CN213293966U - 一种用于转移晶圆盒货架的搬运设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种用于转移晶圆盒货架的搬运设备，用于转移晶圆盒货架的搬运设备包括夹持机构和送出机构，在夹持机构内设抓取机构和罩设在抓取机构外部的罩体，抓取机构的夹爪设备抓取放置有多个晶圆盒的货架；送出机构置于夹持机构底部，可带动所述夹持机构沿第一方向运动，将所述货架推出或拉入所述搬运设备。本实用新型的搬运设备可以抓取放置有多个晶圆盒的货架，一次性可以完成多个晶圆盒的运送，提高了运送效率。

Description

一种用于转移晶圆盒货架的搬运设备

技术领域

本实用新型属于半导体技术领域，涉及一种用于转移晶圆盒货架的搬运设备。

背景技术

目前在半导体行业面临着人员成本不断增加的问题，为了能够减少人力，削减成本，同时还可以提高工作效率，保证安全性。基于这个原因，工厂自动化成为企业所正在追求的。而搬运机器人在这些行业中是不可少的一个环节，目前半导体存在并运用于该行业的有人工小车搬运和OHT搬运(高空提升运输搬运***)。人工搬运需要将所需物料放置到一个普通小车上，进行推着小车走的搬运，长期人员搬运使得员工疲劳费力，不能一直保持固定搬运能力。OHT进行单个物料搬运，就OHT本身来说轨道是单一，会存在堵车现象。OHT在前期建厂时就需要提前规划完成，对于整个工厂前期投入成本增加，由于OHT线路已经规划好，后期更改设备位置是无法完成的，无法满足日益多变的生产工艺需求。

为使得在更改设备位置的情况下，仍旧可进行晶圆盒的搬运，在当前的半导体行业中可采用在AGV小车上安装机械手来抓取晶圆盒，例如采用丹麦的UR六轴机械臂，此类机械手仅单次只能抓取单个晶圆盒，搬运效率低。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种用于转移晶圆盒货架的搬运设备，用于解决现有技术中机械手仅单次只能抓取单个晶圆盒的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种用于转移晶圆盒货架的搬运设备，包括：

夹持机构，内设抓取机构和罩设在所述抓取机构外部的罩体，所述抓取机构的夹爪设备伸出在所述罩体外并用于抓取放置有晶圆盒的货架，所述夹爪设备包括第三电机、双螺纹丝杠和套设于所述双螺纹丝杠并螺纹连接的两夹爪，所述夹爪从所述罩体上开设的通孔向外伸出，所述第三电机通过所述双螺纹丝杠旋转控制两所述夹爪相对运动；

送出机构，置于所述夹持机构底部，所述送出机构带动所述夹持机构沿第一方向运动，将所述货架推出或拉入所述搬运设备。

于本实用新型的一实施例中，在所述夹爪伸出罩体的伸出部分上相对于另一夹爪设置有 V形槽，在夹取所述货架时两所述伸出部分通过V形槽将所述货架的固定块卡入其中。

于本实用新型的一实施例中，在所述V形槽内设有为所述固定块导向的辊轮。

于本实用新型的一实施例中，所述送出机构包括与所述夹持机构相连的推板、置于所述推板底部并在其输出轴上套设第一齿轮的第一电机、以及与所述推板相连且与所述第一齿轮啮合的第一齿条，所述第一齿条沿所述第一方向铺设。

于本实用新型的一实施例中，在所述推板或所述罩体上设有用于检测所述货架的检测面的检测元件。

于本实用新型的一实施例中，分别在所述送出机构的两侧设置一举升机构，所述举升机构包括具有顶升平台的顶升机构，所述顶升机构通过驱动设备控制所述顶升平台沿与所述第一方向垂直的第二方向顶升所述夹爪设备。

于本实用新型的一实施例中，所述驱动设备包括第二电机和沿所述第二方向铺设于所述顶升平台的底部杆件的第二齿条，所述第二电机的输出轴上套设一与所述第二齿条相啮合的第二齿轮。

于本实用新型的一实施例中，所述夹爪设备利用过渡板与所述罩体滑动连接。

于本实用新型的一实施例中，在所述过渡板上还设置有与所述螺纹丝杠相平行的滑轨，所述滑轨的滑块与所述夹爪上所凸出的凸块相连。

于本实用新型的一实施例中，在所述顶升平台的顶面上安装有多个滚珠，所述滚珠在推出或拉入所述货架时与所述货架底部滚动接触。

如上所述，本实用新型的用于转移晶圆盒货架的搬运设备，搬运设备的夹爪设备可以抓取放置有多个晶圆盒的货架，从而一次性可以完成多个晶圆盒的运送，提高了运送效率。

在本实用新型中，举升机构可利用驱动设备驱动顶升平台进行顶升动作，以此来适应在抓取或送出货架时用于放置货架的不同高度的放置平台。

在本实用新型中，送出机构可以带动夹持机构的整体动作，在第一方向上移动，在送出机构的推板被推出时，利用检测元件来检测货架的背面，以此来对AGV小车抽取货架之前停放的偏差量做第一次补偿。

在本实用新型中，夹持机构的夹爪为V形夹爪，当AGV小车出现稍许定位偏差时，在固定块被夹取时，依据两夹爪的V形槽的形状可以使得固定块的四个方向被限定，同时，夹取过程中其固定块为与夹爪相应会出现货架位置微调，因此可在最大程度上弥补AGV小车定位误差，完成对AGV小车定位误差的第二次误差补偿，确保货架夹取成功。

附图说明

图1显示为本发明的转运设备于一实施例中的立体示意图。

图2显示为本发明的转运设备的后视图。

图3显示为本发明的未安装有货架时转运设备的立体示意图。

图4显示为本发明的转运设备中夹持机构的立体示意图。

图5显示为本发明的转运设备中夹持机构内的抓取机构。

图6显示为图5中夹持机构的俯视图。

图7显示为本发明的转运设备中举升机构的立体示意图。

图8显示为去除第二围挡后的举升机构内部结构图。

图9显示为支撑板的结构图。

图10显示为第一滑动机构的结构图。

图11显示为本发明的转运设备中送出机构的立体示意图。

图12显示为图11中送出机构的左视图。

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本发明的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点及功效。

须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本发明可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本发明所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本发明所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本发明可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本发明可实施的范畴。

请参阅图1-图3所示，本发明提供一种搬运装载有晶圆盒的货架的转运设备，该转运设备包括有运输设备1和置于运输设备1上方并用于支撑货架4的搬运设备，其中，运输设备 1采用AGV小车(即Automated Guided Vehicle)，运输设备1可MCS控制其运输路径完成货架4的搬运。在本实施例中，该AGV小车例如是使用小型车作为该转运设备的运行底盘，AGV小车的整体结构尺寸例如为长×宽＝1000mm×700mm，用于保证转运设备能够保持自主移动的功能。

相对于OHT***，由于本发明的转运设备无需铺设轨道，因此在建厂前期无需一次性提前规划好产区路线，规划灵活，节省轨道铺设成本，同时，当工厂工艺设备位置的变化进行路线的变化，转运设备仍可完成stocker(即仓储设备)之间或stocker与其他设备之间的晶圆盒运送，还可利用同一转运设备采用多批次搬运，提升了搬运效率。

如图1所示，货架4可以是利用多个晶圆盒放置单元拼接而成，在每个晶圆盒单元的底面设置有用于定位晶圆盒的若干个pin(凸起)，确保晶圆盒的固定，并放置晶圆盒掉落。

如图1-图3所示，搬运设备主要包括送出机构、置于送出机构顶部的夹持机构3和置于送出机构两侧的举升机构2。

如图2-图3所示，在推板51上靠近夹持机构3的位置处设置检测元件33，检测元件33 还可安装在夹持机构3上。该检测元件33采用激光传感器，检测元件33其发出的激光沿垂直于推板51的方向射出，检测元件33所发出的激光与货架4的检测面相平行，在本实施例中，货架4的检测面为货架4的背面(即与货架4内供晶圆盒放置所设的开口相对一侧的侧面)，其中，在货架4的背面还设置有用于供夹持机构3的夹爪设备311抓取的固定块。

在本发明中，送出机构可以带动夹持机构3的整体动作，在第一方向上移动，在送出机构的推板51被推出时，利用检测元件33来检测货架4的背面，以此来对AGV小车抽取货架4之前停放的偏差量做第一次补偿。

在本实施例中，如图11和图12所示，送出机构包括第一电机52和底部安装有第一齿条 53的推板51，第一齿条53和第一电机52的输出轴所套设的第一齿轮相啮合，第一电机52 的底部与增高结构6相连接，第一电机52的输出轴旋转后通过第一齿条53使得推板51朝向货架4的第一方向伸出，第一方向是与运输设备1的移动方向相平行，转运设备置于水平地面时，其运输设备1在水平面上移动，此时第一方向与水平地面平行。送出机构带动其上方的夹持机构3朝向货架4移动，由夹持机构3将货架4拖入或送出转运设备。在本实施例中，在送出机构上还设置有检测传感器55，当货架4放置在送出结构时，检测传感器55可以感知该货架4是否送出到位。

进一步地，第一电机52利用第一安装座543与增高结构6相固定，如图11所示，其中，第一安装座543包括第一板件和第二板件，第一电机52的外壳与第二板件相连，第一电机 52的输出轴穿过第二板件与第一齿条53相啮合。另外，第一板件由第一面板和第二面板构成的呈L形板件，第一面板直接与增高结构6固接，第二面板与第二板件的侧壁相连，第一面板和第二面板上可分别开设第一条形孔和第二条形孔，第一条形孔的长度方向和第二条形孔长度方向垂直设置，第一条形孔利用例如螺栓、螺钉等紧固件将第一面板和增高结构6、第二面板和第二板件相连接，其第一电机52可沿第一条形孔和第二条形孔的长度方向来调整其与第一齿条53之间的配合间隙。

如图11和图3所示，在增高结构6上还垂直设有第一围挡，第一围挡绕置于送出机构的推板51所在移动路径上，在第一围挡上还安装有第一挡板，第一挡板所在高度超出推板51 所在高度。在第一电机52控制推板51推出过程中，推板51被推入第一挡板底部，直至第一挡板碰触到推板51上的检测元件33。第一围挡和第一挡板避免了在推板51沿第一方向朝向货架4的移动路径上落入杂质。

在本实施例中，如图8-图10所示，举升机构2包括顶升机构和固定在增高结构6上方的安装板29，顶升机构具有顶升平台21和驱动设备。驱动设备主要包含有第二电机24和第二齿条26，第二齿条26直接固接在顶升平台21下方设置的底部杆件211上，顶升平台21的底部杆件211可以与所述安装板29之间利用第一滑动结构27滑动连接，第一滑动结构27可以是在安装板29上安装第一滑轨，将第一滑轨的滑块与顶升平台21的底部杆件211相连。第一滑动结构27的设置同样保证了顶升平台21升降的平稳性。举升机构2利用驱动设备驱动顶升平台21进行顶升动作，以此来适应在抓取或送出货架4时用于放置货架4的不同高度的放置平台。

为避免外界杂质落入举升机构2内，如图8和图9所示，其举升机构2还包括第二围挡 28、以及连接第二围挡28和安装板29之间的支撑板23，所述支撑板23、所述第二围挡28与所述安装板29相围合构成一箱体，在支撑板23上开设一供顶升平台21的底部杆件211伸入的条形槽，第二电机24利用第二安装座25固定在箱体内，第二电机24的输出轴上套设的第二齿轮与第二齿条26相啮合。因此，顶升平台21在第二电机24的控制下，通过第二齿条26带动顶升平台21沿第二方向进行升降动作，第二方向和第一方向垂直设置。需要说明的是，在顶升平台21的背面上还可以设置位置传感器2A，用于定位放置货架4平台的高度。

进一步地，为便于调整第二电机24的第二齿轮和第二齿条26之间的装配间隙，可在第二固定座的底部开设多个第三条形孔，利用紧固件穿过第三条形孔将第二固定座固定于箱体内。在本实施例中，可通过调整紧固件在第三条形孔内的固定位置，改变第二齿轮和第二齿条26的装配间隙。

进一步地，为限制举升机构2的举升高度，还可在安装板29上安装第一限位开关和第二限位开关，第一限位开关和第二限位块开关平行于第一滑轨的轴向铺设，并可在顶升平台21 的底部杆件211上设置一便于第一限位开关、第二限位开关检测的第一感应件。

另外，为方便第一限位开关和第二限位开关之间相对距离的调整，可将第一限位开关和第二限位开关安装一第一导轨上，第一导轨与第一滑轨相平行，第一限位开关和第二限位开关可在第一滑轨上相对移动，以此改变两限位开关之间的距离。

进一步地，如图9-图10所示，支撑板23呈阶梯状，支撑板23由第一部件231、中间部件232和第二部件233构成，中间部件232的一端连接第一部件231，中间部件232的另一端连接第二部件233，其中，第一部件231所在高度超出第二部件233所在高度，其中，条形槽234开设于第二部件233，第一滑动机构27卡扣在条形槽234内，以固定第一滑动机构 27，顶升平台21在未顶升之前，其顶升平台21的顶面所在高度不超出第一部件231所在高度。因此，当转运设备上支撑有货架4时，其货架4底面直接抵靠在支撑板23的第一部件 231上，由于顶升平台21不承受货架4以及晶圆盒的重力，从而驱动设备此时不受力，对驱动设备起到保护作用。

需要说明的是，为确保支撑板23上货架4放置时的平稳，可在支撑板23的第一部件231 上布置有多个检测传感器，检测传感器可以采用压力传感器。当存在其中某个或某些检测传感器未检测到所需的检测信号，则可以认为货架4未在安全运输为上。

由于举升机构2设置在送出机构的两侧，为保证送出机构的推板51在第一方向上的移动平稳性，在本实施例中，如图11所示，可在安装板29外壁和推板51之间利用第二滑动结构相连。第二滑动结构可以是包括一安装在推板51底部并与第一方向平行方式的第二滑轨542、安装在安装板29上的固定板件541，该固定板件541的顶部承托在第二滑轨542的滑块底部；第二滑动结构还可以是直接在推板51和安装板29之间利用滑轨相连。

进一步地，为检测推板51所在位置，还可在安装板29上安装一推板51朝向货架4的推出的移动路径上设置第三限位开关，相应地，在推板51上设置一可与第三限位开关相感应的第二感应件，该第三限位开关可作用检测推板51的初始位置。为方便调整第三限位开关的位置，可在第三限位开关和安装板29之间设置第二导轨。还可在推板51朝向货架4的推出的移动路径上设置第四限位开关，第四限位开关用于检测推板51的最大行程的第四限位开关，第四开关可安装在安装板29上。

进一步地，为避免在货架4的送出和推入的过程中，货架4底部直接与顶升平台21产生面面接触，损坏顶升平台21和货架4表面。可在顶升平台21的顶面设置有多个滚珠22，多个滚珠22沿第一方向铺，所述滚珠22在推出或拉入所述货架4，与货架4底面滚动接触。

在本实施例中，如图4-5所示，夹持机构3包括具备夹爪设备311的抓取机构和罩设在抓取机构外部的罩体32，在罩体32上朝向推板51一侧的侧板上开设有供抓取机构31伸出的通孔323，该通孔323形状可以是方形孔、圆孔或其他形状。

如图5-图6所示，抓取机构31包括置于罩体32内的过渡板312和安装在过渡板312上的夹爪设备311，在过渡板312的两侧分别安装一第一连杆315，两第一连杆315之间通过第二连杆314相连，第二连杆314的轴向两端分别伸出罩体32后置于该轴端同侧的顶升平台21的上方，相应地，在罩体32上设置有供第二连杆314伸出并可沿第二方向做升降动作的升降槽321。举升机构2控制顶升平台21向上顶升时通过连接件带动过渡板312一同上移。

为确保过渡板312上移的平稳性，如图5-图6所示，在过渡板312和罩体32之间安装第三滑动结构313，第三滑动结构313可以是安装在罩体32的侧板上的第三滑轨，第三滑轨的滑块与过渡板312相连。还可在罩体32的侧板上行设置一套设于第一连杆315的导向块，确保第一连杆315在被顶升时不产生晃动。

进一步地，如图5-图6所示，为使得其过渡板312在未被顶升时，抓取机构的重力直接通过第一连杆315、第二连杆314加压于顶升平台21，可在罩体32的侧板上设置一用于承托过渡板312的定位块322，此时，抓取机构的重力通过该定位块322传递至增高结构6。还可在罩体32内靠近定位块322安装第五限位开关，用于检测过渡板312是否被顶升。

进一步地，在第二连接杆伸出罩体32的轴向两端分别安装一滚轮，如图6所示，使得在举升机构2将抓取设备31向上顶升后，送出机构在带动夹持机构3整体在第一方向上移动时，抓取机构的第二连接杆与顶升平台21之间采用滚动接触，从而保护顶升平台21表面，降低两者摩擦。

在本实施例中，如图6所示，夹爪设备311包括第三电机3113、双螺纹丝杠3112和套设在在双螺纹丝杠3112并螺纹连接的两夹爪3111，第三电机3113和双螺纹丝杠3112分别固定在过渡板312上，第三电机3113控制双螺纹丝杠3112旋转使得两夹爪3111相对运动完成夹取动作。本发明的夹持机构3，在取放货架4及搬运过程中使用，采用双螺旋丝杆传动，使得抓取完成后可以进行自锁。

需要说明的是，为确保夹爪设备311的紧凑，可将第三电机3113与双螺纹丝杠3112平行放置，利用同步带3114将两者相连。

为提高夹爪3111在双螺纹丝杠3112上移动时的平稳性，可在过渡板312上设置第四滑轨3115，第四滑轨3115的滑块与夹爪3111上所凸出的凸块相连。

同时，为限制两夹爪3111的最大和最小的开合度，还可在过渡板312上安装一与双螺纹丝杠3112相平行的第三导轨3116，在第三导轨3116上安装有第五限位开关和第六限位开关，第五限位开关和第六限位开关用于对应检测夹爪3111的最小开合度和最大开合度。

在本实施例中，夹爪3111伸出罩体32通孔323的部分为伸出部分，如图6所示，在夹爪3111的伸出部分上相对于另一夹爪3111设置一楔形块3118，该楔形块3118和该夹爪3111的伸出部分形成V形槽，构成V形夹爪。当然，也可以是夹爪3111的伸出部分相对于另一夹爪3111自身设有V形槽，构成V型夹爪。相应地，货架4背面的固定块两侧呈与V形槽相适配的形状。在夹取过程中，其固定块嵌入夹爪3111的V形槽内，以此来限制固定块在第一方向和与双螺纹丝杠3112平行方向的运动，同时，该夹取方式需要由较高固定块和夹爪 3111的锲合度，因此，当AGV小车出现稍许定位偏差时，其固定块被夹取时，依据两夹爪 3111的V形槽的形状可以使得固定块的四个方向被限定，同时，夹取过程中其固定块为与夹爪3111相应会出现货架4位置微调，因此可在最大程度上弥补AGV小车定位误差，完成对 AGV小车定位误差的第二次误差补偿，确保货架4夹取成功。

进一步地，如图7所示，还可在V形槽内远离罩体32侧的侧壁上铺设有若干个辊轮3117，起到对货架4的固定块被夹取时的导向作用。

工作原理：

货架4的拿取过程：AGV小车行驶至货架4放置位置，送出机构带动夹持机构3朝向放置有货架4的放置平台移动，当检测元件33检测到货架4的检测面以及固定块，在检测元件 33检测的过程中，送出机构根据检测元件33来确定自身所在位置，形成第一次补偿AGV小车行驶的偏移量。举升机构2将夹持机构3的抓取机构向上抬起，在抬起过程中，通过检测货架平台高度的传感器2A确定举升到第一水平位置，与货架放置平台高度一致。夹持机构3的两夹爪3111相对动作夹取货架4的固定块，在夹取过程中，因V形槽的存在使得固定块卡入其中时相应调整货架4位置，确保固定块和夹爪3111的精准夹持，形成第二次偏移量的补偿。夹爪3111夹取货架4后，送出机构朝向远离货架4方向移动，此时，将货架4拉入顶升平台21上，举升机构2上升至第二水平位，高于货架放置平台高度，AGV移出货架放置位置到安全位，货架4和抓取机构跟随升降机构下降，直至货架4底部抵靠于举升机构2的支撑板23上，完成货架4的拿取过程。

货架4的送出过程中，AGV移动到货架4放置平台外部位置，举升机构2将货架4和夹持机构3升到举升最高位置，AGV进去到放置货架4内部位置，举升机构2进行下降，下降期间通过寻找货架放置平台高度感应器2A寻找到平台高度，送出机构将抓取机构31和货架 4送出，通过放货架时检测感应器55确定货架4是否送到位，到位后夹爪3111打开、升降机构下降到最低点、送出机构回到远离货架点，AGV退出货架4的放置位置，完成货架4送出。

综上所述，本发明有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。

上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。

Claims (10)

1.一种用于转移晶圆盒货架的搬运设备，其特征在于，包括：

夹持机构，内设抓取机构和罩设在所述抓取机构外部的罩体，所述抓取机构的夹爪设备伸出在所述罩体外并用于抓取放置有多个晶圆盒的货架，所述夹爪设备包括第三电机、双螺纹丝杠和套设于所述双螺纹丝杠并螺纹连接的两夹爪，所述夹爪从所述罩体上开设的通孔向外伸出，所述第三电机通过所述双螺纹丝杠旋转控制两所述夹爪相对运动；

送出机构，置于所述夹持机构底部，所述送出机构带动所述夹持机构沿第一方向运动，将所述货架推出或拉入所述搬运设备。

2.根据权利要求1所述的用于转移晶圆盒货架的搬运设备，其特征在于：在所述夹爪伸出罩体的伸出部分上相对于另一夹爪设置有V形槽，在夹取所述货架时两所述伸出部分通过V形槽将所述货架的固定块卡入其中。

3.根据权利要求2所述的用于转移晶圆盒货架的搬运设备，其特征在于：在所述V形槽内设有为所述固定块导向的辊轮。

4.根据权利要求1所述的用于转移晶圆盒货架的搬运设备，其特征在于：所述送出机构包括与所述夹持机构相连的推板、置于所述推板底部并在其输出轴上套设第一齿轮的第一电机、以及与所述推板相连且与所述第一齿轮啮合的第一齿条，所述第一齿条沿所述第一方向铺设。

5.根据权利要求4所述的用于转移晶圆盒货架的搬运设备，其特征在于：在所述推板或所述罩体上设有用于检测所述货架的检测面的检测元件。

6.根据权利要求1所述的用于转移晶圆盒货架的搬运设备，其特征在于：分别在所述送出机构的两侧设置一举升机构，所述举升机构包括具有顶升平台的顶升机构，所述顶升机构通过驱动设备控制所述顶升平台沿与所述第一方向垂直的第二方向顶升所述夹爪设备。

7.根据权利要求6所述的用于转移晶圆盒货架的搬运设备，其特征在于：所述驱动设备包括第二电机和沿所述第二方向铺设于所述顶升平台的底部杆件的第二齿条，所述第二电机的输出轴上套设一与所述第二齿条相啮合的第二齿轮。

8.根据权利要求6所述的用于转移晶圆盒货架的搬运设备，其特征在于：所述夹爪设备利用过渡板与所述罩体滑动连接。

9.根据权利要求8所述的用于转移晶圆盒货架的搬运设备，其特征在于：在所述过渡板上还设置有与所述螺纹丝杠相平行的滑轨，所述滑轨的滑块与所述夹爪上所凸出的凸块相连。

10.根据权利要求6所述的用于转移晶圆盒货架的搬运设备，其特征在于：在所述顶升平台的顶面上安装有多个滚珠，所述滚珠在推出或拉入所述货架时与所述货架底部滚动接触。

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