CN212683566U - 一种抛光机所用的新型抛光头及其治具 - Google Patents
一种抛光机所用的新型抛光头及其治具 Download PDFInfo
- Publication number
- CN212683566U CN212683566U CN202020807518.7U CN202020807518U CN212683566U CN 212683566 U CN212683566 U CN 212683566U CN 202020807518 U CN202020807518 U CN 202020807518U CN 212683566 U CN212683566 U CN 212683566U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- pressure distribution
- distribution ring
- polishing head
- annular groove
- jig
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims abstract description 63
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 claims abstract description 11
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 claims abstract description 11
- -1 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 claims description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 abstract description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
本实用新型提供了一种抛光机所用的新型抛光头及其治具，抛光头包括抛光头本体，所述抛光头本体底部装有压力分配环，所述抛光头侧壁上安装有拆卸压力分配环的拆卸件。治具包括治具本体，所述治具本体用于安装压力分配环的治具。本实用新型所述的抛光头本体侧面安装有拆卸压力分配环的四氟螺纹顶杆，四氟螺纹顶杆与抛光头本体螺纹连接，通过旋转四氟螺纹顶杆将压力分配环进行拆卸，实现了压力分配环的快速拆卸；通过治具实现了压力分配环的快速安装。
Description
技术领域
本实用新型属于抛光设备技术领域，尤其是涉及一种抛光机所用的新型抛光头及其治具。
背景技术
现有技术及其不足：抛光机所用的抛光头上安装有压力分配环，根据所抛光硅片类型的不同和工艺的不同，需要用不同硬度、不同类型的压力分配环。现有的抛光头，安装和拆卸压力分配环非常不便：安装时，用纯手工的方式将压力分配环按入安装槽内，效率非常低；拆卸时，用螺丝刀从压力分配环与安装槽之间的缝隙***，将压力分配环从安装槽里剜出，这种拆卸方式极易损坏压力分配环，使之无法再使用，造成极大的浪费。
实用新型内容
有鉴于此，本实用新型旨在提出一种抛光机所用的新型抛光头及其治具，以解决现有抛光头安装和拆卸压力分配环困难的问题。
为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：
一种抛光机所用的新型抛光头，包括抛光头本体，所述抛光头本体底部装有压力分配环，所述抛光头侧壁上安装有拆卸压力分配环的拆卸件。
进一步的，所述抛光头本体底部设有第一环形凹槽，所述压力分配环安装在第一环形凹槽内，所述抛光头本体侧壁上设有通孔，所述通孔与第一环形凹槽相通，所述拆卸件安装在通孔内与压力分配环贴合。
进一步的，所述第一环形凹槽的截面为矩形，所述压力分配环的截面为圆形，所述第一环形凹槽的宽度小于压力分配环的直径。
进一步的，所述通孔倾斜设置，所述通孔内设有螺纹，所述拆卸件包括四氟螺纹顶杆，所述四氟螺纹顶杆与通孔相对应，所述四氟螺纹顶杆与通孔螺纹连接，所述四氟螺纹顶杆一端顶在压力分配环上。
进一步的，所述四氟螺纹顶杆顶在压力分配环一端为半球形。
进一步的，所述四氟螺纹顶杆远离压力分配环的一端设有带滚花的凸台。
一种抛光机所用的新型抛光头治具，包括治具本体，所述治具本体用于安装以上任一所述的抛光头，所述治具本体上设有与的压力分配环相对应的第二环形凹槽。
进一步的，所述治具本体为圆形托盘，底部向上延伸出侧壁，所述第二环形凹槽设置在治具本体的底部，所述压力分配环底部安装在第二环形凹槽内。
进一步的，所述第二环形凹槽直径与压力分配环的直径相对应，所述第二环形凹槽截面的深度为压力分配环截面直径的四分之一。
相对于现有技术，本实用新型所述的一种抛光机所用的新型抛光头及其治具具有以下优势：
(1)本实用新型所述的抛光头本体侧面安装有拆卸压力分配环的四氟螺纹顶杆，四氟螺纹顶杆与抛光头本体螺纹连接，通过旋转四氟螺纹顶杆将压力分配环进行拆卸，实现了压力分配环的快速拆卸。
(2)本实用新型所述的治具本体底部设有与压力分配环对应的第二凹槽，压力分配环的四分之一位于第二凹槽内，通过治具本体将压力分配环的四分之三安装到抛光头本体的第一凹槽内。
附图说明
构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
图1为本实用新型实施例所述的一种抛光机所用的新型抛光头及其治具结构图；
图2为本实用新型实施例所述的图1中A部放大示意图；
图3为本实用新型实施例所述的图1中B部放大示意图。
附图标记说明：
1、抛光头本体；2、四氟螺纹顶杆；3、压力分配环；4、治具本体；5、第二环形凹槽；6、第一环形凹槽。
具体实施方式
需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。
如图1至图3所示，一种抛光机所用的新型抛光头，包括抛光头本体1，所述抛光头本体1底部装有压力分配环3，所述抛光头侧壁上安装有拆卸压力分配环3的拆卸件。
所述抛光头本体1底部设有第一环形凹槽6，所述压力分配环3安装在第一环形凹槽6内，所述抛光头本体1侧壁上设有通孔，所述通孔与第一环形凹槽6相通，所述拆卸件安装在通孔内与压力分配环3贴合。
所述第一环形凹槽6的截面为矩形，所述压力分配环3的截面为圆形，所述第一环形凹槽6的宽度小于压力分配环3的直径。
所述通孔倾斜设置，所述通孔内设有螺纹，所述拆卸件包括四氟螺纹顶杆2，所述四氟螺纹顶杆2与通孔相对应，所述四氟螺纹顶杆2与通孔螺纹连接，所述四氟螺纹顶杆2一端顶在压力分配环3上。
所述四氟螺纹顶杆2顶在压力分配环3上，四氟螺纹顶杆2的一端为半球形。
所述四氟螺纹顶杆2远离压力分配环3的一端设有带滚花的凸台。
一种抛光机所用的新型抛光头治具，包括治具本体4，所述治具本体4 用于安装以上任一所述的抛光头，所述治具本体上设有与的压力分配环3相对应的第二环形凹槽5。
所述治具本体4为圆形托盘，底部向上延伸出侧壁，所述第二环形凹槽 5设置在治具本体4的底部，所述压力分配环3底部安装在第二环形凹槽5 内。
所述第二环形凹槽5直径与压力分配环3的直径相对应，所述第二环形凹槽5截面的深度为压力分配环3截面直径的四分之一。
所述压力分配环为橡胶材质。
具体实现方式如下：
抛光头本体1的侧面具有一个与第一环形凹槽6相联通的通孔，通孔中安装有一根四氟材料的四氟螺纹顶杆2，所述四氟螺纹顶杆2与通孔为螺纹连接。拆卸压力分配环3时，将四氟螺纹顶杆2旋入，即能将压力分配环3 的一部分顶出第一环形凹槽6，用手轻拉顶出第一环形槽的部分压力分配环 3，即可将整根压力分配环3从第一环形凹槽6内拉出并拆下，压力分配环3 拆下之后，将四氟螺纹顶杆2旋回即可；四氟螺纹顶杆22的头部为半球形，防止将压力分配环3顶坏；为方便旋动四氟螺纹顶杆2，四氟螺纹顶杆2的尾部有带滚花的凸台，在手动旋动四氟螺纹顶杆2时能提供较大的摩擦力，防止打滑；四氟螺纹顶杆2上带有刻度线标记，直观的展示出螺纹顶杆旋入的深度，刻度线设有两条，所述两条刻度线沿四氟螺纹顶杆2的轴向上下分布；当下部的一条刻度线露出抛光头本体1时说明四氟螺纹顶杆2远离压力分配环3，当上部的一条刻度线进入到抛光头本体1中时说明四氟螺纹顶杆 2将压力分配环3部分顶出。
安装压力分配环3时，先将抛光头升起，将压力分配环3安装治具放于抛光头正下方，再将准备安装的压力分配环3置于治具底部的第二环形凹槽 5内，此时将抛光头降至安装治具中，直至与治具底部贴合后再抬起抛光头，此时压力分配环3已压入抛光头的第一环形凹槽6内。因为治具本体底部向上延伸的侧壁有一个向外倾斜的角度，具有自动定心功能。
治具本体4为圆形托盘，圆形托盘向上延伸出挡壁，治具底部设有第二环形凹槽5，第二环形凹槽5的深度为压力分配环3直径的四分之一，压力分配环3的四分之一位于第二环形凹槽5内，抛光头本体1在安装压力分配环3时，抛光头本体1向治具盘底挤压，压力分配环3为橡胶材质，此时压力分配环3的四分之三被安装到第一环形凹槽6内，所述压力分配环3凸出于第一环形凹槽6。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种抛光机所用的新型抛光头，其特征在于：包括抛光头本体(1)，所述抛光头本体(1)底部装有压力分配环(3)，所述抛光头侧壁上安装有拆卸压力分配环(3)的拆卸件。
2.根据权利要求1所述的一种抛光机所用的新型抛光头，其特征在于：所述抛光头本体(1)底部设有第一环形凹槽(6)，所述压力分配环(3)安装在第一环形凹槽(6)内，所述抛光头本体(1)侧壁上设有通孔，所述通孔与第一环形凹槽(6)相通，所述拆卸件安装在通孔内与压力分配环(3)贴合。
3.根据权利要求2所述的一种抛光机所用的新型抛光头，其特征在于：所述第一环形凹槽(6)的截面为矩形，所述压力分配环(3)的截面为圆形，所述第一环形凹槽(6)的宽度小于压力分配环(3)的直径。
4.根据权利要求2所述的一种抛光机所用的新型抛光头，其特征在于：通孔倾斜设置，所述通孔内设有螺纹，所述拆卸件包括四氟螺纹顶杆(2)，所述四氟螺纹顶杆(2)与通孔相对应，所述四氟螺纹顶杆(2)与通孔螺纹连接，所述四氟螺纹顶杆(2)一端顶在压力分配环(3)上。
5.根据权利要求4所述的一种抛光机所用的新型抛光头，其特征在于：所述四氟螺纹顶杆(2)顶在压力分配环(3)一端为半球形。
6.根据权利要求5所述的一种抛光机所用的新型抛光头，其特征在于：所述四氟螺纹顶杆(2)远离压力分配环(3)的一端设有带滚花的凸台。
7.一种抛光机所用的新型抛光头治具，其特征在于：包括治具本体(4)，所述治具本体(4)用于安装权利要求1至权利要求5任一所述的抛光头，所述治具本体上设有与的压力分配环(3)相对应的第二环形凹槽(5)。
8.根据权利要求7所述的一种抛光机所用的新型抛光头治具，其特征在于：所述治具本体(4)为圆形托盘，底部向上延伸出侧壁，所述第二环形凹槽(5)设置在治具本体(4)的底部，所述压力分配环(3)底部安装在第二环形凹槽(5)内。
9.根据权利要求8所述的一种抛光机所用的新型抛光头治具，其特征在于：所述第二环形凹槽(5)直径与压力分配环(3)的直径相对应，所述第二环形凹槽(5)截面的深度为压力分配环(3)截面直径的四分之一。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202020807518.7U CN212683566U (zh) | 2020-05-14 | 2020-05-14 | 一种抛光机所用的新型抛光头及其治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202020807518.7U CN212683566U (zh) | 2020-05-14 | 2020-05-14 | 一种抛光机所用的新型抛光头及其治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN212683566U true CN212683566U (zh) | 2021-03-12 |
Family
ID=74887178
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202020807518.7U Active CN212683566U (zh) | 2020-05-14 | 2020-05-14 | 一种抛光机所用的新型抛光头及其治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN212683566U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113635169A (zh) * | 2021-08-10 | 2021-11-12 | 江苏吉星新材料有限公司 | 毛刺修整机构以及抛光装置 |
-
2020
- 2020-05-14 CN CN202020807518.7U patent/CN212683566U/zh active Active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113635169A (zh) * | 2021-08-10 | 2021-11-12 | 江苏吉星新材料有限公司 | 毛刺修整机构以及抛光装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN212683566U (zh) | 一种抛光机所用的新型抛光头及其治具 | |
| JP5297534B2 (ja) | 自動車タイヤ用エアバルブ | |
| CN209856185U (zh) | 一种具有自锁功能的定制螺丝 | |
| CN215748726U (zh) | 一种相机镜圈快换夹具装置 | |
| JP2011515233A (ja) | 迅速交換型アーバ、ホールカッタ、および方法 | |
| CN109974560B (zh) | 一种孔心定位装置 | |
| CN108942746B (zh) | 一种轴向快拆夹盘、组件和轴向夹紧装置及其使用方法 | |
| CN212205948U (zh) | 一种偏心量测量装置 | |
| CN112658463B (zh) | 一种卡扣式装配焊具及装配方法 | |
| CN210281412U (zh) | 铣对称双键槽夹具及铣槽装置 | |
| CN111805472B (zh) | 一种同心快速拆卸电极工具 | |
| CN209239092U (zh) | 卡盘 | |
| CN210732307U (zh) | 可调式表盘拆卸工具 | |
| CN219211889U (zh) | 管体承托装置 | |
| CN218333017U (zh) | 一种数显表 | |
| CN218397798U (zh) | 一种方便使用的平衡芯棒 | |
| CN218082455U (zh) | 一种离心机皮带轮锁母拆卸扳手 | |
| CN218639198U (zh) | 数控钻床防护结构 | |
| CN217475861U (zh) | 轴承拆卸装置 | |
| CN214025506U (zh) | 一种拔销器 | |
| CN220838282U (zh) | 一种螺母加工装置 | |
| CN212155766U (zh) | 具有弹性限位结构的活塞销 | |
| CN220074578U (zh) | 一种用于小缝隙面导轮轴瓦的拆卸装置 | |
| CN220063256U (zh) | 一种压力表真空连接头结构 | |
| CN202266605U (zh) | 快速装夹过渡接头 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CP03 | Change of name, title or address |
Address after: 214200 Dongjia Avenue, Yixing Economic and Technological Development Zone, Wuxi City, Jiangsu Province Patentee after: Zhonghuan Leading Semiconductor Technology Co.,Ltd. Country or region after: China Patentee after: TIANJIN ZHONGHUAN ADVANCED MATERIAL TECHNOLOGY Co.,Ltd. Address before: 214200 Dongjia Avenue, Yixing Economic and Technological Development Zone, Wuxi City, Jiangsu Province Patentee before: Zhonghuan leading semiconductor materials Co.,Ltd. Country or region before: China Patentee before: TIANJIN ZHONGHUAN ADVANCED MATERIAL TECHNOLOGY Co.,Ltd. |
|
| CP03 | Change of name, title or address |