CN212892894U - 一种背光模组覆合输送装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种背光模组覆合输送装置，包括机架，背光模组覆合输送装置包含设置在机架上的背光模组覆合工作台和薄膜移载覆合装置，所述的背光模组覆合工作台包含设置在机架上的左覆合工作台和设置在机架上的右覆合工作台；本实用新型的背光模组覆合工作台通过在机架上设置左覆合工作台和右覆合工作台，左吸附组件和右吸附组件能在承接工位和覆膜工位之间循环运动，采用这种设计，当左吸附组件位于承接工位进行承接遮光膜时，右吸附组件可以移动至覆膜工位进行覆膜工序，可以同时进行覆膜的同时也可以进行准备工作，能节约时间，提高效率。

Description

一种背光模组覆合输送装置

【技术领域】

本实用新型涉及一种背光模组覆合输送装置。

【背景技术】

笔记本键盘的背光模组包含导光膜以及覆合在导光膜正面的遮光膜和覆合在导光膜背面的反光膜，在背光模组的覆合之前通过会在遮光膜、导光膜和反光膜上印刷上不干胶，以方便进行覆合；现有的笔记本键盘背光模组的生产过程中，通常是采用人工的方式进行覆合，采用人工贴合的方式效率低，因此迫切需要能进行自动化进行背光模组覆合工作的自动化设备；因为背光模组在覆合时需要先将导光膜覆合到反光膜上，然后将遮光膜覆合到导光膜上，所以进行覆合的时候需要较长的时间，导致效率低。

本实用新型即是针对现有技术的不足而研究提出。

【实用新型内容】

为解决上述技术问题，本实用新型的一种背光模组覆合输送装置，包括机架，背光模组覆合输送装置包含设置在机架上的背光模组覆合工作台和薄膜移载覆合装置，所述的背光模组覆合工作台包含设置在机架上的左覆合工作台和设置在机架上的右覆合工作台，所述的左覆合工作台包含沿水平方向滑动连接机架上的左滑台，所述的右覆合工作台包含沿水平方向滑动连接机架上的右滑台，所述的机架上还设有用于驱动左滑台动作的驱动器A和用于驱动右滑台动作的驱动器B，所述的左滑台和左滑台相互平行，所述的左滑台上沿竖直方向滑动连接有左承载座，所述的左滑台上设有用于驱动左承载座上下滑动的左驱动器，所述的左承载座上设有用于吸附遮光膜的左吸附组件，所述的右滑台上沿竖直方向滑动连接有右承载座，所述的右滑台上设有用于驱动右承载座上下滑动的右驱动器，所述的右承载座上设有用于吸附遮光膜的右吸附组件，所述的机架上设有用于承接遮光膜的承接工位和用于将导光膜和反光膜覆合到遮光膜上的覆膜工位，所述的左吸附组件和右吸附组件能在承接工位和覆膜工位之间循环运动；所述的薄膜移载覆合装置包含设置在机架上的龙门架，所述的龙门架上设有用于将导光膜移载至覆膜工位的第一移载机构和用于将遮光膜移载至覆膜工位的第二移载机构，所述的第一移载机构上设有用于吸附导光膜的吸附组件A，所述的第二移载机构上设有用于吸附反光膜的吸附组件B；所述覆膜工位的尾部设有传送带组件，所述的龙门架上设有用于将在覆膜工位完成覆膜的背光模组移载至传送带组件上的背光模组移载组件。

如上所述的一种背光模组覆合输送装置，所述的背光模组移载组件包含连接在龙门架上的移载板，所述的移载板上滑动连接有移载滑动座，所述的移载板上设有用于驱动移载滑动座动作的驱动组件，所述的移载滑动座上设有升降气缸，所述升降气缸的缸体连接在移载滑动座上，所述升降气缸的执行端设有用于吸附背光模组的背光模组吸附组件。

如上所述的一种背光模组覆合输送装置，所述的背光模组吸附组件包含连接在升降气缸的执行端上的吸附架，所述的吸附架的底部设有安装板，所述的安装板上设有多组吸附头；所述的安装板上设有与吸附头一一对应的定位孔，所述的吸附头包含滑动连接在定位孔上的吸附头本体，所述吸附头本体的下端连接有抽气吸盘；所述的吸附头本体上套设有弹簧A，所述的弹簧A位于安装板底面和抽气吸盘上端之间。

如上所述的一种背光模组覆合输送装置，所述的机架上设有用于识别遮光膜相对左吸附组件或者右吸附组件位置的第一位置识别传感器，所述的机架上设有用于识别导光膜相对吸附组件A位置的第二位置识别传感器，所述的机架上设有用于识别反光膜相对吸附组件B 位置的第三位置识别传感器。

如上所述的一种背光模组覆合输送装置，所述的左滑台的左侧设有滑孔A，所述的左承载座的左侧设有与滑孔A滑动配合的左导柱。

如上所述的一种背光模组覆合输送装置，所述的左吸附组件包含设置的左承载座上表面的左吸附底板，所述的左吸附底板上设有左吸附面板，所述的左吸附底板和左吸附面板之间设有真空腔A，所述的左吸附面板的表面设有与真空腔A相通的吸附孔A。

如上所述的一种背光模组覆合输送装置，所述的第一移载机构包含沿水平方向滑动连接在龙门架上的水平滑动座A，所述的龙门架上设有用于驱动水平滑动座A动作的驱动器E，所述的水平滑动座A上设有沿竖直方向滑动的竖直滑动座A，所述的水平滑动座A上设有用于驱动竖直滑动座A动作的驱动器F，所述的水平滑动座A的底部设有旋转气缸A，所述的吸附组件A设置在旋转气缸A的执行端。

如上所述的一种背光模组覆合输送装置，所述的第二移载机构包含沿水平方向滑动连接在龙门架上的水平滑动座B，所述的龙门架上设有用于驱动水平滑动座B动作的驱动器G，所述的水平滑动座B上设有沿竖直方向滑动的竖直滑动座B，所述的水平滑动座B上设有用于驱动竖直滑动座B动作的驱动器H，所述的水平滑动座B的底部设有旋转气缸B，所述的吸附组件B设置在旋转气缸B的执行端。

如上所述的一种背光模组覆合输送装置，所述的吸附组件A包含设置在第一移载机构上的底板，所述的底板上设有安装孔，所述的安装孔上滑动连接有滑杆，所述滑杆的上端设有限位部，所述滑杆的下端连接有吸附底板，所述吸附底板的底面连接有吸附面板，所述的吸附面板和吸附底板之间设有真空腔C，所述的吸附面板上设有与真空腔C相通的吸附孔；所述的底板和吸附底板之间设有弹簧B。

与现有技术相比，本实用新型具有如下优点：

1、本实用新型的背光模组覆合工作台通过在机架上设置左覆合工作台和右覆合工作台，其中左覆合工作台包含左滑台、驱动器A、左承载座、左驱动器以及左吸附组件，右覆合工作台包含右滑台、驱动器B、右承载座、右驱动器以及右吸附组件，左覆合工作台和右覆合工作台大致呈对称设置，使得左吸附组件和右吸附组件能在承接工位和覆膜工位之间循环运动，采用这种设计，当左吸附组件位于承接工位进行承接遮光膜时，右吸附组件可以移动至覆膜工位进行覆膜工序，可以同时进行覆膜的同时也可以进行准备工作，能节约时间，提高效率。

2、本实用新型的薄膜移载覆合装置包含用于吸附导光膜的吸附组件A，并通过第一移载机构驱动吸附组件A移动至覆膜工位进而将导光膜覆合到反光膜上，薄膜移载覆合装置还包含用于吸附遮光膜的吸附组件B，并通过第二移载机构驱动吸附组件B移动至覆膜工位进而将遮光膜覆合到导光膜上，实现反光膜、导光膜和遮光膜的覆合，能自动地完成背光模组的覆合工作，自动化程度高且工作效率高；本实用新型中，在覆膜工位的尾部设有传送带组件，在龙门架上设有用于将在覆膜工位完成覆膜的背光模组移载至传送带组件上的背光模组移载组件。

3、背光模组移载组件能将完成覆膜的背光模组自动地移载至传送带组件，便于提高整体的工作效率。

【附图说明】

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细说明，其中：

图1为本实用新型的背光模组覆合装置应用在背光模组覆合设备上的结构示意图之一；

图2为本实用新型的背光模组覆合装置应用在背光模组覆合设备上的俯视示意图；

图3为本实用新型的背光模组覆合装置应用在背光模组覆合设备上的侧视示意图；

图4为本实用新型的背光模组覆合装置应用在背光模组覆合设备上的局部示意图之一；

图5为图4中标记的A部分的放大图；

图6为本实用新型中背光模组覆合工作台的结构示意图；

图7为图6中标记的B部分的放大图；

图8本实用新型中左覆合工作台的结构示意图；

图9为本实用新型的背光模组覆合装置应用在背光模组覆合设备上的局部示意图之二；

图10为图9中标记的C部分的放大图；

图11为本实用新型中吸附组件A的结构示意图；

图12为本实用新型中吸附组件A的立体剖视图；

图13为本实用新型的背光模组覆合装置应用在背光模组覆合设备上的结构示意图之二；

图14为本实用新型中背光模组移载组件的结构示意图；

图15为图14中标记的D部分的放大图。

【具体实施方式】

下面结合附图对本实用新型的实施方式作详细说明。

如图1至图15所示，本实施例的一种背光模组覆合输送装置，包括机架10，背光模组覆合输送装置包含设置在机架10上的背光模组覆合工作台4和薄膜移载覆合装置5，所述的背光模组覆合工作台 4包含设置在机架10上的左覆合工作台041和设置在机架10上的右覆合工作台042，所述的左覆合工作台041包含沿水平方向滑动连接机架10上的左滑台41，所述的右覆合工作台042包含沿水平方向滑动连接机架10上的右滑台42，所述的机架10上还设有用于驱动左滑台41动作的驱动器A和用于驱动右滑台42动作的驱动器B，所述的左滑台41和左滑台41相互平行，所述的左滑台41上沿竖直方向滑动连接有左承载座43，所述的左滑台41上设有用于驱动左承载座 43上下滑动的左驱动器44，所述的左承载座43上设有用于吸附遮光膜101的左吸附组件45，所述的右滑台42上沿竖直方向滑动连接有右承载座46，所述的右滑台42上设有用于驱动右承载座46上下滑动的右驱动器47，所述的右承载座46上设有用于吸附遮光膜101的右吸附组件48，所述的机架10上设有用于承接遮光膜101的承接工位401和用于将导光膜103和反光膜102覆合到遮光膜101上的覆膜工位402，所述的左吸附组件45和右吸附组件48能在承接工位401 和覆膜工位402之间循环运动；所述的薄膜移载覆合装置5包含设置在机架10上的龙门架51，所述的龙门架51上设有用于将导光膜103 移载至覆膜工位402的第一移载机构52和用于将遮光膜101移载至覆膜工位402的第二移载机构53，所述的第一移载机构52上设有用于吸附导光膜103的吸附组件A54，所述的第二移载机构53上设有用于吸附反光膜102的吸附组件B55；所述覆膜工位402的尾部设有传送带组件6，所述的龙门架51上设有用于将在覆膜工位402完成覆膜的背光模组移载至传送带组件6上的背光模组移载组件9。本实用新型的背光模组覆合工作台通过在机架上设置左覆合工作台和右覆合工作台，其中左覆合工作台包含左滑台、驱动器A、左承载座、左驱动器以及左吸附组件，右覆合工作台包含右滑台、驱动器B、右承载座、右驱动器以及右吸附组件，左覆合工作台和右覆合工作台大致呈对称设置，使得左吸附组件和右吸附组件能在承接工位和覆膜工位之间循环运动，采用这种设计，当左吸附组件位于承接工位进行承接遮光膜时，右吸附组件可以移动至覆膜工位进行覆膜工序，可以同时进行覆膜的同时也可以进行准备工作，能节约时间，提高效率；本实用新型的薄膜移载覆合装置包含用于吸附导光膜的吸附组件A，并通过第一移载机构驱动吸附组件A移动至覆膜工位进而将导光膜覆合到反光膜上，薄膜移载覆合装置还包含用于吸附遮光膜的吸附组件 B，并通过第二移载机构驱动吸附组件B移动至覆膜工位进而将遮光膜覆合到导光膜上，实现反光膜、导光膜和遮光膜的覆合，能自动地完成背光模组的覆合工作，自动化程度高且工作效率高；本实用新型中，在覆膜工位的尾部设有传送带组件，在龙门架上设有用于将在覆膜工位完成覆膜的背光模组移载至传送带组件上的背光模组移载组件；背光模组移载组件能将完成覆膜的背光模组自动地移载至传送带组件，便于提高整体的工作效率。

如图13、图14、图15所示，本实施例中，背光模组移载组件9 包含连接在龙门架51上的移载板92，所述的移载板92上滑动连接有移载滑动座93，所述的移载板92上设有用于驱动移载滑动座93 动作的驱动组件94，所述的移载滑动座93上设有升降气缸95，所述升降气缸95的缸体连接在移载滑动座93上，所述升降气缸95的执行端设有用于吸附背光模组的背光模组吸附组件96。背光模组移载组件通过将升降气缸的缸体连接在移载滑动座上，并且在升降气缸的执行端设有背光模组吸附组件，采用这种结构，能实现对背光模组吸附组件在水平方向和竖直方向的移载，具有结构简单、成本低、响应速度快的优点。

本实施例中，背光模组吸附组件96包含连接在升降气缸95的执行端上的吸附架961，所述的吸附架961的底部设有安装板962，所述的安装板962上设有多组吸附头963；所述的安装板962上设有与吸附头963一一对应的定位孔，所述的吸附头963包含滑动连接在定位孔上的吸附头本体9631，所述吸附头本体9631的下端连接有抽气吸盘9632；所述的吸附头本体9631上套设有弹簧A9633，所述的弹簧A9633位于安装板962底面和抽气吸盘9632上端之间。采用这种设计，通过弹簧的弹力使吸附头具有向下的弹力，当背光模组吸附组件吸附背光模组的时候，不会对背光模组产生刚性的压力，避免对背光模组造成机械损伤。

如图4和图5所示，在进行将导光膜覆合到反光膜以及将遮光膜覆合到导光膜的操作中，需要对反光膜、导光膜和遮光膜的进行定位以确保覆合的准确性；为此，在机架10上设有用于识别遮光膜101 相对左吸附组件45或者右吸附组件48位置的第一位置识别传感器 81，所述的机架10上设有用于识别导光膜103相对吸附组件A54位置的第二位置识别传感器82，所述的机架10上设有用于识别反光膜 102相对吸附组件B55位置的第三位置识别传感器83。第一位置识别传感器、第二位置识别传感器和第三位置识别传感器可以采用市场上成熟的机器视觉定位技术，此处不再赘述。

本实施例中，在左滑台41的左侧设有滑孔A，所述的左承载座 43的左侧设有与滑孔A滑动配合的左导柱431；左吸附组件45包含设置的左承载座43上表面的左吸附底板451，所述的左吸附底板451 上设有左吸附面板452，所述的左吸附底板451和左吸附面板452之间设有真空腔A，所述的左吸附面板452的表面设有与真空腔A相通的吸附孔A453。因为左覆合工作台和右覆合工作台大致呈对称设置，为此右覆合工作台与左覆合工作台的结构一样，故右覆合工作台不再重复赘述。

第一移载机构用于驱动吸附组件A移动至覆膜工位进而将导光膜覆合到反光膜上，第一移载机构52包含沿水平方向滑动连接在龙门架51上的水平滑动座A521，所述的龙门架51上设有用于驱动水平滑动座A521动作的驱动器E，所述的水平滑动座A521上设有沿竖直方向滑动的竖直滑动座A522，所述的水平滑动座A521上设有用于驱动竖直滑动座A522动作的驱动器F，所述的水平滑动座A521的底部设有旋转气缸A523，所述的吸附组件A54设置在旋转气缸A523的执行端；第一移载机构用于驱动吸附组件A在水平方向、竖直方向运动，同时还能驱动吸附组件A旋转。

第二移载机构用于驱动吸附组件B移动至覆膜工位进而将遮光膜覆合到导光膜，第二移载机构53包含沿水平方向滑动连接在龙门架51上的水平滑动座B531，所述的龙门架51上设有用于驱动水平滑动座B531动作的驱动器G，所述的水平滑动座B531上设有沿竖直方向滑动的竖直滑动座B532，所述的水平滑动座B531上设有用于驱动竖直滑动座B532动作的驱动器H，所述的水平滑动座B531的底部设有旋转气缸B533，所述的吸附组件B55设置在旋转气缸B533的执行端；第二移载机构用于驱动吸附组件B在水平方向、竖直方向运动，同时还能驱动吸附组件B旋转。

如图11所示，本实施例中，吸附组件A54包含设置在第一移载机构52上的底板541，所述的底板541上设有安装孔，所述的安装孔上滑动连接有滑杆542，所述滑杆542的上端设有限位部5421，所述滑杆542的下端连接有吸附底板543，所述吸附底板543的底面连接有吸附面板544，所述的吸附面板544和吸附底板543之间设有真空腔C，所述的吸附面板544上设有与真空腔C相通的吸附孔5441；所述的底板541和吸附底板543之间设有弹簧B545。吸附组件A包含底板、吸附底板和吸附面板，吸附底板和吸附面板之间密封连接，吸附底板通过滑杆与底板滑动连接，采用这种方式，吸附组件在下压吸附的过程中能有足够的缓冲余量，能避免对薄膜造成机械损伤；同时，通过在吸附底板和吸附面板之间设置真空腔，真空腔可以通过管道与真空抽气设备连接，并且在吸附面板上设有与真空腔相通的吸附孔，吸附孔可以均匀的设置在吸附面板上，采用这种方式，能对薄膜提供均匀的吸附力。同时，为了减少避免吸附底板和吸附面板相对底板的振动，在底板541和吸附底板543之间设有弹簧545。

吸附组件B与吸附组件A的结构一样，故本实施例中，不对吸附组件B进行赘述。

图1和图2为背光模组覆合设备的示意图，其中标号1所指代的部件为反光膜剥离装置，标号2所指代的部件为遮光膜剥离装置，标号3所指代的部件为导光膜剥离装置，而本实用新型的背光模组覆合输送装置就是为了将剥离出来的反光膜、导光膜和遮光膜进行覆合，然后输送至传送带组件。

上述仅以实施例来进一步说明本实用新型的技术内容，以便于读者更容易理解，但不代表本实用新型的实施方式仅限于此，任何依本实用新型所做的技术延伸或再创造，均受本实用新型的保护。本实用新型的保护范围以权利要求书为准。

Claims (9)

1.一种背光模组覆合输送装置，其特征在于，包括机架(10)，背光模组覆合输送装置包含设置在机架(10)上的背光模组覆合工作台(4)和薄膜移载覆合装置(5)，所述的背光模组覆合工作台(4)包含设置在机架(10)上的左覆合工作台(041)和设置在机架(10)上的右覆合工作台(042)，所述的左覆合工作台(041)包含沿水平方向滑动连接机架(10)上的左滑台(41)，所述的右覆合工作台(042)包含沿水平方向滑动连接机架(10)上的右滑台(42)，所述的机架(10)上还设有用于驱动左滑台(41)动作的驱动器A和用于驱动右滑台(42)动作的驱动器B，所述的左滑台(41)和左滑台(41)相互平行，所述的左滑台(41)上沿竖直方向滑动连接有左承载座(43)，所述的左滑台(41)上设有用于驱动左承载座(43)上下滑动的左驱动器(44)，所述的左承载座(43)上设有用于吸附遮光膜(101)的左吸附组件(45)，所述的右滑台(42)上沿竖直方向滑动连接有右承载座(46)，所述的右滑台(42)上设有用于驱动右承载座(46)上下滑动的右驱动器(47)，所述的右承载座(46)上设有用于吸附遮光膜(101)的右吸附组件(48)，所述的机架(10)上设有用于承接遮光膜(101)的承接工位(401)和用于将导光膜(103)和反光膜(102)覆合到遮光膜(101)上的覆膜工位(402)，所述的左吸附组件(45)和右吸附组件(48)能在承接工位(401)和覆膜工位(402)之间循环运动；所述的薄膜移载覆合装置(5)包含设置在机架(10)上的龙门架(51)，所述的龙门架(51)上设有用于将导光膜(103)移载至覆膜工位(402)的第一移载机构(52)和用于将遮光膜(101) 移载至覆膜工位(402)的第二移载机构(53)，所述的第一移载机构(52)上设有用于吸附导光膜(103)的吸附组件A(54)，所述的第二移载机构(53)上设有用于吸附反光膜(102)的吸附组件B(55)；所述覆膜工位(402)的尾部设有传送带组件(6)，所述的龙门架(51)上设有用于将在覆膜工位(402)完成覆膜的背光模组移载至传送带组件(6)上的背光模组移载组件(9)。

2.根据权利要求1所述的一种背光模组覆合输送装置，其特征在于所述的背光模组移载组件(9)包含连接在龙门架(51)上的移载板(92)，所述的移载板(92)上滑动连接有移载滑动座(93)，所述的移载板(92)上设有用于驱动移载滑动座(93)动作的驱动组件(94)，所述的移载滑动座(93)上设有升降气缸(95)，所述升降气缸(95)的缸体连接在移载滑动座(93)上，所述升降气缸(95)的执行端设有用于吸附背光模组的背光模组吸附组件(96)。

3.根据权利要求2所述的一种背光模组覆合输送装置，其特征在于所述的背光模组吸附组件(96)包含连接在升降气缸(95)的执行端上的吸附架(961)，所述的吸附架(961)的底部设有安装板(962)，所述的安装板(962)上设有多组吸附头(963)；所述的安装板(962)上设有与吸附头(963)一一对应的定位孔，所述的吸附头(963)包含滑动连接在定位孔上的吸附头本体(9631)，所述吸附头本体(9631)的下端连接有抽气吸盘(9632)；所述的吸附头本体(9631)上套设有弹簧A(9633)，所述的弹簧A(9633)位于安装板(962)底面和抽气吸盘(9632)上端之间。

4.根据权利要求1所述的一种背光模组覆合输送装置，其特征在于所述的机架(10)上设有用于识别遮光膜(101)相对左吸附组件(45)或者右吸附组件(48)位置的第一位置识别传感器(81)，所述的机架(10)上设有用于识别导光膜(103)相对吸附组件A(54)位置的第二位置识别传感器(82)，所述的机架(10)上设有用于识别反光膜(102)相对吸附组件B(55)位置的第三位置识别传感器(83)。

5.根据权利要求1所述的一种背光模组覆合输送装置，其特征在于所述的左滑台(41)的左侧设有滑孔A，所述的左承载座(43)的左侧设有与滑孔A滑动配合的左导柱(431)。

6.根据权利要求1所述的一种背光模组覆合输送装置，其特征在于所述的左吸附组件(45)包含设置的左承载座(43)上表面的左吸附底板(451)，所述的左吸附底板(451)上设有左吸附面板(452)，所述的左吸附底板(451)和左吸附面板(452)之间设有真空腔A，所述的左吸附面板(452)的表面设有与真空腔A相通的吸附孔A(453)。

7.根据权利要求1所述的一种背光模组覆合输送装置，其特征在于所述的第一移载机构(52)包含沿水平方向滑动连接在龙门架(51)上的水平滑动座A(521)，所述的龙门架(51)上设有用于驱动水平滑动座A(521)动作的驱动器E，所述的水平滑动座A(521)上设有沿竖直方向滑动的竖直滑动座A(522)，所述的水平滑动座A(521)上设有用于驱动竖直滑动座A(522)动作的驱动器F，所述的水平滑动座A(521)的底部设有旋转气缸A(523)，所述的吸附组件A(54)设置在旋转气缸A(523)的执行端。

8.根据权利要求1所述的一种背光模组覆合输送装置，其特征在于所述的第二移载机构(53)包含沿水平方向滑动连接在龙门架(51)上的水平滑动座B(531)，所述的龙门架(51)上设有用于驱动水平滑动座B(531)动作的驱动器G，所述的水平滑动座B(531)上设有沿竖直方向滑动的竖直滑动座B(532)，所述的水平滑动座B(531)上设有用于驱动竖直滑动座B(532)动作的驱动器H，所述的水平滑动座B(531)的底部设有旋转气缸B(533)，所述的吸附组件B(55)设置在旋转气缸B(533)的执行端。

9.根据权利要求1所述的一种背光模组覆合输送装置，其特征在于所述的吸附组件A(54)包含设置在第一移载机构(52)上的底板(541)，所述的底板(541)上设有安装孔，所述的安装孔上滑动连接有滑杆(542)，所述滑杆(542)的上端设有限位部(5421)，所述滑杆(542)的下端连接有吸附底板(543)，所述吸附底板(543)的底面连接有吸附面板(544)，所述的吸附面板(544)和吸附底板(543)之间设有真空腔C，所述的吸附面板(544)上设有与真空腔C相通的吸附孔(5441)；所述的底板(541)和吸附底板(543)之间设有弹簧B(545)。

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