CN211295052U - 固晶旋转摆臂装置 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种固晶旋转摆臂装置，包括旋转座、驱动所述旋转座水平旋转的旋转驱动器和安装于所述旋转座上的摆臂机构；所述摆臂机构包括气动拆装吸嘴的气动夹、支撑所述气动夹的支撑臂和驱动所述气动夹转动的校正调节机构，所述支撑臂安装于所述旋转座上，所述校正调节机构与所述支撑臂相连。本申请提供的固晶旋转摆臂装置，通过设置校正调节机构来驱动气动夹转动，进而带动气动夹上的吸嘴转动，以调节晶片的角度，从而可以实现晶片角度精确调节，以使各晶片固晶时角度一致，进而提升固晶质量，质量一致性好。

Description

固晶旋转摆臂装置

技术领域

本申请属于固晶设备领域，更具体地说，是涉及一种固晶旋转摆臂装置。

背景技术

固晶时，固晶机驱动吸嘴吸取晶片，再将晶片安放固定到支架上。然而吸嘴在吸取晶片盘上不同位置的晶片时，晶片角度会有一些差别，影响固晶质量的一致性。

实用新型内容

本申请实施例的目的在于提供一种固晶旋转摆臂装置，以解决相关技术中存在的固晶质量一致性差的问题。

为实现上述目的，本申请实施例采用的技术方案是：提供一种固晶旋转摆臂装置，包括旋转座、驱动所述旋转座水平旋转的旋转驱动器和安装于所述旋转座上的摆臂机构；所述摆臂机构包括气动拆装吸嘴的气动夹、支撑所述气动夹的支撑臂和驱动所述气动夹转动的校正调节机构，所述支撑臂安装于所述旋转座上，所述校正调节机构与所述支撑臂相连。

在一个实施例中，所述校正调节机构包括主动轮、从动轮、连接所述主动轮与所述从动轮的同步带和驱动所述主动轮转动的调节电机，所述从动轮套于所述气动夹上，所述调节电机安装于所述旋转座上，所述主动轮安装于所述调节电机的主轴上。

在一个实施例中，所述校正调节机构还包括支撑块，所述支撑块安装于所述旋转座上，所述调节电机安装于所述支撑块上。

在一个实施例中，所述校正调节机构还包括感应杆和用于探测所述感应杆的探测器，所述探测器安装于所述支撑块上，所述感应杆与所述调节电机之主轴相连。

在一个实施例中，所述旋转座中设有收容腔，所述调节电机置于所述收容腔中。

在一个实施例中，所述摆臂机构还包括驱动所述支撑臂升降的升降机构，所述升降机构安装于所述旋转座上，所述支撑臂安装于所述升降机构上。

在一个实施例中，所述升降机构包括导轨、滑动安装于所述导轨上的滑座、驱动所述滑座升降的音圈电机，所述音圈电机和所述导轨安装于所述旋转座上，所述支撑臂安装于所述滑座上。

在一个实施例中，所述摆臂机构还包括与所述滑座相连的感应片和用于感测所述感应片的感应器，所述感应器与所述音圈电机相连。

在一个实施例中，所述摆臂机构还包括尺标光栅和光栅读数头，所述尺标光栅安装于所述滑座上，所述光栅读数头与所述音圈电机相连。

在一个实施例中，所述固晶旋转摆臂装置包括多个所述摆臂机构，多个所述摆臂机构均匀分布于所述旋转座的周侧。

本申请实施例中的上述一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果之一：

本申请实施例提供的固晶旋转摆臂装置，通过设置校正调节机构来驱动气动夹转动，进而带动气动夹上的吸嘴转动，以调节晶片的角度，从而可以实现晶片角度精确调节，以使各晶片固晶时角度一致，进而提升固晶质量，质量一致性好。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或示范性技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的固晶旋转摆臂装置的主视结构示意图。

图2为图1中固晶旋转摆臂装置的立体结构示意图，图中未示出旋转驱动器。

图3为图2所示的固晶旋转摆臂装置的***结构示意图。

图4为本申请实施例提供的摆臂机构的结构示意图。

图5为图4中摆臂机构的***结构示意图。

图6为本申请实施例提供的吸嘴与气动夹的分解结构示意图。

图7为本申请实施例提供的气动夹的剖视结构示意图。

图8为本申请实施例提供的气动夹安装吸嘴时局部剖视结构示意图。

其中，图中各附图主要标记：

10-固晶旋转摆臂装置；11-旋转驱动器；12-旋转座；121-收容腔；

20-摆臂机构；21-支撑臂；211-减重孔；220-升降机构；22-导轨；23-滑座；24-音圈电机；25-光栅读数头；26-尺标光栅；27-感应器；28-感应片；

30-气动夹；31-夹头；311-容置孔；312-通气孔；313-凸台；32-接头；33-支撑套；331-挡台；332-定位环槽；333-限位台；34-密封环；35-推顶弹簧；36-轴承；37-限位螺母；

40-校正调节机构；41-调节电机；42-主动轮；43-从动轮；44-同步带；45-支撑块；46-感应杆；47-探测器；

90-吸嘴；91-尖端；92-容置环槽；93-密封圈。

具体实施方式

为了使本申请所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。“若干”的含义是一个或一个以上，除非另有明确具体的限定。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中部”、“上”、“下”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请说明书中描述的参考“一个实施例”、“一些实施例”或“实施例”意味着在本申请的一个或多个实施例中包括结合该实施例描述的特定特征、结构或特点。由此，在本说明书中的不同之处出现的语句“在一个实施例中”、“在一些实施例中”、“在其他一些实施例中”、“在另外一些实施例中”等不是必然都参考相同的实施例，而是意味着“一个或多个但不是所有的实施例”，除非是以其他方式另外特别强调。此外，在一个或多个实施例中，可以以任何合适的方式组合特定的特征、结构或特性。

请参阅图1至图3，现对本申请提供的固晶旋转摆臂装置10进行说明。所述固晶旋转摆臂装置10，包括旋转座12、旋转驱动器11和摆臂机构20；旋转驱动器11用于驱动旋转座12水平旋转，而摆臂机构20安装在旋转座12上，从而通过旋转驱动器11驱动摆臂机构20水平旋转，以便摆臂机构20进行固晶作业。在一个实施例中，旋转驱动器11可以是电机，也可以是旋转气缸等。

在一个实施例中，请参阅图3、图4和图5，摆臂机构20包括气动夹30、支撑臂21和校正调节机构40，气动夹30安装在支撑臂21上，通过支撑臂21来支撑住气动夹30，气动夹30用于固定吸嘴90，并且气动夹30可以气动拆装吸嘴90，以便自动拆装吸嘴90。支撑臂21安装于旋转座12上，以便旋转座12支撑住摆臂机构20，进而便于固晶作业。校正调节机构40与支撑臂21相连。校正调节机构40用于驱动气动夹30转动，以便对方向偏移的晶片进行角度校正，实现精确固晶，提高固晶精度。

本申请提供的固晶旋转摆臂装置10，通过设置校正调节机构40来驱动气动夹30转动，进而带动气动夹30上的吸嘴90转动，以调节晶片的角度，从而可以实现晶片角度精确调节，以使各晶片固晶时角度一致，进而提升固晶质量，质量一致性好。

在一个实施例中，请参阅图4和图5，校正调节机构40包括主动轮42、从动轮43、同步带44和调节电机41，从动轮43套于气动夹30上，主动轮42安装于调节电机41的主轴上，同步带44连接主动轮42与从动轮43，则调节电机41驱动主动轮42转动，可以带动从动轮43转动，以驱动气动夹30转动，进而调节气动夹30的角度。使用同步带44传动，可以方便布局，降低组装精度。调节电机41安装于旋转座12上，通过旋转座12来支撑住调节电机41，从而可以降低支撑臂21的重量，便于支撑臂21平稳转动，也可以减小支撑臂21的振动。在一个实施例中，调节电机41也可以安装在支撑臂21上。还有一些实施例中，也可以在支撑臂21直接安装电机来驱动气动夹30转动。

在一个实施例中，请参阅图2和图3，旋转座12中设有收容腔121，调节电机41置于收容腔121中，以便安装固定调节电机41，并减小该固晶旋转摆臂装置10的体积，并使该固晶旋转摆臂装置10的重心靠近旋转座12的轴线，便于驱动旋转座12平稳转动。

在一个实施例中，请参阅图4和图5，校正调节机构40还包括支撑块45，支撑块安装于旋转座12上，调节电机41安装于支撑块45上。设置支撑块45，以方便安装固定调节电机41，便于将调节电机41固定在旋转座12上。

在一个实施例中，请参阅图4和图5，校正调节机构40还包括感应杆46和探测器47，探测器47安装于支撑块45上，感应杆46与调节电机41之主轴相连，探测器47用于探测感应杆46，以确定调节电机41的转动角度，进而便于控制气动夹30的转动角度，以更对晶片的角度进行精度校正。

在一个实施例中，请参阅图4和图5，摆臂机构20还包括升降机构220，升降机构220安装于旋转座12上，支撑臂21安装于升降机构220上。设置升降机构220，以便驱动支撑臂21升降，进而方便进行固晶，同时也便于取放吸嘴90。

在一个实施例中，请参阅图4和图5，升降机构220包括导轨22、滑座23和音圈电机24，滑座23滑动安装在导轨22上，通过导轨22引导滑座23平稳移动。支撑臂21安装于滑座23上，以便滑座23带动支撑臂21升降。滑座23与音圈电机24相连，以通过音圈电机24驱动滑座23升降移动。使用音圈电机24，体积小，重量轻，并且可以精确驱动滑座23升降移动，便于摆臂机构20平稳旋转。音圈电机24和导轨22安装于旋转座12上，以支撑住音圈电机24和导轨22。

在一些实施例中，导轨22为交叉轨，以便支撑并引导滑座23移动。

在一些实施例中，升降机构220为丝杆螺母机构，以便精确驱动支撑臂21升降。还有一些实施例中，升降机构220可以为凸轮机构，以便能快速驱动支撑臂21升降，便于快速固晶。

在一个实施例中，请参阅图4和图5，摆臂机构20还包括感应片28和感应器27，感应器27与音圈电机24相连，感应片28与滑座23相连，感应器27用于感测感应片28，以便通过感应器27探测感应片28，以确定滑座23的位置，保证滑座23升降移动的精度。

在一个实施例中，感应器27安装于旋转座12上。在一些实施例中，感应器27可以与音圈电机24固定相连。

在一个实施例中，请参阅图4和图5，摆臂机构20还包括尺标光栅26和光栅读数头25，尺标光栅26安装于滑座23上，光栅读数头25与音圈电机24相连，以确定滑座23的位置，保证滑座23升降移动的精度。

在一个实施例中，光栅读数头25安装于旋转座12上。在一些实施例中，光栅读数头25可以与音圈电机24固定相连。

在一个实施例中，请参阅图1至图2，固晶旋转摆臂装置10包括多个摆臂机构20，多个摆臂机构20均匀分布于旋转座12的周侧。设置多个摆臂机构20，可以各摆臂机构20分别固晶，如一个摆臂机构20取晶片，而同步另一个摆臂机构20可以固晶，以提高固晶效率。多个摆臂机构20均匀分布于旋转座12上，可以使旋转座12带动各摆动臂机构更平稳转动。

在一个实施例中，旋转座12的两侧分别安装在摆臂机构20。在另一些实施例中，可以在旋转座12的四侧分别安装摆臂机构20。还有一些实施例中，摆臂机构20也可以设置呈三个、五个等数量。

在一个实施例中，请参阅图4、图6至图8，气动夹30包括夹头31，夹头31安装在支撑臂21上。夹头31的一端设有容置孔311，夹头31的另一端设有通气孔312。设置容置孔311，可以将吸嘴90***到容置孔311中，以将吸嘴90固定在夹头31上。设置通气孔312，将夹头31的另一端连接气路时，可以供气体进出容置孔311，即通气孔312与容置孔311相连通，当气路抽气时，可以在吸嘴90中产生负压，以便吸附晶片。而气路供气时，可以使晶片与吸嘴90分离，以实现固晶。而当气路供给压缩气体时，由于吸嘴90的尖端91孔较小，则吸嘴90排出容置孔311中气压速度很慢，则容置孔311中的气压，可以将吸嘴90吹出，以实现气动拆卸吸嘴90。

在一个实施例中，请参阅图6至图8，吸嘴90上套装有密封圈93，吸嘴90上设有定位密封圈93的容置环槽92。在吸嘴90上设置密封圈93，当吸嘴90置于容置孔311中时，可以增大摩擦力，更好的防止吸嘴90掉落，并且可以将容置孔311内壁与吸嘴90之间密封，便于气路抽气时，吸嘴90处产生负压。

在一个实施例中，请参阅图6至图8，气动夹30还包括接头32，接头32与夹头31相连，接头32用于连接气管。设置接头32，以方便连接气管，进而便于连接到气路，进而将夹头31与气路连通。

在一个实施例中，请参阅图6至图8，气动夹30还包括支撑套33，夹头31安装于支撑套33的一端，接头32安装于支撑套33的另一端。设置支撑套33，以通过支撑套33将接头32与夹头31连接。支撑套33安装于支撑臂21上，以便将夹头31固定在支撑臂21上，并且也起到保护夹头31的作用。在一些实施例中，也可以将夹头31与接头32直接相连。在一些实施例中，也可以将夹头31直接安装在支撑臂21上。

在一个实施例中，请参阅图6至图8，夹头31滑动安装于支撑套33中，夹头31另一端的周侧凸设有凸台313，支撑套33一端的内壁上凸设有挡台331，则在夹头31在支撑套33中滑动时，可以通过挡台331止挡凸台313，以对夹头31进行定位，防止夹头31掉落。将夹头31滑动设置在支撑套33中，则当夹头31中设有吸嘴90时，可以通过气压来控制夹头31的位置，进而控制吸嘴90的么位置，使吸嘴90接触晶片时受力均衡，避免压伤、压碎晶片，同时对吸嘴90和支撑晶片的顶针的磨损减到最小，节约耗材，以降低生产成本。

在一个实施例中，请参阅图6至图8，支撑套33与夹头31之间设有密封环34，支撑套33一端的内壁上设有定位容置密封环34的定位环槽332。在支撑套33中设置密封环34，以将支撑套33与夹头31之间间隙密封，以便更控制夹头31中气压；并且该结构，在加工制作时，可以降低夹头31与支撑套33的配合精度，以方便制作，降低成本。

在一个实施例中，支撑套33中安装有推顶弹簧35，推顶弹簧35的两端分别弹性抵顶夹头31与接头32。在支撑套33中设置推顶弹簧35，以便弹性推顶夹头31，便于夹头31复位。

在一个实施例中，请参阅图4和图5，支撑臂21上设有若干减重孔211，以减轻支撑臂21的重量，便于驱动支撑臂21平稳转动。

在一个实施例中，请参阅图4至图6，摆臂机构20还包括轴承36，轴承36安装于支撑臂21上，轴承36套于气动夹30上，以便气动夹30可以在支撑臂21上转动，进而可以方便调节气动夹30的角度。

在一个实施例中，请参阅图4至图6，支撑套33一端的周侧凸设有限位台333，支撑套33的另一端安装有限位螺母37，从而在安装轴承36后，可以防止轴承36掉落。

在一个实施例中，在向气动夹30中安装吸嘴90时，可以通过升降机构220驱动支撑臂21升降，而将吸嘴90自动***气动夹30，实现自动安装吸嘴90。

以上仅为本申请的可选实施例而已，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.固晶旋转摆臂装置，其特征在于，包括旋转座、驱动所述旋转座水平旋转的旋转驱动器和安装于所述旋转座上的摆臂机构；所述摆臂机构包括气动拆装吸嘴的气动夹、支撑所述气动夹的支撑臂和驱动所述气动夹转动的校正调节机构，所述支撑臂安装于所述旋转座上，所述校正调节机构与所述支撑臂相连。

2.如权利要求1所述的固晶旋转摆臂装置，其特征在于：所述校正调节机构包括主动轮、从动轮、连接所述主动轮与所述从动轮的同步带和驱动所述主动轮转动的调节电机，所述从动轮套于所述气动夹上，所述调节电机安装于所述旋转座上，所述主动轮安装于所述调节电机的主轴上。

3.如权利要求2所述的固晶旋转摆臂装置，其特征在于：所述校正调节机构还包括支撑块，所述支撑块安装于所述旋转座上，所述调节电机安装于所述支撑块上。

4.如权利要求3所述的固晶旋转摆臂装置，其特征在于：所述校正调节机构还包括感应杆和用于探测所述感应杆的探测器，所述探测器安装于所述支撑块上，所述感应杆与所述调节电机之主轴相连。

5.如权利要求2所述的固晶旋转摆臂装置，其特征在于：所述旋转座中设有收容腔，所述调节电机置于所述收容腔中。

6.如权利要求1-5任一项所述的固晶旋转摆臂装置，其特征在于：所述摆臂机构还包括驱动所述支撑臂升降的升降机构，所述升降机构安装于所述旋转座上，所述支撑臂安装于所述升降机构上。

7.如权利要求6所述的固晶旋转摆臂装置，其特征在于：所述升降机构包括导轨、滑动安装于所述导轨上的滑座、驱动所述滑座升降的音圈电机，所述音圈电机和所述导轨安装于所述旋转座上，所述支撑臂安装于所述滑座上。

8.如权利要求7所述的固晶旋转摆臂装置，其特征在于：所述摆臂机构还包括与所述滑座相连的感应片和用于感测所述感应片的感应器，所述感应器与所述音圈电机相连。

9.如权利要求7所述的固晶旋转摆臂装置，其特征在于：所述摆臂机构还包括尺标光栅和光栅读数头，所述尺标光栅安装于所述滑座上，所述光栅读数头与所述音圈电机相连。

10.如权利要求1-5任一项所述的固晶旋转摆臂装置，其特征在于：所述固晶旋转摆臂装置包括多个所述摆臂机构，多个所述摆臂机构均匀分布于所述旋转座的周侧。

Images