CN212145960U - 一种石英玻璃晶圆精密加工装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及玻璃晶圆加工技术领域，且公开了一种石英玻璃晶圆精密加工装置，包括机架，所述机架上端安装有第一电机，所述机架上端关于第一电机对称固定连接有支撑板，两个所述支撑板上端共同固定连接有安装板，所述安装板上端安装有第二电机，所述第二电机的输出端通过联轴器连接有螺纹杆，所述螺纹杆通过第一轴承与安装板转动连接，所述螺纹杆的下端穿过第一轴承并向外延伸，且其杆壁上螺纹连接有螺纹套筒，所述安装板底部关于螺纹杆对称固定连接有限位框。本实用新型便于观察研磨盘打磨石英玻璃晶圆的厚度，能够及时停止石英玻璃晶圆的打磨抛光，避免影响石英玻璃晶圆的加工磨抛精度。

Description

一种石英玻璃晶圆精密加工装置

技术领域

本实用新型涉及玻璃晶圆加工技术领域，尤其涉及一种石英玻璃晶圆精密加工装置。

背景技术

石英玻璃因其良好的性能广泛应用于半导体集成电路产业，晶圆是半导体集成电路的核心，光刻技术以其良好的技术特点已成为生产晶圆的主要方法。石英玻璃晶圆是指通过光刻技术加工制作成的半导体集成电路产品。而石英玻璃晶圆的生产加工工序有材料制造、胚料制备、精密退火、多刀切割、成型加工、精密磨抛、成品检验和清洗包装等，石英玻璃晶圆的精密磨抛在众多的加工工序中最为重要，但是现有的石英玻璃晶圆精密加工装置，不便观察研磨盘打磨石英玻璃晶圆的厚度，不能够及时停止石英玻璃晶圆的打磨抛光，影响石英玻璃晶圆的加工磨抛精度。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中不便观察研磨盘打磨石英玻璃晶圆的厚度，不能够及时停止石英玻璃晶圆的打磨抛光的问题，而提出的一种石英玻璃晶圆精密加工装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种石英玻璃晶圆精密加工装置，包括机架，所述机架上端安装有第一电机，所述机架上端关于第一电机对称固定连接有支撑板，两个所述支撑板上端共同固定连接有安装板，所述安装板上端安装有第二电机，所述第二电机的输出端通过联轴器连接有螺纹杆，所述螺纹杆通过第一轴承与安装板转动连接，所述螺纹杆的下端穿过第一轴承并向外延伸，且其杆壁上螺纹连接有螺纹套筒，所述安装板底部关于螺纹杆对称固定连接有限位框，所述螺纹套筒环形侧壁上对称固定连接有限位杆，所述限位杆的另一端穿过对应的限位框并向外延伸，位于所述限位杆后方的限位框上固定连接有刻度尺，所述限位杆和限位框滑动连接，所述螺纹套筒的下端固定连接有研磨盘，位于所述研磨盘正下方的机架上端设有抛光箱，所述抛光箱底部的四角处均固定连接有支撑杆，且所述支撑杆的另一端固定连接在机架上端，所述第一电机的输出端通过联轴器连接有转轴，所述转轴通过第二轴承与抛光箱箱底转动连接，所述转轴上端穿过第二轴承并向抛光箱内延伸，且固定连接有载物盘，所述载物盘上端开设有若干个放置槽。

优选的，其中一个所述支撑板上固定连接有磨料箱和水泵，所述磨料箱内填充有研磨液，所述磨料箱和水泵之间连通有抽水管，所述研磨盘内开设有磨料腔，所述磨料腔腔底均匀等距的开设有若干个喷料孔，所述水泵的输出端连通有波纹管，所述波纹管的另一端穿过支撑板并与磨料腔相连通。

优选的，所述抛光箱箱口上固定连接有与研磨盘相匹配的密封圈，若干个所述放置槽的大小不一。

优选的，所述抛光箱箱壁上连通有清洗管，所述清洗管的另一端与水源连通。

优选的，所述机架内设有储物柜，所述储物柜的柜门上安装有把手。

优选的，所述抛光箱箱底连通有排水管，所述排水管的管壁上安装有管阀。

优选的，所述放置槽槽底开设有若干个漏液孔，所述磨料箱的上箱壁上连通有补液斗。

优选的，所述抛光箱箱壁上连通有排液管，所述排液管的另一端穿过支撑板并向外延伸，且与磨料箱相连通，所述排液管上安装有管阀。

优选的，所述机架底部的四角处均固定连接有橡胶垫。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种石英玻璃晶圆精密加工装置，具备以下有益效果：

该石英玻璃晶圆精密加工装置，通过设置机架、第一电机、支撑板、安装板、第二电机、螺纹杆、螺纹套筒、限位框、限位杆、刻度尺、研磨盘、抛光箱、转轴、载物盘和放置槽，当需要对石英玻璃晶圆进行磨抛时，将石英玻璃晶圆放置与其相匹配的放置槽内，启动第二电机，使其正转，带动螺纹杆正转，由于限位杆和限位框相配合，对螺纹套筒起到限制其转动，使得螺纹套筒向下运动，带动限位杆和研磨盘向下运动，研磨盘进入抛光箱并与载物盘上表面相抵，启动第一电机，带动转轴和载物盘旋转，使得露出放置槽的石英玻璃晶圆表面被研磨盘打磨抛光，通过观察限位杆在刻度尺上发生的位移，即可得出打磨石英玻璃晶圆的厚度，便于观察研磨盘打磨石英玻璃晶圆的厚度，能够及时停止石英玻璃晶圆的打磨抛光，避免影响石英玻璃晶圆的加工磨抛精度。

该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现，本实用新型便于观察研磨盘打磨石英玻璃晶圆的厚度，能够及时停止石英玻璃晶圆的打磨抛光，避免影响石英玻璃晶圆的加工磨抛精度。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种石英玻璃晶圆精密加工装置的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种石英玻璃晶圆精密加工装置的载物盘的俯视图；

图3为本实用新型提出的一种石英玻璃晶圆精密加工装置的抛光箱内部结构示意图；

图4为本实用新型提出的一种石英玻璃晶圆精密加工装置的研磨盘结构示意图。

图中：1机架、2第一电机、3支撑板、4安装板、5第二电机、6螺纹杆、7螺纹套筒、8限位框、9限位杆、10刻度尺、11研磨盘、12抛光箱、13转轴、14载物盘、15放置槽、16磨料箱、17水泵、18磨料腔、19喷料孔、20波纹管、21密封圈、22清洗管、23储物柜、24排水管、25漏液孔、26排液管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

参照图1-4，一种石英玻璃晶圆精密加工装置，包括机架1，机架1上端安装有第一电机2，机架1上端关于第一电机2对称固定连接有支撑板3，两个支撑板3上端共同固定连接有安装板4，安装板4上端安装有第二电机5，第二电机5的输出端通过联轴器连接有螺纹杆6，螺纹杆6通过第一轴承与安装板4转动连接，螺纹杆6的下端穿过第一轴承并向外延伸，且其杆壁上螺纹连接有螺纹套筒7，安装板4底部关于螺纹杆6对称固定连接有限位框8，螺纹套筒7环形侧壁上对称固定连接有限位杆9，限位杆9的另一端穿过对应的限位框8并向外延伸，位于限位杆9后方的限位框8上固定连接有刻度尺10，限位杆9和限位框8滑动连接，螺纹套筒7的下端固定连接有研磨盘11，位于研磨盘11正下方的机架1上端设有抛光箱12，抛光箱12底部的四角处均固定连接有支撑杆，且支撑杆的另一端固定连接在机架1上端，第一电机2的输出端通过联轴器连接有转轴13，转轴13通过第二轴承与抛光箱12箱底转动连接，转轴13上端穿过第二轴承并向抛光箱12内延伸，且固定连接有载物盘14，载物盘14上端开设有若干个放置槽15，当需要对石英玻璃晶圆进行磨抛时，将石英玻璃晶圆放置与其相匹配的放置槽15内，启动第二电机5，使其正转，带动螺纹杆6正转，由于限位杆9和限位框8相配合，对螺纹套筒7起到限制其转动，使得螺纹套筒7向下运动，带动限位杆9和研磨盘11向下运动，研磨盘11进入抛光箱12并与载物盘14上表面相抵，启动第一电机2，带动转轴13和载物盘14旋转，使得露出放置槽15的石英玻璃晶圆表面被研磨盘11打磨抛光，通过观察限位杆9在刻度尺10上发生的位移，即可得出打磨石英玻璃晶圆的厚度，便于观察研磨盘11打磨石英玻璃晶圆的厚度，能够及时停止石英玻璃晶圆的打磨抛光，避免影响石英玻璃晶圆的加工磨抛精度。

其中一个支撑板3上固定连接有磨料箱16和水泵17，磨料箱16内填充有研磨液，磨料箱16和水泵17之间连通有抽水管，研磨盘11内开设有磨料腔18，磨料腔18腔底均匀等距的开设有若干个喷料孔19，水泵17的输出端连通有波纹管20，波纹管20的另一端穿过支撑板3并与磨料腔18相连通，使得研磨盘11在打磨时，研磨液可以均匀的喷出散布，提高了对石英玻璃晶圆的磨抛效果，且能够及时对磨料腔18进行研磨液的补充。

抛光箱12箱口上固定连接有与研磨盘11相匹配的密封圈21，增加抛光箱12和研磨盘11连接的密封性，避免研磨液飞溅流出抛光箱12外，若干个放置槽15的大小不一，能够放置不同大小的石英玻璃晶圆，以便于加工不同大小的石英玻璃晶圆。

抛光箱12箱壁上连通有清洗管22，清洗管22的另一端与水源连通，在石英玻璃晶圆取出时，可将水通入抛光箱12内，水压通过漏液孔25将石英玻璃晶圆顶出放置槽15，易于石英玻璃晶圆另一面的磨抛。

机架1内设有储物柜23，储物柜23的柜门上安装有把手，能够储放加工所需的工具。

抛光箱12箱底连通有排水管24，排水管24的管壁上安装有管阀，能够将清洗抛光箱12或顶出石英玻璃晶圆的水排出抛光箱12外。

放置槽15槽底开设有若干个漏液孔25，磨料箱16的上箱壁上连通有补液斗，便于研磨液的补充倒入磨料箱16内。

抛光箱12箱壁上连通有排液管26，排液管26的另一端穿过支撑板3并向外延伸，且与磨料箱16相连通，排液管26上安装有管阀，能够将研磨液重新引入磨料箱16内，便于研磨液的循环使用。

机架1底部的四角处均固定连接有橡胶垫，能够将机架1放置在不平的水平面上，将机架1移至水平。

本实用新型中，当需要对石英玻璃晶圆进行磨抛时，将石英玻璃晶圆放置与其相匹配的放置槽15内，启动第二电机5，使其正转，带动螺纹杆6正转，由于限位杆9和限位框8相配合，对螺纹套筒7起到限制其转动，使得螺纹套筒7向下运动，带动限位杆9和研磨盘11向下运动，研磨盘11进入抛光箱12并与载物盘14上表面相抵，启动第一电机2，带动转轴13和载物盘14旋转，使得露出放置槽15的石英玻璃晶圆表面被研磨盘11打磨抛光，通过观察限位杆9在刻度尺10上发生的位移，即可得出打磨石英玻璃晶圆的厚度，便于观察研磨盘11打磨石英玻璃晶圆的厚度，能够及时停止石英玻璃晶圆的打磨抛光，避免影响石英玻璃晶圆的加工磨抛精度。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种石英玻璃晶圆精密加工装置，包括机架(1)，其特征在于，所述机架(1)上端安装有第一电机(2)，所述机架(1)上端关于第一电机(2)对称固定连接有支撑板(3)，两个所述支撑板(3)上端共同固定连接有安装板(4)，所述安装板(4)上端安装有第二电机(5)，所述第二电机(5)的输出端通过联轴器连接有螺纹杆(6)，所述螺纹杆(6)通过第一轴承与安装板(4)转动连接，所述螺纹杆(6)的下端穿过第一轴承并向外延伸，且其杆壁上螺纹连接有螺纹套筒(7)，所述安装板(4)底部关于螺纹杆(6)对称固定连接有限位框(8)，所述螺纹套筒(7)环形侧壁上对称固定连接有限位杆(9)，所述限位杆(9)的另一端穿过对应的限位框(8)并向外延伸，位于所述限位杆(9)后方的限位框(8)上固定连接有刻度尺(10)，所述限位杆(9)和限位框(8)滑动连接，所述螺纹套筒(7)的下端固定连接有研磨盘(11)，位于所述研磨盘(11)正下方的机架(1)上端设有抛光箱(12)，所述抛光箱(12)底部的四角处均固定连接有支撑杆，且所述支撑杆的另一端固定连接在机架(1)上端，所述第一电机(2)的输出端通过联轴器连接有转轴(13)，所述转轴(13)通过第二轴承与抛光箱(12)箱底转动连接，所述转轴(13)上端穿过第二轴承并向抛光箱(12)内延伸，且固定连接有载物盘(14)，所述载物盘(14)上端开设有若干个放置槽(15)。

2.根据权利要求1所述的一种石英玻璃晶圆精密加工装置，其特征在于，其中一个所述支撑板(3)上固定连接有磨料箱(16)和水泵(17)，所述磨料箱(16)内填充有研磨液，所述磨料箱(16)和水泵(17)之间连通有抽水管，所述研磨盘(11)内开设有磨料腔(18)，所述磨料腔(18)腔底均匀等距的开设有若干个喷料孔(19)，所述水泵(17)的输出端连通有波纹管(20)，所述波纹管(20)的另一端穿过支撑板(3)并与磨料腔(18)相连通。

3.根据权利要求1所述的一种石英玻璃晶圆精密加工装置，其特征在于，所述抛光箱(12)箱口上固定连接有与研磨盘(11)相匹配的密封圈(21)，若干个所述放置槽(15)的大小不一。

4.根据权利要求1所述的一种石英玻璃晶圆精密加工装置，其特征在于，所述抛光箱(12)箱壁上连通有清洗管(22)，所述清洗管(22)的另一端与水源连通。

5.根据权利要求1所述的一种石英玻璃晶圆精密加工装置，其特征在于，所述机架(1)内设有储物柜(23)，所述储物柜(23)的柜门上安装有把手。

6.根据权利要求1所述的一种石英玻璃晶圆精密加工装置，其特征在于，所述抛光箱(12)箱底连通有排水管(24)，所述排水管(24)的管壁上安装有管阀。

7.根据权利要求2所述的一种石英玻璃晶圆精密加工装置，其特征在于，所述放置槽(15)槽底开设有若干个漏液孔(25)，所述磨料箱(16)的上箱壁上连通有补液斗。

8.根据权利要求2所述的一种石英玻璃晶圆精密加工装置，其特征在于，所述抛光箱(12)箱壁上连通有排液管(26)，所述排液管(26)的另一端穿过支撑板(3)并向外延伸，且与磨料箱(16)相连通，所述排液管(26)上安装有管阀。

9.根据权利要求1所述的一种石英玻璃晶圆精密加工装置，其特征在于，所述机架(1)底部的四角处均固定连接有橡胶垫。

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