CN210237773U - 一种管式pecvd设备电极对接装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种管式PECVD设备电极对接装置，包括第一对接电极和第二对接电极，第一对接电极包括第一电极座和第一安装板，第一电极座上穿设有正电极头、接地电极头和负电极头，第二电极座包括第二电极座和第二安装板，第二电极座设有三个电极头接入孔，正电极头、接地电极头和负电极头的一端插设于各电极头接入孔内，另一端均具有第一接线端，各电极头接入孔远离各电极头的一端设有第二接线端。本实用新型连接电极杆的第一电极座随着推舟滑台做直线运动，最终与连接射频电源的第二电极座连接，从而实现放电功能，该电极对接装置相对于原有的拖链机构，同样适用于移动部件，既能保证射频电源放电过程的稳定性，又省去了高昂的成本。

Description

一种管式PECVD设备电极对接装置

技术领域

本实用新型涉及管式PECVD设备，尤其涉及一种管式PECVD设备电极对接装置。

背景技术

光伏发电***是一种利用太阳能电池半导体材料的“光伏效应”将太阳光辐射能直接装换为电能的一种新型发电***。太阳能电池，又称光伏电池，是光伏发电***中最核心的器件。目前，技术最成熟，并具有商业价值的、市场应用最广的太阳能电池是晶体硅太阳能电池。太阳光在晶体硅表面的反射损失率高达35%左右，严重影响太阳能电池的最终转换效率。为提高转换效率，即减少晶体硅表面对太阳光的反射，增加太阳光的折射率，常在晶体硅表面蒸镀一层或多层二氧化硅或氮氧硅或氮化硅减反射膜。减反射膜不但可以减少晶体硅表面对太阳光的发射，而且可以对晶体硅表面起到钝化和保护作用。PECVD设备采用的等离子体增强化学气相沉积技术，在低压条件下，利用射频电场使反应气体产生辉光放电，电离出等离子体，促进反应活性基团的生成，从而使得硅烷和氨气能在较低的温度（200℃~450℃）下反应，减少了工艺的复杂性，并有效防止了晶体硅太阳能电池寿命的衰减，广泛应用于晶体硅太阳能电池表面减反射膜的蒸镀。

现有管式PECVD设备电极装置主要由前电极杆A1、前电极杆B2、前电极座3、拖链4、后电极座5、后电极杆6、拖链电缆9组成，每个工艺周期，电极装置与炉门装置7随着推舟***8的运动进出一次反应室，具体结构示意图如图1所示，前电极杆1、前电极杆2与石墨舟的一种正（负）电极连接，后电极杆6与石墨舟的负（正）电极连接，前电极杆1、前电极杆2以及后电极杆6与拖链电缆9连接，拖链电缆9与射频电源的正负极连接，从而将前后电极杆与射频电源的正负电极连接。管式PECVD设备是利用射频电源放电来电离工艺气体蒸镀减反射膜，石墨舟通过特定的结构组合使相邻的两个舟片以及所载硅片互为阴阳极。因此，只需要将射频电源的正负两个电极的电极杆与石墨舟对应位置电极座连接。每一个工艺周期，需要将装载硅片的石墨舟进出一次反应室内，电极杆与射频电源的连接线跟随着推舟***运动，因此现有设备的连接线选用适合移动部件的拖链机构。

然而，拖链电缆导体采用精绞细铜线，导体单丝直径小，一般用多头拉丝4N导体保证导体的物理性能和电性能，导体光鲜明亮，韧性好，电阻率低，电线长期在额定负载下不发热，具有柔韧性高、强度高、耐弯折性好、抗撕裂性好、机械弯曲使用寿命长等特点，但是成本高于普通电缆价格昂贵。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是针对当前用于晶体硅太阳能电池的生产制造过程中蒸镀减反射膜的PECVD设备射频电源与电极杆之间连接使用的拖链结构成本高昂的问题，提供一种能保证射频电源放电过程稳定性的同时有效降低了设备成本的管式PECVD设备电极对接装置。

为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：

一种管式PECVD设备电极对接装置，包括第一对接电极和第二对接电极，所述第一对接电极包括第一电极座和用于安装第一电极座的第一安装板，所述第一电极座上穿设有正电极头、接地电极头和负电极头，所述第二对接电极包括第二电极座和用于安装第二电极座的第二安装板，所述第二电极座设有三个电极头接入孔，所述正电极头、接地电极头和负电极头的一端插设于各电极头接入孔内，另一端均具有第一接线端，所述各电极头接入孔远离各电极头的一端设有第二接线端。

作为上述技术方案的进一步改进，优选的，所述第一电极座设有定位导向柱，所述第二电极座设有与定位导向柱配合的定位孔，或者，所述第二电极座设有定位导向柱，所述第一电极座设有与定位导向柱配合的定位孔。

作为上述技术方案的进一步改进，优选的，所述定位导向柱的***定位孔的一端为圆锥形尖端。

作为上述技术方案的进一步改进，优选的，所述第一接线端设有电极绝缘帽。

作为上述技术方案的进一步改进，优选的，所述第二接线端设有电极绝缘帽。

作为上述技术方案的进一步改进，优选的，所述电极绝缘帽设有避让孔。

作为上述技术方案的进一步改进，优选的，各电极头接入孔外套有电极绝缘套。

作为上述技术方案的进一步改进，优选的，所述正电极头、接地电极头和负电极头从上至下依次布置。

作为上述技术方案的进一步改进，优选的，所述第一安装板为L形板，L形板的竖边设有用于安装第一电极座的腰型孔，L形板的横边设有用于固定的腰型孔。

作为上述技术方案的进一步改进，优选的，所述第二安装板为L形板，L形板的竖边设有用于安装第二电极座的腰型孔，L形板的横边设有用于固定的腰型孔。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：

本实用新型的管式PECVD设备电极对接装置，第一对接电极和第二对接电极分别安装在管式PECVD设备的推舟***的两端，第一对接电极的第一电极座通过第一安装板固定在推舟***的推舟滑台上，第二对接电极连接射频电源，第一对接电极连接电极杆，二者是分别安装在推舟***的两侧，炉门进行关闭动作时，连接电极杆的第一电极座随着推舟滑台做直线运动，最终与连接射频电源的第二电极座连接，从而实现放电功能，该电极对接装置相对于原有的拖链机构，同样适用于移动部件，既能保证射频电源放电过程的稳定性，又省去了高昂的成本。

附图说明

图1是现有技术中管式PECVD设备电极对接装置。

图2是本实用新型的电极对接装置安装在管式PECVD设备推舟***上的位置示意图。

图3是本实用新型管式PECVD设备电极对接装置插接的结构示意图。

图4是本实用新型管式PECVD设备电极对接装置分离的结构示意图。

图5是本实用新型中第一对接电极的立体结构示意图。

图6是本实用新型中第一对接电极的主视结构示意图。

图7是本实用新型中第二对接电极的立体结构示意图。

图8是本实用新型中第二对接电极的主视结构示意图。

图中各标号表示：

1、前电极杆A；2、前电极杆B；3、前电极座；4、拖链；5、后电极座；6、后电极杆；7、炉门装置；8、推舟***；81、推舟滑台；9、拖链电缆；100、第一对接电极；110、第一电极座；111、正电极头；112、接地电极头；113、负电极头；120、第一安装板；200、第二对接电极；210、第二电极座；211、电极头接入孔；220、第二安装板；300、第二接线端；410、定位导向柱；420、定位孔；500、电极绝缘帽；510、避让孔；600、电极绝缘套；700、腰型孔。

具体实施方式

以下结合说明书附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。

如图3至图7所示，本实施例的管式PECVD设备电极对接装置，包括第一对接电极100和第二对接电极200，第一对接电极100包括第一电极座110和用于安装第一电极座110的第一安装板120，第一电极座110上穿设有正电极头111、接地电极头112和负电极头113，第二对接电极200包括第二电极座210和用于安装第二电极座210的第二安装板220，第二电极座210设有三个电极头接入孔211，正电极头111、接地电极头112和负电极头113的一端插设于各电极头接入孔211内，另一端均具有第一接线端（图中未示出），各电极头接入孔211远离各电极头的一端设有第二接线端300。

图2所示，在实际使用时，第一对接电极100和第二对接电极200分别安装在管式PECVD设备的推舟***8的两端，第一对接电极100的第一电极座110通过第一安装板120固定在推舟***8的推舟滑台81上。第一电极座110随着推舟滑台81的运动向第二电极座210靠近，正电极头111、接地电极头112和负电极头113对应***第二电极座210上的电极头接入孔211内，第二电极座210上的第二接线端320接入射频电源的正负极，正电极头111和负电极头113的第一接线端310通过接入石墨舟电极杆的两个电极，通过第一接线端310、正负电极头、电极头接入孔211、第二接线端320依次连通，实现石墨舟电极杆的两个电极与射频电源的正负极接通，从而实现放电功能，通过推舟滑台81带动第一电极座110向第二电极座210靠近接通，省去了连接线的移动。

本实施例中，第一电极座110设有定位导向柱410，第二电极座210设有与定位导向柱410配合的定位孔420，定位导向柱410的***定位孔420的一端为圆锥形尖端，用于准确***定位孔420中，采用定位导向柱410和定位孔，从而使得正电极头111、接地电极头112和负电极头113精准的***各电极头接入孔211内。定位导向柱410和定位孔420均设置两个。在其他实施例中，也可以是第二电极座210设有定位导向柱410，第一电极座110设有与定位导向柱410配合的定位孔420，数量也可以为三个或三个以上。

本实施例中，连接石墨舟电极杆的第一接线端设有电极绝缘帽500（图1中第一接线端位于电极绝缘帽500内部，不可见）。连接射频电源的第二接线端300也设有电极绝缘帽500。各电极绝缘帽500设有避让孔510（图3中通过避让孔510可以看到电极绝缘帽500内部的第二接线端300），便于线缆穿过电极绝缘帽500与各接线端接触。各电极头接入孔211外套有电极绝缘套600。正电极头111、接地电极头112和负电极头113从上至下依次布置。

本实施例中，第一安装板120为L形板，L形板的竖边设有用于安装第一电极座110的腰型孔700，L形板的横边设有用于固定的腰型孔700。第二安装板220为L形板，L形板的竖边设有用于安装第二电极座210的腰型孔700，L形板的横边设有用于固定的腰型孔700。

本实施例中的电极对接装置的安装在推舟***8上，实际应用中不限定电极对接装置的安装位置。同样，本实施例中电极对接装置的正电极头111、接地电极头112、负电极头113的排列方式为竖向布置，实际应用中不限定电极头的排列方式，可以是横向、环向或任意布置。

虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围的情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本实用新型技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均应落在本实用新型技术方案保护的范围内。

Claims (10)

1.一种管式PECVD设备电极对接装置，其特征在于：包括第一对接电极（100）和第二对接电极（200），所述第一对接电极（100）包括第一电极座（110）和用于安装第一电极座（110）的第一安装板（120），所述第一电极座（110）上穿设有正电极头（111）、接地电极头（112）和负电极头（113），所述第二对接电极（200）包括第二电极座（210）和用于安装第二电极座（210）的第二安装板（220），所述第二电极座（210）设有三个电极头接入孔（211），所述正电极头（111）、接地电极头（112）和负电极头（113）的一端插设于各电极头接入孔（211）内，另一端均具有第一接线端，所述各电极头接入孔（211）远离各电极头的一端设有第二接线端（300）。

2.根据权利要求1所述的管式PECVD设备电极对接装置，其特征在于：所述第一电极座（110）设有定位导向柱（410），所述第二电极座（210）设有与定位导向柱（410）配合的定位孔（420），或者，所述第二电极座（210）设有定位导向柱（410），所述第一电极座（110）设有与定位导向柱（410）配合的定位孔（420）。

3.根据权利要求2所述的管式PECVD设备电极对接装置，其特征在于：所述定位导向柱（410）的***定位孔（420）的一端为圆锥形尖端。

4.根据权利要求1至3任意一项所述的管式PECVD设备电极对接装置，其特征在于：所述第一接线端设有电极绝缘帽（500）。

5.根据权利要求4所述的管式PECVD设备电极对接装置，其特征在于：所述第二接线端（300）设有电极绝缘帽（500）。

6.根据权利要求5所述的管式PECVD设备电极对接装置，其特征在于：所述电极绝缘帽（500）设有避让孔（510）。

7.根据权利要求4所述的管式PECVD设备电极对接装置，其特征在于：各电极头接入孔（211）外套有电极绝缘套（600）。

8.根据权利要求1至3任意一项所述的管式PECVD设备电极对接装置，其特征在于：所述正电极头（111）、接地电极头（112）和负电极头（113）从上至下依次布置。

9.根据权利要求1至3任意一项所述的管式PECVD设备电极对接装置，其特征在于：所述第一安装板（120）为L形板，L形板的竖边设有用于安装第一电极座（110）的腰型孔（700），L形板的横边设有用于固定的腰型孔（700）。

10.根据权利要求1至3任意一项所述的管式PECVD设备电极对接装置，其特征在于：所述第二安装板（220）为L形板，L形板的竖边设有用于安装第二电极座（210）的腰型孔（700），L形板的横边设有用于固定的腰型孔（700）。

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