CN212060327U - 中测台自动遮光板机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及中测台的技术领域，尤其是涉及一种中测台自动遮光板机构，其包括检测台和设置在检测台一侧的机箱,所述检测台上开设有放置槽，所述放置槽内设置有探针板放置台，所述探针板放置台上设置有支撑框，所述支撑框的一侧设置有用于收卷遮光板的收卷机构，所述支撑框远离所述收卷机构的一侧设置有用于拉出遮光板并盖设在支撑框上的拉卷部件，所述支撑框上开设有供探针板连接外部导线的导线槽和导向孔。本实用新型具有在检测前自动遮挡探针板，减少光电效应对检测结果影响的效果。

Description

中测台自动遮光板机构

技术领域

本实用新型涉及中测台的技术领域，尤其是涉及一种中测台自动遮光板机构。

背景技术

中测台又名探针台，主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。

公告号为CN209803190U的中国专利公开了一种方便上样的晶圆探针台，包括检测台和设置在检测台一侧的机箱，机箱内竖向设有升降丝杠，升降丝杠的底端转动连接在机箱内，机箱内设有升降台，升降丝杠穿过升降台，升降丝杠与升降台之间螺纹连接，机箱的顶部设有驱动电机，驱动电机的输出轴同轴连接于升降丝杠。

上述中的现有技术方案存在以下缺陷：在检测圆晶片过程中，由于光电效应的存在，外界光线直接照射在探针板会产生光电流，对圆晶片的检测造成影响，无法正确判断圆晶盘的通断情况。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的是提供一种的中测台自动遮光机构，具有在检测前自动遮挡探针板，减少光电效应对检测结果影响的效果。

本实用新型的上述实用新型目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种中测台自动遮光板机构，包括检测台和设置在检测台一侧的机箱,所述检测台上开设有放置槽，所述放置槽内设置有探针板放置台，所述探针板放置台上设置有支撑框，所述支撑框的一侧设置有用于收卷遮光板的收卷机构，所述支撑框远离所述收卷机构的一侧设置有用于拉出遮光板并盖设在支撑框上的拉卷部件，所述支撑框上开设有供探针板连接外部导线的导线槽和导向孔。

通过采用上述技术方案，操作人员将探针板放置在探针板放置台内，将若干检测导线通过导线槽和导线孔内连接探针板，由机箱内导入待检测圆晶片至探针板下侧并对接好，进而驱动拉卷部件将卷设在收卷机构上的遮光板拉出并盖设在支撑框上，从而完成对探针板的遮光，支撑框有利于使探针板上方整平放置遮光板，避免导线干涉遮光板的平置，收卷机构配合拉卷部件，有利于快速完成遮光板的拉出或收卷，减少光电效应对检测结果的影响。

本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述收卷机构包括一对固定在检测台侧壁的转座、转动连接在两转座之间的转轴和套设在转轴两端的卷簧，所述卷簧的内簧圈同轴心固定套接转轴，所述卷簧的外簧圈固定在转座内，所述转轴上卷设有遮光板，所述拉卷部件包括架设在检测台上的拉卷轴，所述拉卷轴卷设有用于拉动遮光板盖设在支撑框上的拉绳，所述拉卷轴的一侧固定有驱动拉卷轴转动的电机。

通过采用上述技术方案，操作人员预先将遮光板收卷在转轴上，转轴依靠卷簧的收卷力自带收卷力，操作人员可驱动电机带动拉卷轴转动，进而通过拉绳将收卷在转轴上的遮光板拉出，有利于快速完成遮光板遮盖支撑框，提高遮光板遮光效率。

本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述支撑框沿遮光板的移动方向的两相对内侧壁开设有导向槽，所述导向槽的槽宽与遮光板的厚度相契合。

通过采用上述技术方案，操作人员驱动电机拉出遮光板的过程中，遮光板沿两导向槽滑移，导向槽有利于减少遮光板置于支撑框内时发生侧偏造成漏光的问题，提高遮光板移动放置的平整性。

本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述支撑框远离转座的侧壁上设置有触控键，所述触控键朝向遮光板导出支撑框的导出位置，所述触控键控制连接所述电机。

通过采用上述技术方案，操作人员驱动电机带动拉卷轴拉动遮光板时，遮光板由支撑框的一侧导入导向槽，并从支撑框的另一侧导出支撑框，此时遮光板触碰触控键，从而止停电机，遮光板即停止运动，有利于自动完成遮光板的止停，提高遮光板盖设的效率。

本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述转轴和所述支撑框之间架设有除尘辊，所述除尘辊抵贴所述遮光板的板面。

通过采用上述技术方案，操作人员驱动电机拉动遮光板时，遮光板由转轴上转下并导入支撑框前，遮光板贴合除尘辊并由除尘辊粘除灰尘，有利于减少遮光板上粘带灰尘落入探针板上对探针板造成影响，提高对支撑框内的除尘保护。

本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述探针板放置台上开设有卡接槽，所述支撑框卡接在所述卡接槽内。

通过采用上述技术方案，操作人员可将支撑框卡接在卡接槽内，方便操作人员随时拆放，提高支撑框拆放及使用的便捷性。

本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述卡接槽内设置有弹性抵紧圈。

通过采用上述技术方案，支撑框卡接在卡接槽内时，由弹性抵紧圈抵紧支撑框，有利于提高支撑框的卡接预紧力，提高支撑框设置在卡接槽的稳定性。

本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述遮光板设置为聚氨酯。

通过采用上述技术方案，聚氨酯材料质地柔软、耐磨且尺寸稳定性好，有利于保持遮光效果的使用稳定性和使用寿命。

综上所述，本实用新型包括以下至少一种有益技术效果：

1.操作人员驱动拉卷部件将遮光板拉出并盖设在支撑框上，从而完成对探针板的遮光，支撑框有利于使探针板上方整平放置遮光板，避免导线干涉遮光板的平置，收卷机构配合拉卷部件，有利于快速完成遮光板的拉出或收卷，减少光电效应对检测结果的影响；

2.导向槽有利于减少遮光板置于支撑框内时发生侧偏造成漏光的问题，提高遮光板移动放置的平整性；

3.遮光板触碰触控键止停电机以停止遮光板运动，有利于自动完成遮光板的止停，提高遮光板盖设的效率。

附图说明

图1是本实施例中用于体现自动遮光板机构整体的结构示意图。

图2是本实施例中用于体现收卷机构、拉卷轴、电机、除尘辊的局部视图。

图3是图2中A处的放大图，用于体现触控键、导向槽、卡接槽及弹性抵紧圈的结构。

图中，1、检测台；11、机箱；12、放置槽；13、探针板放置台；131、卡接槽；14、弹性抵紧圈；2、收卷机构；21、转座；22、转轴；23、卷簧；24、遮光板；3、拉卷轴；31、转动架一；32、电机；33、拉绳；4、支撑框；41、导线槽；42、导线孔；43、导向槽；5、触控键；6、除尘辊；61、转动架二。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

参照图1和图2，为本实用新型公开的一种中测台自动遮光板机构，包括固定在地面的检测台1和设置在检测台1一侧用于放置待检测圆晶片的机箱11,检测台1上位于机箱11的左侧开设有放置槽12，放置槽12内设置有探针板放置台13，中测台的工作原理为现有技术，在此不再赘述。探针板放置台13上设置有支撑框4，支撑框4的左侧位于检测台1的侧壁上固定有用于收卷遮光板24的收卷机构2，遮光板24优先选用聚氨酯材料，支撑框4的右侧位于检测台1顶面设置有用于拉出遮光板24并盖设在支撑框4上的拉卷部件，拉卷部件包括一对架设在检测台1上的转动架一31，转动架一31上转动设置有拉卷轴3，拉卷轴3卷设有两股用于拉动遮光板24的拉绳33，转动架一31的一侧固定有驱动拉卷轴3转动的电机32，支撑框4上开设有供探针板连接外部导线的导线槽41和导向孔；操作人员将探针板放置在探针板放置台13内，将若干检测导线通过导线槽41和导线孔42内连接探针板，由机箱11内导入待检测圆晶片至探针板下侧并对接好，进而驱动电机32带动拉卷轴3转动，从而将卷设在收卷机构2上的遮光板24拉出并盖设在支撑框4上，从而完成对探针板的遮光，聚氨酯材料质地柔软、耐磨且尺寸稳定性好，有利于保持遮光效果的使用稳定性和使用寿命，支撑框4有利于使探针板上方整平放置遮光板24，避免导线干涉遮光板24的平置，收卷机构2配合拉卷部件，有利于快速完成遮光板24的拉出或收卷，减少光电效应对检测结果的影响。

参照图1和图2，收卷机构2包括一对固定在检测台1侧壁的转座21和转动连接在两转座21之间的转轴22，转轴22转动连接两转座21内的两端套设有卷簧23，卷簧23的内簧圈同轴心固定套接转轴22且卷簧23的外簧圈固定在转座21内，遮光板24收卷在转轴22上且一端固定连接转轴22，另一端连接两股拉绳33；操作人员预先将遮光板24收卷在转轴22上，转轴22依靠卷簧23的收卷力自带收卷力，操作人员可驱动电机32带动拉卷轴3转动，进而通过拉绳33将收卷在转轴22上的遮光板24拉出，有利于快速完成遮光板24遮盖支撑框4，提高遮光板24遮光效率。

参照图2和图3，支撑框4沿遮光板24的移动方向的两相对内侧壁开设有导向槽43，支撑框4的两相对侧面贯穿供遮光板24导入导出，导向槽43的槽宽与遮光板24的厚度相契合；操作人员驱动电机32拉出遮光板24的过程中，遮光板24沿两导向槽43滑移，导向槽43有利于减少遮光板24置于支撑框4内时发生侧偏造成漏光的问题，提高遮光板24移动放置的平整性。

参照图2和图3，支撑框4靠近拉卷轴3的侧壁上固定有一个控制连接电机32的触控键5，触控键5朝向遮光板24导出支撑框4的导出位置；操作人员驱动电机32带动拉卷轴3拉动遮光板24时，遮光板24由支撑框4的一侧导入导向槽43，并从支撑框4的另一侧导出支撑框4，此时遮光板24触碰触控键5，从而止停电机32，遮光板24即停止运动，有利于自动完成遮光板24的止停，提高遮光板24盖设的效率。

参照图3，探针板放置台13上开设有供支撑框4卡接的卡接槽131，卡接槽131内设置有抵贴支撑框4的框边的弹性抵紧圈14，弹性抵紧圈14优先采用橡胶材料；操作人员可将支撑框4卡接在卡接槽131内，方便操作人员随时拆放，提高支撑框4拆放及使用的便捷性，弹性抵紧圈14抵紧支撑框4，有利于提高支撑框4的卡接预紧力，提高支撑框4设置在卡接槽131的稳定性。

参照图1，转轴22和支撑框4之间的检测台1上架设有一对转动架二61，一对转动架二61上转动连接有一根除尘辊6，除尘辊6的辊面设置有粘尘胶（图中不显示），当遮光板24朝向支撑框4内运动时，除尘辊6抵贴遮光板24的板面并随遮光板24运动而转动；操作人员驱动电机32拉动遮光板24时，遮光板24由转轴22上转下并导入支撑框4前，遮光板24贴合除尘辊6并由除尘辊6粘除灰尘，有利于减少遮光板24上粘带灰尘落入探针板上对探针板造成影响，提高对支撑框4内的除尘保护。

本实施例的实施原理为：操作人员预先将支撑框4卡接在探针板放置台13的卡接槽131内，进而将遮光板24收卷在转轴22上并使拉卷轴3上两股拉绳33穿过导向槽43并分别连接遮光板24卷出转轴22的侧边，当操作人员将探针板置于探针板放置台13内，由机箱11导入待检测圆晶片，驱动电机32带动拉卷轴3转动，从而使两股拉绳33沿导向槽43拉动遮光板24盖设在支撑框4上，除尘辊6同时粘除遮光板24上粘带的灰尘，遮光板24导出支撑框4时碰撞触控键5止停电机32，从而完成遮光板24遮挡探针板光线。

本具体实施方式的实施例均为本实用新型的较佳实施例，并非依此限制本实用新型的保护范围，故：凡依本实用新型的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种中测台自动遮光板机构，包括检测台(1)和设置在检测台(1)一侧的机箱(11)，所述检测台(1)上开设有放置槽(12)，所述放置槽(12)内设置有探针板放置台(13)，其特征在于：所述探针板放置台(13)上设置有支撑框(4)，所述支撑框(4)的一侧设置有用于收卷遮光板(24)的收卷机构(2)，所述支撑框(4)远离所述收卷机构(2)的一侧设置有用于拉出遮光板(24)并盖设在支撑框(4)上的拉卷部件，所述支撑框(4)上开设有供探针板连接外部导线的导线槽(41)和导线孔(42)。

2.根据权利要求1所述的中测台自动遮光板机构，其特征在于：所述收卷机构(2)包括一对固定在检测台(1)侧壁的转座(21)、转动连接在两转座(21)之间的转轴(22)和套设在转轴(22)两端的卷簧(23)，所述卷簧(23)的内簧圈同轴心固定套接转轴(22)，所述卷簧(23)的外簧圈固定在转座(21)内，所述转轴(22)上卷设有遮光板(24)，所述拉卷部件包括架设在检测台(1)上的拉卷轴(3)，所述拉卷轴(3)卷设有用于拉动遮光板(24)盖设在支撑框(4)上的拉绳(33)，所述拉卷轴(3)的一侧固定有驱动拉卷轴(3)转动的电机(32)。

3.根据权利要求2所述的中测台自动遮光板机构，其特征在于：所述支撑框(4)沿遮光板(24)的移动方向的两相对内侧壁开设有导向槽(43)，所述导向槽(43)的槽宽与遮光板(24)的厚度相契合。

4.根据权利要求3所述的中测台自动遮光板机构，其特征在于：所述支撑框(4)远离转座(21)的侧壁上设置有触控键(5)，所述触控键(5)朝向遮光板(24)导出支撑框(4)的导出位置，所述触控键(5)控制连接所述电机(32)。

5.根据权利要求2所述的中测台自动遮光板机构，其特征在于：所述转轴(22)和所述支撑框(4)之间架设有除尘辊(6)，所述除尘辊(6)抵贴所述遮光板(24)的板面。

6.根据权利要求1所述的中测台自动遮光板机构，其特征在于：所述探针板放置台(13)上开设有卡接槽(131)，所述支撑框(4)卡接在所述卡接槽(131)内。

7.根据权利要求6所述的中测台自动遮光板机构，其特征在于：所述卡接槽(131)内设置有弹性抵紧圈(14)。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的中测台自动遮光板机构，其特征在于：所述遮光板(24)设置为聚氨酯。

Images