CN211473030U - 悬吊式储存匣置放设备及其可携式电控箱 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种悬吊式储存匣置放设备及其可携式电控箱，所述可携式电控箱，用来设置于悬吊在天花板且能承接晶圆盒的一承载框架。所述可携式电控箱包含一箱体、多个监控组件、以及多个连通管路。所述箱体用来可拆解地固定于所述承载框架；所述多个监控组件设置于所述箱体内；所述多个连通管路相连于至少一个所述监控组件。其中，多条所述连通管路皆至少局部穿出所述箱体、以用来可拆解地连接于设置在所述承载框架的多条气流管路。据此，在可携式电控箱需要进行检修时，可以直接将待检修的可携式电控箱拆离进行检修，并安装另一个无需检修的可携式电控箱，以提升检修的便利性，并且避免影响到悬吊式储存匣置放设备的运作。

Description

悬吊式储存匣置放设备及其可携式电控箱

技术领域

本实用新型涉及一种悬吊式置放设备，特别是一种悬吊式储存匣置放设备及其可携式电控箱。

背景技术

现有悬吊式储存匣置放设备的电控模块皆是直接装设于承载框架上；也就是，所述电控模块难以自承载框架拆除。据此，在现有悬吊式储存匣置放设备的电控模块需要检修时，相关人员必须采在梯子上来对电控模块进行检修，这不但造成检修上的困难，并且还会影响到现有悬吊式储存匣置放设备的运作。

实用新型内容

本实用新型实施例在于提供一种悬吊式储存匣置放设备及其可携式电控箱，其能有效地改善现有悬吊式储存匣置放设备及其电控模块所可能产生的缺陷。

本实用新型实施例公开一种悬吊式储存匣置放设备，用来悬吊于铺设有一运输轨道的一天花板，所述悬吊式储存匣置放设备包括：一承载框架，包含有：多个直立杆，其顶端部用来对应所述天花板安装、并分别位于所述运输轨道的相反两侧，区分为两个第一直立杆与至少一个第二直立杆；及一底座，安装于多个所述直立杆的底端部，并且所述底座用来供所述运输轨道传送的一晶圆盒进行置放；一喷气模块，安装于所述承载框架，并包含有：多个气嘴，设置于所述底座；及多条气流管路，分别连接于多个所述气嘴，多条所述气流管路的一端邻近于两个所述第一直立杆并且各定义为一组接端部，而每条所述气流管路的另一端用来连接至一气流供应装置；以及一可携式电控箱，设置于所述底座上且位于两个所述第一直立杆之间；其中，所述可携式电控箱包含有：一箱体，可拆解地固定于所述底座及两个所述第一直立杆；多个监控组件，设置于所述箱体内；及多个连通管路，相连于至少一个所述监控组件；其中，多条所述连通管路皆至少局部穿出所述箱体、并可拆解地连接于多条所述气流管路的所述组接端部。

优选地，所述可携式电控箱包含有多个固定支架，并且所述箱体通过多个所述固定支架而分别锁固于所述底座及两个所述第一直立杆。

优选地，所述底座包含有：多个底横杆，相连于多个所述直立杆的所述底端部，以共同围绕成环形；一底盘，安装于多个所述底横杆；及一承载盘，安装于多个所述底横杆且与所述底盘间隔有一距离，并且所述承载盘用来供所述晶圆盒进行置放；其中，多个所述气嘴位于所述底盘与所述承载盘之间，且每个所述气嘴的局部裸露于所述承载盘之外，每条所述气流管路沿经所述底盘与所述承载盘之间的空间连接至相对应的所述气嘴。

优选地，多个所述气嘴区分为多个第一气嘴与多个第二气嘴，多条所述气流管路区分为连接于多个所述第一气嘴的多条第一气流管路以及连接于多个所述第二气嘴的多条第二气流管路；其中，多个所述第一气嘴与多个所述第二气嘴用来连接不同类型的两种晶圆盒。

优选地，多条所述第一气流管路的其中一条以及多条所述第二气流管路的其中一条沿着至少一个所述第二直立杆延伸至所述天花板。

优选地，至少一个所述第二直立杆沿其长度方向形成有一沟槽，并且延伸至所述天花板的所述第一气流管路与所述第二气流管路沿着至少一个所述第二直立杆的所述沟槽。

优选地，所述承载框架包含有多个限位横杆，多个所述限位横杆与所述底座间隔设置且相连于多个所述直立杆，并且两个所述第一直立杆之间未有任何所述限位横杆连接。

优选地，所述承载框架包含有多个预定位件，用来独立可拆解地固定于所述天花板并分别位于所述运输轨道相反两侧的一预定位置上；多个所述直立杆的所述顶端部分别可拆解地固定于多个所述预定位件，以用来对应所述天花板安装。

优选地，所述承载框架包含有多个斜向支撑杆，并且多个所述斜向支撑杆的上端部分别安装于多个所述直立杆，而多个所述斜向支撑杆的下端部用来固定于所述天花板并分别位于所述运输轨道的相反两侧；其中，每个所述斜向支撑杆与相对应的所述直立杆相夹有介于15度～80度的一可调式夹角。

本实用新型实施例也公开一种悬吊式储存匣置放设备的可携式电控箱，用来设置于悬吊在天花板且能承接晶圆盒的一承载框架，所述悬吊式储存匣置放设备的可携式电控箱包括：一箱体，用来可拆解地固定于所述承载框架；多个监控组件，设置于所述箱体内；以及多个连通管路，相连于至少一个所述监控组件；其中，多条所述连通管路皆至少局部穿出所述箱体，以用来可拆解地连接于设置在所述承载框架的多条气流管路。

综上所述，本实用新型实施例所公开的悬吊式储存匣置放设备及其可携式电控箱，其在可携式电控箱(或监控组件)需要进行检修时，相关人员可以直接将待检修的可携式电控箱自承载框架拆离进行检修，并将另一个无需检修的可携式电控箱安装至承载框架，据以提升检修的便利性，并且避免影响到悬吊式储存匣置放设备的运作。

为使能更进一步了解本实用新型的特征及技术内容，请参阅以下有关本实用新型的详细说明与附图，然而所提供的附图仅用于提供参考与说明，并非用来对本实用新型加以限制。

附图说明

图1为本实用新型实施例的悬吊式储存匣置放设备悬吊于天花板的立体示意图。

图2为图1另一视角的立体示意图。

图3为图1的平面示意图。

图4为图1的分解示意图。

图5为图1中的部位V的放大示意图。

图6为图5的变化态样示意图。

图7为图4中的承载框架与喷气模块的局部剖视示意图之一。

图8为图4中的承载框架与喷气模块的局部剖视示意图之二。

图9为图1的悬吊式储存匣置放设备的变化态样示意图之一。

图10为图1的悬吊式储存匣置放设备的变化态样示意图之二。

图11为图2中的部位XI的放大示意图。

图12为图11的变化态样示意图。

图13为图3的悬吊式储存匣置放设备的变化态样示意图。

图14为本实用新型实施例的悬吊式储存匣置放设备的承载框架与喷气模块的分解示意图。

图15为本实用新型实施例的悬吊式储存匣置放设备的承载框架与喷气模块的组合示意图。

具体实施方式

请参阅图1至图15所示，其为本实用新型的实施例，需先说明的是，本实施例对应附图所提及的相关数量与外型，仅用来具体地说明本实用新型的实施方式，以便于了解本实用新型的内容，而非用来局限本实用新型的保护范围。

请参阅图1至图3所示，本实施例公开一种悬吊式储存匣置放设备100，其用来悬吊于铺设有一运输轨道200的一天花板300。其中，所述悬吊式储存匣置放设备100于本实施例中是应用于半导体制造厂房内，并且所述天花板300可以是指厂房内的顶壁或是设置于顶壁的任何构件(如：铝挤型)，本实用新型对此不加以限制。

所述悬吊式储存匣置放设备100包含一承载框架1、安装于所述承载框架1的一喷气模块2、设置于所述承载框架1的一电控模块3。其中，所述承载框架1于本实施例中是以搭配于上述喷气模块2与电控模块3来说明，但于本实用新型未绘示的其他实施例中，所述承载框架1也可以被单独地应用(如：贩卖)或搭配其他构件使用。

如图3和图4所示，所述承载框架1包含有多个预定位件11、分别可拆解地固定于多个所述预定位件11的多个直立杆12、安装于多个所述直立杆12的一底座13、安装于多个所述直立杆12的多个限位横杆14、分别安装于多个所述直立杆12的多个斜向支撑杆15、及用来连接多个所述直立杆12与多个所述斜向支撑杆15的多个调整结构16。

所述多个预定位件11用来独立可拆解地固定于所述天花板300、并分别位于所述运输轨道200相反两侧的一预定位置上。也就是说，所述承载框架1所欲安装的天花板300位置，可以通过多个预定位件11先行固定于天花板300。再者，多个直立杆12的顶端部121分别可拆解地固定于多个所述预定位件11，以用来对应所述天花板300安装。

据此，所述承载框架1通过多个预定位件11先行固定于天花板300的预定位置，并且多个所述预定位件11能够逐一被安装，据以降低承载框架1的安装作业受到运输轨道200的运行影响。再者，在所述多个预定位件11在安装至天花板300的所述预定位置之后，上述承载框架1的其余部位能够通过多个直立杆12的顶端部121一次性直接对位且固定于上述多个预定位件11而被安装至天花板300，进而有效地节省所述承载框架1的安装时程，据以进一步降低承载框架1的安装作业受到运输轨道200的运行影响。

需说明的是，所述预定位件11与直立杆12的具体结构与固定方式可以依据设计需求而加以调整变化，本实用新型在此不加以限制。于本实施例的图5中，每个预定位件11包含有一管体111、自所述管体111延伸的至少两个片体112、及多个螺丝113。其中，于每个所述预定位件11中，多个所述螺丝113的其中至少两个所述螺丝113穿过至少两个所述片体112而用来固定于所述天花板300、并且多个所述螺丝113的其中另一个所述螺丝113穿过所述管体111与相对应的所述直立杆12的顶端部121而彼此固定。

如图3和图4所示，所述多个直立杆12于本实施例中为相同的构造，并且多个直立杆12分别位于所述运输轨道200的相反两侧，据以区分为两个第一直立杆12a与两个第二直立杆12b，所述多个直立杆12是采用两个第一直立杆12a与两个第二直立杆12b，但本实用新型不受限于此。举例来说，在本实用新型未绘示的其他实施例中，所述多个直立杆12也可以是包含有两个第一直立杆12a与至少一个第二直立杆12b。

需额外说明的是，所述直立杆12(如：第一直立杆12a或第二直立杆12b)较佳是沿其长度方向形成有一沟槽123，据以供设置于所述承载框架1的任何线路或管路收容于内且延伸至所述天花板300，但本实用新型不受限于此。

此外，本实施例承载框架1的直立杆12虽是以搭配上述预定位件11，而用来对应所述天花板300安装，但本实用新型不受限于此。举例来说，如图6所示，所述承载框架1可以不包含有预定位件11，并且所述多个直立杆12的顶端部121用来对应所述天花板300安装(如：直立杆12的顶端部121被直接锁固于天花板300)、并分别位于所述运输轨道200的相反两侧。

如图1、图7和图8所示，所述底座13安装于上述多个直立杆12的底端部122，并且所述底座13用来供所述运输轨道200传送的一晶圆盒(图未示)进行置放。也就是说，所述悬吊式储存匣置放设备100于本实施例中能够作为上述晶圆盒的暂存区域使用。

所述底座13包含有多个底横杆131、安装于多个所述底横杆131的一底盘132及安装于所述多个所述底横杆131的一承载盘133。其中，上述多个底横杆131相连于多个所述直立杆12的底端部122，以共同围绕成环形(如：方环形)，并且所述底盘132形成有多个穿孔并安装于上述多个底横杆131的底缘，据以位于上述多个底横杆131所围绕的空间的一侧。所述承载盘133则是位于底盘132的上方且与底盘132间隔有一距离，并且所述承载盘133能用来供所述晶圆盒进行置放。

所述多个限位横杆14是与所述底座13呈间隔设置，并且两个所述第二直立杆12b之间以一个所述限位横杆14连接，而任一个所述第一直立杆12a与相邻的所述第二直立杆12b之间以一个所述限位横杆14连接，但两个所述第一直立杆12a之间未有任何所述限位横杆14连接。也就是说，所述多个限位横杆14于本实施例中是大致排列成U字形，据以使两个所述第一直立杆12a及其所相连的底横杆131能够共同包围形成有一安装口N。再者，所述多个限位横杆14的数量于本实施例中是比多个所述底横杆131的数量少一个，但本实用新型不以此为限。

再者，每个所述限位横杆14所连接的直立杆12位置，其较为邻近底端部122、而较为远离顶端部121。也就是说，任一个所述限位横杆14与底座13的距离不大于所述晶圆盒的高度，据以使限位横杆14不但能实现限位的功能、还能有效地利用所述限位横杆14与底座13之间的区域来收容各式管路或构件。

如图3和图4所示，多个所述斜向支撑杆15的下端部151分别安装于多个所述直立杆12，而多个所述斜向支撑杆15的上端部152用来固定于所述天花板300并分别位于所述运输轨道200的相反两侧。其中，所述斜向支撑杆15的上端部152于本实施例中是采用活动接头，据以平稳地固定于所述天花板300，但本实用新型不受限于此。

再者，本实施例的每个直立杆12是搭配(或连接)于一个所述斜向支撑杆15，并且所述斜向支撑杆15所连接的直立杆12位置，其位于所述限位横杆14的上方、且可依据设计需求而加以调整变化。也就是说，每个所述直立杆12于顶端部121与限位横杆14之间的部位可以通过连接于所述斜向支撑杆15来达到进一步支撑与防震的效果，据以提升所述承载框架1的稳定性。

此外，上述虽是以每个所述直立杆12搭配(或连接)于一个所述斜向支撑杆15来说明，但本实用新型不受限于此。举例来说，如图9所示，每个所述直立杆12也可以是搭配(或连接)于至少两个所述斜向支撑杆15，并且上述至少两个斜向支撑杆15可以连接于相对应直立杆12的不同高度位置，据以使所述承载框架1达到全区段的支撑；或者，如图10所示，上述至少两个斜向支撑杆15可以分别位于相对应直立杆12的不同方向，据以使所述承载框架1达到全方位的支撑。

更详细地说，如图3和图4所示，每个所述斜向支撑杆15与相对应的所述直立杆12相夹有介于15度～80度的一可调式夹角α，据以通过上述可调式夹角α而使所述斜向支撑杆15能够适用于各式天花板300、且以合适的角度支撑相对应的直立杆12。其中，所述可调式夹角α于本实施例中是介于30度～60度，但本实用新型不受限于此。

再者，所述承载框架1于本实施例中是将多个调整结构16分别固定于多个所述直立杆12，并且每个所述斜向支撑杆15的下端部151通过枢接于一个所述调整结构16而安装于相对应的所述直立杆12，据以能够实现上述可调式夹角α，但本实用新型不以此为限。

更详细地说，如图11所示，每个所述调整结构16于本实施例中包含有一限位件161及一枢接件162；而于每个所述调整结构16中，所述限位件161与枢接件162彼此固定而夹迫于相对应的所述直立杆12，据以使调整结构16固定于相对应的直立杆12，而所述枢接件162枢接于相对应的所述斜向支撑杆15的下端部151。据此，所述调整结构16的限位件161与枢接件162可以相对于直立杆12松开，以使调整结构16能够连动斜向支撑杆15沿着直立杆12移动至任意位置，据以同步调整上述可调式夹角α的角度。

此外，本实施例承载框架1的直立杆12虽可以通过所述调整结构16而被上述斜向支撑杆15所进一步支撑，但本实用新型不受限于此。举例来说，如图12所示，所述承载框架1的斜向支撑杆15可以直接安装(如：枢接)于直立杆12、而未包含有调整结构16；或者，如图13所示，所述承载框架1也可以不包含有斜向支撑杆15与调整结构16。

如图7和图8所示，所述喷气模块2包含有设置于所述底座13的多个气嘴21以及分别连接于多个所述气嘴21的多条气流管路22。其中，多个所述气嘴21位于所述底盘132与承载盘133之间，且每个所述气嘴21的局部裸露于所述承载盘133之外。每条所述气流管路22是沿经所述底盘132与承载盘133之间的空间而连接至相对应的所述气嘴21；其中，多条所述气流管路22的一端邻近于两个所述第一直立杆12a并且各定义为一组接端部221，而每条所述气流管路22的另一端用来连接至一气流供应装置(图未示)。

于本实施例中，多个所述气嘴21区分为多个第一气嘴21a与多个第二气嘴21b，并且多个所述第一气嘴21a与多个所述第二气嘴21b是用来连接不同类型的两种晶圆盒。也就是说，所述悬吊式储存匣置放设备100通过所述第一气嘴21a与多个第二气嘴21b的设置，以使其承载框架1能够用来存放不同类型的两种晶圆盒。

再者，多条所述气流管路22区分为连接于多个所述第一气嘴21a的多条第一气流管路22a以及连接于多个所述第二气嘴21b的多条第二气流管路22b。其中，多条所述第一气流管路22a的其中一条以及多条所述第二气流管路22b的其中一条是分别沿着两个所述第二直立杆12b(的沟槽123)而用来延伸至所述天花板300。需说明的是，在本实用新型未绘示的其他实施例中，上述第一气流管路22a与第二气流管路22b也可以是沿着至少一个所述第二直立杆12b(的沟槽123)而用来延伸至所述天花板300。

此外，所述喷气模块2于本实施例中虽是以包含能够适用于两种不同晶圆盒的多个第一气嘴21a与多个第二气嘴21b来说明，但本实用新型不受限于此。举例来说，在本实用新型未绘示的其他实施例中，所述喷气模块2所包含的气嘴21也可以是仅是用于单个类型的晶圆盒。

如图14和图15所示，所述电控模块3于本实施例中是以一可携式电控箱3a来说明，并且本实施例的可携式电控箱3a虽是以搭配于上述承载框架1及喷气模块2来说明，但本实用新型不受限于此。举例来说，于本实用新型未绘示的其他实施例中，所述可携式电控箱3a也可以被单独地应用(如：贩卖)或搭配其他构件使用。

所述可携式电控箱3a设置于所述底座13上且位于两个所述第一直立杆12a之间；也就是，所述可携式电控箱3a设置于上述承载框架1的安装口N。其中，所述可携式电控箱3a包含有一箱体31、连接所述箱体31与承载框架1的多个固定支架32、设置于所述箱体31内的多个监控组件33(如：流量控制器、气压侦测器、或其他监控件)、及相连于至少一个所述监控组件33的多个连通管路34。

进一步地说，所述箱体31是可拆解地固定于所述底座13及两个所述第一直立杆12a，并且所述悬吊式储存匣置放设备100所包含需要检修的各式监控组件33(或电子组件)皆设置于箱体31内。再者，所述箱体31包含有可开启和关闭的门板，所以相关人员可通过开启箱体31的门板来对监控组件33作简易地查看。

更详细地说，所述箱体31于本实施例中是通过多个所述固定支架32而分别锁固于所述底座13与两个所述第一直立杆12a(如：固定支架32的一端部锁固于箱体31、并且固定支架32的另一端部锁固于底座13或第一直立杆12a)，但本实用新型不受限于此。举例来说，在本实用新型未绘示的其他实施例中，所述箱体31也可以通过其他方式(如：嵌合)固定于所述底座13及两个第一直立杆12a。

再者，多条所述连通管路34皆至少局部穿出所述箱体31、并可拆解地连接于多条所述气流管路22的所述组接端部221。据此，所述可携式电控箱3a通过上述多条所述连通管路34与多条所述气流管路22的组接端部221之间的位置搭配，据以使所述可携式电控箱3a能够实现可拆解地安装于承载框架的效果。

此外，所述可携式电控箱3a内部还可以依据使用者需求而选择性地安装各式电子组件或其他构件，本实用新型在此不加以限制。再者，所述可携式电控箱3a能够组接于自天花板200沿着承载框架1延伸的一电源线缆(图未示)、或是能够组接于自其他地方延伸的一电源线缆(图未示)，据以取得运作时所需的电力。

依上所述，当在所述悬吊式储存匣置放设备100的可携式电控箱3a(或监控组件33)需要进行检修时，相关人员可以直接将待检修的可携式电控箱3a自承载框架1拆离进行检修，并将另一个无需检修的可携式电控箱3a安装至承载框架1，据以提升检修的便利性，并且避免影响到悬吊式储存匣置放设备100的运作。

此外，所述电控模块3于本实施例中虽是以可携式电控箱3a来说明，但本实用新型不受限于此。举例来说，在本实用新型未绘示的其他实施例中，所述电控模块3可以未包含有箱体31、并且是直接设置于所述承载框架1上，例如：所述电控模块3包含有多个监控组件33及相连于至少一个所述监控组件33的多个连通管路34，并且多条所述连通管路34连接于多条所述气流管路22的所述组接端部221。

本实用新型实施例的技术效果

综上所述，于本实用新型实施例所公开的悬吊式储存匣置放设备中，当在所述悬吊式储存匣置放设备的可携式电控箱(或监控组件)需要进行检修时，相关人员可以直接将待检修的可携式电控箱自承载框架拆离进行检修，并将另一个无需检修的可携式电控箱安装至承载框架，据以提升检修的便利性，并且避免影响到悬吊式储存匣置放设备的运作。

另，在本实用新型实施例所公开的悬吊式储存匣置放设备中，所述承载框架通过多个预定位件先行固定于天花板的预定位置，并且多个所述预定位件能够逐一被安装，据以降低承载框架的安装作业受到运输轨道的运行影响。再者，在所述多个预定位件安装至天花板的所述预定位置之后，上述承载框架的其余部位能够通过多个直立杆的顶端部一次性直接对位且固定于上述多个预定位件而被安装至天花板，进而有效地节省所述承载框架的安装时程，据以进一步降低承载框架的安装作业受到运输轨道的运行影响。

又，在本实用新型实施例所公开的悬吊式储存匣置放设备中，每个所述直立杆于顶端部与限位横杆之间的部位可以通过所述斜向支撑杆来达到进一步支撑与防震的效果，据以提升所述承载框架的稳定性。再者，每个所述斜向支撑杆与相对应的所述直立杆相夹有介于15度～80度的一可调式夹角，据以通过上述可调式夹角而使所述斜向支撑杆能够适用于各式天花板、且以合适的角度支撑相对应的直立杆。

以上所公开的内容仅为本实用新型的优选可行实施例，并非因此局限本实用新型的权利要求书的保护范围，所以凡是运用本实用新型说明书及附图内容所做的等效技术变化，均包含于本实用新型的权利要求书的保护范围内。

Claims (10)

1.一种悬吊式储存匣置放设备，其特征在于，所述悬吊式储存匣置放设备用来悬吊于铺设有一运输轨道的一天花板，所述悬吊式储存匣置放设备包括：

一承载框架，包含有：

多个直立杆，其顶端部用来对应所述天花板安装、并分别位于所述运输轨道的相反两侧，区分为两个第一直立杆与至少一个第二直立杆；及

一底座，安装于多个所述直立杆的底端部，并且所述底座用来供所述运输轨道传送的一晶圆盒进行置放；

一喷气模块，安装于所述承载框架，并包含有：

多个气嘴，设置于所述底座；及

多条气流管路，分别连接于多个所述气嘴，多条所述气流管路的一端邻近于两个所述第一直立杆并且各定义为一组接端部，每条所述气流管路的另一端用来连接至一气流供应装置；以及

一可携式电控箱，设置于所述底座上且位于两个所述第一直立杆之间；其中，所述可携式电控箱包含有：

一箱体，可拆解地固定于所述底座及两个所述第一直立杆；

多个监控组件，设置于所述箱体内；及

多个连通管路，相连于至少一个所述监控组件；其中，多条所述连通管路皆至少局部穿出所述箱体、并可拆解地连接于多条所述气流管路的所述组接端部。

2.如权利要求1所述的悬吊式储存匣置放设备，其特征在于，所述可携式电控箱包含有多个固定支架，并且所述箱体通过多个所述固定支架而分别锁固于所述底座及两个所述第一直立杆。

3.如权利要求1所述的悬吊式储存匣置放设备，其特征在于，所述底座包含有：

多个底横杆，相连于多个所述直立杆的所述底端部，以共同围绕成环形；

一底盘，安装于多个所述底横杆；及

一承载盘，安装于多个所述底横杆且与所述底盘间隔有一距离，并且所述承载盘用来供所述晶圆盒进行置放；

其中，多个所述气嘴位于所述底盘与所述承载盘之间，且每个所述气嘴的局部裸露于所述承载盘之外，每条所述气流管路沿经所述底盘与所述承载盘之间的空间连接至相对应的所述气嘴。

4.如权利要求3所述的悬吊式储存匣置放设备，其特征在于，多个所述气嘴区分为多个第一气嘴与多个第二气嘴，多条所述气流管路区分为连接于多个所述第一气嘴的多条第一气流管路以及连接于多个所述第二气嘴的多条第二气流管路；其中，多个所述第一气嘴与多个所述第二气嘴用来连接不同类型的两种晶圆盒。

5.如权利要求4所述的悬吊式储存匣置放设备，其特征在于，多条所述第一气流管路的其中一条以及多条所述第二气流管路的其中一条沿着至少一个所述第二直立杆延伸至所述天花板。

6.如权利要求5所述的悬吊式储存匣置放设备，其特征在于，至少一个所述第二直立杆沿其长度方向形成有一沟槽，并且延伸至所述天花板的所述第一气流管路与所述第二气流管路沿着至少一个所述第二直立杆的所述沟槽。

7.如权利要求1所述的悬吊式储存匣置放设备，其特征在于，所述承载框架包含有多个限位横杆，多个所述限位横杆与所述底座间隔设置且相连于多个所述直立杆，并且两个所述第一直立杆之间未有任何所述限位横杆连接。

8.如权利要求1所述的悬吊式储存匣置放设备，其特征在于，所述承载框架包含有多个预定位件，用来独立可拆解地固定于所述天花板并分别位于所述运输轨道相反两侧的一预定位置上；多个所述直立杆的所述顶端部分别可拆解地固定于多个所述预定位件，以用来对应所述天花板安装。

9.如权利要求1所述的悬吊式储存匣置放设备，其特征在于，所述承载框架包含有多个斜向支撑杆，并且多个所述斜向支撑杆的上端部分别安装于多个所述直立杆，多个所述斜向支撑杆的下端部用来固定于所述天花板并分别位于所述运输轨道的相反两侧；其中，每个所述斜向支撑杆与相对应的所述直立杆相夹有介于15度～80度的一可调式夹角。

10.一种悬吊式储存匣置放设备的可携式电控箱，其特征在于，所述可携式电控箱用来设置于悬吊在天花板且能承接晶圆盒的一承载框架，所述悬吊式储存匣置放设备的可携式电控箱包括：

一箱体，用来可拆解地固定于所述承载框架；

多个监控组件，设置于所述箱体内；以及

多个连通管路，相连于至少一个所述监控组件；其中，多条所述连通管路皆至少局部穿出所述箱体，以用来可拆解地连接于设置在所述承载框架的多条气流管路。

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