CN211856410U - 一种新型可调节角度的扫描电镜样品台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种新型可调节角度的扫描电镜样品台，其技术方案要点包括U型座板，设置于U型座板之间通过转轴与U型座板转动连接的载物台，所述转轴与U型座板转动定位配合；其特征在于：所述转轴设置为棱形；所述转轴穿过U型座板与环形件活动插接；所述环形件外周面设置有一凸齿；所述U型座板上设置有若干个与凸齿配合的齿槽；齿槽的数量可以根据旋转的角度来进行划分，所述转轴穿过环形件后与限位板通过螺钉固定连接；所述限位板与环形件之间设置有弹簧，本实用新型具有使用方便易操作，通用性强，提高了扫描质量的有益效果。

Description

一种新型可调节角度的扫描电镜样品台

技术领域

本实用新型涉及一种扫描电镜样品台，更具体地说它涉及一种新型可调节角度的扫描电镜样品台。

背景技术

由于近年来，材料发展及应用越来越快速及广泛，特别是国家又加大了对新材料产业扶持力度，以至于材料研究愈加频繁。但是，现有的载物台多是用于平面观测，载物台为普通圆形平台，此种载物台无法固定住底部不平整的柱状样品。此外，目前的EBSD样品台一般为圆柱状，每次只能装载一个样品，在有多个样品测试时，要频繁的放真空—装样—抽真空等操作，既费时又费力，给电镜测试带来极大的不便。研究人员迫切需要一种能一次性承载多个样品的EBSD样品台，并通过简单的方法使样品台角度可调节，提高样品台实用性。本实验新型就是为了解决这样一个令众多实验者为之头痛的放样问题。

目前，公告号为CN206862928U的中国专利公开了一种可调节角度扫描电镜样品台，它包括包括U型座板，U型座板的两侧板之间设置有上侧面为平面的载物台，载物台中间穿设有一转轴，转轴两端与U型座板两侧板上的座孔旋转配合；所述转轴一端设置有一凸齿，与凸齿对应端的座孔内侧壁设置有多个齿槽。

该样品台在实际使用过程中，需要调节角度的时候，转轴可在座孔内沿轴向滑动，U型座板的侧板上穿设有用以锁紧转轴以限制其轴向移动的第二螺钉，第二螺钉与齿槽位于不同的U型座板的侧板上，需要改变载物台角度时，需要先松开第二螺钉，拉动转轴轴向移动使凸齿退出其所在的齿槽，然后转动转轴，使凸齿转动至对应的齿槽处并推动转轴沿轴向移动使凸齿卡入齿槽中，再锁紧第二螺钉；这样的操作方式，需要频繁的转动螺钉，费时费力。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型在于提供一种新型可调节角度的扫描电镜样品台，具有使用方便易操作，通用性强，提高了扫描质量的有益效果。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：一种新型可调节角度的扫描电镜样品台，包括U型座板，设置于U型座板之间通过转轴与U型座板转动连接的载物台，所述转轴与U型座板转动定位配合；其特征在于：所述转轴设置为棱形；所述转轴穿过U型座板与环形件活动插接；所述环形件外周面设置有一凸齿；所述U型座板上设置有若干个与凸齿配合的齿槽；所述转轴穿过环形件后与限位板通过螺钉固定连接；所述限位板与环形件之间设置有弹簧。

通过上述设置，当需要转动载物台的角度的时候，不需要进行松开螺钉和锁紧螺钉这样的操作，而是只需要简单的将环形件向后方拉动，使得凸齿脱离齿槽，此时弹簧被压缩，然后转动转轴，转轴远离环形件的另一端可以设置为圆杆或者通过轴承与U型座板连接，从而实现转动，当转动到需要的角度后，将凸齿与指定角度的齿槽，从而起到固定作用，然后被压缩的弹簧复位，从而将环形件固定，从而防止环形件沿轴向放心移动。

本实用新型进一步设置为：所述转轴设置为五棱柱；所述转轴与载物台插接且过盈配合；所述转轴与环形件间隙配合。

通过上述设置，转轴与载物台插接且过盈配合，当转轴转动时，能够带动载物台转动，而转轴与环形件间隙配合，提供了环形件沿转轴轴向放心移动的基础。

本实用新型进一步设置为：所述限位板为圆形；所述转轴端面设置有螺纹孔；所述限位板上设置有与螺纹孔相对的圆孔，螺钉穿过圆孔与螺纹孔螺纹固定连接从而将限位板将固定在转轴端面。

通过上述设置，能够使得限位板对弹簧限位，同时同螺钉螺纹连接的方式，使得限位板，弹簧，环形件之间可以拆卸替换，当某一个零件损坏时，可以替换，延长整个产品的使用寿命。

本实用新型进一步设置为：所述载物台上表面设置有载物凹槽。

综上所述，本实用新型具有以下有益效果：该可调节角度扫描电镜样品台实现了多个不同形状样品批量扫描，避免频繁的装样和抽放真空，提高了扫描测试的效率；实现了样品扫描角度可控性，使用方便易操作，通用性强，提高了扫描质量，同时角度转换简单，便于维护，使用寿命长。

附图说明

图1是本实施例结构示意图；

图2是本实施例图1的A部放大图；

图3是本实施例侧视图；

图4是本实施例结构示意图(三个齿槽时)。

附图标记：1、U型座板；2、载物台；3、转轴；4、凸齿；5、齿槽；6、环形件；7、限位板；8、螺钉；9、弹簧；10、载物凹槽。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

本实施例公开了一种新型可调节角度的扫描电镜样品台，如图1至图4所示，具有使用方便易操作，通用性强，提高了扫描质量的有益效果。包括U型座板1，设置于U型座板1之间通过转轴3与U型座板1转动连接的载物台2，所述转轴3与U型座板1转动定位配合；所述转轴3设置为棱形；所述转轴3穿过U型座板1与环形件6活动插接；所述环形件6外周面设置有一凸齿4；所述U型座板1上设置有若干个与凸齿4配合的齿槽5；齿槽5的数量可以根据旋转的角度来进行划分，可以设置三个齿槽5，凸齿4与第一个齿槽5配合时，载物台2的上侧面为水平状态；凸齿4与第二个齿槽5配合时，载物台2的上侧面倾斜20°；凸齿4与第三个齿槽5配合时，载物台2的上侧面倾斜70°；所述转轴3穿过环形件6后与限位板7通过螺钉8固定连接；所述限位板7与环形件6之间设置有弹簧9。当需要转动载物台2的角度的时候，不需要进行松开螺钉8和锁紧螺钉8这样的操作，而是只需要简单的将环形件6向后方拉动，使得凸齿4脱离齿槽5，此时弹簧9被压缩，然后转动转轴3，转轴3远离环形件6的另一端可以设置为圆杆或者通过轴承与U型座板1连接，从而实现转动，当转动到需要的角度后，将凸齿4与指定角度的齿槽5，从而起到固定作用，然后被压缩的弹簧9复位，从而将环形件6固定，从而防止环形件6沿轴向放心移动。

所述转轴3设置为五棱柱；所述转轴3与载物台2插接且过盈配合；所述转轴3与环形件6间隙配合。转轴3与载物台2插接且过盈配合，当转轴3转动时，能够带动载物台2转动，而转轴3与环形件6间隙配合，提供了环形件6沿转轴3轴向放心移动的基础。

所述限位板7为圆形；所述转轴3端面设置有螺纹孔；所述限位板7上设置有与螺纹孔相对的圆孔；所述螺钉8圆孔与螺纹孔螺纹固定连接从而将限位板7将固定在转轴3端面。能够使得限位板7对弹簧9限位，同时同螺钉8螺纹连接的方式，使得限位板7，弹簧9，环形件6之间可以拆卸替换，当某一个零件损坏时，可以替换，延长整个产品的使用寿命。所述载物台2上表面设置有载物凹槽10。

综上所述，本实用新型具有以下有益效果：该可调节角度扫描电镜样品台实现了多个不同形状样品批量扫描，避免频繁的装样和抽放真空，提高了扫描测试的效率；实现了样品扫描角度可控性，使用方便易操作，通用性强，提高了扫描质量，同时角度转换简单，便于维护，使用寿命长。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的设计构思之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种新型可调节角度的扫描电镜样品台，包括U型座板(1)，设置于U型座板(1)之间通过转轴(3)与U型座板(1)转动连接的载物台(2)，所述转轴(3)与U型座板(1)转动定位配合；其特征在于：所述转轴(3)设置为棱形；所述转轴(3)穿过U型座板(1)与环形件(6)活动插接；所述环形件(6)外周面设置有一凸齿(4)；所述U型座板(1)上设置有若干个与凸齿(4)配合的齿槽(5)；所述转轴(3)穿过环形件(6)后与限位板(7)通过螺钉(8)固定连接；所述限位板(7)与环形件(6)之间设置有弹簧(9)。

2.根据权利要求1所述的新型可调节角度的扫描电镜样品台，其特征在于：所述转轴(3)设置为五棱柱；所述转轴(3)与载物台(2)插接且过盈配合；所述转轴(3)与环形件(6)间隙配合。

3.根据权利要求2所述的新型可调节角度的扫描电镜样品台，其特征在于：所述限位板(7)为圆形；所述转轴(3)端面设置有螺纹孔；所述限位板(7)上设置有与螺纹孔相对的圆孔，螺钉(8)穿过圆孔与螺纹孔螺纹固定连接从而将限位板(7)将固定在转轴(3)端面。

4.根据权利要求3所述的新型可调节角度的扫描电镜样品台，其特征在于：所述载物台(2)上表面设置有载物凹槽(10)。

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