CN213455396U - 一种线位移标准装置的运动平台结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型通过一种线位移标准装置的运动平台结构，所述线位移标准装置的运动平台结构包括测量平台、待测位移传感器、激光干涉仪、激光干涉仪镜组和被测目标物，所述激光干涉仪镜组包括干涉镜组、第一平面反射镜和第二平面反射镜，所述干涉镜组靠近激光干涉仪，所述干涉镜组与第一平面反射镜保持同步位移，所述第二平面反射镜与待测位移传感器保持同步位移，所述激光干涉仪的激光镜头、干涉镜组、第一平面反射镜和第二平面反射镜处于同一直线上，所述待测位移传感器与被测目标物处于同一直线上。本实用新型公开的一种线位移标准装置的运动平台结构能够实现检测高精度位移传感器的效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种检测装置，尤其涉及一种线位移标准装置的运动平台结构。
背景技术
位移传感器又称线性传感器，是一种属于金属感应的线性器件，传感器的作用是把各种被测物理量转换为模拟量或数字量。在生产过程中，位移的测量一般分为测量实物尺寸和机械位移两种。按被测变量变换的形式不同，位移传感器可分为模拟式和数字式两种。常用位移传感器以模拟式结构型居多，包括电位器式位移传感器、电感式位移传感器、电容式位移传感器、电涡流式位移传感器、霍尔式位移传感器等。
在一些精度要求高的领域，位移传感器使用前需要对其进行精度检测和校准，目前尚无专业的精度检测设备，因而需要进行改进
实用新型内容
鉴于目前检测装置存在的上述不足，本实用新型提供一种线位移标准装置的运动平台结构，能够实现检测高精度位移传感器且减小测量误差。
为达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案：
一种线位移标准装置的运动平台结构，所述线位移标准装置的运动平台结构包括测量平台、待测位移传感器、激光干涉仪、激光干涉仪镜组和被测目标物，所述激光干涉仪镜组包括干涉镜组、第一平面反射镜和第二平面反射镜，所述干涉镜组靠近激光干涉仪，所述干涉镜组与第一平面反射镜保持同步位移，所述第二平面反射镜与待测位移传感器保持同步位移，所述激光干涉仪的激光镜头、干涉镜组、第一平面反射镜和第二平面反射镜处于同一直线上，所述待测位移传感器与被测目标物处于同一直线上。
依照本实用新型的一个方面，所述测量平台上设置有镜组支架、待测位移传感器支架和被测目标物支架，所述干涉镜组与第一平面反射镜安装在镜组支架上，所述第二平面反射镜以及待测位移传感器安装在待测位移传感器支架上，所述被测目标物设置在被测目标物支架上。通过镜组支架、待测位移传感器支架和被测目标物支架便于各类设备安装，且能高效的保障各个部件之间位置的直线性。
依照本实用新型的一个方面，所述待测位移传感器支架包括安装块、设置在安装块两侧的滑动槽、卡设在滑动槽内的U形环、设置在安装块中部的安装槽，设置在U形环顶部的螺纹孔和与螺纹孔螺纹连接的螺杆，所述待测位移传感器通过螺杆和U形环卡设在安装槽内。通过卡接在滑动槽内的U形环和通过螺纹连接U形环的螺杆对待测位移传感器进行固定，通过不断旋动螺杆，使得螺杆下压，压住待测位移传感器进行固定。
依照本实用新型的一个方面，所述测量平台上设置有固定孔，所述镜组支架、激光干涉仪和被测目标物支架通过固定孔设置在测量平台上。通过固定孔能够便于镜组支架、激光干涉仪和被测目标物支架安装，也能便于镜组支架、激光干涉仪和被测目标物支架保持其所要求的直线性。
依照本实用新型的一个方面，所述待测位移传感器为光谱共焦位移传感器、激光位移传感器、电容位移传感器或电涡流位移传感器。光谱共焦位移传感器、激光位移传感器、电容位移传感器或电涡流位移传感器这些类型的位移传感器均为高精度的传感器。
依照本实用新型的一个方面，所述安装块两侧的滑动槽均设置有两个以上、且两侧的滑动槽呈对称分布。通过改变U形环卡接的滑动槽，可以提高U形环顶部距离安装槽底部的距离，进而使得待测位移传感器支架能够安装更多类型的传感器。
依照本实用新型的一个方面，所述待测位移传感器为激光位移传感器，所述被测目标物为感应面。激光位移传感器通过对反射镜片发射激光，接收反射的激光，能够测得二者之间的相对位移。
依照本实用新型的一个方面，所述被测目标物支架与待测位移传感器支架结构相同。
依照本实用新型的一个方面，所述测量平台的底部设置有减震脚。通过减震脚能够有效的减少测量的误差。
依照本实用新型的一个方面，所述安装槽为V形槽。V形槽能够提高稳定性能。
本实用新型实施的优点：
本实用新型通过一种线位移标准装置的运动平台结构，所述线位移标准装置的运动平台结构包括测量平台、待测位移传感器、激光干涉仪、激光干涉仪镜组和被测目标物，所述激光干涉仪镜组包括干涉镜组、第一平面反射镜和第二平面反射镜，所述干涉镜组靠近激光干涉仪，所述干涉镜组与第一平面反射镜保持同步位移，所述第二平面反射镜与待测位移传感器保持同步位移，所述激光干涉仪的激光镜头、干涉镜组、第一平面反射镜和第二平面反射镜处于同一直线上，所述待测位移传感器与被测目标物处于同一直线上。能够实现检测高精度位移传感器的效果。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型所述的一种线位移标准装置的运动平台结构立体的结构示意图；
图2为本实用新型所述的一种线位移标准装置的运动平台结构正视的结构示意图；
图3为本实用新型所述的一种线位移标准装置的运动平台结构镜组支架的结构示意图；
图4为本实用新型所述的一种线位移标准装置的运动平台结构待测位移传感器支架的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
实施例一：
如图1-4所示，一种线位移标准装置的运动平台结构，所述线位移标准装置的运动平台结构包括测量平台2、待测位移传感器、激光干涉仪5、激光干涉仪镜组和被测目标物，所述激光干涉仪镜组包括干涉镜组8、第一平面反射镜9和第二平面反射镜10，所述干涉镜组8靠近激光干涉仪5，所述干涉镜组8与第一平面反射镜9保持同步位移，所述第二平面反射镜10与待测位移传感器保持同步位移，所述激光干涉仪5的激光镜头、干涉镜组8、第一平面反射镜9和第二平面反射镜10处于同一直线上，所述待测位移传感器与被测目标物处于同一直线上。
在本实施例中，所述测量平台2上设置有镜组支架7、待测位移传感器支架3和被测目标物支架4，所述干涉镜组8与第一平面反射镜9安装在镜组支架7上，所述第二平面反射镜10以及待测位移传感器安装在待测位移传感器支架3上，所述被测目标物设置在被测目标物支架4上。
在实际使用中，一般激光干涉仪、干涉镜组、第一平面反射镜、第二平面反射镜、待测位移传感器和待测目标物依次以直线排列。
本实用新型实施的优点：
本实用新型通过一种线位移标准装置的运动平台结构，所述线位移标准装置的运动平台结构包括测量平台、待测位移传感器、激光干涉仪、激光干涉仪镜组和被测目标物，所述激光干涉仪镜组包括干涉镜组、第一平面反射镜和第二平面反射镜，所述干涉镜组靠近激光干涉仪，所述干涉镜组与第一平面反射镜保持同步位移，所述第二平面反射镜与待测位移传感器保持同步位移，所述激光干涉仪的激光镜头、干涉镜组、第一平面反射镜和第二平面反射镜处于同一直线上，所述待测位移传感器与被测目标物处于同一直线上。能够实现检测高精度位移传感器的效果。通过镜组支架、待测位移传感器支架和被测目标物支架便于各类设备安装，且能高效的保障各个部件之间位置的直线性。
实施例二：
如图1-4所示，一种线位移标准装置的运动平台结构，所述线位移标准装置的运动平台结构包括测量平台2、待测位移传感器、激光干涉仪5、激光干涉仪镜组和被测目标物，所述激光干涉仪镜组包括干涉镜组8、第一平面反射镜9和第二平面反射镜10，所述干涉镜组8靠近激光干涉仪5，所述干涉镜组8与第一平面反射镜9保持同步位移，所述第二平面反射镜10与待测位移传感器保持同步位移，所述激光干涉仪5的激光镜头、干涉镜组8、第一平面反射镜9和第二平面反射镜10处于同一直线上，所述待测位移传感器与被测目标物处于同一直线上。
在实际使用中，所述激光干涉仪采用Agilent 5517D型号的激光干涉仪，由于待测位移传感器移动距离过远，会致使第二平面反射镜与干涉仪距离过远，通过对比第一平面反射镜反射的数据，可以减少第二平面反射镜与干涉仪距离过远的影响。
在本实施例中，所述测量平台2上设置有镜组支架7、待测位移传感器支架3和被测目标物支架4，所述干涉镜组8与第一平面反射镜9安装在镜组支架7上，所述第二平面反射镜10以及待测位移传感器安装在待测位移传感器支架3上，所述被测目标物设置在被测目标物支架4上。
在实际使用中，一般激光干涉仪、干涉镜组、第一平面反射镜、第二平面反射镜、待测位移传感器和待测目标物依次以直线排列。
在本实施例中，所述待测位移传感器支架3包括安装块3-5、设置在安装块3-5两侧的滑动槽3-3、卡设在滑动槽3-3内的U形环3-1、设置在安装块3-5中部的安装槽3-4，设置在U形环3-1顶部的螺纹孔和与螺纹孔螺纹连接的螺杆3-2，所述待测位移传感器通过螺杆3-2和U形环3-1卡设在安装槽3-4内。
在实际使用中安装块顶部的位置一般保持与第二平面反射镜中心位置处于同一水平位置通过滑动槽能够改变待测位移传感器的位置，也可以通过改变待测位置传感器支架的位置来改变待测位移传感器的位置。
在本实施例中，所述测量平台2上设置有固定孔，所述镜组支架7、激光干涉仪5和被测目标物支架4通过固定孔设置在测量平台2上。
在本实施例中，所述待测位移传感器为光谱共焦位移传感器、激光位移传感器、电容位移传感器或电涡流位移传感器。
在本实施例中，所述安装块3-5两侧的滑动槽3-3均设置有两个以上、且两侧的滑动槽3-3呈对称分布。
在本实施例中，所述待测位移传感器为激光位移传感器，所述被测目标物为反射镜片。
在本实施例中，所述被测目标物支架4与待测位移传感器支架3结构相同。
在本实施例中，所述测量平台2的底部设置有减震脚1。
在本实施例中，所述安装槽3-4为V形槽。
本实用新型实施的优点：
本实用新型通过一种线位移标准装置的运动平台结构，所述线位移标准装置的运动平台结构包括测量平台、待测位移传感器、激光干涉仪、激光干涉仪镜组和被测目标物，所述激光干涉仪镜组包括干涉镜组、第一平面反射镜和第二平面反射镜，所述干涉镜组靠近激光干涉仪，所述干涉镜组与第一平面反射镜保持同步位移，所述第二平面反射镜与待测位移传感器保持同步位移，所述激光干涉仪的激光镜头、干涉镜组、第一平面反射镜和第二平面反射镜处于同一直线上，所述待测位移传感器与被测目标物处于同一直线上。能够实现检测高精度位移传感器的效果。通过镜组支架、待测位移传感器支架和被测目标物支架便于各类设备安装，且能高效的保障各个部件之间位置的直线性。光谱共焦位移传感器、激光位移传感器、电容位移传感器或电涡流位移传感器这些类型的位移传感器均为高精度的传感器。通过固定孔能够便于镜组支架、激光干涉仪和被测目标物支架安装，也能便于镜组支架、激光干涉仪和被测目标物支架保持其所要求的直线性。通过卡接在滑动槽内的U形环和通过螺纹连接U形环的螺杆对待测位移传感器进行固定，通过不断旋动螺杆，使得螺杆下压，压住待测位移传感器进行固定。通过改变U形环卡接的滑动槽，可以提高U形环顶部距离安装槽底部的距离，进而使得待测位移传感器支架能够安装更多类型的传感器。激光位移传感器通过对感应面发射激光，接收反射的激光，能够测得二者之间的相对位移。过减震脚能够有效的减少测量的误差。
以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本领域技术的技术人员在本实用新型公开的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
Claims (10)
1.一种线位移标准装置的运动平台结构，其特征在于：所述线位移标准装置的运动平台结构包括测量平台、待测位移传感器、激光干涉仪、激光干涉仪镜组和被测目标物，所述激光干涉仪、激光干涉仪镜组和被测目标物均安装在测量平台上，所述激光干涉仪镜组包括干涉镜组、第一平面反射镜和第二平面反射镜，所述干涉镜组靠近激光干涉仪，所述干涉镜组与第一平面反射镜保持同步位移，所述第二平面反射镜与待测位移传感器保持同步位移，所述激光干涉仪的激光镜头、干涉镜组、第一平面反射镜和第二平面反射镜处于同一直线上，所述待测位移传感器与被测目标物处于同一直线上。
2.根据权利要求1所述的一种线位移标准装置的运动平台结构，其特征在于：所述测量平台上设置有镜组支架、待测位移传感器支架和被测目标物支架，所述干涉镜组与第一平面反射镜安装在镜组支架上，所述第二平面反射镜以及待测位移传感器安装在待测位移传感器支架上，所述被测目标物设置在被测目标物支架上。
3.根据权利要求2所述的一种线位移标准装置的运动平台结构，其特征在于：所述待测位移传感器支架包括安装块、设置在安装块两侧的滑动槽、卡设在滑动槽内的U形环、设置在安装块中部的安装槽，设置在U形环顶部的螺纹孔和与螺纹孔螺纹连接的螺杆，所述待测位移传感器通过螺杆和U形环卡设在安装槽内。
4.根据权利要求2所述的一种线位移标准装置的运动平台结构，其特征在于：所述测量平台上设置有固定孔，所述镜组支架、激光干涉仪和被测目标物支架通过固定孔设置在测量平台上。
5.根据权利要求1所述的一种线位移标准装置的运动平台结构，其特征在于：所述待测位移传感器为光谱共焦位移传感器、激光位移传感器、电容位移传感器或电涡流位移传感器。
6.根据权利要求3所述的一种线位移标准装置的运动平台结构，其特征在于：所述安装块两侧的滑动槽均设置有两个以上、且两侧的滑动槽呈对称分布。
7.根据权利要求1-6任一所述的一种线位移标准装置的运动平台结构，其特征在于：所述待测位移传感器为激光位移传感器，所述被测目标物为反射镜片。
8.根据权利要求7所述的一种线位移标准装置的运动平台结构，其特征在于：所述被测目标物支架与待测位移传感器支架结构相同。
9.根据权利要求7所述的一种线位移标准装置的运动平台结构，其特征在于：所述测量平台的底部设置有减震脚。
10.根据权利要求3所述的一种线位移标准装置的运动平台结构，其特征在于：所述安装槽为V形槽。
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Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| CN114370817A (zh) * | 2022-01-12 | 2022-04-19 | 中国测试技术研究院机械研究所 | 一种用于校准球杆仪的装置及方法 |
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| CN114370817B (zh) * | 2022-01-12 | 2023-08-15 | 中国测试技术研究院机械研究所 | 一种用于校准球杆仪的装置及方法 |
| CN114800606A (zh) * | 2022-03-30 | 2022-07-29 | 国网湖南省电力有限公司 | 一种连续体机械臂直线距离传感器标定***及标定方法 |
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