CN211789063U - 硅片用顶齿以及顶齿组 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了硅片用顶齿(100)以及顶齿组(200)，其中，硅片用顶齿(100)，包括齿件基座(110)，在长度方向的第一端(111)，设有用于支撑硅片(101)的支撑部(112)；第一齿件(120)，设置在支撑部(112)的一侧，具有第一表面(121)，第一表面(121)的表面粗糙度为Ra0.1μm以下；以及第二齿件(130)，安装到支撑部(112)的另一侧，具有与第一表面(121)相对的第二表面(131)，第二表面(131)的表面粗糙度为Ra0.1μm以下；支撑部(112)、第一表面(121)和第二表面(131)形成用于容纳硅片(101)的顶齿槽(140)。本实用新型的硅片用顶齿在硅片的生产过程中，能够降低硅片表面被划伤的风险。

Description

硅片用顶齿以及顶齿组

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池生产技术领域，尤其涉及硅片用顶齿以及顶齿组。

背景技术

随着太阳能光伏行业的快速发展，对硅片的生产质量也愈发重视。在硅片的生产过程中，例如在扩散、氧化、退火、LPCVD等工艺段的自动装卸的过程中，通常会使用由多个顶齿组成的顶齿组，将硅片从石英舟的槽中或者花篮的槽中顶出，或者将硅片放入石英舟的槽中或者花篮的槽中。在这过程中，经常会出现由于顶齿槽和硅片磕碰而导致硅片表面被产生划痕，进而影响产品的质量的情况。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出了一种硅片用顶齿，能够提高顶齿和硅片接触的表面的光滑程度，从而降低硅片表面被划伤的风险。此外，本实用新型还提出了由硅片用顶齿组成的顶齿组。

根据本实用新型第一方面实施例的硅片用顶齿，包括齿件基座，在长度方向的第一端，设有用于支撑硅片的支撑部；第一齿件，设置在所述支撑部的一侧，具有第一表面，所述第一表面的表面粗糙度为Ra0.1μm以下；以及第二齿件，安装到所述支撑部的另一侧，具有与所述第一表面相对的第二表面，所述第二表面的表面粗糙度为Ra0.1μm以下；所述支撑部、所述第一表面和所述第二表面形成用于容纳所述硅片的至少一部分的顶齿槽。

本实用新型的硅片用顶齿，至少具有如下有益效果：由于至少第二齿件安装到齿件基座，在第二齿件安装之前，作为形成用于容纳硅片的顶齿槽的第一表面和第二表面，均处在外侧，第一表面和第二表面容易被抛光加工至表面粗糙度为Ra0.1μm以下。因此，本实用新型的硅片用顶齿，能够提高顶齿和硅片接触的表面的光滑程度，从而降低硅片表面被划伤的风险。

在一些实施例中，所述第一齿件安装到所述支撑部的一侧。

在一些实施例中，所述第一齿件通过粘接和/或螺接的方式安装到所述支撑部的一侧。

在一些实施例中，所述第二齿件通过粘接和/或螺接安装到所述支撑部的另一侧。

在一些实施例中，所述支撑部上，设有防护垫，所述防护垫容置在所述顶齿槽内。

在一些实施例中，所述齿件基座在所述支撑部的一侧，设有第一阶梯部，所述第一齿件安装到所述第一阶梯部，所述第一齿件的外侧面，和所述齿件基座的一侧的外侧面平齐；所述齿件基座在所述支撑部的另一侧，设有第二阶梯部，所述第二齿件安装到所述第二阶梯部，所述第二齿件的外侧面，和所述齿件基座的另一侧的外侧面平齐。

在一些实施例中，所述第一齿件和所述第二齿件的材料分别是可进行抛光的陶瓷材料。

在一些实施例中，所述第一齿件和所述第二齿件的材料分别是氧化锆陶瓷材料。

在一些实施例中，所述第一齿件和所述第二齿件分别呈片状。

根据本实用新型第二方面实施例的顶齿组，包括安装基座；以及多个上述任一项的硅片用顶齿，多个所述硅片用顶齿并排地安装到所述安装基座。

本实用新型的顶齿组，至少具有如下有益效果：由于能够提高各硅片用顶齿的顶齿槽内和硅片接触的表面的光滑程度，因此，本实用新型的顶齿组在硅片的生产过程中，能够降低硅片表面被划伤的风险。

附图说明

图1是本实用新型的硅片用顶齿的一种实施例的示意图；

图2是图1中A处的局部放大图；

图3图1的硅片用顶齿的要部的***示意图；

图4是图3的硅片用顶齿的另一视角的示意图；

图5是本实用新型的硅片用顶齿的另一种实施例的要部的***示意图；

图6是本实用新型的顶齿组的一种实施例的示意图。

具体实施方式

以下将结合实施例对本实用新型的构思及产生的技术效果进行清楚、完整地描述，以充分地理解本实用新型的目的、特征和效果。显然，所描述的实施例只是本实用新型的一部分实施例，而不是全部实施例，基于本实用新型的实施例，本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下所获得的其他实施例，均属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型实施例的描述中，如果涉及到方位描述，例如“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型实施例的描述中，如果某一特征被称为“设置”、“固定”、“连接”、“安装”在另一个特征，它可以直接设置、固定、连接在另一个特征上，也可以间接地设置、固定、连接、安装在另一个特征上。在本实用新型实施例的描述中，如果涉及到“若干”，其含义是一个以上，如果涉及到“多个”，其含义是两个以上，如果涉及到“大于”、“小于”、“超过”，均应理解为不包括本数，如果涉及到“以上”、“以下”、“以内”，均应理解为包括本数。如果涉及到“第一”、“第二”，应当理解为用于区分技术特征，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。

图1是硅片用顶齿100的一种实施例的示意图，图2是图1中A处的局部放大图，图3是硅片用顶齿100的要部的***示意图，图4是硅片用顶齿100的另一视角的示意图，参照图1至图4，根据本实用新型第一方面实施例的硅片用顶齿100，包括齿件基座110、第一齿件120以及第二齿件130，其中，齿件基座110在长度方向的第一端111，设有用于支撑硅片101的支撑部112；第一齿件120设置在支撑部112的一侧(以下也称第一侧112a)，具有第一表面121，第一表面121的表面粗糙度为Ra0.1μm以下；第二齿件130安装到支撑部112的另一侧(与第一侧112a相对，以下也称第二侧112b)，具有与第一表面121相对的第二表面131，第二表面131的表面粗糙度为Ra0.1μm以下；支撑部112、第一表面121和第二表面131形成用于容纳硅片101的至少一部分的顶齿槽140。

在本实施例中，由于至少第二齿件130安装到齿件基座110，在第二齿件130安装之前，作为形成用于容纳硅片101的顶齿槽140的第一表面121和第二表面131，均处在外侧，不存在由于顶齿槽140比较狭窄导致第一表面121和第二表面131无法精加工的问题，因此第一表面121和第二表面131容易被抛光加工至表面粗糙度为0.1μm以下。因此，本实施例的硅片用顶齿100，能够提高硅片用顶齿100和硅片101接触的表面的光滑程度，从而降低硅片101表面被划伤的风险。

具体地，例如，第一齿件120的第一表面121呈平面状，平坦地显露在外面，由此，能够直接将第一齿件120装夹在机床(未图示)例如抛光机上，抛光机的抛光工具能够直接从垂直于第一齿件120的第一表面121的方向靠近第一表面121，并对第一齿件120的第一表面121进行抛光，从而提高第一齿件120的第一表面121的光滑程度。另外，可以想到的是，第二齿件130的第二表面131也呈平面状，平坦地显露在外面，由此，能够直接将第二齿件130装夹并对第二齿件130的第二表面131进行抛光，从而提高第二齿件130的第二表面131的光滑程度。

可以想到的是，虽然第一表面121和第二表面131的表面粗糙度只要能够为Ra0.1μm以下即可，但是在不考虑加工难度或者加工成本等的情况下，第一表面121和第二表面131的表面粗糙度越小越好，例如也可以是Ra0.050μm、Ra0.025μm。

可以想到的是，表面粗糙度可以通过例如表面粗糙度测量仪进行测量。

此外，可以想到的是，第一齿件120的第一表面121和第二齿件130的第二表面131并不限定为平面状，也可以为弧面状，只要其能够显露在外侧被抛光机抛光即可。本领域的技术人员可以根据第一齿件120以及第二齿件130的形状选择不同规格的抛光机。

在一些实施例中，第一齿件120可以和齿件基座110一体成型地设置在齿件基座110上。具体地，齿件基座110的长度方向的第一端111，设置成阶梯状，并将平行于齿件基座110的长度方向的一面，作为第一齿件120的第一表面121，将垂直于齿件基座110的长度方向的一面，作为支撑部112。在本实施例中，可以整体装夹齿件基座110，并对和齿件基座110一体成型的第一齿件120的第一表面121进行抛光，使其表面粗糙度为Ra0.1μm以下。

图5是硅片用顶齿100的另一种实施例的要部的***示意图，参照图5，在一些实施例中，为了容易地加工第一齿件120，尽量地减少第一齿件120的加工变形，第一齿件120设置为安装到支撑部112的一侧。例如，在一些实施例中，齿件基座110在支撑部112的一侧即第一侧112a，设有第一阶梯部114，第一齿件120安装到第一阶梯部114，第一齿件120的外侧面120a，和齿件基座110的一侧的外侧面平齐。由此，不仅能够尽量减少硅片用顶齿100的整体厚度，而且能够提高安装的精度。

在一些实施例中，第一齿件120通过粘接的方式安装到支撑部112的一侧即第一侧112a，具体地，第一齿件120可以通过胶水粘接到第一阶梯部114，由此能够使第一齿件120牢固地安装到支撑部112的第一侧112a。胶水可以选择例如青红AB胶、环氧树脂AB胶等。可以想到的是，第二齿件130也可以通过螺接(螺纹联接)的方式安装到支撑部112的一侧即第一侧112a，具体地，可以在齿件基座110上开设螺纹孔，在第一齿件120上开设通孔，通过螺丝将第一齿件120安装到支撑部112的第一侧112a，由此，能够使第一齿件120牢固地安装到支撑部112的第二侧112b。可以想到的是，为了防止装有的第一齿片的硅片用顶齿100的厚度过大，可以将锁紧第一齿件120的螺丝的头部磨掉或者至少磨掉一部分。可以想到的是，螺丝可以选择陶瓷螺丝。另外，可以想到的是，为了使第一齿件120更加牢固地安装到支撑部112的第一侧112a，也可以同时使用粘接和螺纹联接的方式，将第一齿件120安装到支撑部112的第一侧112a。

如上所述，第二齿件130安装到齿件基座110的另一侧即第二侧112b。具体地，例如，在一些实施例中，齿件基座110在支撑部112的另一侧即第二侧112b，设有第二阶梯部115，第二齿件130安装到第二阶梯部115，第二齿件130的外侧面130b，和齿件基座110的另一侧的外侧面110b平齐。由此，不仅能够尽量减少硅片用顶齿100的整体厚度，而且能够提高安装的精度。

可以想到的是，第二齿件130也可以通过粘接和/或螺接安装到支撑部112的另一侧。

在一些实施例中，齿件基座110可以呈长条状的块状，第一阶梯部114和第二阶梯部115分别开设在齿件基座110的长度方向的一端，第一阶梯部114和第二阶梯部115之间的突出部分，作为支撑部112，与此对应，第一齿件120和第二齿件130分别呈片状，第一齿件120通过粘接方式安装到第一阶梯部114，第二齿件130也通过粘接的方式安装到第二阶梯部115。此外，支撑部112的下方，设置有第一通孔116，第一齿件120和第二齿件130当中，其中一件设有通孔，另外一件设有螺纹孔，通过螺接(螺纹联接)的方式，将第一齿件120和第二齿件130分别锁紧到支撑部112。由此，在本实施例中，由于第一齿件120和第二齿件130均呈片状，因此第一齿件120的第一表面121和第二齿件130的第二表面131容易进行抛光加工使其表面粗糙度在0.1μm(即足够光滑)以下，从而能够确保在形成顶齿槽140并容纳硅片101时，即使硅片101和第一表面121，和/或硅片101和第二表面131接触，也不会划伤硅片101，从而降低硅片101表面被划伤的风险。

在一些实施例中，为了防止支撑部112划伤硅片101，支撑部112上，设有防护垫113，防护垫113容置在顶齿槽140内。具体地，防护垫113可以选择例如塑料材质的防护垫113，通过胶水粘接到支撑部112上。

在一些实施例中，第一齿件120和第二齿件130的材料分别是可进行抛光的陶瓷材料。具体地，只要是表面能够进行抛光、且在抛光时不容易变形、具有足够硬度的陶瓷材料，均可以选择。

例如，在一些实施例中，第一齿件120和第二齿件130的材料分别是氧化锆陶瓷材料。

图6是顶齿组200的一种实施例的示意图，在图6中，为了方便观察，将安装基座210的部分剖开，此外，省略了部分硅片用顶齿100，参照图6，根据本实用新型第二方面实施例的顶齿组200，包括安装基座210以及多个上述任一项的硅片用顶齿100，多个硅片用顶齿100并排地安装到安装基座210。

在本实施例中，由于安装基座210装有上述的硅片用顶齿100，因此，能够提高各硅片用顶齿100的顶齿槽140内和硅片101接触的表面(即第一表面121和第二表面131)的表面粗糙度，因此，本实用新型的顶齿组200在硅片101的生产过程中，能够降低硅片101表面被划伤的风险。

可以想到的是，硅片用顶齿100可以通过任何公知的安装方式，安装到安装基座210，例如，可以在安装基座210上设置并排的多个安装槽211，将硅片用顶齿100的长度方向的另一端(第二端117)容纳到安装槽211内，并通过顶丝顶紧。

可以想到的是，本领域的技术人员可以根据需要，设置各硅片用顶齿100相互之间的距离。

本实用新型的顶齿组200，能够用在石英舟载具(未图示)中，辅助将硅片101拖出舟或者把硅片101放入舟中。

在上述具体实施方式中所描述的各个具体的技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何方式进行组合，为了不必要的重复，本实用新型对各种可能的组合方式不另行说明。

以上实施例仅用于说明本实用新型的技术方案而并非对其进行限制，凡未脱离本实用新型范围的任何修改或者等同替换，均应当涵括在本实用新型的技术方案内。

Claims (10)

1.硅片用顶齿，其特征在于，包括

齿件基座，在长度方向的第一端，设有用于支撑硅片的支撑部；

第一齿件，设置在所述支撑部的一侧，具有第一表面，所述第一表面的表面粗糙度为Ra0.1μm以下；以及

第二齿件，安装到所述支撑部的另一侧，具有与所述第一表面相对的第二表面，所述第二表面的表面粗糙度为Ra0.1μm以下；

所述支撑部、所述第一表面和所述第二表面形成用于容纳所述硅片的至少一部分的顶齿槽。

2.根据权利要求1所述的硅片用顶齿，其特征在于，所述第一齿件安装到所述支撑部的一侧。

3.根据权利要求2所述的硅片用顶齿，其特征在于，所述第一齿件通过粘接和/或螺接的方式安装到所述支撑部的一侧。

4.根据权利要求1或3所述的硅片用顶齿，其特征在于，所述第二齿件通过粘接和/或螺接安装到所述支撑部的另一侧。

5.根据权利要求1所述的硅片用顶齿，其特征在于，所述支撑部上，设有防护垫，所述防护垫容置在所述顶齿槽内。

6.根据权利要求4所述的硅片用顶齿，其特征在于，所述齿件基座在所述支撑部的一侧，设有第一阶梯部，所述第一齿件安装到所述第一阶梯部，所述第一齿件的外侧面，和所述齿件基座的一侧的外侧面平齐；

所述齿件基座在所述支撑部的另一侧，设有第二阶梯部，所述第二齿件安装到所述第二阶梯部，所述第二齿件的外侧面，和所述齿件基座的另一侧的外侧面平齐。

7.根据权利要求1所述的硅片用顶齿，其特征在于，所述第一齿件和所述第二齿件的材料分别是可进行抛光的陶瓷材料。

8.根据权利要求7所述的硅片用顶齿，其特征在于，所述第一齿件和所述第二齿件的材料分别是氧化锆陶瓷材料。

9.根据权利要求4所述的硅片用顶齿，其特征在于，所述第一齿件和所述第二齿件分别呈片状。

10.顶齿组，其特征在于，包括

安装基座；以及

多个权利要求1至9中任一项所述的硅片用顶齿，多个所述硅片用顶齿并排地安装到所述安装基座。

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