CN210181166U - 一种晶圆片探针台的测试装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆片探针台的测试装置，包括承载板和设置在承载板上部的转盘部，所述承载板呈圆形且其顶部位于边侧焊接有竖直状的支撑板，所述支撑板一侧靠近顶部焊接有水平布置的架板，所述架板相对承载板呈向心分布，所述架板上远离支撑板的一端焊接有竖直布置的导向套，所述导向套内套设有滑柱，所述滑柱的底部设有水平布置的探针板。本实用新型中，转盘部上中的圆盘上设置有六个可以放置晶圆片的圆形沉槽，电机旋转可带动转盘旋转，由此每个圆形沉槽可旋转至探针板的下部，探针板上下移动可进行对圆形沉槽内的晶圆片进行测试，此种在检测的同时，其他圆形沉槽可进行存放晶圆片，保持持续进行检测，效率高。

Description

一种晶圆片探针台的测试装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆片探针检测技术领域，尤其涉及一种晶圆片探针台的测试装置。

背景技术

晶圆片上设有集成电路，在生产下线后需要对其内的集成电路进行探针检测，进行对晶圆片进行筛选。

目前的检测方法时将带有集成电路的晶圆片放置在定位槽内，通过移动的探板和晶圆片对接，然后利用探板上的探针进行电路测试，现在的检测方式采时逐一晶圆片检测，也就是说一个晶圆片检测需要进行放置晶圆片，然后检测，最后取下检测完毕的晶圆片，重复以上动作，此种检测方式的取放浪费了大量时间，同时晶圆片的取放采用卡扣式，取放较为困难，容易出现破坏晶圆片电路的隐患。

因此，本实用新型提供一种晶圆片探针台的测试装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：为了解决晶圆片频繁的放置和取下占用大量时间导致效率低下和晶圆片的放置困难的问题，而提出的一种晶圆片探针台的测试装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种晶圆片探针台的测试装置，包括承载板和设置在承载板上部的转盘部，所述承载板呈圆形且其顶部位于边侧焊接有竖直状的支撑板，所述支撑板一侧靠近顶部焊接有水平布置的架板，所述架板相对承载板呈向心分布，所述架板上远离支撑板的一端焊接有竖直布置的导向套，所述导向套内套设有滑柱，所述滑柱的底部设有水平布置的探针板，所述转盘部上设有圆盘，所述圆盘的上端面位于边缘处均匀开设有六个圆形沉槽，所述承载板下端面位于中心位置通过螺栓安装有电机，所述电机的转轴间隙贯穿承载板并和圆盘的下端面中心位置固定连接，所述圆形沉槽和探针板配合使用。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述圆盘的上端面焊接有和圆形沉槽同轴的定位套，所述定位套的内径和圆形沉槽的内径大小相同。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述定位套的口部位置焊接有上环形限位台。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述圆盘的外边侧开设有贯穿圆形沉槽的方形滑孔，所述方形滑孔内套设有推拉板，所述推拉板的上端面贯穿开设有和圆形沉槽配合使用的放置圆孔，所述放置圆孔的底部焊接有下环形限位台。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述圆盘的底部通过螺栓安装有气缸，所述气缸的推轴间隙贯穿圆盘的下端面并延伸至圆形沉槽内，所述推轴的一端焊接有圆形托盘，所述圆形托盘的外径小于下环形限位台的内径。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述推拉板的一侧焊接有把手。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型中，转盘部上中的圆盘上设置有六个可以放置晶圆片的圆形沉槽，电机旋转可带动转盘旋转，由此每个圆形沉槽可旋转至探针板的下部，探针板上下移动可进行对圆形沉槽内的晶圆片进行测试，此种在检测的同时，其他圆形沉槽可进行存放晶圆片，保持持续进行检测，效率高。

2、本实用新型中，转盘的外边侧设有抽屉状的推拉板，推拉板上设有放置圆孔，将晶圆片放入放置圆孔后，将推拉板复位，气缸上的圆形托盘可将晶圆片推至定位套的顶部并通过上环形限位台进行限位，整过操作过程简单，方便。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种晶圆片探针台的测试装置的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种晶圆片探针台的测试装置的转盘部俯视图的结构示意图；

图3为本实用新型提出的一种晶圆片探针台的测试装置的转盘部主视图局部剖视的结构示意图

图4为本实用新型提出的一种晶圆片探针台的测试装置的推拉板结构示意图。

图例说明：

1、承载板；2、转盘部；3、把手；4、支撑板；5、导向套；6、滑柱；7、探针板；8、圆盘；9、圆形沉槽；10、电机；11、定位套；12、上环形限位台；13、方形滑孔；14、推拉板；15、放置圆孔；16、气缸；17、下环形限位台；18、架板；19、圆形托盘。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆片探针台的测试装置，包括承载板1和设置在承载板1上部的转盘部2，所述承载板1呈圆形且其顶部位于边侧焊接有竖直状的支撑板4，所述支撑板4一侧靠近顶部焊接有水平布置的架板18，所述架板18相对承载板1呈向心分布，所述架板18上远离支撑板4的一端焊接有竖直布置的导向套5，所述导向套5内套设有滑柱6，所述滑柱6的底部设有水平布置的探针板7，所述转盘部2上设有圆盘8，所述圆盘8的上端面位于边缘处均匀开设有六个圆形沉槽9，所述承载板1下端面位于中心位置通过螺栓安装有电机10，所述电机10的转轴间隙贯穿承载板1并和圆盘8的下端面中心位置固定连接，所述圆形沉槽9和探针板7配合使用。

具体的，如图3所示，所述圆盘8的上端面焊接有和圆形沉槽9同轴的定位套11，所述定位套11的内径和圆形沉槽9的内径大小相同。

具体的，如图3所示，所述定位套11的口部位置焊接有上环形限位台12。

具体的，如图3所示，所述圆盘8的外边侧开设有贯穿圆形沉槽9的方形滑孔13，所述方形滑孔13内套设有推拉板14，所述推拉板14的上端面贯穿开设有和圆形沉槽9配合使用的放置圆孔15，所述放置圆孔15的底部焊接有下环形限位台17。

具体的，如图3所示，所述圆盘8的底部通过螺栓安装有气缸16，所述气缸16的推轴间隙贯穿圆盘8的下端面并延伸至圆形沉槽9内，所述推轴的一端焊接有圆形托盘19，所述圆形托盘19的外径小于下环形限位台17的内径。

具体的，如图4所示，所述推拉板14的一侧焊接有把手3。

工作原理：使用时，手动握住把手3向外将推拉板14拉出，然后将晶圆片放入放置圆孔15内并由下下环形限位台17进行托举，以此方式在六个推拉板14内放置晶圆片，然后复位推拉板14，气缸16推程，圆形托盘19推动晶圆片在圆形沉槽9内上升至定位套11的顶部并由上环形限位台12进行限位，由此电机10可带动圆盘8旋转，圆盘8上的其中一个携带晶圆片的定位套11和探针板7同轴时，通过外部导向机构带动滑柱6在导向套内下移，探针板7利用其底部的多个探针进行晶圆片电路检测，检测完毕后，探针板7回程，气缸16回程，电机10继续旋转带动另一定位套11至检测位置，在检测的同时，可手握住把手3拉开推拉板14进行取料和放料，效率高。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种晶圆片探针台的测试装置，包括承载板（1）和设置在承载板（1）上部的转盘部（2），其特征在于，所述承载板（1）呈圆形且其顶部位于边侧焊接有竖直状的支撑板（4），所述支撑板（4）一侧靠近顶部焊接有水平布置的架板（18），所述架板（18）相对承载板（1）呈向心分布，所述架板（18）上远离支撑板（4）的一端焊接有竖直布置的导向套（5），所述导向套（5）内套设有滑柱（6），所述滑柱（6）的底部设有水平布置的探针板（7），所述转盘部（2）上设有圆盘（8），所述圆盘（8）的上端面位于边缘处均匀开设有六个圆形沉槽（9），所述承载板（1）下端面位于中心位置通过螺栓安装有电机（10），所述电机（10）的转轴间隙贯穿承载板（1）并和圆盘（8）的下端面中心位置固定连接，所述圆形沉槽（9）和探针板（7）配合使用。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆片探针台的测试装置，其特征在于，所述圆盘（8）的上端面焊接有和圆形沉槽（9）同轴的定位套（11），所述定位套（11）的内径和圆形沉槽（9）的内径大小相同。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆片探针台的测试装置，其特征在于，所述定位套（11）的口部位置焊接有上环形限位台（12）。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆片探针台的测试装置，其特征在于，所述圆盘（8）的外边侧开设有贯穿圆形沉槽（9）的方形滑孔（13），所述方形滑孔（13）内套设有推拉板（14），所述推拉板（14）的上端面贯穿开设有和圆形沉槽（9）配合使用的放置圆孔（15），所述放置圆孔（15）的底部焊接有下环形限位台（17）。

5.根据权利要求1或4所述的一种晶圆片探针台的测试装置，其特征在于，所述圆盘（8）的底部通过螺栓安装有气缸（16），所述气缸（16）的推轴间隙贯穿圆盘（8）的下端面并延伸至圆形沉槽（9）内，所述推轴的一端焊接有圆形托盘（19），所述圆形托盘（19）的外径小于下环形限位台（17）的内径。

6.根据权利要求4所述的一种晶圆片探针台的测试装置，其特征在于，所述推拉板（14）的一侧焊接有把手（3）。

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