CN209910815U - 激光干涉低频测振器 - Google Patents
激光干涉低频测振器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN209910815U CN209910815U CN201822193171.7U CN201822193171U CN209910815U CN 209910815 U CN209910815 U CN 209910815U CN 201822193171 U CN201822193171 U CN 201822193171U CN 209910815 U CN209910815 U CN 209910815U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- interference
- laser
- light
- processing unit
- reflector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
- G01H9/00—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by using radiation-sensitive means, e.g. optical means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种激光干涉低频测振器,包括光学***和检测***,所述光学***和检测***固定安装在底板上;所述光学***包括测试光路和参考光路,测试光路和参考光路产生干涉光;所述检测***接收干涉光并对接收的干涉光图像进行处理和显示。本实用新型利用激光干涉原理检测设备的低频振动,通过检测干涉条纹的漂移来判断是否可以正常进行精密的干涉加工和测试工作,以获得可靠的结果。***可检测极为微小的环境振动,检测精度高。利用简单的光学***和检测***可实现干涉条纹的采集处理,大大简化了设备的结构,降低了成本。采用显示器对条纹进行显示提高了用户体验,同时采用报警设备对超阈值情况进行报警,提高了***的智能化水平。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种激光干涉低频测振器,属于光学检测领域。
背景技术
环境的低频振动源于地面的晃动,空气紊流,声响或人为干扰。根据光的干涉原理,光源的位移会引起条纹的移动和条纹间隔的变化。环境中存在的各种低频振动是一种随机无序的振动。很明显这种振动必将导致光源的无序晃动,干涉条纹也随之漂移。它破坏了光的干涉条件。对精密的干涉测量和加工影响很大。甚至无法进行。而这种低频振动,各种防振措施均无法隔离。只能用专门的仪器进行监控。
实用新型内容
实用新型目的:本实用新型所要解决的技术问题是提供激光干涉低频测振器,该测振器利用激光干涉原理检测设备的低频振动,具有检测精度高、设备结构简单的特点。
为了达到上述目的,本实用新型所采用的技术方案是:
激光干涉低频测振器,包括光学***和检测***,所述光学***和检测***固定安装在底板上;所述光学***包括测试光路和参考光路,测试光路和参考光路产生干涉光;所述检测***接收干涉光并对接收的干涉光图像进行处理和显示。
其中,所述测试光路包括激光器、反射镜I、分束镜和反射镜II;测试光路中,激光器发出的激光经反射镜I进行90度反射后通过分束镜部分透射后由反射镜II原路返回,由反射镜II原路返回的激光由分束镜进行部分90度反射后形成检测光;参考光路包括反射镜III,激光器发出的激光经反射镜I进行90度反射后由分束镜进行部分90度反射,反射的激光再由反射镜III原路返回,由反射镜III原路返回的激光由分束镜部分透射后形成参考光,参考光和测试光形成干涉光。
其中,所述检测***包括检测镜头、CCD检测器以及处理单元,所述干涉光通过检测镜头后由CCD检测器进行采集,CCD检测器通过电缆与处理单元连接,将采集的干涉光信号传输给处理单元进行图像处理。
其中,所述处理单元包括中央处理器和用于为处理单元供电的电源模块,所述中央处理器还连接有显示屏,中央处理器将处理后的图像信号传输给显示屏进行显示。
其中,所述处理单元还包括报警设备,报警设备通过电缆与中央处理器连接,报警设备包括报警灯和报警音响。
其中,本实用新型还包括用于避免外部光线干扰的遮光罩,所述遮光罩覆盖在光学***上。
与现有技术相比,本实用新型具有的有益效果是:
本实用新型利用激光干涉原理检测设备的低频振动,通过检测干涉条纹的漂移来判断是否可以正常进行精密的干涉加工和测试工作,以获得可靠的结果。***可检测极为微小的环境振动,检测精度高。利用简单的光学***和检测***可实现干涉条纹的采集处理,大大简化了设备的结构,降低了成本。采用显示器对条纹进行显示提高了用户体验,同时采用报警设备对超阈值情况进行报警,提高了***的智能化水平。
附图说明
图1为本实用新型激光干涉低频测振器的结构示意图;
图2为本实用新型激光干涉低频测振器处理单元的结构示意图。
具体实施方式
下面结合说明书附图对本实用新型作进一步的说明。
如图1~2所示,本实用新型激光干涉低频测振器包括光学***和检测***。光学***和检测***均固定安装在底板2上。光学***包括测试光路和参考光路,测试光路和参考光路产生干涉光。检测***接收干涉光并对接收的干涉光图像进行处理和显示。
测试光路包括激光器1、反射镜I3、分束镜6和反射镜II7。测试光路中,激光器1发出的激光经反射镜I3进行90度反射后通过分束镜6部分透射后由反射镜II7原路返回,由反射镜II7原路返回的激光由分束镜6进行部分90度反射后形成检测光。
参考光路包括反射镜III12,激光器1发出的激光经反射镜I3进行90度反射后由分束镜6进行部分90度反射,反射的激光再由反射镜III12原路返回,由反射镜III12原路返回的激光由分束镜6部分透射后形成参考光,参考光和测试光形成干涉光。
检测***包括检测镜头4、CCD检测器5以及处理单元10,干涉光通过检测镜头4后由CCD检测器5进行采集,CCD检测器5通过电缆与处理单元10连接,将采集的干涉光信号传输给处理单元10进行图像处理。
处理单元10包括中央处理器和用于为处理单元10供电的电源模块。中央处理器还连接有显示屏9,中央处理器将处理后的图像信号传输给显示屏9进行显示。
处理单元10还包括报警设备,报警设备通过电缆与中央处理器连接,报警设备包括报警灯和报警音响。
检测光路和测试光路上安装有遮光罩8,遮光罩8呈L型安装在底板2上,可以避免外界光线对设备的干扰。
设备使用时,该测振器安装在需要测量的设备上,当设备发生低频振动时,将导致光学***中各器件的振动,从而使测试光路和参考光路的光程发生改变,最终导致干涉条纹随着振动改变,在显示屏9上可观察到这种变化,从而判断出当前的振动情况。
中央处理器对干涉图像进行实时处理,在振动的漂移量达到设定的阈值时发出报警。中央处理器通过控制报警灯和报警音响的工作实现声光报警。对于不同的工作可以设置不同的阈值。
进行振动监测时,需将测振器显示屏9上的干涉条纹数调至3-4条,以便于观察。通过观察干涉条纹的漂移还可以判断测试***中的激光器1、光学***以及电源是否稳定。
Claims (6)
1.激光干涉低频测振器,其特征在于:包括光学***和检测***,所述光学***和检测***固定安装在底板上;所述光学***包括测试光路和参考光路,测试光路和参考光路产生干涉光;所述检测***接收干涉光并对接收的干涉光图像进行处理和显示。
2.根据权利要求1所述的激光干涉低频测振器,其特征在于:所述测试光路包括激光器、反射镜I、分束镜和反射镜II;测试光路中,激光器发出的激光经反射镜I进行90度反射后通过分束镜部分透射后由反射镜II原路返回,由反射镜II原路返回的激光由分束镜进行部分90度反射后形成检测光;参考光路包括反射镜III,激光器发出的激光经反射镜I进行90度反射后由分束镜进行部分90度反射,反射的激光再由反射镜III原路返回,由反射镜III原路返回的激光由分束镜部分透射后形成参考光,参考光和测试光形成干涉光。
3.根据权利要求2所述的激光干涉低频测振器,其特征在于:所述检测***包括检测镜头、CCD检测器以及处理单元,所述干涉光通过检测镜头后由CCD检测器进行采集,CCD检测器通过电缆与处理单元连接,将采集的干涉光信号传输给处理单元进行图像处理。
4.根据权利要求3所述的激光干涉低频测振器,其特征在于:所述处理单元包括中央处理器和用于为处理单元供电的电源模块,所述中央处理器还连接有显示屏,中央处理器将处理后的图像信号传输给显示屏进行显示。
5.根据权利要求4所述的激光干涉低频测振器,其特征在于:所述处理单元还包括报警设备,报警设备通过电缆与中央处理器连接,报警设备包括报警灯和报警音响。
6.根据权利要求1所述的激光干涉低频测振器,其特征在于:还包括用于避免外部光线干扰的遮光罩,所述遮光罩覆盖在光学***上。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201822193171.7U CN209910815U (zh) | 2018-12-25 | 2018-12-25 | 激光干涉低频测振器 |
PCT/CN2020/070191 WO2020135890A1 (zh) | 2018-12-25 | 2020-01-03 | 激光干涉低频测振器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201822193171.7U CN209910815U (zh) | 2018-12-25 | 2018-12-25 | 激光干涉低频测振器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN209910815U true CN209910815U (zh) | 2020-01-07 |
Family
ID=69028949
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201822193171.7U Active CN209910815U (zh) | 2018-12-25 | 2018-12-25 | 激光干涉低频测振器 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN209910815U (zh) |
WO (1) | WO2020135890A1 (zh) |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19522272A1 (de) * | 1995-06-20 | 1997-01-09 | Bosch Gmbh Robert | Laservibrometer für Schwingungsmessungen |
CN1110692C (zh) * | 1999-12-02 | 2003-06-04 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 半导体激光激振测振仪 |
CN101539454A (zh) * | 2009-04-01 | 2009-09-23 | 南京师范大学 | 半导体激光自混合干涉测振仪 |
CN101799318B (zh) * | 2010-03-22 | 2011-11-09 | 电子科技大学 | 一种激光零差测振光学*** |
CN101968380B (zh) * | 2010-09-26 | 2012-09-26 | 中国计量科学研究院 | 超低频振动计量器具校准***及其激光干涉仪 |
CN102401691B (zh) * | 2011-11-29 | 2013-01-23 | 中国工程物理研究院流体物理研究所 | 全光纤激光多普勒三维测振仪 |
CN102620811B (zh) * | 2012-03-29 | 2014-04-16 | 中国计量科学研究院 | 一种高精度外差激光测振仪 |
CN103308150B (zh) * | 2013-06-24 | 2016-01-13 | 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 | 一种全场激光测振*** |
CN103499384A (zh) * | 2013-09-25 | 2014-01-08 | 北京理工大学 | 一种新型双频激光外差干涉相位测振光路 |
CN103499385B (zh) * | 2013-09-25 | 2016-04-13 | 北京理工大学 | 一种高精度双频同时测量激光外差干涉相位测振光路 |
CN103674220B (zh) * | 2013-12-30 | 2015-07-15 | 上海理工大学 | 测振*** |
CN104316158A (zh) * | 2014-10-21 | 2015-01-28 | 四川大学 | 一种基于激光多普勒效应的外差干涉式测振仪 |
CN108955857B (zh) * | 2018-06-29 | 2024-03-26 | 余姚舜宇智能光学技术有限公司 | 一种基于光纤的外差干涉光路结构和激光测振仪 |
-
2018
- 2018-12-25 CN CN201822193171.7U patent/CN209910815U/zh active Active
-
2020
- 2020-01-03 WO PCT/CN2020/070191 patent/WO2020135890A1/zh active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2020135890A1 (zh) | 2020-07-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2972471B1 (en) | Lidar scanner | |
JP4524281B2 (ja) | リアルタイム振動イメージング方法及び装置 | |
CN105423958A (zh) | 一种多光轴平行度检测装置及检测方法 | |
CN201867370U (zh) | 炉膛燃烧激光检测*** | |
CN105486243A (zh) | 基于可见光成像技术的桥梁挠度监测*** | |
CN102589593A (zh) | 相位敏感式光时域反射传感***及方法 | |
US20170356792A1 (en) | Vibration visualizer, vibration measurement system, and vibration measurement method | |
CN104833816B (zh) | 基于旋转光栅的激光多普勒测速装置及其测速方法 | |
CN102243098B (zh) | 强激光器光束质量原位检测*** | |
CN106226782A (zh) | 一种大气风速分布探测的装置和方法 | |
CN102419247B (zh) | 高精度反射式光纤湍流检测装置及方法 | |
CN109443445A (zh) | 一种颗粒物在线监测装置与方法 | |
JP2020530571A (ja) | 高速レーザ測距装置 | |
CN110617876B (zh) | 电力设备异响定位方法 | |
CN113412413A (zh) | 用于对振动进行成像和感测的***和方法 | |
CN109085601B (zh) | 一种用于弹道靶的高速模型速度连续测量装置及方法 | |
CN209910815U (zh) | 激光干涉低频测振器 | |
CN204575216U (zh) | 分布式光纤温度测量装置 | |
CN102620810A (zh) | 低频微振动声光调制检测装置 | |
CN116772742B (zh) | 一种连铸方坯振痕深度测量方法 | |
CN103913217B (zh) | 基于psd激光三角法的提升机主轴振动检测方法 | |
CN203606585U (zh) | 一种电学检测设备及阵列检测*** | |
EP4127733B1 (en) | Vibration remote sensor based on speckles tracking, which uses an optical-inertial accelerometer, and method for correcting the vibrational noise of such a sensor | |
CN204788256U (zh) | 远距离基准激光位移传感器 | |
CN209117068U (zh) | 一种颗粒物在线监测装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |