第一气缸,所述第一气缸的伸缩端固定连接有直齿条,所述直齿条和齿轮相啮合,所述直齿条滑动套接在第一滑道上。
优选地,所述便捷移动机构包括分别固定安装在底座内部上端四角的四个第二气缸,四个第二气缸的伸缩端共同固定有底板,所述底板的左右两侧均转动连接有两个第一滑轮,所述底座的内部四角均固定有第二滑道,四个第一滑轮分别设置在四个第二滑道内,所述底座的下端贯通设置,四个第二滑轮分别设置在底板的下端四角。
优选地,所述罐体的外侧设置有监控窗,所述监控窗上设置有刻度尺,所述罐体的下端设置有出水管。
优选地,所述第一气缸上固定套接有固定件,所述固定件的上端四角均设有螺钉,所述横板的上端设有四个螺纹盲孔,四个螺钉的底端分别贯穿固定件的四角并螺纹套接在相对应的四个螺纹盲孔内。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
1、通过卡固机构和连接件的配合,能够在需要向罐体内输送集成电路清洗剂时,将其更加方便的拆装,省却了螺栓固定盖板的麻烦,从而可以更加便捷的将盖板从罐体上装卸,有效的增加盖板的便捷性,继而可以有效的提高集成电路清洗剂的装载效率;
2、通过便捷移动机构能够在搬运存储装置时,将四个第二滑轮降下来对底座进行支撑,从而可以更加方便的对存储装置进行搬运,使存储装置在搬运和使用时更加的便捷;
综上所述,本实用新型能够方便并且快捷的将盖板从罐体上拆装,有效的增加了集成电路清洗剂的装载效率和便捷性,同时能够有效的解决存储装置的搬运问题,使存储装置在搬运和使用时更加的便捷。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种集成电路清洗剂存储装置的连接结构图;
图2为本实用新型提出的一种集成电路清洗剂存储装置的内部连接结构示意图;
图3为本实用新型提出的一种集成电路清洗剂存储装置的便捷移动机构结构图;
图4为本实用新型提出的一种集成电路清洗剂存储装置的盖板内部俯视图;
图5为本实用新型提出的一种集成电路清洗剂存储装置的转盘结构图;
图6为本实用新型提出的一种集成电路清洗剂存储装置的连接件结构图;
图7为本实用新型提出的一种集成电路清洗剂存储装置的卡固机构结构图;
图8为本实用新型提出的一种集成电路清洗剂存储装置的固定件与横板连接处结构图;
图中:1底座、2罐体、3连接件、4盖板、5设备仓、6横板、7第一气缸、8直齿条、9第一滑道、10齿轮、11转轴、12转盘、13第一开口、14固定轴、15卡块、16第二开口、17卡槽、18固定件、19螺钉、20螺纹盲孔、21监控窗、22刻度尺、23出水管、24第二气缸、25底板、26第一滑轮、27第二滑道、28第二滑轮。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。
参照图1-8,一种集成电路清洗剂存储装置,包括底座1,底座1的上端安装有罐体2,通过底座1的移动和固定可以带动罐体2进行移动或固定,罐体2是一种用来存储集成电路清洗剂的设备,罐体2的外侧设置有监控窗21,通过监控窗21可以观看到罐体2内部的情况,监控窗21上设置有刻度尺22,通过刻度尺22可以更加精准的观看到罐体2内的集成电路清洗剂的多少,用于测量罐体2内的集成电路清洗剂的数量,罐体2的下端设置有出水管23,通过出水管23能够将罐体2内的集成电路清洗剂输送到下个设备内,起到输送的效果。
在本实用新型中,罐体2的上端固定有连接件3,连接件3贯通设置,连接件3的上端安装有盖板4,连接件3和罐体2一体成型,通过盖板4与连接件3的连接,能够实现盖板4固定安装在罐体2上的效果,盖板4内设有设备仓5,设备仓5内设有卡固机构,设备仓5用于承载卡固机构上的部件,对卡固机构上的部件具有承载的效果。
在本实用新型中,卡固机构上设有四个卡块15,盖板4的下端四周均开设有第二开口16,四个卡块15分别滑动套接在四个第二开口16内,卡固机构能够带动四个卡块15在第二开口16上进行移动,连接件3的内部一周开设有卡槽17,四个卡块15的外端均设置在卡槽17内,通过卡固机构来带动四个卡块15移动,能使四个卡块15从卡槽17内脱离或将卡槽17卡固,对盖板4的装卸具有提供便捷性的效果。
在本实用新型中,卡固机构包括设置在设备仓5内下端的转盘12,转盘12的上端四周均开设有第一开口13,四个第一开口13内均设置有固定轴14,四个固定轴14的底端分别固定在四个卡块15的上端相对一侧,通过转盘12的转动,能够带动四个第一开口13同步移动,而四个第一开口13的移动,能够推动固定轴14在四个第一开口13内同步移动,四个固定轴14的同步移动,能够带动四个卡块15以四个第二开口16为轨道进行移动,从而可以将四个卡块15的外端进入到卡槽17内或从卡槽17内脱离,使盖板4与连接件3连接或拆卸。
在本实用新型中,转盘12的上方设置有横板6,横板6固定在设备仓5内,横板6的上端中部设置有齿轮10,齿轮10的下端中部固定有转轴11,转轴11转动套接在横板6上,通过齿轮10被推动,能够带动转轴11进行转动,转轴11的底端固定连接在转盘12的上端中部,齿轮10的转动,能够带动转轴11转动,而转轴11的转动,可以带动转盘12转动,从而实现带动四个卡块15移动的效果。
在本实用新型中,齿轮10的外侧设有第一滑道9,第一滑道9固定在横板6的上端,横板6的上端左侧可拆卸连接有第一气缸7,第一气缸7和配套部件连接,便于稳定运作,能够设定程序,自动运作,第一气缸7上固定套接有固定件18,固定件18的上端四角均设有螺钉19,横板6的上端设有四个螺纹盲孔20,四个螺钉19的底端分别贯穿固定件18的四角并螺纹套接在相对应的四个螺纹盲孔20内,通过螺钉19和螺纹盲孔20的螺合,能够将第一气缸7更加稳固的安装在横板6上,对第一气缸7具有稳固的效果。
在本实用新型中,第一气缸7的伸缩端固定连接有直齿条8,直齿条8和齿轮10相啮合,直齿条8滑动套接在第一滑道9上,第一气缸7能够带动直齿条8进行移动,而第一滑道9可以限制直齿条8的移动,使直齿条8再被带动时更加的平稳移动,直齿条8在移动时,能够推动齿轮10转动,对齿轮10的转动,具有提供动力的效果。
在本实用新型中,底座1上设有便捷移动机构,通过便捷移动机构能够方便底座1的移动,从而实现带动罐体2移动的效果,便捷移动机构上设有四个第二滑轮28,四个第二滑轮28分别设置在底座1的下方四角,便捷移动机构能够将四个第二滑轮28移动到底座1的下方四角,对底座1进行支撑,再通过第二滑轮28带动底座1进行移动,继而可以带动罐体2移动,对罐体2的搬运和使用更加的方便。
在本实用新型中,便捷移动机构包括分别固定安装在底座1内部上端四角的四个第二气缸24,四个第二气缸24的伸缩端共同固定有底板25,第二气缸24和配套部件连接,便于稳定运作,能够设定程序,自动运作,四个第二气缸24同时推动底板25移动,对底板25的移动具有保持水平的效果。
在本实用新型中,底板25的左右两侧均转动连接有两个第一滑轮26,底座1的内部四角均固定有第二滑道27,四个第一滑轮26分别设置在四个第二滑道27内,底板25再被推动时,能够带动四个第一滑轮26移动,而四个第一滑轮26受四个第二滑道27的限制,能使底板25在移动时,更加的平稳,从而提高了底板25的移动平稳性,底座1的下端贯通设置,四个第二滑轮28分别设置在底板25的下端四角,在底板25移动时,能够带动四个第二滑轮28移动,使四个第二滑轮28从底座1内移出,再对底座1进行支撑。
在本实用新型中,使用时:在将集成电路清洗剂输送到罐体2内时,通过配套设备控制第一气缸7运作,第一气缸7带动直齿条8移动,直齿条8推动齿轮10转动,齿轮10带动转轴11转动,转轴11带动转盘12转动,转盘12转动能够带动四个第一开口13移动,四个第一开口13推动四个固定轴14移动,四个固定轴14带动四个卡块15移动,四个卡块15向内移动,从而能够从卡槽17内移出,不对卡槽17卡扣,能够将盖板4从连接件3的上端拆下,继而可以将集成电路清洗剂从罐体2的上端输送到罐体2内,在需要将罐体2移动时,通过配套设备控制四个第二气缸24运作,四个第二气缸24推动底板25向下移动,底板25带动四个第二滑轮28向下移动,使四个第二滑轮28对底座1进行支撑,从而能够方便操作人员将罐体2进行搬运。
以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种集成电路清洗剂存储装置,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的上端安装有罐体(2),所述罐体(2)的上端固定有连接件(3),所述连接件(3)贯通设置,所述连接件(3)的上端安装有盖板(4),所述盖板(4)内设有设备仓(5),所述设备仓(5)内设有卡固机构,所述卡固机构上设有四个卡块(15),所述盖板(4)的下端四周均开设有第二开口(16),四个卡块(15)分别滑动套接在四个第二开口(16)内,所述连接件(3)的内部一周开设有卡槽(17),四个卡块(15)的外端均设置在卡槽(17)内,所述底座(1)上设有便捷移动机构,所述便捷移动机构上设有四个第二滑轮(28),四个第二滑轮(28)分别设置在底座(1)的下方四角。
2.根据权利要求1所述的一种集成电路清洗剂存储装置,其特征在于:所述卡固机构包括设置在设备仓(5)内下端的转盘(12),所述转盘(12)的上端四周均开设有第一开口(13),四个第一开口(13)内均设置有固定轴(14),四个固定轴(14)的底端分别固定在四个卡块(15)的上端相对一侧,所述转盘(12)的上方设置有横板(6),所述横板(6)固定在设备仓(5)内,所述横板(6)的上端中部设置有齿轮(10),所述齿轮(10)的下端中部固定有转轴(11),所述转轴(11)转动套接在横板(6)上,所述转轴(11)的底端固定连接在转盘(12)的上端中部,所述齿轮(10)的外侧设有第一滑道(9),所述第一滑道(9)固定在横板(6)的上端,所述横板(6)的上端左侧可拆卸连接有第一气缸(7),所述第一气缸(7)的伸缩端固定连接有直齿条(8),所述直齿条(8)和齿轮(10)相啮合,所述直齿条(8)滑动套接在第一滑道(9)上。
3.根据权利要求1所述的一种集成电路清洗剂存储装置,其特征在于:所述便捷移动机构包括分别固定安装在底座(1)内部上端四角的四个第二气缸(24),四个第二气缸(24)的伸缩端共同固定有底板(25),所述底板(25)的左右两侧均转动连接有两个第一滑轮(26),所述底座(1)的内部四角均固定有第二滑道(27),四个第一滑轮(26)分别设置在四个第二滑道(27)内,所述底座(1)的下端贯通设置,四个第二滑轮(28)分别设置在底板(25)的下端四角。
4.根据权利要求1所述的一种集成电路清洗剂存储装置,其特征在于:所述罐体(2)的外侧设置有监控窗(21),所述监控窗(21)上设置有刻度尺(22),所述罐体(2)的下端设置有出水管(23)。
5.根据权利要求2所述的一种集成电路清洗剂存储装置,其特征在于:所述第一气缸(7)上固定套接有固定件(18),所述固定件(18)的上端四角均设有螺钉(19),所述横板(6)的上端设有四个螺纹盲孔(20),四个螺钉(19)的底端分别贯穿固定件(18)的四角并螺纹套接在相对应的四个螺纹盲孔(20)内。
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