CN213295493U - 一种磁控溅射磁棒的冷却*** - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及磁控溅射磁棒的冷却***，包含有设置于型材外部的***板，***板外部沿其长度方向设置有两根凸条；***板在凸条左右两侧均固定有长度方向与磁棒一致的水流通道板，水流通道板一侧设置有弯钩状的弧形槽，凸条嵌入该弧形槽中；水流通道板内部呈中空状，形成二次侧冷却通道，水流通道板由内侧板和外侧板构成；内侧板与***板之间形成一次侧冷却通道；外侧板上均匀分布有多个小孔状出口；***板和水流通道板的下端设有盖帽，盖帽上开设有与一次侧冷却通道相连通的进水口；***板和水流通道板的上端设置有堵头，一次侧冷却通道的上端与二次侧冷却通道的上端相连通。本实用新型涉及磁控溅射磁棒的冷却***，均匀冷却磁棒、冷却效果更好。

Description

一种磁控溅射磁棒的冷却***

技术领域

本实用新型涉及一种磁控溅射磁棒的冷却***。

背景技术

磁控溅射法可用于制备金属、半导体、绝缘体等材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点。磁棒是磁控溅射机构中的重要构件之一，磁棒能否提供稳定的磁场决定了磁控溅射镀膜的质量。在磁控溅射过程中，靶材和磁棒长期处于高温环境，如果冷却水循环冷却效果不佳、温度不均匀等，极易造成靶材开裂及磁棒温度偏差过高，从而造成磁场均匀性异常，甚至磁铁等的损坏（温度对永磁铁。磁场强度的影响很大，一旦磁场不均匀，磁控溅射出的镀层性能会受到很大影响）。

目前的磁棒冷却***采用冷却水从中间水管的下端进入，在中间水管的上端流出，流入冷却腔的上端，继而从冷却腔的下端流出，由于冷却水从一侧流向另一侧，在此过程中，由于热传递，使得冷却水温度在整个回流过程中逐步升高，靶管溅射功率越大，温升约明显，从而很容易造成磁棒、靶材散热不均。因此，目前亟需一种既能均匀冷却磁棒又能在低水压时正常运行的一种磁控溅射磁棒的冷却***。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种能够均匀冷却磁棒、冷却效果更好的磁控溅射磁棒的冷却***。

本实用新型的目的是这样实现的：

一种磁控溅射磁棒的冷却***，所述冷却***设置于磁棒内部，所述冷却***包含有设置于磁棒内部的型材外部的***板和水流通道板，所述***板将型材长度方向的侧面包围住，所述***板的外部沿磁棒长度方向设置有两根凸条；所述***板在凸条的左右两侧均固定有长度方向与磁棒一致的水流通道板，所述水流通道板的一侧设置有弯钩状的弧形槽，凸条嵌入该弧形槽中，将水流通道板和***板固定；所述水流通道板的内部呈中空状，形成二次侧冷却通道，所述水流通道板由内侧板和外侧板构成；内侧板与***板之间形成一次侧冷却通道；所述外侧板沿其长度方向均匀分布有多个小孔状出口；所述***板和水流通道板的下端设有盖帽，所述盖帽将***板和水流通道板的端部外边缘密封覆盖，所述盖帽上开设有与一次侧冷却通道相连通的进水口，进水口中连接有进水管头；所述***板和水流通道板的上端设置有堵头，所述一次侧冷却通道的上端与二次侧冷却通道的上端相连通。

所述内侧板和外侧板一体成型。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型一种磁控溅射磁棒的冷却***中设置了一次侧冷却通道和二次侧冷却通道，这种双通道设计使得冷态冷却水能很好的均匀分布在磁棒内部，从而使得磁棒的磁性结构在其整个长度内保持恒温，同时保证了磁棒磁场的均匀性；另外二次侧冷却通道上开设了多个小孔状出口，由于小孔状出口对冷却水的流出提供了一些阻力，使得冷态的冷却水不会出现在一端集中大量排出，而另一段冷却不好的现象；小孔状出口均匀分布在整个磁棒长度上，多点同步出水，避免了冷却水回流过程中的逐步温升情况，使得各处的温度可以保持基本一致，从而磁棒和靶材可以得到更均匀的冷却性能；小孔状出口使得冷却水在流动中形成扰动，在靶材附近产生湍流射流，这些紊流可以提供更有效的热交换，并能更好地冷却靶材材料。

附图说明

图1为本实用新型一种磁控溅射磁棒的冷却***的结构示意图。

图2为本实用新型一种磁控溅射磁棒的冷却***中盖帽和小孔状出口的示意图。

图3为图2中小孔状出口的放大示意图。

其中：一次侧冷却通道1、二次侧冷却通道2、进水口3、小孔状出口4、***板5、凸条6、水流通道板7、弧形槽7.1、内侧板7.2、外侧板7.3、盖帽8、进水管头9、型材10。

具体实施方式

参见图1至图3，本实用新型涉及的一种磁控溅射磁棒的冷却***，所述冷却***设置于磁棒内部，所述冷却***包含有设置于磁棒内部的型材10外部的***板5和水流通道板7，所述***板5将型材10长度方向的侧面包围住，所述***板5的外部沿磁棒长度方向设置有两根凸条6；所述***板5在凸条6的左右两侧均固定有长度方向与磁棒一致的水流通道板7，所述水流通道板7的一侧设置有弯钩状的弧形槽7.1，凸条6嵌入该弧形槽7.1中，将水流通道板7和***板5固定；所述水流通道板7的内部呈中空状，形成二次侧冷却通道2，所述水流通道板7由内侧板7.2和外侧板7.3构成，所述内侧板7.2和外侧板7.3一体成型，内侧板7.2与***板5之间形成一次侧冷却通道1；所述外侧板7.3沿其长度方向均匀分布有多个小孔状出口4；

所述***板5和水流通道板7的下端设有盖帽8，所述盖帽8将***板5和水流通道板5的端部外边缘密封覆盖，所述盖帽8上开设有与一次侧冷却通道1相连通的进水口3，进水口3中连接有进水管头9；所述***板5和水流通道板7的上端设置有堵头，所述一次侧冷却通道1的上端与二次侧冷却通道2的上端相连通；

冷却水从进水管头9中流入一次侧冷却通道1中，冷却水从一次侧冷却通道1的下端流经整个一次侧冷却通道1中，然后从一次侧冷却通道1的上端流出至二次侧冷却通道2中，最后冷却水通过二次侧冷却通道2上的多个小孔状出口4流出到磁棒内部。

另外：需要注意的是，上述具体实施方式仅为本专利的一个优化方案，本领域的技术人员根据上述构思所做的任何改动或改进，均在本专利的保护范围之内。

Claims (2)

1.一种磁控溅射磁棒的冷却***，其特征在于：所述冷却***设置于磁棒内部，所述冷却***包含有设置于磁棒内部的型材（10）外部的***板（5）和水流通道板（7），所述***板（5）将型材（10）长度方向的侧面包围住，所述***板（5）的外部沿磁棒长度方向设置有两根凸条（6）；所述***板（5）在凸条（6）的左右两侧均固定有长度方向与磁棒一致的水流通道板（7），所述水流通道板（7）的一侧设置有弯钩状的弧形槽（7.1），凸条（6）嵌入该弧形槽（7.1）中；所述水流通道板（7）的内部呈中空状，形成二次侧冷却通道（2），所述水流通道板（7）由内侧板（7.2）和外侧板（7.3）构成；内侧板（7.2）与***板（5）之间形成一次侧冷却通道（1）；所述外侧板（7.3）沿其长度方向均匀分布有多个小孔状出口（4）；所述***板（5）和水流通道板（7）的下端设有盖帽（8），所述盖帽（8）将***板（5）和水流通道板5的端部外边缘密封覆盖，所述盖帽（8）上开设有与一次侧冷却通道（1）相连通的进水口（3），进水口（3）中连接有进水管头（9）；所述***板（5）和水流通道板（7）的上端设置有堵头，所述一次侧冷却通道（1）的上端与二次侧冷却通道（2）的上端相连通。

2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射磁棒的冷却***，其特征在于：所述内侧板（7.2）和外侧板（7.3）一体成型。

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