CN209792056U - 玻璃基板的清洗装置 - Google Patents

Abstract

即使在使辊刷向与玻璃基板的输送方向相反的方向旋转的情况下，也能够抑制玻璃基板的挠曲等变形的玻璃基板的清洗装置。玻璃基板的清洗装置一边沿着输送方向输送玻璃基板，一边对其进行清洗，所述玻璃基板的清洗装置具备：输送部，其具有多根辊，多根辊通过被驱动旋转而在水平方向上输送所述玻璃基板；上侧辊刷，其用于清洗所述玻璃基板的上表面；下侧辊刷，其用于清洗所述玻璃基板的下表面；以及两端保持部即夹送辊，其配置在所述上侧辊刷的输送方向上的上游侧及下游侧，用于将所述玻璃基板的上表面侧的宽度方向两端部向下方按压。所述上侧辊刷及所述下侧辊刷向与所述玻璃基板的输送方向相反的方向旋转。

Description

玻璃基板的清洗装置

技术领域

本实用新型涉及玻璃基板的清洗装置的技术。

背景技术

一般情况下，在制造液晶显示器、有机EL显示器等平板显示器(FPD)用的玻璃基板时，在制造过程中，进行为了将附着于玻璃基板的表面(具体而言，玻璃面中的形成有电子功能元件等的有效面)的微小的玻璃片、灰尘等异物除去的清洗处理。由此，玻璃基板的表面被净化，在后续工序等中能够在玻璃基板的表面上精度良好地形成电子功能元件等。

例如，专利文献1公开有用于清洗玻璃板的上表面及下表面的玻璃板的清洗装置。

专利文献1公开的玻璃板的清洗装置具备：通过旋转驱动而将玻璃板在水平方向上输送的多根辊；通过旋转而清洗下表面的下侧辊刷；以及通过旋转而清洗上表面的上侧辊刷。

在由这样的玻璃板的清洗装置执行的清洗工序中，在由辊刷清洗玻璃板时，为了增加作用于玻璃板的摩擦力，一般情况下，使辊刷的旋转方向相对于玻璃板的行进方向(输送方向)进行反向旋转。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015-89546号公报

实用新型内容

实用新型要解决的课题

然而，在由上述的玻璃板的清洗装置使辊刷向与玻璃板的行进方向相反的方向旋转的情况下，在玻璃板上产生挠曲等变形，玻璃板有可能破损。即使在玻璃板不至于破损的情况下，玻璃板的行进速度也有时因上述的挠曲等变形而变慢，有时在多个玻璃板的输送时，在玻璃板之间的输送间隔产生差异。

因此，寻求即使在使辊刷向与玻璃的输送方向相反的方向旋转的情况下，也能够抑制玻璃基板的挠曲等变形的玻璃基板的清洗装置。

本实用新型是鉴于以上所示的现状的问题点而完成的，其课题在于提供即使在使辊刷向与玻璃基板的输送方向相反的方向旋转的情况下，也能够抑制玻璃基板的挠曲等变形的玻璃基板的清洗装置。

用于解决课题的方案

本实用新型要解决的课题如以上那样，接着对其用于解决课题的手段进行说明。

即，一种本实用新型的玻璃基板的清洗装置，其一边沿着输送方向输送玻璃基板一边对该玻璃基板进行清洗，其特征在于，所述玻璃基板的清洗装置具备：输送部，其具有多根输送辊，多根所述输送辊通过被驱动旋转而在水平方向上输送所述玻璃基板；上侧辊刷，其向与所述玻璃基板的输送方向相反的方向旋转，用于清洗所述玻璃基板的上表面；下侧辊刷，其向与所述玻璃基板的输送方向相反的方向旋转，用于清洗所述玻璃基板的下表面；以及两端保持部，其配置在所述上侧辊刷的输送方向的上游侧及下游侧，用于将所述玻璃基板的上表面侧的宽度方向两端部向下方按压。

根据由这样的结构构成的玻璃基板的清洗装置，即使在使上侧辊刷及下侧辊刷向与玻璃基板的输送方向相反的方向旋转的情况下，由于向下方按压由两端保持部保持的玻璃基板的上表面，因此能够抑制玻璃基板的挠曲等变形而保持良好的清洗能力。

另外，在本实用新型的玻璃基板的清洗装置中，优选的是，所述两端保持部是与所述输送辊一起夹着所述玻璃基板的夹送辊。

根据由这样的结构构成的玻璃基板的清洗装置，夹送辊仅与玻璃基板的宽度方向的一部分接触，因此不易在有效面附加因接触而产生的辊痕迹。

另外，在本实用新型的玻璃基板的清洗装置中，优选的是，所述夹送辊与所述输送部一体设置。

根据由这样的结构构成的玻璃基板的清洗装置，夹送辊与输送部一体化，因此夹送辊相对于输送辊的定位变得容易。由此，夹送辊相对于由输送辊输送的玻璃基板的定位也变得容易。

另外，在本实用新型的玻璃基板的清洗装置中，优选的是，所述玻璃基板的清洗装置还具备冲洗部，该冲洗部在所述上侧辊刷的下游侧所配置的两端保持部的下游侧，对所述玻璃基板喷射冲洗液。

根据由这样的结构构成的玻璃基板的清洗装置，能够通过喷射冲洗液将清洗时附着在玻璃基板的污渍等冲洗去除。

另外，在本实用新型的玻璃基板的清洗装置中，优选的是，玻璃基板的清洗装置还具备盘清洗部，该盘清洗部在所述上侧辊刷的上游侧所配置的两端保持部的上游侧，使盘状的清洗构件与所述玻璃基板接触，通过驱动所述盘状的清洗构件旋转而清洗所述玻璃基板。

根据由这样的结构构成的玻璃基板的清洗装置，玻璃基板的清洗装置还具备盘清洗部，该盘清洗部具有与辊刷形状不同的盘状垫，因此能够高效地去除附着在玻璃基板上的各种污渍。

另外，在本实用新型的玻璃基板的清洗装置中，优选的是，所述玻璃基板的清洗装置还具备辊刷清洗部，该辊刷清洗部在所述盘清洗部的上游侧利用辊刷清洗所述玻璃基板，所述辊刷清洗部具有：上侧辊刷，其向与所述玻璃基板的输送方向相反的方向旋转，用于清洗所述玻璃基板的上表面；下侧辊刷，其向与所述玻璃基板的输送方向相反的方向旋转，用于清洗所述玻璃基板的下表面；以及压辊，其在所述上侧辊刷及所述下侧辊刷的上游侧及下游侧夹持所述玻璃基板的两表面进行旋转。

根据由这样的结构构成的玻璃基板的清洗装置，即使在使上侧辊刷及下侧辊刷向与玻璃基板的输送方向相反的方向旋转的情况下，由于通过压辊夹持玻璃基板，因此也能够抑制玻璃基板的挠曲等变形而稳定地清洗。

实用新型效果

作为本实用新型的效果，达到以下所示的效果。

即，根据本实用新型的玻璃基板的清洗装置，即使在使辊刷与玻璃基板的输送方向相反地旋转的情况下，也能够抑制玻璃基板的挠曲等变形而保持良好的清洗能力。

附图说明

图1是示出本实用新型的一实施方式的玻璃基板的清洗装置的整体结构的示意俯视图。

图2是示出相同的玻璃基板的清洗装置的整体结构的示意侧视图。

图3是示出辊刷及夹送辊的示意侧视图。

附图标记说明：

1 清洗装置

30 下游侧辊刷清洗部

31 上侧辊刷

32 下侧辊刷

33 夹送辊(两端保持部)

50 输送部

G 玻璃基板。

具体实施方式

接着，关于本实用新型的实施方式的玻璃基板G的清洗装置1，使用图1至图3进行说明。

需要说明的是，为了方便起见，关于以下的说明，将图2、图3所示的上下方向规定为玻璃基板G的清洗装置1的上下方向进行表述。

另外，为了方便起见，关于以下的说明，将图1、图2及图3所示的前后方向规定为玻璃基板G的清洗装置1的前后方向进行表述。

另外，在图1、图2及图3中，将箭头F的方向规定为玻璃基板G的输送方向进行表述。

另外，为了方便起见，关于以下的说明，将与上下方向及前后方向正交的方向规定为玻璃基板G的清洗装置1的宽度方向进行表述。

另外，为了便于理解地说明图1至图3所示的玻璃基板G与清洗装置1的关系，为了方便起见，将玻璃基板G记载成比通常要厚的尺寸。

如图1所示，本实施方式的玻璃基板G的清洗装置1(以下，简称为清洗装置1)是一边将玻璃基板G沿着输送方向输送，一边通过旋转驱动机构驱动清洗构件旋转而对玻璃基板G的玻璃面的两表面(表面及背面)进行清洗的装置。

清洗装置1例如是用于清洗配置在玻璃基板G的制造装置(未图示)的输送装置的输送路径上且通过输送装置从输送方向的上游侧朝向下游侧(在图1、图2中是从图中右侧朝向左侧)以水平状态(也包括0～10°的倾斜状态)进行输送的矩形形状的玻璃基板G的玻璃面的两表面(表面及背面)的装置。

需要说明的是，在清洗装置1的上游侧，设有对玻璃基板G实施切断加工、端面加工等各种加工的加工装置等(未图示)，在清洗装置1的下游侧设有进行玻璃基板G的检查等的检查装置(未图示)。由包括这些加工装置、清洗装置1、检查装置等的整体构成玻璃基板G的制造装置。

清洗装置1是执行清洗处理的装置，该清洗处理用于除去经由设于上游侧的各种加工工序而附着在玻璃基板G的玻璃面的表面及背面的微小的玻璃粉、灰尘等异物。

如图1、图2所示，清洗装置1在输送方向上从上游侧依次具备上游侧辊刷清洗部10、盘清洗部20、下游侧辊刷清洗部30、冲洗部40及输送部50。清洗装置1在通过输送部50所具有的多个输送辊2将玻璃基板G沿着输送方向输送的同时，执行上游侧辊刷清洗部10、盘清洗部20、下游侧辊刷清洗部30、冲洗部40的各部分的工序。在本实施方式中，在多个输送辊2之中，具有任意数量的驱动辊2a及从动辊。

另外，在图1所示的清洗装置1中，省略在图2所示的玻璃基板G的下表面侧配置的多个输送辊及后述的供液机构(例如，喷嘴等)的图示，而图示在玻璃基板G的上表面侧配置的多个清洗构件、夹送辊、压辊等。

通过玻璃基板G的加工装置(未图示)加工而得到的玻璃基板G通过制造装置所具有的输送装置而沿着由箭头F所示的输送方向在水平方向上被输送，并送入设置在清洗装置1的上游侧的上游侧辊刷清洗部10。

上游侧辊刷清洗部10具备：上侧辊刷11；下侧辊刷12；相对于玻璃基板G上下对置地配置的压辊13、13；分别驱动上侧辊刷11、下侧辊刷12及压辊13、13旋转的旋转驱动机构(未图示)；以及供液机构3。

上侧辊刷11是清洗玻璃基板G的上表面(表面)的清洗构件。如图2所示，上侧辊刷11向与玻璃基板G的输送方向相反的方向即箭头A方向旋转。

下侧辊刷12是清洗玻璃基板G的下表面(背面)的清洗构件。下侧辊刷12与上侧辊刷11对置地配置，如图2所示，下侧辊刷12向与玻璃基板G的输送方向相反的方向即箭头B方向旋转。

上侧辊刷11及下侧辊刷12位于玻璃基板G的玻璃基板G的上下，以各个旋转轴11a、12a在铅垂方向上上下排列的方式配置。即，上侧辊刷11及下侧辊刷12配置成在玻璃基板G的上表面侧(表面侧)与下表面侧(背面侧)成为一对。成为一对的上侧辊刷11及下侧辊刷12成为在厚度方向上夹入玻璃基板G的形态。上侧辊刷11及下侧辊刷12具有同一直径及同一的宽度方向长度。上侧辊刷11及下侧辊刷12借助旋转驱动机构而绕沿着玻璃基板G的宽度方向延伸的各旋转轴11a、12a旋转，由此能够在玻璃基板G的上表面及下表面的整个宽度进行清洗。

压辊13、13是配置在上侧辊刷11及下侧辊刷12的输送方向的上游侧及下游侧且在玻璃基板G的两表面侧的宽度方向上夹持玻璃基板G的构件。压辊13具有沿着玻璃基板G的宽度方向延伸的旋转轴部13a、以及与玻璃基板G接触的、比旋转轴部13a大径且比玻璃基板G的宽度尺寸长的圆柱状的接触部13b。接触部13b的外周面成为与玻璃基板G接触的接触面。

压辊13、13成为配置在上侧辊刷11及下侧辊刷12的输送方向的上游侧和下游侧，且将玻璃基板G从上下夹入压辊13、13的接触部13b、13b彼此之间的形态。压辊13、13一边夹持玻璃基板G的两表面，一边通过旋转驱动机构向与输送方向相同的方向旋转，以便将玻璃基板G沿着输送方向稳定地输送。由此，即使在使上侧辊刷11及下侧辊刷12沿着与玻璃基板G的输送方向相反的方向进行旋转的情况下，由于通过压辊13、13夹持玻璃基板G，因此也能够抑制玻璃基板G的挠曲等变形而保持良好的清洗能力。

供液机构3沿着输送路径与玻璃基板G的上下对置地配置有多个，作为清洗液将例如纯水、混合有洗涤剂的水等向玻璃基板G的上表面侧及下表面侧供给。

需要说明的是，供液机构3在上游侧辊刷清洗部10、盘清洗部20、下游侧辊刷清洗部30的各部分处设置在玻璃基板G的上方及下方。

由上游侧辊刷清洗部10清洗后的玻璃基板G通过输送部50从上游侧辊刷清洗部10向盘清洗部20输送。

盘清洗部20具备：呈盘形状的多个清洗构件21、21……；对多个清洗构件21、21……分别进行支承的旋转轴22、22……；对旋转轴22、22………分别进行驱动的旋转驱动机构(未图示)；以及上述的供液机构3。

清洗构件21具有与玻璃基板G的玻璃面对置配置的由弹性体构成的清洗垫(未图示)。清洗构件21、21……沿着玻璃基板G的宽度方向排列成多列(在本实用新型中为两列)地配置。多个清洗构件21、21…为了清洗玻璃基板G的玻璃面的表面侧及背面侧(上表面侧及下表面侧)而隔着玻璃基板G在上下对置配置。

盘清洗部20使清洗构件21所具有的清洗垫与通过输送部50输送的玻璃基板G接触，且通过供液机构3向玻璃基板的上表面及下表面供给清洗液并进行旋转驱动，由此能够清洗玻璃基板G的上表面及下表面。盘清洗部20也可以是代替供液机构3而在清洗构件21的旋转中心轴上设置清洗液的供给孔，从而从旋转轴22供给清洗液的结构。

另外，通过还设置具有与辊刷形状不同的盘状垫即清洗构件21的盘清洗部20，能够高效地去除附着在玻璃基板G的各种污渍。

在盘清洗部20的清洗后，通过输送部50将玻璃基板G从盘清洗部20向下游侧辊刷清洗部30输送。

下游侧辊刷清洗部30具备：上侧辊刷31；下侧辊刷32；两端保持部即夹送辊33、33；分别驱动上侧辊刷31、下侧辊刷32及夹送辊33、33旋转的旋转驱动机构(未图示)；分别与夹送辊33、33对置地配置的驱动辊2a、2a；以及供液机构3。

上侧辊刷31是清洗玻璃基板G的上表面(表面)的清洗构件。如图2、图3所示，上侧辊刷31向与玻璃基板G的输送方向相反的方向即箭头A方向旋转。

下侧辊刷32是清洗玻璃基板G的下表面(背面)的清洗构件。下侧辊刷32与上侧辊刷31对置地配置，如图2、图3所示，向与玻璃基板G的输送方向相反的方向即箭头B方向旋转。

上侧辊刷31及下侧辊刷32位于玻璃基板G的上下，以各个旋转轴31a、32a在铅垂方向上上下排列的方式配置。即，上侧辊刷31及下侧辊刷32配置成在玻璃基板G的上表面侧(表面侧)与下表面侧(背面侧)成为一对。成为一对的上侧辊刷31及下侧辊刷32成为在厚度方向上夹入玻璃基板G的形态。上侧辊刷31及下侧辊刷32具有相同直径及相同的宽度方向长度。上侧辊刷31及下侧辊刷32借助旋转驱动机构而绕沿着玻璃基板G的宽度方向延伸的各旋转轴31a、32a旋转，由此能够在玻璃基板G的上表面及下表面的整个宽度进行清洗。

夹送辊33、33是配置在上侧辊刷31的输送方向的上游侧及下游侧，将玻璃基板G的上表面侧的宽度方向两端部向下方按压的构件。夹送辊33具有沿着玻璃基板G的宽度方向延伸的旋转轴部33a、以及与玻璃基板G接触的、比旋转轴部33a大径且呈圆板状的接触部33b、33b。接触部33b的外周面成为与玻璃基板G接触的接触面。

夹送辊33、33成为在隔着玻璃基板G而对置的位置配置输送部50的驱动辊2a、2a，且由夹送辊33、33的接触部33b与驱动辊2a、2a将玻璃基板G从上下夹入的形态。夹送辊33、33一边按压玻璃基板G的上表面一边通过旋转驱动机构向与输送方向相同的方向旋转，以便将玻璃基板G沿着输送方向稳定地输送。由此，即使在使上侧辊刷31及下侧辊刷32向与玻璃基板G的输送方向相反的方向旋转的情况下，由于通过夹送辊33、33将玻璃基板G的上表面向下方按压，因此能够抑制玻璃基板G的挠曲等变形而保持良好的清洗能力。

另外，夹送辊33、33由于仅与玻璃基板G的宽度方向的一部分接触，因此具有不易在上表面侧(有效面侧)附加因接触而产生的辊痕这样的优点。

在本实施方式中，将两个夹送辊33在输送方向上配置在上侧辊刷31的上游侧和下游侧，但是即使配置在上游侧和下游侧中的至少一方的情况下，也能够达到实用新型的效果。

夹送辊33、33的相对于玻璃基板G的接触压力比上侧辊刷11及下侧辊刷12的相对于玻璃基板G的接触压力高。由此，即使玻璃基板G欲因上侧辊刷31及下侧辊刷32的旋转而产生变形，也能够克服该力而稳定地输送玻璃基板G。

另外，夹送辊33、33一体地设置于输送部50的上部的规定位置。由此，夹送辊33、33与输送部50一体化，因此夹送辊33、33相对于玻璃基板G的定位变得容易。

需要说明的是，在玻璃基板G的板厚为0.2mm以上的情况下，优选的是，上侧辊刷31及下侧辊刷32的旋转方向相对于玻璃基板G的输送方向都为反向旋转方向。

另一方面，在玻璃基板G的板厚小于0.2mm的情况下，优选的是，对于一个玻璃基板G而适当变更上侧辊刷31及下侧辊刷32的旋转方向。具体而言，优选的是，在输送中的玻璃基板G的上游侧端部进入上侧辊刷31与下侧辊刷32之间后，在该玻璃基板G的上游侧端部从上侧辊刷31及下侧辊刷32的各旋转轴31a、32a起沿着输送方向到达20mm之前，上侧辊刷31及下侧辊刷32的旋转方向设为与玻璃基板G的输送方向相同的方向，从该20mm以后使旋转方向相反，设成与玻璃基板G的输送方向相反的旋转方向。

由此，当玻璃基板G的上游侧端部进入上侧辊刷31与下侧辊刷32之间时，能够向上侧辊刷31与下侧辊刷32之间顺畅地引导玻璃基板G，当在上侧辊刷11与下侧辊刷12之间夹入规定长度(例如20mm)时，为了提高清洗能力使旋转方向相反，从而相对于玻璃基板G的输送方向而设为反向，由此能够提高清洗能力。

在下游侧辊刷清洗部30的玻璃基板G的清洗后，通过输送部50将玻璃基板G从下游侧辊刷清洗部30向冲洗部40输送。

冲洗部40具有朝向由输送部50输送的玻璃基板G的上表面及下表面喷射冲洗液的多个供液机构即喷嘴4。由此，能够在清洗时通过从喷嘴4喷射冲洗液而冲洗去除附着于玻璃基板G上的污渍等。作为冲洗液，例如可以使用纯水、混合有洗涤剂的水等。

输送部50具备：输送辊2，其具有多根驱动辊2a及从动辊；以及旋转驱动机构(未图示)，其驱动驱动辊2a旋转。输送部50能够通过使旋转驱动机构进行旋转驱动而将璃基板G在水平方向上输送。输送辊2也可以全部都是驱动辊2a。

如以上那样，根据本实用新型，即使在使辊刷向与玻璃基板的输送方向相反的方向旋转的情况下，也能够抑制玻璃基板的挠曲等变形而保持良好的清洗能力。

产业上的可利用性

本实用新型的玻璃基板的清洗装置例如能够在玻璃基板的制造工序中清洗附着在玻璃基板的两表面的污渍等。

Claims (6)

1.一种玻璃基板的清洗装置，其一边沿着输送方向输送玻璃基板一边对该玻璃基板进行清洗，其特征在于，

所述玻璃基板的清洗装置具备：

输送部，其具有多根输送辊，多根所述输送辊通过被驱动旋转而在水平方向上输送所述玻璃基板；

上侧辊刷，其向与所述玻璃基板的输送方向相反的方向旋转，用于清洗所述玻璃基板的上表面；

下侧辊刷，其向与所述玻璃基板的输送方向相反的方向旋转，用于清洗所述玻璃基板的下表面；以及

两端保持部，其配置在所述上侧辊刷的输送方向的上游侧及下游侧，用于将所述玻璃基板的上表面侧的宽度方向两端部向下方按压。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板的清洗装置，其特征在于，

所述两端保持部是与所述输送辊一起夹着所述玻璃基板的夹送辊。

3.根据权利要求2所述的玻璃基板的清洗装置，其特征在于，

所述夹送辊与所述输送部一体设置。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的玻璃基板的清洗装置，其特征在于，

所述玻璃基板的清洗装置还具备冲洗部，该冲洗部在所述上侧辊刷的下游侧所配置的所述两端保持部的下游侧，对所述玻璃基板喷射冲洗液。

5.根据权利要求4所述的玻璃基板的清洗装置，其特征在于，

所述玻璃基板的清洗装置还具备盘清洗部，该盘清洗部在所述上侧辊刷的上游侧所配置的两端保持部的上游侧，使盘状的清洗构件与所述玻璃基板接触，通过驱动所述盘状的清洗构件旋转而清洗所述玻璃基板。

6.根据权利要求5所述的玻璃基板的清洗装置，其特征在于，

所述玻璃基板的清洗装置还具备辊刷清洗部，该辊刷清洗部在所述盘清洗部的上游侧利用辊刷清洗所述玻璃基板，

所述辊刷清洗部具有：

上侧辊刷，其向与所述玻璃基板的输送方向相反的方向旋转，用于清洗所述玻璃基板的上表面；

下侧辊刷，其向与所述玻璃基板的输送方向相反的方向旋转，用于清洗所述玻璃基板的下表面；以及

压辊，其在所述上侧辊刷及所述下侧辊刷的上游侧及下游侧夹持所述玻璃基板的两表面进行旋转。