CN212483390U - 照明模块以及缺陷检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种照明模块及缺陷检测装置，所述照明模块用于基底的缺陷检测，所述照明模块包括：光源、线型光导组件以及反射式匀光组件；所述光源与所述线型光导组件的入光端连接，所述线型光导组件的出光端与所述反射式匀光组件连接；其中，所述光源发出的探测光依次经过所述线型光导组件以及反射式匀光组件，之后在一待检测基底的表面形成预定尺寸的线型光斑。如此设置，通过将线型光导组件与反射式匀光组件相结合，所述线型光导组件将光源输出的圆形光斑直接转化为线型，在获得线型光斑的过程中未造成大的能量浪费，使得在线阵扫描检测时能量利用率明显提升，进而提高检测速度，提高检测产率。

Description

照明模块以及缺陷检测装置

技术领域

本实用新型涉及半导体检测领域，特别涉及一种照明模块以及缺陷检测装置。

背景技术

随着半导体集成电路集成度越来越高，以及半导体技术的发展，对半导体器件性能的要求越来越高，因此对半导体制造过程中的缺陷检测的要求也越来越高。光刻后的缺陷检测是指检测晶圆中是否存在凹槽、颗粒、划痕等缺陷以及缺陷位置。在半导体集成电路制造过程，光刻之后会有一些典型缺陷，如桥连(bridge)、散焦(defocus)、凹槽、颗粒、划痕等缺陷会不同程度的影响半导体集成电路的良率，因此光刻后的缺陷检测必不可少。缺陷检测技术在半导体集成电路中越来越重要。

现有的缺陷检测技术中，通过将至少两个光斑叠加进行线视场照明，这样至少两个光斑照射至被检测物体上时，一方面使得光的均匀性不佳，影响检测分辨率；另一方面，探测光斑选择性的填充TDI(time delay integration，时间延迟积分)线阵相机对应的部分视场，只能部分的利用线阵TDI探测器的行数，TDI线阵相机行数对应了光子响应度，这样造成了TDI线阵相机光子响应度的降低，进而在照明的功率密度不变的条件下，不利于提高扫描检测速度，检测速度低，进而使得检测产率低。

因此，开发出一种能够使光的均匀性良好、能够提高检测速度，进而提高检测产率的缺陷检测装置，已成为半导体检测技术领域亟待解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种照明模块以及缺陷检测装置，以解决现有缺陷检测中探测光的均匀性不佳、检测速度低以及检测产率低问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种照明模块，用于基底的缺陷检测其特性在于，包括：光源、线型光导组件以及反射式匀光组件；所述光源与所述线型光导组件的入光端连接，所述线型光导组件的出光端与所述反射式匀光组件连接；其中，所述光源发出的探测光依次经过所述线型光导组件以及反射式匀光组件，之后在一待检测基底的表面形成预定尺寸的线型光斑。

可选的，所述反射式匀光组件包括匀光腔体以及反射层，所述反射层设置于所述匀光腔体的内壁，所述匀光腔体沿轴向与所述线型光导组件的出光端连接，所述匀光腔体沿轴向贯通设置，所述反射层包括金属膜或者介质膜。

可选的，所述匀光腔体的横截面为矩形，所述矩形的长度范围在40～60mm之间，所述矩形的宽度范围在0.3～3mm之间。

可选的，所述匀光腔体沿轴向的长度不小于5毫米。

可选的，所述线型光导组件的出光端为狭缝结构。

可选的，所述狭缝结构的横截面为矩形。

为解决上述技术问题，本实用新型还提供一种缺陷检测装置，包括：照明模块、收集模块、探测模块、运动台以及控制模块；所述照明模块包括：光源、线型光导组件以及反射式匀光组件；所述光源与所述线型光导组件的入光端连接，所述线型光导组件的出光端与所述反射式匀光组件连接；所述照明模块向一待检测基底发出探测光，所述探测光依次经过所述线型光导组件以及反射式匀光组件，并在所述待检测基底的表面形成线型检测光斑；所述收集模块用于收集所述探测光在待检测基底上的反射光或散射光；所述探测模块用于获取在所述收集模块收集的所述反射光或散射光的一个或多个特性；所述运动台用于固定所述待检测基底且选择性致动所述待检测基底以便所述照明模块发射的探测光执行扫描过程；所述控制模块根据所述探测模块获取所述待检测基底上的所述反射光或者散射光的一个或多个特性，确定所述待检测基底的缺陷信息。

可选的，所述探测模块包括三线阵彩色TDI相机、黑白相机或者彩色相机中的至少一个。

可选的，所述探测模块包括三线阵彩色TDI相机。

可选的，所述照明模块的反射式匀光组件的长度不小于所述探测模块探测视场的长度，反射式匀光组件的宽度不小于所述探测模块探测视场的宽度。

在本实用新型提供的一种照明模块及缺陷检测装置中，所述照明模块用于基底的缺陷检测，所述照明模块包括：光源、线型光导组件以及反射式匀光组件；所述光源与所述线型光导组件的入光端连接，所述线型光导组件的出光端与所述反射式匀光组件连接；其中，所述光源发出的探测光依次经过所述线型光导组件以及反射式匀光组件，之后在一待检测基底的表面形成预定尺寸的线型光斑。如此设置，所述反射式匀光组件可以有效的均化照明颗粒，将探测光进行了匀化，使得光分布均匀，均匀性良好；通过将线型光导组件与反射式匀光组件相结合，所述线型光导组件将光源输出的圆形光斑直接转化为线型，在获得线型光斑的过程中未造成大的能量浪费，使得在线阵扫描检测时能量利用率明显提升，进而提高检测速度，提高检测产率。

附图说明

本领域的普通技术人员将会理解，提供的附图用于更好地理解本实用新型，而不对本实用新型的范围构成任何限定。其中：

图1为本实用新型实施例一的照明模块的部分结构示意图；

图2为本实用新型实施例一的反射式匀光组件的示意图；

图3a为本实用新型实施例一线型光导组件的出光端面在无断纤情况下的光强分布；

图3b为图3a中线型光导组件的出光端面的横截面-探测面接收光强的曲线图；

图3c为图3a中线型光导组件的出光端面纵截面-探测面接收光强的曲线图；

图3d为图3a的线型光导组件与匀光腔体连接后匀光腔体出光端面的光强分布；

图3e为图3d中匀光腔体出光端面的横截面-探测面接收光强的曲线图；

图3f为图3d中匀光腔体出光端面的纵截面-探测面接收光强的曲线图；

图4a为本实用新型实施例一线型光导组件的出光端面在有断纤情况下的光强分布；

图4b为图4a中线型光导组件的出光端面的横截面-探测面接收光强的曲线图；

图4c为图4a中线型光导组件的出光端面的纵截面-探测面接收光强的曲线图；

图4d为图4a的线型光导组件与匀光腔体连接后匀光腔体出光端面的光强分布；

图4e为图4b中匀光腔体出光端面的横截面-探测面接收光强的曲线图；

图4f为图4b中匀光腔体出光端面的纵截面-探测面接收光强的曲线图；

图5为本实用新型实施例二的缺陷检测装置的结构图；

图6为本实用新型实施例三的缺陷检测装置的结构图；

图7a为现有技术中线阵TDI相机的感光结构示意图；

图7b为本实用新型实施例三的三色线阵TDI相机的感光结构示意图。

附图中：

10-待检测基底；A-对应线阵扫描方向；

100-照明模块，

110-线型光导组件，111-出光端，

120-反射式匀光组件，121-匀光腔体，121a-匀光腔体出光端，122-反射层，

130-临界照明结构,

200-探测模块，210-黑白相机，220-彩色相机；

300-成像模块。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且未按比例绘制，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。此外，附图所展示的结构往往是实际结构的一部分。特别的，各附图需要展示的侧重点不同，有时会采用不同的比例。

如在本说明书中所使用的，单数形式“一”、“一个”以及“该”包括复数对象，除非内容另外明确指出外。如在本说明书中所使用的，术语“或”通常是以包括“和/或”的含义而进行使用的，除非内容另外明确指出外。

本实用新型实施例提供了一种照明模块及缺陷检测装置，所述照明模块用于基底的缺陷检测，所述照明模块包括：光源、线型光导组件以及反射式匀光组件；所述光源与所述线型光导组件的入光端连接，所述线型光导组件的出光端与所述反射式匀光组件连接；其中，所述光源发出的探测光依次经过所述线型光导组件以及反射式匀光组件，之后在一待检测基底的表面形成预定尺寸的线型光斑。如此设置，所述反射式匀光组件可以有效的均化照明颗粒，将探测光进行了匀化，使得光分布均匀，均匀性良好；通过将线型光导组件与反射式匀光组件相结合，所述线型光导组件将光源输出的圆形光斑直接转化为线型，在获得线型光斑的过程中未造成大的能量浪费，使得在线阵扫描检测时能量利用率明显提升，进而提高检测速度，提高检测产率。进一步的，在本实用新型实施例提供一种缺陷检测装置中，缺陷检测装置包括：所述照明模块以及探测模块；所述照明模块用于在所述待检测基底的表面形成线型检测光斑；所述探测模块用于获取在所述收集模块收集的所述反射光或散射光的一个或多个特性。所述探测模块包括三线阵彩色TDI相机，所述三线阵彩色TDI相机可直接生成彩色图像、相机响应度高、并且能更好的反映物体本来颜色，提高了复测图像的分辨率和色彩还原度、可支持更高的扫描检测速度、并且更加利于缺陷的分辨，进而提高了被检测物的检测总产率。

以下参考附图进行描述。

【实施例一】

请参考附图1为本实用新型实施例一的照明模块的部分结构示意图；图2为本实用新型实施例一的反射式匀光组件的示意图；图3a为本实用新型实施例一线型光导组件的出光端面在无断纤情况下的光强分布；图3b为图3a中线型光导组件的出光端面的横截面-探测面接收光强的曲线图；图3c为图3a中线型光导组件的出光端面纵截面-探测面接收光强的曲线图；图3d为图3a的线型光导组件与匀光腔体连接后匀光腔体出光端面的光强分布；图3e为图3d中匀光腔体出光端面的横截面-探测面接收光强的曲线图；图3f为图3d中匀光腔体出光端面的纵截面-探测面接收光强的曲线图；图4a为本实用新型实施例一线型光导组件的出光端面在有断纤情况下的光强分布；图4b为图4a中线型光导组件的出光端面的横截面-探测面接收光强的曲线图；图4c为图4a中线型光导组件的出光端面的纵截面-探测面接收光强的曲线图；图4d为图4a的线型光导组件与匀光腔体连接后匀光腔体出光端面的光强分布；图4e为图4b中匀光腔体出光端面的横截面-探测面接收光强的曲线图；图4f为图4b中匀光腔体出光端面的纵截面-探测面接收光强的曲线图；图5为本实用新型实施例二的缺陷检测装置的结构图。

如图1至图2所示，照明模块100用于基底缺陷检测，包括：光源、线型光导组件110以及反射式匀光组件120。

如图1所示，线型光导组件110具有入光端与出光端111，所述光源与所述线型光导组件110的入光端连接，所述线型光导组件110的出光端111与所述反射式匀光组件120连接，进而使得光源发出的探测光从所述线型光导组件110出来之后能够进入到反射式匀光组件120中。所述光源可以是基底缺陷检测中常用的光源，所述光源的具体情况可参考现有技术。所述基底可以是一晶圆，当然，在其他的实施例中，所述基底还可以玻璃基板等。所述光源发出的探测光依次经过所述线型光导组件110以及反射式匀光组件120，之后在一待检测基底10的表面形成预定尺寸的线型光斑。优选的，所述线型光导组件110的光导可以是线型的集束光纤光导。所述线型光导组件110的尺寸可以根据实际的需求进行设置。优选的，所述线型光导组件110的出光端为狭缝结构；更佳的，所述狭缝结构的横截面为矩形，如此设置，使得所述照明模块100能够实现线型照明。

如图2所示，反射式匀光组件120包括匀光腔体121以及反射层122。

所述反射式匀光组件120例如是一线型的结构，具体的，匀光腔体121的腔体为线型的结构，进而能够匹配线型光导组件的出光面111，更佳的，所述匀光腔体121与线型光导组件的出光面111尺寸一致。优选的，所述匀光腔体121沿轴向与所述线型光导组件110的出光端111连接，所述匀光腔体121沿轴向贯通设置，进而使得从线型光导组件110出来的探测光能够沿着匀光腔体121的轴向照射。优选的，所述匀光腔体121的横截面为矩形，所述矩形的长度范围在40～60mm之间。更佳的，所述矩形的宽度范围在0.3～3mm之间，进而使得匀光腔体121具有更好的线型结构，且使得检测视场的角度足够大。当然，在其他实施例中，所述矩形的长度与宽度还可以是其他的尺寸，例如是长度为45mm，宽度是4mm等。所述匀光腔体121具有匀光腔体出光端121a，即光射出的一端。优选的，所述匀光腔体沿轴向的长度不小于5毫米，例如是6mm，进而能够使得反射层122的匀光效果最佳。当然，所述匀光腔体沿轴向的长度可以是其他的尺寸，例如4mm。

所述反射层122设置于所述匀光腔体121的内壁，所述反射层122具有高于90％的总反射率，所述反射层122可以有效的均化照明颗粒，在匀光腔体出光端121a获得面分布均匀、角分布保持不变的探测光。优选的，所述反射层包括金属膜或者介质膜。例如，所述反射层122是银膜镀膜，在其他实施例中，所述反射层122还可以是其他的金属镀膜。

如图3a至图4f所示，需说明，图中的横截面表示的线型光导组件110的出光端面或者匀光腔体出光端面的窄边方向，纵截面表示线型光导组件110的出光端面或者匀光腔体出光端面长边方向。附图说明中的“探测面”表示对应的线型光导组件110的出光端面或者匀光腔体出光端面。需理解，附图中的曲线示意图表示仿真模拟图。从图3a-图3c可知，在不增加反射式匀光腔体时，不存在断纤情况下，探测面(线型光导组件的出光端面)的横纵截面(长边和窄边方向)，其接收光强的光能量值的波动很大，图3a中，出光端面的光纤颗粒感强。从图3d-图3f可知，在不增加反射式匀光腔体时，在探测面(线型光导组件的出光端面)的横纵截面(长边和窄边方向)，其接收光强的光能量值的分布均匀，图3d中，匀光腔体出光端面的光强均匀，几乎没有光纤的颗粒感存在。从图4a-图4c可知，在不增加反射式匀光腔体时，存在断纤情况下，探测面(线型光导组件的出光端面)的横纵截面(长边和窄边方向)，其接收的光能量值(光强)的波动很大。从图4d-图4f可知，在不增加反射式匀光腔体时，即使存在断纤，在探测面(线型光导组件的出光端面)的横纵截面(长边和窄边方向)，其接收光强的光能量值的分布也是十分均匀。因此，在增加了反射式匀光组件120，一方面可以将探测光进行了匀化，使得光分布更加均匀；另一方面，可以在存在断纤的情况下，匀化后的光弱化了断纤处光纤对整体探测光的影响。

请参考图5，本实施例一的照明模块还包括临界照明结构130，反射式匀光组件120的出光端121与临界照明结构130连接，使得照明模块形成一种线型光导组件110、反射式匀光组件120以及临界照明结构130相结合的照明方式。如此设置，使得在线阵扫描检测时能量利用率明显提升，比传统可达到均匀照明效果的科勒照明具有更高的能量利用率。科勒照明与本实施例一的照明方式的具体原理如下：科勒照明实现方式为，光源经过一组透镜形成均匀的角谱分布，此时角谱面为圆形，在圆形的角谱面处使用线型光阑将多余的部分遮挡，仅使中心的线型区域部分通过；后面使用一组成像镜组将此线型光斑投射到被照明面上；在圆形的角谱光斑上通过遮挡的当时实现线型光斑，此处带来很大的能量浪费，因此能量利用率低。而本实施例一揭示的实现方式为，通过所述线型光导组件110将光源输出的圆形光斑直接转化为线型，同时反射式匀光组件120具有高于90％的总反射率，因此在获得线型光斑的过程中未造成大的能量浪费，因此能量利用率高，在相同的照明功率密度的条件下，提高检测速度，提高检测产率。临界照明结构130将匀光后的光斑成像到被照明面上，待检测基底10上形成满足照明视场、功率密度和照明均匀的线型光斑，所述线型光斑的尺寸优选为长边长度为10～40mm，窄边宽度为0.3～3mm。当然，在其他实施例中，所述线型光斑的尺寸不限于上述范围，根据反射式匀光组件的尺寸变化而变化。所述临界照明结构130可参考现有技术，此处不再赘述。

在线阵扫描检测过程中，一定的照明功率密度只能匹配相应的扫描速度，才能保证相机采到足够亮度的图片。照明功率密度越大，需要的能量越大，在本实施例一提供的照明模块的能量利用率高。根据照明和成像光路的能量预算，照明功率密度可支持线阵TDI相机进行例如是200～400KHz行频的线扫速度。扫描速度(工件台扫描速度)V1(mm/s)与相机工作行频V2(Hz)、成像放大倍率B、像元尺寸D(um)的关系：V1*B＝V2*D/1000。根据扫描速度(工件台扫描速度)与相机工作行频的关系可得出，明场可支持各更高的扫描速度、更少的扫描时间，即300～600mm/s的工件台扫描速度，12寸片的明场扫描检测时长小于7秒。相比于现有技术，其工件台的扫描速度提升，检测时长缩短，进而提高了照明模块的检测产率。

【实施例二】

请参考图5为本实用新型实施例二的缺陷检测装置的结构图。

本实施例二的陷检测装置与实施例一中相同部分不再叙述，以下仅针对不同点进行描述。

本实施例二提供一种缺陷检测装置，包括：照明模块100、探测模块200、收集模块300、运动台以及控制模块。

所述照明模块100包括：光源、线型光导组件110以及反射式匀光组件120；所述光源与所述线型光导组件110的入光端连接，所述线型光导组件的出光端与所述反射式匀光组件连接；所述照明模块100向一待检测基底10发出探测光，所述探测光依次经过所述线型光导组件110以及反射式匀光组件120，并在所述待检测基底10的表面形成线型检测光斑。

所述收集模块300用于收集所述探测光在待检测基底10上的反射光或者散射光。进一步的，收集模块300优选为成像模块，待检测基底10反射或者折射之后的光经过成像模块，所述成像模块用于对经过所述待检测基底10后的光进行成像处理，例如将晶圆上的缺陷成像到所述探测模块200上。作为优选，所述成像模块包括线扫物镜，所述线扫物镜具有与现有技术线扫物镜大的尺寸，使得所述线扫物镜能够满足照明模块100的反射式匀光组件120发出的均匀的光束的尺寸，进而能够与所述照明模块100相匹配完成待检测物10的检测。更佳的，所述成像模块的镜头放大倍率和数值孔径依据实际需求的最小检测尺寸决定，例如，优选为放大倍率2～20X、数值孔径NA0.05～0.5、检测视场FOV10～20mm。在其他的实施例中，所述放大倍率、数值孔径以及检测视场可以是这个范围之外的数值。

所述探测模块200用于获取在所述收集模块300收集的所述反射光或散射光的一个或多个特性。例如收集反射光或者散射光等。

所述运动台用于固定所述待检测基底10且选择性致动所述待检测基底10以便所述照明模块100发射的探测光执行扫描过程。例如，所述待检测基底10可以放置在一运动台上，所述运动台承载待检测基底10，并选择性的使所述待检测基底10的致动。所述选择性致动例如可以是所述运动台可沿X向扫描、沿Y向步进，或者沿Y向扫描、沿X向步进，或者根据需求进行转动等。

所述控制模块根据所述探测模块200获取所述待检测基底10上的所述反射光或者散射光的一个或多个特性，所述特性例如是光强信号等，确定所述待检测基底10的缺陷信息。

更佳的，所述照明模块100的反射式匀光组件120的长度不小于所述探测模块200探测视场的长度，使得反射式匀光组件120的线型视场的长度保证能覆盖待检测基底10检测视场的长度。反射式匀光组件120的宽度不小于所述探测模块200探测视场的宽度，使得反射式匀光组件120的线型视场的宽度保证能覆盖探测模块200的检测宽度。

优选的，如图5所述，在本实施例二中，所述探测模块200包括黑白相机210以及彩色相机220。当然，在其他实施例中，所述探测模块包括三线阵彩色TDI相机、黑白相机或者彩色相机中的至少一个。所述探测模块200的黑白相机210或者彩色相机220接收镜头像方的光能量，并可以转化为灰度图像，相机的靶面尺寸优选例如具有256行和16384列像素。也就是说，线型视场的长度和宽度还能能覆盖黑白相机210的检测宽度以及彩色相机220的ROI(region of interest)区域。所述黑白相机210用于自动检测(inspection)，所述彩色相机用于复测(review)。所述黑白相机具体为黑白TDI相机，相同行数(stage)的黑白TDI相机与彩色TDI相机进行对比，黑白TDI相机具有更高的光子响应值；因此选择多行(stage)的黑白线扫TDI相机，可保证更高的像素响应值自动检测(inspection)速度。彩色相机220可使用高像素分辨率的单面阵彩色相机，或3CCD彩色相机、3CMOS彩色相机，保证高的彩色图像分辨率，同时保证复测(review)图像的清晰度。

更进一步的，所述缺陷检测装置还包括暗场照明模块400，所述暗场照明模块400包括光源、暗场光导以及折光元件，暗场光导经过多个(6个、8个或16个等)分端输出，然后经过近似临界的照明结构，再经折光元件在待检测基底10的表面形成线型光斑。如此现象称为环形角谱。由于采用近似临界的照明结构，光导分端出口为狭缝的形式，并且不同的方位角处光导分端的旋转角度不同，从而使每条光路形成的探测光斑重合。所述暗场照明模块400用于照射所述待检测基底10；所述探测模块200用于获取所述待检测基底10在所述暗场照明模块400照射下的影像。所述暗场照明模块400的环形角谱的线型视场，保证高的功率密度，支持高的线扫检测速度。

所述缺陷检测装置的其他结构及原理可参考现有技术，本文在此不再赘述。

【实施例三】

请参考图6为本实用新型实施例三的缺陷检测装置的结构图；图7a为现有技术中线阵TDI相机的感光结构示意图；图7b为本实用新型实施例三的三色线阵TDI相机的感光结构示意图。

本实施例三的陷检测装置与实施例一、实施例二中相同部分不再叙述，以下仅针对不同点进行描述。

本实施例三提供另一种缺陷检测装置，如图6所示，所述探测模块200包括三线阵彩色TDI相机。采用三线阵彩色TDI相机可完成自动检测(inspection)和复测(review)的采图，可同时获取到自动检测(inspection)和复测(review)图像。不需再次进行复测(review)，省去了再次复测(review)的时间。如图7a至图7b所示，与现有技术TDI相机相比，线阵三线阵彩色TDI采用R、G、B三种区域均对检测目标进行检测(其中R、G、B分别表示R区域、G区域、B区域)，输出彩色图像时，彩色图片的数据来源不需经过插值，因此具有与黑白相机同样的图像分辨率，可直接生成彩色图像。提高了复测(review)图像的分辨率和色彩还原度，更加利于缺陷的分辨。并且，三线阵彩色TDI相机的RGB三色区域之间的光谱串扰更小，具备更高的图像颜色还原力，因此能更好的反映物体本来颜色，进而提高了被检测物10的检测总产率。同时，使用三线阵彩色TDI相机响应度高，可以支持更高的扫描检测速度。

综上所述，在本实用新型提供的一种照明模块及缺陷检测装置中，所述照明模块用于基底的缺陷检测，所述照明模块包括：光源、线型光导组件以及反射式匀光组件；所述光源与所述线型光导组件的入光端连接，所述线型光导组件的出光端与所述反射式匀光组件连接；其中，所述光源发出的探测光依次经过所述线型光导组件以及反射式匀光组件，之后在一待检测基底的表面形成预定尺寸的线型光斑。如此设置，所述反射式匀光组件可以有效的均化照明颗粒，将探测光进行了匀化，使得光分布均匀，均匀性良好；通过将线型光导组件与反射式匀光组件相结合，所述线型光导组件将光源输出的圆形光斑直接转化为线型，在获得线型光斑的过程中未造成大的能量浪费，使得在线阵扫描检测时能量利用率明显提升，进而提高检测速度，提高检测产率。

上述描述仅是对本实用新型较佳实施例一的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本实用新型领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。

Claims (10)

1.一种照明模块，用于基底的缺陷检测，其特性在于，包括：光源、线型光导组件以及反射式匀光组件；

所述光源与所述线型光导组件的入光端连接，所述线型光导组件的出光端与所述反射式匀光组件连接；其中，所述光源发出的探测光依次经过所述线型光导组件以及反射式匀光组件，之后在一待检测基底的表面形成预定尺寸的线型光斑。

2.根据权利要求1所述的照明模块，其特征在于，所述反射式匀光组件包括匀光腔体以及反射层，所述反射层设置于所述匀光腔体的内壁，所述匀光腔体沿轴向与所述线型光导组件的出光端连接，所述匀光腔体沿轴向贯通设置，所述反射层包括金属膜或者介质膜。

3.根据权利要求2所述的照明模块，其特征在于，所述匀光腔体的横截面为矩形，所述矩形的长度范围在40～60mm之间，所述矩形的宽度范围在0.3～3mm之间。

4.根据权利要求2所述的照明模块，其特征在于，所述匀光腔体沿轴向的长度不小于5毫米。

5.根据权利要求1所述的照明模块，其特征在于，所述线型光导组件的出光端为狭缝结构。

6.根据权利要求5所述的照明模块，其特征在于，所述狭缝结构的横截面为矩形。

7.一种缺陷检测装置，其特征在于，包括：照明模块、收集模块、探测模块、运动台以及控制模块；

所述照明模块包括：光源、线型光导组件以及反射式匀光组件；所述光源与所述线型光导组件的入光端连接，所述线型光导组件的出光端与所述反射式匀光组件连接；所述照明模块向一待检测基底发出探测光，所述探测光依次经过所述线型光导组件以及反射式匀光组件，并在所述待检测基底的表面形成线型检测光斑；

所述收集模块用于收集所述探测光在待检测基底上的反射光或散射光；

所述探测模块用于获取在所述收集模块收集的所述反射光或散射光的一个或多个特性；

所述运动台用于固定所述待检测基底且选择性致动所述待检测基底以便所述照明模块发射的探测光执行扫描过程；

所述控制模块根据所述探测模块获取所述待检测基底上的所述反射光或者散射光的一个或多个特性，确定所述待检测基底的缺陷信息。

8.根据权利要求7所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述探测模块包括三线阵彩色TDI相机、黑白相机或者彩色相机中的至少一个。

9.根据权利要求8所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述探测模块包括三线阵彩色TDI相机。

10.根据权利要求7所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述照明模块的反射式匀光组件的长度不小于所述探测模块探测视场的长度，反射式匀光组件的宽度不小于所述探测模块探测视场的宽度。

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