CN212109902U - 探针卡检测装置 - Google Patents

Abstract

一种探针卡检测装置，具有一设于工作平台上的量测部，量测部包括有一光源扫描单元、一影像撷取单元及一比对单元，光源扫描单元可对一探针卡进行深度距离量测以取得一3D扫描资讯，影像撷取单元供撷取探针卡的影像以取得一2D影像资讯，比对单元用以接收3D扫描资讯与2D影像资讯，以辨识探针卡的脚位是否正确，量测部更具有一标示单元，用以标记探针卡的错误脚位的位置，而一输送部设于工作平台上，输送部设有一用以承载该探针卡的载台，使探针卡被标记的错误脚位的位置可被输送至一校正部。

Description

探针卡检测装置

技术领域

本实用新型与检测装置有关，特别是指一种可对探针卡进行3D扫描及2D影像检测的探针卡检测装置。

背景技术

按，公知的探针卡检测装置具有一检测平台，并设有治具以将待检测的探针卡固定于平台上，而平台上设有一观测器，用以观测探针卡的脚位的位置是否符合标准，若发现某些脚位的位置偏离于标准位置，则须进一步将探针卡移至一校正装置处，透过该校正装置对此不良品进行校正，使偏离的脚位可回复至标准位置上。

如中国台湾第I525327号发明专利案所公开的探针卡检测装置，主要系利用在一检测平台上架设有一可拍摄探针卡2D影像的影像撷取单元，并借由将所撷取的2D影像与一影像比对单元中的教导档进行比对，以辨识出探针卡的脚位的位置是否出现偏差。然而上揭专利前案的探针卡检测装置仅具有2D影像的拍摄及比对功能，实际上并无法精确的量测出有关探针卡脚位的深度(距离)等3D资讯，因此其检测精准度并不理想，且无法同时满足不同的检测需求。

有鉴于此，故如何解决上述问题，即为本实用新型所欲解决的主要课题。

实用新型内容

本实用新型的主要目的，在于提供一种探针卡检测装置，其可对探针卡进行3D扫描及2D影像检测，并进而标记出位置偏离的脚位，再将所标记的脚位直接输送至校正部进行校正，借此具有可有效提升检测精准度、以及可缩短检测及校正时间的功效。

为达前述的目的，本实用新型提供一种探针卡检测装置，包括有：

一工作平台；

一量测部，设于该工作平台上，该量测部包括有一光源扫描单元、一影像撷取单元及一比对单元，其中该光源扫描单元可对一探针卡进行深度距离量测以取得一3D扫描资讯，该影像撷取单元则可用以撷取该探针卡的影像以取得一2D影像资讯，而该比对单元用以接收该3D扫描资讯与该2D影像资讯，以辨识该探针卡的脚位的深度距离与位置，该量测部更包括有一标示单元，用以标记该探针卡的错误脚位的位置；

一校正部，设于该工作平台上，该校正部设有一工作位置，用以校正该探针卡的脚位；

一输送部，设于该工作平台上，该输送部设有一用以承载该探针卡的载台，且该载台可相对该工作平台位移，使该探针卡可在该量测部及该校正部之间移动，并将该探针卡被该标示单元标记的错误脚位的位置直接输送至该校正部的工作位置。

较佳地，该光源扫描单元包括有一光源、一光纤耦合器及一由多组光学镜片组成的光学探头，且该光源、该光纤耦合器与该光学探头分别透过光纤串接以传送光线。

较佳地，该工作平台立设有一立柱，并于该立柱上滑设有一可沿该立柱上下滑移的滑座，该滑座上固接有一固定座，且该光源扫描单元、该影像撷取单元与该校正部依序并排架设于该固定座上。

较佳地，该工作平台设有光学尺，用以产生该标示单元所标记错误脚位的位置的座标，并利用此座标令该输送部将该探针卡被标记错误脚位的位置直接输送至该校正部的工作位置。

而本实用新型的上述目的与优点，不难从下述所选用实施例的详细说明与附图中获得深入了解。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的立体外观示意图。

图2为本实用新型的组成架构方块图。

图3为本实用新型光源扫描单元的组成结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

首先，请参阅图1～3所示，为本实用新型所提供的一种探针卡检测装置，其主要由一工作平台11、一量测部21、一校正部31及一输送部41所构成，其中：

该工作平台11，立设有一立柱12，并于该立柱12上滑设有一可沿该立柱12上下滑移的滑座13。

该量测部21，包括有一光源扫描单元22、一影像撷取单元23及一比对单元24。于本实施例中，该光源扫描单元22与该影像撷取单元23呈并排设置于该滑座13上，该光源扫描单元22可对一探针卡51进行深度距离量测以取得一3D扫描资讯，该影像撷取单元23则可用以撷取(即拍摄)该探针卡51的影像以取得一2D影像资讯，而该比对单元24设于该量测部21中，其储存有探针卡脚位的教导档，该教导档包含有各脚位标准的深度距离及位置资讯，而该比对单元24乃将该光源扫描单元22与该影像撷取单元23所撷取的3D扫描资讯与2D影像资讯比对于该教导档，进而即可用以辨识该探针卡51的脚位是否出现偏差。意即，该比对单元24可用以接收3D扫描资讯与2D影像资讯，与原始的excel资料比对。

其中，该光源扫描单元22包括有一光源221、一光纤耦合器(Fiber Optics)222及一由多组光学镜片组成的光学探头223，且该光源221、该光纤耦合器222与该光学探头223分别透过光纤224串接以传送光线，透过量测所发出的光线经探针卡51反射回来的时间差，使该光源扫描单元22可对该探针卡51进行深度距离的量测工作，并将所测得的3D资讯传送至比对单元24与教导档比对后，即可得出该探针卡51各脚位的深度距离是否产生偏差，而关于各脚位的位置则可透过该影像撷取单元23所撷取的2D影像资讯中的各脚位位置是否偏离于教导档中的位置而得，并借此使该探针卡51各脚位的深度距离与位置，都可经比较于教导档而辨识出该探针卡51的脚位是否有出现错误。

承上，该量测部21更包括有一标示单元25，用以标记该探针卡51的错误脚位的位置。于本实用新型中，该标示单元25同样设于该量测部21中，并用以针对被该比对单元24辨识为错误脚位的位置进行标记。于本实施例中，该工作平台11设有光学尺111，用以产生该标示单元25所标记错误脚位的位置的座标。其中该工作平台11上设有沿相互垂直且定义为X轴及Y轴延伸的两个光学尺111，借此可分别产生此二个轴向的座标资讯。而该错误脚位的位置的座标被该标示单元25所记录，以有利于后续的校正作业。

校正部31，设于该工作平台11的立柱12上，并位于该量测部21的旁侧。于本实施例中，该滑座13上固接有一朝横向延伸的固定座131，而该光源扫描单元22、该影像撷取单元23与该校正部31依序并排架设于该固定座131上，且进一步将该校正部31的所在位置定义为一工作位置，而可用以将该探针卡51的错误脚位校正回标准位置。

该输送部41，设有一用以承载该探针卡51的载台42，而该输送部41可带动该载台42于该工作平台11上进行沿X轴及Y轴的二维方向的位移，借此带动该载台42上的探针卡51可于该量测部21与该校正部31之间移动。于本实施例中，该标示单元25于该探针卡51上标记出错误脚位的位置并记录其座标后，该输送部41即利用此座标将该探针卡51被标记的位置直接输送至该校正部31的工作位置，令该校正部31可立即对该错误脚位进行校正。

而本实用新型所提供的探针卡检测装置于实际使用上，系先将该探针卡51置于载台42上并移动至量测部21处，接着即可依据需求选择由该光源扫描单元22及该影像撷取单元23同时或择一对该探针卡51进行相对应的量测工作，再透过该比对单元24加以辨识比对该探针卡51的脚位的深度距离与位置资讯，并以该标示单元25针对各个位置偏离于标准位置的脚位进行标记后，即可透过该输送部41将探针卡51被该标示单元25所标记错误脚位的位置直接输送至该校正部31的工作位置上，以进行校正工作。

而经由上述说明可知，本实用新型所提供的探针卡检测装置除了可确保在检测过程中无须拆装探针卡51，具有节省时间且可确保检测准确性的优点外，本实用新型的探针卡检测装置更借由同时配置有光源扫描单元22与影像撷取单元23，而可对探针卡51的2D影像与深度距离的3D资讯进行精准的量测，以大幅提升其检测精准度，且光源扫描单元22除了可用以检测探针卡51的脚位深度距离是否有偏差之外，更同时可用以检测探针卡51周边零组件的组装良率，例如：探针卡51上锁设的螺丝(图中未示)，如锁设过程不完全，即会导致其螺丝高度较高，因此仅需在比对单元24的教导档中同时建置有螺丝的锁设位置及锁设高度的标准资讯，即可同样可透过光源扫描单元22检测出其锁设是否符合标准；且进一步地，本实用新型所提供的探针卡检测装置亦可依据实际需求，选择由光源扫描单元22及影像撷取单元23同时或择一对该探针卡进行相对应的量测工作，而具有可同时满足不同检测需求的功效。

此外，本实用新型所提供的探针卡检测装置更透过将该光源扫描单元22、该影像撷取单元23及该校正部31同时整合架设于该滑座13的固定座131上，除了可有效缩减其整体体积之外，更可同时缩短其检测范围以缩减检测所需的时间，且同时具有可兼顾其检测结果正确性的功效。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

Claims (4)

1.一种探针卡检测装置，其特征在于，它包含有：

一工作平台；

一量测部，设于该工作平台上，该量测部包括有一光源扫描单元、一影像撷取单元及一比对单元，其中该光源扫描单元可对一探针卡进行深度距离量测以取得一3D扫描资讯，该影像撷取单元则可用以撷取该探针卡的影像以取得一2D影像资讯，而该比对单元用以接收该3D扫描资讯与该2D影像资讯，以辨识该探针卡的脚位的深度距离与位置，该量测部更包括有一标示单元，用以标记该探针卡的错误脚位的位置；

一校正部，设于该工作平台上，该校正部设有一工作位置，用以校正该探针卡的脚位；

一输送部，设于该工作平台上，该输送部设有一用以承载该探针卡的载台，且该载台可相对该工作平台位移，使该探针卡可在该量测部及该校正部之间移动，并将该探针卡被该标示单元标记的错误脚位的位置直接输送至该校正部的工作位置。

2.根据权利要求1所述的探针卡检测装置，其特征在于：该光源扫描单元包括有一光源、一光纤耦合器及一由多组光学镜片组成的光学探头，且该光源、该光纤耦合器与该光学探头分别透过光纤串接以传送光线。

3.根据权利要求1所述的探针卡检测装置，其特征在于：该工作平台立设有一立柱，并于该立柱上滑设有一可沿该立柱上下滑移的滑座，该滑座上固接有一固定座，且该光源扫描单元、该影像撷取单元与该校正部依序并排架设于该固定座上。

4.根据权利要求1所述的探针卡检测装置，其特征在于：该工作平台设有光学尺，用以产生该标示单元所标记错误脚位的位置的座标，并利用此座标令该输送部将该探针卡被标记的错误脚位的位置直接输送至该校正部的工作位置。

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