CN213264577U - 硅片取放料装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及硅片传送设备领域，尤其是硅片取放料装置。该取放料装置包括机台、硅片花篮、硅片抬升机构、抓硅片机械手、石英舟、石英舟移动机构、硅片下降机构、花篮移动机构、定位机构，所述机台上安装有花篮移动机构、硅片抬升机构、抓硅片机械手、石英舟移动机构、硅片下降机构，机台上设有用于穿过硅片抬升机构的穿孔和用于穿过硅片下降机构的穿孔，石英舟移动机构上安装有用于定位石英舟的定位机构。本实用新型通过硅片花篮将一叠硅片水平移动至取料工位。通过硅片抬升机构将硅片从硅片花篮中升出。通过抓硅片机械手将升出的硅片抓走并放置到石英舟内。通过硅片下降机构将硅片沉入石英舟内。本申请提高了硅片取放料的工作效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片传送设备领域，尤其是硅片取放料装置。
背景技术
硅片在生产加工的过程中，需要将硅片从花篮内取出，然后放置到石英舟内。但是现有的硅片取放的工作效率较低。
实用新型内容
为了解决背景技术中描述的技术问题，本实用新型提供了一种硅片取放料装置。通过硅片花篮将一叠硅片水平移动至取料工位。通过硅片抬升机构将硅片从硅片花篮中升出。通过抓硅片机械手将升出的硅片抓走并放置到石英舟内。通过硅片下降机构将硅片沉入石英舟内。本申请提高了硅片取放料的工作效率。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种硅片取放料装置，包括机台、硅片花篮、硅片抬升机构、抓硅片机械手、石英舟、石英舟移动机构、硅片下降机构、花篮移动机构、定位机构，所述机台上安装有花篮移动机构、硅片抬升机构、抓硅片机械手、石英舟移动机构、硅片下降机构，机台上设有用于穿过硅片抬升机构的穿孔和用于穿过硅片下降机构的穿孔，石英舟移动机构上安装有用于定位石英舟的定位机构，花篮移动机构上安装有硅片花篮。
具体地，所述硅片抬升机构由硅片顶板组一、连接架一、连接架一升降线性模组组成，连接架一升降线性模组的滑座上固定有两个以上的连接架一，每个连接架一上固定有硅片顶板组一，硅片顶板组一由一排相互平行且排列呈直线的顶板组成，顶板端头设有尖顶。
具体地，所述抓硅片机械手由吸板升降线性模组、吸板水平线性模组一、吸板、吸板水平线性模组二组成，吸板水平线性模组二的缸体固定在机台上，吸板升降线性模组的缸体固定在吸板水平线性模组二的滑座上，吸板升降线性模组的滑座上固定有吸板水平线性模组一，吸板水平线性模组一的滑座上固定有数个相互平行且排列呈直线的吸板，吸板上设有吸孔，吸板底部固定有凸起块，凸起块固定在吸板水平线性模组一的滑座上，相邻吸板的凸起块贴合在一起。
具体地，所述石英舟移动机构为水平线性模组，定位机构固定在石英舟移动机构的滑座上。
具体地，由硅片顶板组二、连接架二、连接架二升降线性模组组成，连接架二升降线性模组的滑座上固定有两个以上的连接架二，每个连接架二上固定有硅片顶板组二，硅片顶板组二由一排相互平行且排列呈直线的顶板组成，顶板端头设有尖顶。
具体地，所述花篮移动机构为水平线性模组，硅片花篮固定在花篮移动机构的滑座上。
具体地，所述定位机构由压块驱动气缸和压块组成，压块驱动气缸的缸体固定在石英舟移动机构的滑座上，压块驱动气缸的活塞杆上固定有压块。
本实用新型的有益效果是：本实用新型提供了一种硅片取放料装置。通过硅片花篮将一叠硅片水平移动至取料工位。通过硅片抬升机构将硅片从硅片花篮中升出。通过抓硅片机械手将升出的硅片抓走并放置到石英舟内。通过硅片下降机构将硅片沉入石英舟内。本申请提高了硅片取放料的工作效率。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是本实用新型的硅片抬升机构的结构示意图；
图3是本实用新型的吸板的结构示意图；
图4是本实用新型的硅片下降机构的结构示意图；
图中1.机台，2.硅片花篮，3.硅片抬升机构，4.抓硅片机械手，5.石英舟，6.石英舟移动机构，7.硅片下降机构，8.花篮移动机构，9.定位机构，31.硅片顶板组一，32.连接架一，33.连接架一升降线性模组，41.吸板升降线性模组，42.吸板水平线性模组一，43.吸板，44.吸板水平线性模组二，71.硅片顶板组二，72.连接架二，73.连接架二升降线性模组。
具体实施方式
现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
图1是本实用新型的结构示意图，图2是本实用新型的硅片抬升机构的结构示意图，图3是本实用新型的吸板的结构示意图，图4是本实用新型的硅片下降机构的结构示意图。
如附图1所示，一种硅片取放料装置，包括机台1、硅片花篮2、硅片抬升机构3、抓硅片机械手4、石英舟5、石英舟移动机构6、硅片下降机构7、花篮移动机构8、定位机构9，所述机台1上安装有花篮移动机构8、硅片抬升机构3、抓硅片机械手4、石英舟移动机构6、硅片下降机构7，机台1上设有用于穿过硅片抬升机构3的穿孔和用于穿过硅片下降机构7的穿孔，石英舟移动机构6上安装有用于定位石英舟5的定位机构9，花篮移动机构8上安装有硅片花篮2。
如附图2所示，硅片抬升机构3由硅片顶板组一31、连接架一32、连接架一升降线性模组33组成，连接架一升降线性模组33的滑座上固定有两个以上的连接架一32，每个连接架一32上固定有硅片顶板组一31，硅片顶板组一31由一排相互平行且排列呈直线的顶板组成，顶板端头设有尖顶
硅片抬升机构3的硅片顶板组一31上，每一个顶板的尖顶可以顶起一片硅片，一个硅片顶板组一31可以将一排硅片同时顶起。
如附图3所示，抓硅片机械手4由吸板升降线性模组41、吸板水平线性模组一42、吸板43、吸板水平线性模组二44组成，吸板水平线性模组二44的缸体固定在机台1上，吸板升降线性模组41的缸体固定在吸板水平线性模组二44的滑座上，吸板升降线性模组41的滑座上固定有吸板水平线性模组一42，吸板水平线性模组一42的滑座上固定有数个相互平行且排列呈直线的吸板43，吸板43上设有吸孔，吸板43底部固定有凸起块，凸起块固定在吸板水平线性模组一42的滑座上，相邻吸板43的凸起块贴合在一起。
抓硅片机械手4的工作方式为，吸板水平线性模组二44可以驱使吸板43进行左右水平直线移动，吸板升降线性模组41可以驱使吸板43进行上下直线移动，吸板水平线性模组一42可以驱使吸板43进行前后水平直线移动。利用凸起块，可以使得所有吸板43之间保持同样的间隔距离。真空发生器使吸板43的吸孔产生负压吸力，每一个吸板43可以吸住一片硅片。
石英舟移动机构6为水平线性模组，定位机构9固定在石英舟移动机构6的滑座上。
如附图4所示，硅片下降机构7由硅片顶板组二71、连接架二72、连接架二升降线性模组73组成，连接架二升降线性模组73的滑座上固定有两个以上的连接架二72，每个连接架二72上固定有硅片顶板组二71，硅片顶板组二71由一排相互平行且排列呈直线的顶板组成，顶板端头设有尖顶。
硅片下沉机构7的硅片顶板组二71上，每一个顶板的尖顶可以顶起一片硅片，一个硅片顶板组二71可以将一排硅片同时顶起。
花篮移动机构8为水平线性模组，硅片花篮2固定在花篮移动机构8的滑座上。
定位机构9由压块驱动气缸和压块组成，压块驱动气缸的缸体固定在石英舟移动机构6的滑座上，压块驱动气缸的活塞杆上固定有压块。
石英舟移动机构6的滑座上固定有两个以上的定位机构9，石英舟5后方有一个定位机构9，前方有一个挡板，石英舟5右侧有一个定位机构9，左侧有一个挡板。后方的定位机构9的压块驱动气缸驱使压块将石英舟压紧在前方的挡板上。右侧的定位机构9的压块驱动气缸驱使压块将石英舟5压紧在左侧的挡板上。
硅片花篮2和石英舟5是由数个支撑杆与两块侧板组成，两个相互平行的侧板通过数根支撑杆固定连接在一起。
本申请的工作方式为，将石英舟5放置到石英舟移动机构6的滑座上，然后由定位机构9将石英舟5进行定位。再由石英舟移动机构6将空的石英舟5移动到硅片下降机构7的上方。接着连接架二升降线性模组73驱使硅片顶板组二71往上移动，硅片顶板组二71穿出机台1的台面后，从石英舟5穿出。
首先将一叠硅片放置到硅片花篮2内，由花篮移动机构8驱使硅片花篮2往前水平移动到硅片抬升机构3的上方。接着硅片抬升机构3的连接架一升降线性模组33驱使硅片顶板组一31往上移动，硅片顶板组一31穿出机台1的台面和硅片花篮2，从而将一叠硅片一次抬升出硅片花篮2。然后抓硅片机械手4将抬起的硅片抓起之后，放置到硅片下降机构7的硅片顶板组二71上。再由硅片顶板组二71将一叠硅片下降至石英舟5内。最后由石英舟移动机构6驱使石英舟5水平移动到出料工位，定位机构9将石英舟5放开后，再将满载的石英舟5取走。
以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
Claims (7)
1.一种硅片取放料装置，其特征在于：包括机台(1)、硅片花篮(2)、硅片抬升机构(3)、抓硅片机械手(4)、石英舟(5)、石英舟移动机构(6)、硅片下降机构(7)、花篮移动机构(8)、定位机构(9)，所述机台(1)上安装有花篮移动机构(8)、硅片抬升机构(3)、抓硅片机械手(4)、石英舟移动机构(6)、硅片下降机构(7)，机台(1)上设有用于穿过硅片抬升机构(3)的穿孔和用于穿过硅片下降机构(7)的穿孔，石英舟移动机构(6)上安装有用于定位石英舟(5)的定位机构(9)，花篮移动机构(8)上安装有硅片花篮(2)。
2.根据权利要求1所述的硅片取放料装置，其特征在于：所述硅片抬升机构(3)由硅片顶板组一(31)、连接架一(32)、连接架一升降线性模组(33)组成，连接架一升降线性模组(33)的滑座上固定有两个以上的连接架一(32)，每个连接架一(32)上固定有硅片顶板组一(31)，硅片顶板组一(31)由一排相互平行且排列呈直线的顶板组成，顶板端头设有尖顶。
3.根据权利要求1所述的硅片取放料装置，其特征在于：所述抓硅片机械手(4)由吸板升降线性模组(41)、吸板水平线性模组一(42)、吸板(43)、吸板水平线性模组二(44)组成，吸板水平线性模组二(44)的缸体固定在机台(1)上，吸板升降线性模组(41)的缸体固定在吸板水平线性模组二(44)的滑座上，吸板升降线性模组(41)的滑座上固定有吸板水平线性模组一(42)，吸板水平线性模组一(42)的滑座上固定有数个相互平行且排列呈直线的吸板(43)，吸板(43)上设有吸孔，吸板(43)底部固定有凸起块，凸起块固定在吸板水平线性模组一(42)的滑座上，相邻吸板(43)的凸起块贴合在一起。
4.根据权利要求1所述的硅片取放料装置，其特征在于：所述石英舟移动机构(6)为水平线性模组，定位机构(9)固定在石英舟移动机构(6)的滑座上。
5.根据权利要求1所述的硅片取放料装置，其特征在于：所述硅片下降机构(7)由硅片顶板组二(71)、连接架二(72)、连接架二升降线性模组(73)组成，连接架二升降线性模组(73)的滑座上固定有两个以上的连接架二(72)，每个连接架二(72)上固定有硅片顶板组二(71)，硅片顶板组二(71)由一排相互平行且排列呈直线的顶板组成，顶板端头设有尖顶。
6.根据权利要求1所述的硅片取放料装置，其特征在于：所述花篮移动机构(8)为水平线性模组，硅片花篮(2)固定在花篮移动机构(8)的滑座上。
7.根据权利要求1所述的硅片取放料装置，其特征在于：所述定位机构(9)由压块驱动气缸和压块组成，压块驱动气缸的缸体固定在石英舟移动机构(6)的滑座上，压块驱动气缸的活塞杆上固定有压块。
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