CN210999512U - 一种桌面式微型超精密单点金刚石飞切机床 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种桌面式微型超精密单点金刚石飞切机床，包括机床隔振***及设置在机床隔振***上的床身、X轴进给***、在位测量***、主轴***、工件、工件装夹***和Z轴进给***，X轴进给***与Z轴进给***安装于床身上，成T型布置，且X轴进给***中线与Z轴进给***中线相隔30mm，整机尺寸为500mm*620mm*500mm。主轴***通过主轴定位块与主轴安装块调整位姿并安装于X轴进给***的载物台上。主轴箱上安装有激光位移传感器，可以实现飞切机床的实时加工量的测量。本实用新型通过降低机床尺寸维度、创新机床设计方案有效的克服了传统飞切机床的不足，极大地避免了误差源的引入，提高了机床的加工精度。

Description

一种桌面式微型超精密单点金刚石飞切机床

技术领域

本实用新型涉及超精密切削加工技术领域，具体涉及一种桌面式微型超精密单点金刚石飞切机床。

背景技术

超精密切削加工技术是从上世纪发展起来的先进制造技术,零件的加工精度取决于超精密机床的精度。超精密加工技术综合利用了测量、伺服控制、光学、环境控制、传感、液压等领域的尖端科技成果。

磷酸二氢钾晶体(KH2PO4)，简称KDP晶体，是一种典型的压电晶体，被广泛应用于声呐***、激光惯性约束核聚变装置激光武器、大型固体激光器等光路***中关键光学元件等高端前沿的设备和仪器中，具有重要战略地位。与此同时，KDP晶体在民用领域也是重要的压电换能器材料，市场广阔。然而，但该晶体具有材质软、易潮解、脆性高、各向异性、对温度变化敏感和易开裂等一系列不利加工的材料特性，使得大口径KDP晶体被国际光学界公认为是最难加工的激光光学元件之一。当采用传统的研磨、抛光方法进行加工时，极易导致磨粒嵌入，降低其加工表面质量。单点金刚石飞刀切削(SPDT)工艺是KDP晶体目前国际上公认的最理想的加工方式。

目前，超精密单点金刚石飞切机床存在床尺寸大、成本高、占地面积大、功耗严重、对使用环境要求较为严苛且不易维修和保养等问题。与此同时，由于在位测量***的缺失，使得每加工一次工件就要取下来测量加工误差，不仅严重增加了工件加工时间，也引入了工件的装夹误差。目前飞切机床的结构大多采用立式飞切的结构，该种结构形式沉余冗杂，且有较多误差干扰源，极大地制约了飞切加工工艺的精度提升。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种桌面式微型超精密单点金刚石飞切机床，解决现有技术导致的装夹误差、耗时较长的问题，同时具有结构简单紧凑、尺寸小的优点。

本实用新型通过下述技术方案实现：

一种桌面式微型超精密单点金刚石飞切机床，包括隔振***、床身、X轴进给***、在位测量***、主轴***、工件装夹***和Z轴进给***；

所述床身安装在隔振***上，所述X轴进给***和Z轴进给***安装在床身上，所述X轴进给***和Z轴进给***分别用于实现X轴、Z轴方向的位移调节，所述X轴进给***和Z轴进给***均通过直线电机和光栅尺进行位移调节；

所述主轴***包括主轴箱，所述主轴箱安装在X轴进给***的X轴载物台上，所述主轴箱上设置有气浮主轴，所述气浮主轴的一端设置有飞切刀盘，所述飞切刀盘用于固定单点金刚石飞切刀具；

所述在位测量***包括激光位移传感器，所述激光位移传感器安装于主轴箱上；

所述工件装夹***安装在Z轴进给***的Z轴载物台上，所述工件装夹***用于安装工件。

本实用新型所述激光位移传感器为现有技术。

本实用新型的工作原理如下：

气浮主轴采用多空质气浮支撑由永磁同步电机驱动带动飞切刀盘转动，X轴进给***与Z轴进给***均采用复合节流磁预载支撑方式，由直线电机与光栅尺形成闭环驱动，完成X向直线运动；工件架坐落于Z轴载物平台上完成Z向的直线运动；通过X轴载物台与Z轴载物台的联动配合完成切削进给。

相比于传统超精密单点金刚石飞切机床，桌面型微小化的飞切机床凭借其占地面积小、制造难度低、功耗小等优势更加易于保养和维护。除此之外，超精密切削机床的微小化也将使得关键部件的制造精度和装配精度更易保证，极大地提高机床的自激频率，减小地基和外部加工环境的温度变化对机床加工精度的影响。与此同时在位测量***的引入，有效的提高了精密元器件的加工效率，减少了工件装夹误差。本实用新型中，也通过创新驱动方式、增加隔振***设计等创新设计有效避免了传统机床中存在的干扰源，减少了对地基的依赖，极大地提高了加工精度。

本实用新型不仅使工件装夹定位精确、进给过程平稳，而且可通过激光位移传感器实时检测飞切工艺的实施情况，激光位移传感器将实时检测的数据通过其外部控制***传递给上位机，上位机比对检测的数据与工件的标准尺寸，通过比较的差值控制下次进给时直线电机的速率及时修正加工尺寸，在机床加工领域，通过上位机控制直线电机为现有技术，避免了取出工件测量误差导致的装夹误差、耗时较长的问题，从而提高加工精度。直线电机可以精确控制飞切刀与工件之间的接触点，可进一步有效提高加工精度。采用光栅尺定位，可以更精准的控制飞切刀的进给量，进一步保证加工精度。设置气浮导轨能够实现无摩擦和无振动的平滑移动，获得较高的导向精度，可以间接提高工件的加工精度。

进一步地，X轴进给***包括X轴直线电机、X轴光栅尺、X轴气浮导轨、X轴载物台、X轴挡板和X风琴罩；

所述X轴直线电机安装在X轴气浮导轨上，所述X轴载物台安装在X轴直线电机上，所述X轴光栅尺安装在X轴载物台上，所述X轴气浮导轨上方设置有X风琴罩，所述X风琴罩的部配合设置有X轴挡板。

进一步地，Z轴进给***包括Z轴挡板、Z风琴罩、Z轴载物台、Z轴光栅尺、Z轴直线电机、Z轴气浮导轨；

所述Z轴直线电机安装在Z轴气浮导轨上，所述Z轴载物台安装在Z轴直线电机上，所述Z轴光栅尺安装在Z轴载物台上，所述Z轴气浮导轨上方设置有Z风琴罩，所述Z风琴罩的端部配合设置有Z轴挡板。

进一步地，隔振***包括支撑钢架、薄膜式气弹簧、自动调平阀、地脚、移动轮；

所述薄膜式气弹簧和自动调平阀均安装在支撑钢架的顶部，用于支承床身，所述地脚和移动轮安装在支撑钢架的底部。

其中，地脚在机床安装调试完成后可以首先进行粗调平，而移动轮的设计将有助于机床的转移和运输。

所述薄膜式气弹簧可通过自身气室的充放气隔绝外部振动干扰；所述自动调平阀通过改变隔振***装置中的压力来控制弹簧主体的高度；即使重心发生变化，快速的充放气也可以保持机器处于水平状态；所述气弹簧与调平阀均连接至隔振***控制器形成控制回路。

所述床身由大理石加工而成，内部开设走线管并从床身下部引出，避免了控制线与气管杂乱对机床运动精度的干扰。

进一步地，主轴***包括主轴箱，所述主轴箱通过主轴定位块主轴定位块和主轴定位调整块安装在X轴载物台上。

进一步地，飞切刀盘的中心通过轴承安装在气浮主轴上，所述飞切刀盘的侧壁安装有刀具定位块，所述刀具定位块上安装刀具固定架，所述刀具定位块和刀具固定架上分别设置粗调螺母和精调螺母。

单点金刚石飞切刀具通过刀具定位块与刀具固定架固定在飞切刀盘上，并跟随飞切刀盘转动从而完成对工件的切削；精调螺母与粗调螺母用于完成单点金刚石飞切刀具的位姿调整。

进一步地，工件装夹***包括工件架和3R夹具，所述工件架安装在Z轴进给***的Z轴载物台上，所述3R夹具安装在工件架上，所述3R夹具用于安装工件，所述3R夹具与飞切刀盘相对设置，且3R夹具的中心轴线的与激光位移传感器的位置高度在同一水平面内。

所述3R夹具为现有技术，能够实现工件的高精度装夹。

进一步地，在位测量***包括激光位移传感器和传感器固定架，所述传感器固定架固定在主轴箱内壁，所述激光位移传感器安装在传感器固定架上，所述主轴箱上设置有用于穿过测量激光光线的开口。

进一步地，X轴进给***与Z轴进给***在床身上成T型布置，且X轴进给***的中线与Z轴进给***的中线相隔30mm，机床的整机尺寸为500mm*620mm*500mm。

本实用新型中，为了减少直线电机与光栅尺的控制线对运动中的载物平台产生干扰，所述直线电机采用动铁驱动的方式，即将直线电机的动子固定于床身之上，将直线电机的定子安装于各轴载物平台上，安装方式为质心驱动，即电机中线与载物台中线重合以避免机床运动过程中产生俯仰。除此以为，所述光栅尺均采用固定读数头，随行尺身的安装方式，从而避免由控制线对平台产生的干扰。

进一步地，直线电机采用动铁驱动的方式。

本实用新型与现有技术相比，具有如下的优点和有益效果：

1、本实用新型不仅使工件装夹定位精确、进给过程平稳，而且可通过激光位移传感器实时检测飞切工艺的实施情况，并作出及时修正，避免了取出工件测量误差导致的装夹误差、耗时较长的问题，从而提高加工精度。直线电机可以精确控制飞切刀与工件之间的接触点，可进一步有效提高加工精度。采用光栅尺定位，可以更精准的控制飞切刀的进给量，进一步保证加工精度。设置气浮导轨能够实现无摩擦和无振动的平滑移动，获得较高的导向精度，可以间接提高工件的加工精度

2、本实用新型主要针对传统超精密单点金刚石飞切的不足，创新了设计方案，降低了整个机床的尺寸维度；相比于常规气浮支撑或液压支撑，复合节流磁预载气浮支撑的设计使得机床进给***的冗杂性极大地降低，在保证机床尺寸较小的前提下依然可以获得较高的刚性和稳定性；且微型化的机床在尺寸减小后，自激频率极大地提高，减小了地基和外部加工环境的温度变化对机床加工精度的影响。与此同时在位测量***的引入，有效的提高了精密元器件的加工效率，避免了工件装夹误差；本实用新型中，也通过创新驱动方式、增加隔振***设计，有效避免了传统机床中存在的干扰源，极大地提高了加工精度。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型实施例的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本实用新型实施例的限定。在附图中：

图1为本实用新型的结构示意图

图2位本实用新型的尺寸示意图

图3为图1隔振***的示意图

图4为图1中激光位移传感器的在位测量原理图

图5为图1中飞切刀盘示意图的示意图

图6为图1中各轴气浮导轨的示意图。

附图中标记及对应的零部件名称：

1-隔振***；1-1-支撑钢架；1-2-薄膜式气弹簧；1-3-自动调平阀；1-4-地脚；1-5-移动轮；2-床身；3-X轴进给***；3-1-X轴挡板；3-2-X风琴罩；3-3-X轴载物台；4-在位测量***；4-1-激光位移传感器；4-2-传感器固定架；4-3-测量激光光线；5-主轴***；5-1-主轴定位块；5-2-主轴定位调整块；5-3-主轴箱；5-4-气浮主轴；5-5-飞切刀盘；5-6-刀具定位块；5-7-刀具固定架；5-8-单点金刚石飞切刀具；5-9-精调螺母；5-10-粗调螺母；6-工件；7-工件装夹***；7-1-3R夹具；7-2-工件架；8-Z轴进给***；8-1-Z轴挡板；8-2-Z风琴罩；8-3-Z轴载物台；8-6-Z轴气浮导轨；8-7-光栅尺读数头；8-8-光栅尺数据线；8-9-光栅尺本体；8-10-直线电机定子；8-11-直线电机动子；8-12-直线电机控制线；8-13-预载磁铁；8-14-盖板；8-15-多空质气浮块；8-16-Z轴载物板；8-17-小孔节流气孔。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合实施例和附图，对本实用新型作进一步的详细说明，本实用新型的示意性实施方式及其说明仅用于解释本实用新型，并不作为对本实用新型的限定。

实施例1：

如图1-图6所示，一种桌面式微型超精密单点金刚石飞切机床，包括隔振***1、床身2、X轴进给***3、在位测量***4、主轴***5、工件装夹***7和Z轴进给***8；

所述床身2安装在隔振***1上，所述X轴进给***3和Z轴进给***8通过螺栓连接安装在床身2上，所述床身2为大理石，所述X轴进给***3和Z轴进给***8分别用于实现X轴、Z轴方向的位移调节；

具体地，所述X轴进给***3包括X轴直线电机、X轴光栅尺、X轴气浮导轨、X轴载物台3-3，所述X轴直线电机安装在X轴气浮导轨上，所述X轴载物台3-3安装在X轴直线电机上，所述X轴光栅尺安装在X轴载物台3-3上；

具体地，所述Z轴进给***8包括Z轴载物台8-3、Z轴直线电机、Z轴光栅尺Z轴气浮导轨，所述Z轴直线电机安装在Z轴气浮导轨上，所述Z轴载物台8-3安装在Z轴直线电机上，Z轴光栅尺安装在Z轴载物台8-3上；

所述主轴***5包括主轴箱5-3，所述主轴箱5-3安装在X轴进给***3的X轴载物台3-3上，所述主轴箱5-3上设置有气浮主轴5-4，为多空质气浮电主轴，所述气浮主轴5-4的一端设置有飞切刀盘5-5，所述飞切刀盘5-5用于固定单点金刚石飞切刀具5-8；

具体地，所述飞切刀盘5-5的中心通过轴承安装在气浮主轴5-4上，所述飞切刀盘5-5的侧壁安装有刀具定位块5-6，所述刀具定位块5-6上安装刀具固定架5-7，所述刀具定位块5-6和刀具固定架5-7上分别设置粗调螺母5-10和精调螺母5-9，所述单点金刚石飞切刀具5-8安装在安装刀具固定架5-7上；

所述在位测量***4包括激光位移传感器4-1，所述激光位移传感器4-1安装于主轴箱5-3上，所述激光位移传感器4-1实现飞切机床的实时加工量的测量；

所述工件装夹***7安装在Z轴进给***8的Z轴载物台8-3上，所述工件装夹***7包括工件架7-2和3R夹具7-1，所述工件架7-2安装在Z轴进给***8的Z轴载物台8-3上，所述3R夹具7-1安装在工件架7-2上，所述3R夹具7-1用于安装工件6，所述3R夹具7-1与飞切刀盘5-5相对设置，且3R夹具7-1的中心轴线的与激光位移传感器4-1的位置高度在同一水平面内，可以进一步保证实时检测的精确性和及时性，避免了检测位置导致的形位误差，工件架7-2为大理石；

所述X轴进给***3与Z轴进给***8在床身2上成T型布置，且X轴进给***3的中线与Z轴进给***8的中线相隔30mm，机床的整机尺寸为500mm*620mm*500mm。

在本实施例中：

X轴直线电机采用动铁驱动的方式，通过固定直线电机转子，使得直线电机定子驱动X轴载物平台3-3运动，从而排除X轴直线电机控制线的干扰，X轴光栅尺的光栅安装于X轴载物台3-3上并随之运动，X轴光栅尺的读数头安装于X轴气浮导轨上从而排除数据线的干扰。

Z轴直线电机采用动铁驱动的方式，通过固定直线电机动子，使得直线电机定子驱动Z轴载物平台8-3运动，从而排除Z轴直线电机控制线的干扰，Z轴光栅尺的光栅安装于Z轴载物台8-3上并随之运动，Z轴光栅尺的读数头安装于Z轴气浮导轨上从而排除数据线的干扰。

所述在位测量***4的使用方法分为两步，即：加工前，激光位移传感器4-1移动至某一位置，测量工件6上某一点得到数据并储存记录；加工后，机床测距传感器移动至同一位置测量同一点数据并记录；两次数据差值即为背吃刀量。

所述X轴进给***3与Z轴进给***8所选用气浮导轨均为复合节流磁预载气浮导轨，即竖直方向采用小孔节流式磁预载气浮支撑，水平方向采用多空质气浮支撑；所述复合节流磁预载气浮导轨直线度为0.2-0.3um。

所述工件6的材质为铜、镍等有色金属与KDP晶体。

本实施例的工作原理：

气浮主轴5-4采用多空质气浮支撑由永磁同步电机驱动带动飞切刀盘5-5转动，X轴进给***3与Z轴进给***8均采用复合节流磁预载支撑方式，由直线电机与光栅尺形成闭环驱动，完成X向直线运动；工件架7-2坐落于Z轴载物平台8-3上完成Z向的直线运动；通过X轴载物台3-3与Z轴载物台8-3的联动配合完成切削进给。

本实施例通过降低机床尺寸维度、创新机床设计方案有效的克服了传统飞切机床的不足，极大地避免了误差源的引入，提高了机床的加工精度，具有操作简单，智能化程度高的特点。同时。

本实施例不仅使工件装夹定位精确、进给过程平稳，而且可通过激光位移传感器实时检测飞切工艺的实施情况，并作出及时修正，从而提高加工精度。直线电机可以精确控制飞切刀与工件之间的接触点，可进一步有效提高加工精度。采用光栅尺定位，可以更精准的控制飞切刀的进给量，进一步保证加工精度。设置气浮导轨能够实现无摩擦和无振动的平滑移动，获得较高的导向精度，可以间接提高工件的加工精度。

实施例2：

如图1-图6所示，本实施例基于实施例1，所述X轴进给***3还包括X轴挡板3-1和X风琴罩3-2；所述X轴气浮导轨上方设置有X风琴罩3-2，所述X风琴罩3-2的端部设置X轴挡板3-1；所述Z轴进给***8还包括Z轴挡板8-1和Z风琴罩8-2；所述Z轴气浮导轨上方设置有Z风琴罩8-2，所述Z风琴罩8-2的端部配合设置有Z轴挡板8-1。

在本实施例中：

X轴进给***3和Z轴进给***8通过安装风琴罩和挡板避免杂质污染，风琴罩系采用高柔性材质，且外部安装超润滑材质的挡板，有效的避免风琴罩对机床运动状态的干扰，进一步的为了减少直线电机与光栅尺的控制线对运动中的载物平台产生干扰。

实施例3：

如图1-图6所示，本实施例基于实施例1，所述隔振***1包括支撑钢架1-1、薄膜式气弹簧1-2、自动调平阀1-3、地脚1-4、移动轮1-4；

所述薄膜式气弹簧1-2和自动调平阀1-3均安装在支撑钢架1-1的顶部，用于支承床身2，所述地脚1-4和移动轮1-4安装在支撑钢架1-1的底部；

所述主轴***5包括主轴箱5-3，所述主轴箱5-3通过主轴定位块主轴定位块5-1和主轴定位调整块5-2安装在X轴载物台3-3上；

所述在位测量***4包括激光位移传感器4-1和传感器固定架4-2，所述传感器固定架4-2固定在主轴箱5-3内壁，所述激光位移传感器4-1安装在传感器固定架4-2上，所述主轴箱5-3上设置有用于穿过测量激光光线4-3的开口，开口处配合设置有活动挡板。

在本实施例中：

所述隔振***1的支撑钢架1-1、薄膜式气弹簧1-2和自动调平阀1-3，三者一体连接至控制器形成控制回路；隔振***1负载能力为4000-6000kg，垂直方向固有频率为2.5-2.8HZ，水平方向固有频率为2.5-2.8HZ，水平恢复精度为±0.01mm/m，响应时间＜1S，5HZ隔振效果可以达到85％以上，10HZ隔振效果可以达到95％以上。隔振***1由薄膜式气弹簧1-2与自动调平阀1-3串联形成的闭环回路完成整个机床设备的隔振和调平。

主轴箱5-3的作用是防止切削时切削液溅到激光位移传感器4-1上，影响检测的精度，在一次切削结束时，打开活动挡板可用激光位移传感器4-1测量一次工件的情况，根据切削的情况在下次飞切加工时进行误差补偿。

附图6中，8-6为Z轴气浮导轨；8-7为光栅尺读数头；8-8为光栅尺数据线；8-9为光栅尺本体；8-10为直线电机定子；8-11为直线电机动子；8-12为直线电机控制线；8-13为预载磁铁；8-14为盖板；8-15为多空质气浮块；8-16为Z轴载物板；8-17为小孔节流气孔。

以上所述的具体实施方式，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施方式而已，并不用于限定本实用新型的保护范围，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种桌面式微型超精密单点金刚石飞切机床，其特征在于，包括隔振***(1)、床身(2)、X轴进给***(3)、在位测量***(4)、主轴***(5)、工件装夹***(7)和Z轴进给***(8)；

所述床身(2)安装在隔振***(1)上，所述X轴进给***(3)和Z轴进给***(8)安装在床身(2)上，所述X轴进给***(3)和Z轴进给***(8)分别用于实现X轴、Z轴方向的位移调节，所述X轴进给***(3)和Z轴进给***(8)均通过直线电机和光栅尺进行位移调节；

所述主轴***(5)包括主轴箱(5-3)，所述主轴箱(5-3)安装在X轴进给***(3)的X轴载物台(3-3)上，所述主轴箱(5-3)上设置有气浮主轴(5-4)，所述气浮主轴(5-4)的一端设置有飞切刀盘(5-5)，所述飞切刀盘(5-5)用于固定单点金刚石飞切刀具(5-8)；

所述在位测量***(4)包括激光位移传感器(4-1)，所述激光位移传感器(4-1)安装于主轴箱(5-3)上；

所述工件装夹***(7)安装在Z轴进给***(8)的Z轴载物台(8-3)上，所述工件装夹***(7)用于安装工件(6)。

2.根据权利要求1所述的一种桌面式微型超精密单点金刚石飞切机床，其特征在于，所述X轴进给***(3)包括X轴直线电机、X轴光栅尺、X轴气浮导轨、X轴载物台(3-3)、X轴挡板(3-1)和X风琴罩(3-2)；

所述X轴直线电机安装在X轴气浮导轨上，所述X轴载物台(3-3)安装在X轴直线电机上，所述X轴光栅尺安装在X轴载物台(3-3)上，所述X轴气浮导轨上方设置有X风琴罩(3-2)，所述X风琴罩(3-2)的部配合设置有X轴挡板(3-1)。

3.据权利要求1所述的一种桌面式微型超精密单点金刚石飞切机床，其特征在于，所述Z轴进给***(8)包括Z轴挡板(8-1)、Z风琴罩(8-2)、Z轴载物台(8-3)、Z轴光栅尺、Z轴直线电机、Z轴气浮导轨；

所述Z轴直线电机安装在Z轴气浮导轨上，所述Z轴载物台(8-3)安装在Z轴直线电机上，所述Z轴光栅尺安装在Z轴载物台(8-3)上，所述Z轴气浮导轨上方设置有Z风琴罩(8-2)，所述Z风琴罩(8-2)的端部配合设置有Z轴挡板(8-1)。

4.据权利要求1所述的一种桌面式微型超精密单点金刚石飞切机床，其特征在于，所述隔振***(1)包括支撑钢架(1-1)、薄膜式气弹簧(1-2)、自动调平阀(1-3)、地脚(1-4)、移动轮(1-5)；

所述薄膜式气弹簧(1-2)和自动调平阀(1-3)均安装在支撑钢架(1-1)的顶部，用于支承床身(2)，所述地脚(1-4)和移动轮(1-5)安装在支撑钢架(1-1)的底部。

5.据权利要求1所述的一种桌面式微型超精密单点金刚石飞切机床，其特征在于，所述主轴***(5)包括主轴箱(5-3)，所述主轴箱(5-3)通过主轴定位块主轴定位块(5-1)和主轴定位调整块(5-2)安装在X轴载物台(3-3)上。

6.据权利要求1所述的一种桌面式微型超精密单点金刚石飞切机床，其特征在于，所述飞切刀盘(5-5)的中心通过轴承安装在气浮主轴(5-4)上，所述飞切刀盘(5-5)的侧壁安装有刀具定位块(5-6)，所述刀具定位块(5-6)上安装刀具固定架(5-7)，所述刀具定位块(5-6)和刀具固定架(5-7)上分别设置粗调螺母(5-10)和精调螺母(5-9)。

7.据权利要求1所述的一种桌面式微型超精密单点金刚石飞切机床，其特征在于，所述工件装夹***(7)包括工件架(7-2)和3R夹具(7-1)，所述工件架(7-2)安装在Z轴进给***(8)的Z轴载物台(8-3)上，所述3R夹具(7-1)安装在工件架(7-2)上，所述3R夹具(7-1)用于安装工件(6)，所述3R夹具(7-1)与飞切刀盘(5-5)相对设置，且3R夹具(7-1)的中心轴线的与激光位移传感器(4-1)的位置高度在同一水平面内。

8.据权利要求1所述的一种桌面式微型超精密单点金刚石飞切机床，其特征在于，所述在位测量***(4)包括激光位移传感器(4-1)和传感器固定架(4-2)，所述传感器固定架(4-2)固定在主轴箱(5-3)内壁，所述激光位移传感器(4-1)安装在传感器固定架(4-2)上，所述主轴箱(5-3)上设置有用于穿过测量激光光线(4-3)的开口。

9.据权利要求1-8任一项所述的一种桌面式微型超精密单点金刚石飞切机床，其特征在于，所述X轴进给***(3)与Z轴进给***(8)在床身(2)上成T型布置，且X轴进给***(3)的中线与Z轴进给***(8)的中线相隔30mm，机床的整机尺寸为500mm*620mm*500mm。

10.据权利要求1-8任一项所述的一种桌面式微型超精密单点金刚石飞切机床，其特征在于，所述直线电机采用动铁驱动的方式。

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