CN210694365U - 一种mems麦克风的测试电路及设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型实施例提供了一种MEMS麦克风的测试电路及设备，该MEMS麦克风的测试电路包括逻辑控制器、放大电路以及模/数转换器；放大电路的输入端与MEMS麦克风的输出端电连接，放大电路的输出端与模/数转换器的输入端电连接；放大电路将MEMS麦克风输出的电信号进行放大，并输出放大信号至所述模/数转换器；模/数转换器的使能端与逻辑控制器的使能信号输出端电连接，模/数转换器的输出端与逻辑控制器的输入端电连接；模/数转换器接收逻辑控制器的输出的使能信号，将放大信号转换为数字信号，并输出至逻辑控制器；逻辑控制器接收该数字信号，并输出灵敏度检测结果。本实用新型实施例提供的MEMS麦克风的测试电路结构简单，从而能够降低麦克风测试成本。

Description

一种MEMS麦克风的测试电路及设备

技术领域

本实用新型涉及电路技术领域，尤其涉及一种MEMS麦克风的测试电路及设备。

背景技术

麦克风是一种将声音转化为电信号的换能器。其中，微型机电*** (Micro-Electro-Mechanical System，MEMS)麦克风是基于MEMS技术制造的麦克风。该MEMS麦克风的工作原理是利用声音变化产生的压力梯度使电容式麦克风的声学振膜受声压干扰而产生形变，进而改变声学振膜与硅背极板之间的电容值。由于MEMS麦克风具有耐候性佳、尺寸小及易于数字化的优点，而在手机、助听器等电子设备上具有很大的应用前景。

由于MEMS麦克风采用半导体材质，其特性稳定，不会受到环境温湿度的影响而发生改变，因而可以维持稳定的音质。当将MEMS麦克风应用于高精度的设备中时，需要MEMS麦克风的灵敏度达到相应的要求，例如为±1dB。因此，将MEMS应用于高精度的设备中时，需要对MEMS的灵敏度进行测试。现有技术中，通常使用专用频响检测设备对MEMS的灵敏度进行检测，但是该测试测试成本较高，导致MEMS麦克风具有较高的测试成本，且测试流程复杂，测试成本较高。

实用新型内容

本实用新型实施例提供一种MEMS麦克风的测试电路及设备，以解决现有技术中MEMS麦克风检测设备结构复杂，成本较高，导致测试成本高，测试效率低的技术问题。

第一方面，本实用新型实施例提供了一种MEMS麦克风的测试电路，包括：逻辑控制器、放大电路以及模/数转换器；

所述放大电路的输入端与所述MEMS麦克风的输出端电连接，所述放大电路的输出端与所述模/数转换器的输入端电连接；所述放大电路将所述MEMS 麦克风输出的电信号进行放大，并输出放大信号至所述模/数转换器；

所述模/数转换器的使能端与所述逻辑控制器的使能信号输出端电连接，所述模/数转换器的输出端与所述逻辑控制器的输入端电连接；所述模/数转换器接收所述逻辑控制器的输出的使能信号，将所述放大信号转换为数字信号，并输出至所述逻辑控制器；

所述逻辑控制器接收所述数字信号，并输出灵敏度检测结果。

可选的，所述放大电路包括第一级放大电路、第二级放大电路和第三级放大电路；所述第一级放大电路、所述第二级放大电路以及所述第三级放大电路顺次连接；

其中，所述第一级放大电路的输入端与所述MEMS麦克风的输出端电连接；所述第三级放大电路的输出端与所述模/数转换器的输入端电连接。

可选的，所述第一级放大电路与所述第二级放大电路之间设置有第一测试点，所述第二级放大电路与所述第三级放大电路之间设置有第二测试点；

检测器采集第一测试点和第二测试点的信号，对所述第一级放大电路和所述第二级放大电路的放大信号进行检测。

可选的，所述第一级放大电路包括：第一运算放大器、第一电容、第二电容、第一电阻、第二电阻、第三电阻和第四电阻；

所述第一电容的第一端与所述MEMS麦克风的输出端电连接，所述第一电容的第二端通过所述第一电阻与所述第一运算放大器的同相输入端电连接；

所述第二电阻的第一端与第一参考电源电连接，所述第二电阻的第二端通过所述第一电阻与所述第一运算放大器的同相输入端电连接；

所述第一运算放大器的反相输入端通过依次串联的所述第三电阻和第二电容接地，以及通过所述第四电阻与所述第一运算放大器的输出端电连接；所述第一运算放大器的输出端与所述第二级放大电路电连接；所述第一运算放大器的参考信号端与第二参考电源电连接。

可选的，所述第三电阻和所述第四电阻均为可调电阻器。

可选的，所述第二级放大电路包括：第二运算放大器、第三电容、第五电阻和第六电阻；

所述第三电容的第一端与所述第一级放大电路的输出端电连接；所述第三电容的第二端通过所述第五电阻与所述第二运算放大器的反相输入端电连接；所述第二运算放大器的反相输入端还通过所述第五电阻与所述第二运算放大器的输出端电连接；

所述第二运算放大器的同相输入端通过所述第六电阻与所述第一级放大电路的输出端电连接；所述第二运算放大器的输出端与所述第三级放大电路的输入端电连接；所述第二运算放大器的参考信号端与第二参考电源电连接。

可选的，所述第三级放大电路包括：第三运算放大器、第四电容、第七电阻和第八电阻；

所述第四电容的第一端与所述第二级放大电路的输出端电连接，所述第四电容的第二端通过所述第七电阻与所述第三运算放大器的反相输入端电连接；所述第三运算放大器的反相输入端还通过所述第七电阻与所述第三运算放大器的输出端电连接；

所述第三运算放大器的同相输入端通过所述第八电阻与所述第二级放大电路的输入端电连接；所述第三运算放大器的输出端与所述模/数转换器的输入端电连接；所述第三运算放大器的参考信号端与第二参考电源电连接。

可选的，所述MEMS麦克风的测试电路还包括：显示器；

所述显示器接收所述逻辑控制器输出的灵敏度检测结果，并显示所述灵敏度检测结果。

可选的，所述逻辑控制器为可编程逻辑控制器。

第二方面，本实用新型实施例还提供了一种MEMS麦克风的测试设备，包括：发声装置和上述MEMS麦克风的测试电路；

其中，所述发声装置为MEMS麦克风提供音频信号；所述MEMS接收所述音频信号，并输出电信号至所述MEMS麦克风的测试电路。

本实用新型实施例提供的一种MEMS麦克风的测试电路及设备，该MEMS 麦克风的测试电路包括逻辑控制器、放大电路以及模/数转换器；通过放大电路对MEMS麦克风输出的电信号进行放大，并将放大信号输出至模/数转换器；该模/数转换器能够在逻辑控制器的控制下将所接收的放大信号转换为数字信号，以使逻辑控制器能够根据该数字信号输出该MEMS麦克风的灵敏度检测结果。本实用新型实施例提供的MEMS麦克风的测试电路仅通过逻辑控制器、放大电路以及模/数转换器即可检测出MEMS麦克风的灵敏度，该检测电路结构简单，成本低，从而在采用该测试电路对MEMS麦克风进行测试时，操作简单，测试精度和测试效率高。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的一种MEMS麦克风的测试电路的结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的又一种MEMS麦克风的测试电路的结构示意图；

图3是本实用新型实施例提供的又一种MEMS麦克风的测试电路的结构示意图；

图4是本实用新型提供的一种放大电路的电路结构示意图；

图5是本实用新型实施例提供的又一种MEMS麦克风的测试电路的结构示意图；

图6是本实用新型实施例提供的一种MEMS麦克风的测试设备的结构框图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。

在更加详细地讨论示例性实施例之前应当提到的是，一些示例性实施例被描述成作为流程图描绘的处理或方法。虽然流程图将各步骤描述成顺序的处理，但是其中的许多步骤可以被并行地、并发地或者同时实施。此外，各步骤的顺序可以被重新安排。当其操作完成时所述处理可以被终止，但是还可以具有未包括在附图中的附加步骤。所述处理可以对应于方法、函数、规程、子例程、子程序等等。

本实用新型实施例提供一种MEMS麦克风的测试电路，该MEMS麦克风的测试电路能够对MEMS麦克风的灵敏度进行测试。图1是本实用新型实施例提供的一种MEMS麦克风的测试电路的结构示意图。如图1所示，该MEMS 麦克风的测试电路100包括逻辑控制器10、放大电路20以及模/数转换器30。

其中，放大电路20的输入端I20与MEMS麦克风40的输出端O40电连接，放大电路20的输出端O20与模/数转换器30的输入端I30电连接；放大电路20 将MEMS麦克风40输出的电信号进行放大，并输出放大信号至模/数转换器30；模/数转换器30的使能端En30与逻辑控制器10的使能信号输出端En10电连接，模/数转换器30的输出端O30与逻辑控制器10的输入端I30电连接；模/数转换器30接收逻辑控制器10的输出的使能信号，将该放大信号转换为数字信号，并输出至逻辑控制器10；逻辑控制器10接收该数字信号，并输出灵敏度检测结果。

具体的，MEMS麦克风通常包括硅背极板和声学振膜，该声学振膜与硅背电极组成电容，MEMS麦克风可利用声音变化产生的压力梯度使声学振膜发生形变，从而改变声学振膜与硅背电极之间的电容值。由于灵敏度是表示MEMS 麦克风声电转换效率的重要指标，通常灵敏度是指在自由声场中，MEMS麦克风频率为1KHz恒定声压下与声源正向时所测得的开路输出电压，且MEMS麦克风的灵敏度越高，向调音台提供的电信号的电平越高，使得MEMS麦克风具有较高的信噪比。

如图1所示，通过相应的发声装置200发出声音，该发声装置200所发出的声音的频率例如可以为待测试的MEMS麦克风40所能够响应的声音的频率； MEMS麦克风40响应发声装置200所发出的声音时，MEMS麦克风40中声学振膜与硅背电极组成的电容的电容值发生变化，并产生相应的电信号；MEMS 麦克风40所产生的电信号输入至放大电路20中进行信号放大，以便于后续的检测。由于麦克风40所输出的电信号为模拟信号，该电信号经放大电路20进行信号放大后为一放大的电信号，其仍然为模拟信号；而逻辑控制器10作为能够执行逻辑判断的器件，其能够对数字信号进行处理，并输出判断结果；通过将放大电路20输出的放大信号输入至模/数转换器30中，该模/数转换器30能够将模拟信号转换为数字信号；此时，可通过逻辑控制器10控制模/数转换器 30将放大电路20输出的放大信号转换为数字信号，并输入至逻辑控制器10中，以使逻辑控制器10能够根据该数字信号，输出对MEMS麦克风40的灵敏度检测结果。其中，模/数转换器30可采用高速的模/数转换器，以使该模/数转换器 30具有较高的转换效率，提高测试效率。

示例性的，可将MEMS麦克风40的灵敏度阈值存储至逻辑控制器10中，该灵敏度阈值例如可以为1000，逻辑控制器10通过比较其所接收到的信号与预存的灵敏度阈值，对MEMS麦克风是否合格进行检测。若逻辑控制器10所接收到的信号大于该灵敏度阈值时，可判断MEMS麦克风40为灵敏度较高的产品，可输出数字1表示该MEMS麦克风40为合格品；而当逻辑控制器10所接收到的信号小于该灵敏度阈值时，可判断MEMS麦克风40为灵敏度较低的产品，可输出数字0表示该MEMS麦克风40为次品。如此，通过对MEMS麦克风进行测试，即可确定出不合格的MEMS麦克风，从而获得MEMS麦克风的产品良率。其中，MEMS麦克风与发声装置200之间的距离不同，MEMS麦克风所响应信号的大小不同，可通过调节放大电路20的放大倍数，以适应不同距离的响应信号。

本实用新型实施例的通过逻辑控制器、放大电路以及模/数转换器即可获得 MEMS麦克风的灵敏度检测结果，该MEMS麦克风的测试电路结构简单，成本较低。当采用该MEMS麦克风的测试电路对MEMS麦克风进行测试时，测试成本低，测试流程简单，测试精度高，测试效率高，有利于提高生产效率和产品良率。

可选的，图2是本实用新型实施例提供的又一种MEMS麦克风的测试电路的结构示意图。如图2所示，该MEMS麦克风的测试电路100的放大电路20 可以包括第一级放大电路21、第二级放大电路22和第三级放大电路23。其中，该第一级放大电路21、第二级放大电路22以及第三级放大电路23顺次连接，且第一级放大电路21的输入端I20与MEMS麦克风40的输出端O40电连接；第三级放大电路23的输出端O20与模/数转换器30的输入端I30电连接。如此， MEMS麦克风输出的电信号输入至放大电路20后，能够实现三级放大，以提高测试精度。

可选的，图3是本实用新型实施例提供的又一种MEMS麦克风的测试电路的结构示意图。如图3所示，第一级放大电路21与第二级放大电路22之间设置有第一测试点TP1，第二级放大电路22与第三级放大电路23之间设置有第二测试点TP2。此时，相应的检测器可通过采集该第一测试点TP1和第二测试点TP2的信号，实现对第一级放大电路21和第二级放大电路22的放大信号进行检测，而第三级放大电路23的放大信号可通过逻辑控制器10进行检测。

如此，在对MEMS麦克风40进行测试前，通过采集放大电路20的输入端I20的信号、第一测试点TP1的信号、第二测试点TP2的信号以及放大电路20 的输出端O20的信号，分别检测第一级放大电路21、第二级放大电路22以及第三级放大电路23是否正常工作，以防其中一级放大电路未正常工作，而影响测试结果，从而进一步提高测试精度。其中，检测器可以集成于逻辑控制器10 中，通过逻辑控制器10实现对第一级放大电路21、第二级放大电路22以及第三级放大电路23的检测。

示例性的，图4是本实用新型提供的一种放大电路的电路结构示意图。结合图3和图4所示，放大电路20的第一级放大电路21包括第一运算放大器U1、第一电容C1、第二电容C2、第一电阻R1、第二电阻R2、第三电阻R3和第四电阻R4。第一电容C1的第一端与MEMS麦克风40的输出端O40电连接，第一电容C1的第二端通过第一电阻R1与第一运算放大器U1的同相输入端电连接；第二电阻R2的第一端与第一参考电源Vref1电连接，第二电阻R2的第二端通过第一电阻R1与第一运算放大器U1的同相输入端电连接；第一运算放大器U1的反相输入端通过依次串联的第三电阻R3和第二电容C2接地，以及通过第四电阻R4与第一运算放大器U1的输出端电连接；第一运算放大器U1的输出端与第二级放大电路22电连接；第一运算放大器U1的参考信号端与第二参考电源Vref2电连接。如此，当第一级放大电路21接收到MEMS麦克风40 输出的电信号时，第一运算放大器U1配合第一级放大电路21中的其它器件实现对该电信号的第一级放大，并将第一级放大信号输出至第二级放大电路22。

其中，第一级放大电路21中的第三电阻R3和第四电阻R4均为可调电阻器。如此，可通过调节第三电阻R3和第四电阻R4的阻值改变放大电路20的放大倍数，即放大电路20的放大倍数N可以为：N＝(1+R4/(R3+1/(2*π*f*C2)))，使得该放大电路20能够适应不同距离的响应信号，使得该MEMS麦克风的测试电路更具灵活性。

示例性的，继续结合参考图3和图4，放大电路20的第二级放大电路22 包括第二运算放大器U2、第三电容C3、第五电阻R5和第六电阻R6；第三电容C3的第一端与第一级放大电路21的输出端电连接；第三电容C3的第二端通过第五电阻R5与第二运算放大器U2的反相输入端电连接；第二运算放大器 U2的反相输入端还通过第五电阻R5与第二运算放大器U2的输出端电连接；第二运算放大器U2的同相输入端通过第六电阻R6与第一级放大电路21的输出端电连接；第二运算放大器U2的输出端与第三级放大电路23的输入端电连接；第二运算放大器U2的参考信号端与第二参考电源Vref2电连接。如此，当第二级放大电路22接收到第一级放大电路21输出的第一级放大信号时，第二运算放大器U2配合第二级放大电路22中的其它器件实现第二级放大，并将第二级放大信号输出至第三级放大电路23。

示例性的，继续结合参考图3和图4，放大电路20的第三级放大电路23 包括第三运算放大器U3、第四电容C4、第七电阻R7和第八电阻R8；第四电容C4的第一端与第二级放大电路22的输出端电连接，第四电容C4的第二端通过第七电阻R7与第三运算放大器U3的反相输入端电连接；第三运算放大器 U3的反相输入端还通过第七电阻R7与第三运算放大器U3的输出端O20电连接；第三运算放大器U3的同相输入端通过第八电阻R8与第二级放大电路22的输入端电连接；第三运算放大器U3的输出端O20与模/数转换器30的输入端I30电连接；第三运算放大器U3的参考信号端与第二参考电源Vref电连接。如此，当第三级放大电路23接收到第二级放大电路22输出的第二级放大信号时，第三运算放大器U3配合第三级放大电路23中的其它器件实现第三级放大，并将第三级放大信号输出至模/数转换器30。

此外，在各级放大电路之间还可设置相应的分压电阻，以实现分压功能。例如在第一级放大电路21与第二级放大电路22之间设置第一分压电阻R9，以及第二级放大电路22与第三级放大电路23之间设置第二分压电阻R10。

需要说明的是，图4仅为本实用新型实施例示例性的附图，在能够实现放大电路的放大功能以及倍数调整功能的前提下，本实用新型实施例对放大电路的具体电路结构不做具体限定。

可选的，在本实用新型实施例中逻辑控制器可以为可编程逻辑控制器，该可编程逻辑控制器，该可编程逻辑控制器可通过通信协议与其它器件无线连接，或者通过相应的导电线与其它器件电连接。该可编程逻辑控制器例如可以为现场可编程门阵列(Field－Programmable Gate Array，FPGA)。此时，逻辑控制器能够将其输出端输出的灵敏度检测结果发送至上位机或显示设备等，以便于测试人员操作查看。

可选的，图5是本实用新型实施例提供的又一种MEMS麦克风的测试电路的结构示意图。如图5所示，MEMS麦克风的测试电路还包括显示器50，该显示器50能够接收逻辑控制器10输出的灵敏度检测结果，并显示该灵敏度检测结果。如此，能够将灵敏度检测结果进行直观的显示，以使测试人员能够直接获得合格产品的编号以及合格率等信息。

本实用新型实施例还提供了一种MEMS麦克风的测试设备，该麦克风的测试设备包括发声装置和本实用新型实施例提供的MEMS麦克风的测试电路。其中，该发声装置能够为MEMS麦克风提供音频信号；该MEMS麦克风在接收到该音频信号时，输出电信号至MEMS麦克风的测试电路，以使MEMS麦克风的测试电路能够对MEMS麦克风的灵敏度进行检测。由于该MEMS麦克风的测试设备包括本实用新型实施例提供的MEMS麦克风的测试电路，因此该MEMS麦克风的测试设备也具有本实用新型实施例提供的MEMS麦克风的测试电路所具有的有益效果，相同之处可参照上文理解，下文中不再赘述。

示例性的，图6是本实用新型实施例提供的一种MEMS麦克风的测试设备的结构框图。如6所示，MEMS麦克风的测试设备300包括本实用新型实施例提供的MEMS麦克风的测试电路100和发声装置200。MEMS麦克风40在接收到发声装置200发出的音频信号后，能够将该音频信号转换为电信号，MEMS 麦克风的测试电路100对MEMS麦克风40输出的电信号进行检测即可获得该 MEMS麦克风40灵敏度检测结果。此外，MEMS麦克风的测试设备300还可以包括壳体(图中未示出)、测试平台(图中未示出)等结构，本实用新型实施例对此不做具体限定。

注意，上述仅为本实用新型的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本实用新型不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本实用新型进行了较为详细的说明，但是本实用新型不仅仅限于以上实施例，在不脱离本实用新型构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本实用新型的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (10)

1.一种MEMS麦克风的测试电路，其特征在于，包括：逻辑控制器、放大电路以及模/数转换器；

所述放大电路的输入端与所述MEMS麦克风的输出端电连接，所述放大电路的输出端与所述模/数转换器的输入端电连接；所述放大电路将所述MEMS麦克风输出的电信号进行放大，并输出放大信号至所述模/数转换器；

所述模/数转换器的使能端与所述逻辑控制器的使能信号输出端电连接，所述模/数转换器的输出端与所述逻辑控制器的输入端电连接；所述模/数转换器接收所述逻辑控制器的输出的使能信号，将所述放大信号转换为数字信号，并输出至所述逻辑控制器；

所述逻辑控制器接收所述数字信号，并输出灵敏度检测结果。

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风的测试电路，其特征在于，所述放大电路包括第一级放大电路、第二级放大电路和第三级放大电路；所述第一级放大电路、所述第二级放大电路以及所述第三级放大电路顺次连接；

其中，所述第一级放大电路的输入端与所述MEMS麦克风的输出端电连接；所述第三级放大电路的输出端与所述模/数转换器的输入端电连接。

3.根据权利要求2所述的MEMS麦克风的测试电路，其特征在于，所述第一级放大电路与所述第二级放大电路之间设置有第一测试点，所述第二级放大电路与所述第三级放大电路之间设置有第二测试点；

检测器采集第一测试点和第二测试点的信号，对所述第一级放大电路和所述第二级放大电路的放大信号进行检测。

4.根据权利要求2所述的MEMS麦克风的测试电路，其特征在于，所述第一级放大电路包括：第一运算放大器、第一电容、第二电容、第一电阻、第二电阻、第三电阻和第四电阻；

所述第一电容的第一端与所述MEMS麦克风的输出端电连接，所述第一电容的第二端通过所述第一电阻与所述第一运算放大器的同相输入端电连接；

所述第二电阻的第一端与第一参考电源电连接，所述第二电阻的第二端通过所述第一电阻与所述第一运算放大器的同相输入端电连接；

所述第一运算放大器的反相输入端通过依次串联的所述第三电阻和第二电容接地，以及通过所述第四电阻与所述第一运算放大器的输出端电连接；所述第一运算放大器的输出端与所述第二级放大电路电连接；所述第一运算放大器的参考信号端与第二参考电源电连接。

5.根据权利要求4所述的MEMS麦克风的测试电路，其特征在于，所述第三电阻和所述第四电阻均为可调电阻器。

6.根据权利要求2所述的MEMS麦克风的测试电路，其特征在于，所述第二级放大电路包括：第二运算放大器、第三电容、第五电阻和第六电阻；

所述第三电容的第一端与所述第一级放大电路的输出端电连接；所述第三电容的第二端通过所述第五电阻与所述第二运算放大器的反相输入端电连接；所述第二运算放大器的反相输入端还通过所述第五电阻与所述第二运算放大器的输出端电连接；

所述第二运算放大器的同相输入端通过所述第六电阻与所述第一级放大电路的输出端电连接；所述第二运算放大器的输出端与所述第三级放大电路的输入端电连接；所述第二运算放大器的参考信号端与第二参考电源电连接。

7.根据权利要求2所述的MEMS麦克风的测试电路，其特征在于，所述第三级放大电路包括：第三运算放大器、第四电容、第七电阻和第八电阻；

所述第四电容的第一端与所述第二级放大电路的输出端电连接，所述第四电容的第二端通过所述第七电阻与所述第三运算放大器的反相输入端电连接；所述第三运算放大器的反相输入端还通过所述第七电阻与所述第三运算放大器的输出端电连接；

所述第三运算放大器的同相输入端通过所述第八电阻与所述第二级放大电路的输入端电连接；所述第三运算放大器的输出端与所述模/数转换器的输入端电连接；所述第三运算放大器的参考信号端与第二参考电源电连接。

8.根据权利要求1～7任一项所述的MEMS麦克风的测试电路，其特征在于，还包括：显示器；

所述显示器接收所述逻辑控制器输出的灵敏度检测结果，并显示所述灵敏度检测结果。

9.根据权利要求1～7任一项所述的MEMS麦克风的测试电路，其特征在于，所述逻辑控制器为可编程逻辑控制器。

10.一种MEMS麦克风的测试设备，其特征在于，包括：发声装置和权利要求1～9任一项所述的MEMS麦克风的测试电路；

其中，所述发声装置为MEMS麦克风提供音频信号；所述MEMS麦克风接收所述音频信号，并输出电信号至所述MEMS麦克风的测试电路。

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