CN209571398U - 一种用于玻璃晶圆的智能搬运装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于玻璃晶圆的智能搬运装置，包括第一支撑板，第一支撑板的顶端侧壁固定有气缸，气缸的活塞杆穿过第一支撑板固定有第二支撑板，第二支撑板的底端侧壁开设有第一凹槽，第一凹槽的一侧侧壁固定有旋转电机，旋转电机的输出轴通过联轴器固定有转轴，转轴远离旋转电机的一端延伸至第一凹槽外部固定有第三支撑板，第三支撑板的两端均开设有第二凹槽，第二凹槽的一侧侧壁固定有推杆电机，推杆电机的输出轴延伸至第二凹槽外部固定有第一连接板。本实用新型本实用新型能够对晶圆进行智能搬运，能够对不同大小的晶圆进行搬运，提高了实用性，而且能够根据不同距离进行调节下料搬运距离，提高了便捷性。

Description

一种用于玻璃晶圆的智能搬运装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆技术领域，尤其涉及一种用于玻璃晶圆的智能搬运装置。

背景技术

现在的晶圆生产完成后，往往是人工进行下料搬运，人工下料效率低，同时，对人工要求量大，降低了实用性，为此，我们提出了一种用于玻璃晶圆的智能搬运装置。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种用于玻璃晶圆的智能搬运装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种用于玻璃晶圆的智能搬运装置，包括第一支撑板，所述第一支撑板的顶端侧壁固定有气缸，气缸的活塞杆穿过第一支撑板固定有第二支撑板，第二支撑板的底端侧壁开设有第一凹槽，第一凹槽的一侧侧壁固定有旋转电机，旋转电机的输出轴通过联轴器固定有转轴，转轴远离旋转电机的一端延伸至第一凹槽外部固定有第三支撑板，第三支撑板的两端均开设有第二凹槽，所述第二凹槽的一侧侧壁固定有推杆电机，推杆电机的输出轴延伸至第二凹槽外部固定有第一连接板，第一连接板的底端侧壁固定有垂直设置的第二连接板，第二连接板的底端侧壁固定有真空吸盘，所述第二连接板的一侧侧壁固定有真空泵，且真空泵与真空吸盘连接。

优选的，所述第二支撑板的底端侧壁开设有环形结构的滑槽，滑槽上滑动连接有滑柱，滑柱远离滑槽的一端与第三支撑板顶端侧壁固定，且滑柱与第三支撑板之间垂直设置。

优选的，所述第二支撑板的一侧侧壁固定有控制箱，控制箱的内部设置有单片机。

优选的，所述单片机的输入端连接有输入屏，所述单片机的输出端连接有气缸、旋转电机以及真空泵。

优选的，所述第三支撑板的顶端侧壁固定有对称设置的导向板，导向板的底端侧壁滑动连接有滑块，所述滑块远离导向板的一端与第一连接板顶端侧壁固定。

本实用新型有益效果是：

1：通过设置的气缸、第一支撑板、第二支撑板、旋转电机、第一连接板、第二连接板、控制箱、真空泵以及真空吸盘之间的配合，能够对晶圆进行智能搬运，能够对不同大小的晶圆进行搬运，提高了实用性；

2：通过设置的推杆电机、导向板、滑块之间的配合，能够根据不同距离进行调节下料搬运距离，提高了便捷性；

本实用新型能够对晶圆进行智能搬运，能够对不同大小的晶圆进行搬运，提高了实用性，而且能够根据不同距离进行调节下料搬运距离，提高了便捷性。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种用于玻璃晶圆的智能搬运装置的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种用于玻璃晶圆的智能搬运装置的A部分放大结构示意图；

图3为本实用新型提出的一种用于玻璃晶圆的智能搬运装置的第二支撑板底部侧壁结构示意图。

图中：1第一支撑板、2气缸、3第二支撑板、4第一凹槽、5旋转电机、6第三支撑板、7第二凹槽、8推杆电机、9第一连接板、10第二连接板、11真空吸盘、12真空泵、13滑槽、14滑柱、15控制箱、16导向板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

参照图1-3，一种用于玻璃晶圆的智能搬运装置，包括第一支撑板1，第一支撑板1的顶端侧壁固定有气缸2，气缸2的活塞杆穿过第一支撑板1固定有第二支撑板3，第二支撑板3的底端侧壁开设有第一凹槽4，第一凹槽4的一侧侧壁固定有旋转电机5，旋转电机5的输出轴通过联轴器固定有转轴，转轴远离旋转电机5的一端延伸至第一凹槽4外部固定有第三支撑板6，第三支撑板6的两端均开设有第二凹槽7，第二凹槽7的一侧侧壁固定有推杆电机8，推杆电机8的输出轴延伸至第二凹槽7外部固定有第一连接板9，第一连接板9的底端侧壁固定有垂直设置的第二连接板10，第二连接板10的底端侧壁固定有真空吸盘11，第二连接板10的一侧侧壁固定有真空泵12，且真空泵12与真空吸盘11连接。

第二支撑板3的底端侧壁开设有环形结构的滑槽13，滑槽13上滑动连接有滑柱14，滑柱14远离滑槽13的一端与第三支撑板6顶端侧壁固定，且滑柱14与第三支撑板6之间垂直设置，第二支撑板3的一侧侧壁固定有控制箱15，控制箱15的内部设置有单片机，单片机的输入端连接有输入屏，单片机的输出端连接有气缸2、旋转电机5以及真空泵12，第三支撑板6的顶端侧壁固定有对称设置的导向板16，导向板16的底端侧壁滑动连接有滑块，滑块远离导向板16的一端与第一连接板9顶端侧壁固定。

工作原理：当对晶圆进行下料搬运时，将第一支撑板1通过机械方式进行固定在指定位置，当对不同距离的位置进行搬运时，通过启动推杆电机8，推杆电机8推动第一连接板9，第一连接板9带动第二连接板10，第二连接板10带动真空吸盘11移动，调节位置，两个真空吸盘11位置对称设置，然后通过对输入屏输入指定程序，MSP430型号的单片机首先控制气缸2向下推动第二支撑板3一定距离后，使其中一个真空吸盘11吸住晶圆顶部，气缸2带动第二支撑板3向上移动，然后单片机控制旋转电机5进行旋转指定角度，使晶圆位于放置位置上方，然后气缸2继续推动第二支撑板3向下移动，使晶圆位于指定位置后，单片机控制真空泵12，使真空吸盘11放开晶圆，完成智能下料搬运，该设计简单快捷，能够对晶圆进行智能搬运，能够对不同大小的晶圆进行搬运，提高了实用性，而且能够根据不同距离进行调节下料搬运距离，提高了便捷性。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种用于玻璃晶圆的智能搬运装置，包括第一支撑板，其特征在于，所述第一支撑板的顶端侧壁固定有气缸，气缸的活塞杆穿过第一支撑板固定有第二支撑板，第二支撑板的底端侧壁开设有第一凹槽，第一凹槽的一侧侧壁固定有旋转电机，旋转电机的输出轴通过联轴器固定有转轴，转轴远离旋转电机的一端延伸至第一凹槽外部固定有第三支撑板，第三支撑板的两端均开设有第二凹槽，所述第二凹槽的一侧侧壁固定有推杆电机，推杆电机的输出轴延伸至第二凹槽外部固定有第一连接板，第一连接板的底端侧壁固定有垂直设置的第二连接板，第二连接板的底端侧壁固定有真空吸盘，所述第二连接板的一侧侧壁固定有真空泵，且真空泵与真空吸盘连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于玻璃晶圆的智能搬运装置，其特征在于，所述第二支撑板的底端侧壁开设有环形结构的滑槽，滑槽上滑动连接有滑柱，滑柱远离滑槽的一端与第三支撑板顶端侧壁固定，且滑柱与第三支撑板之间垂直设置。

3.根据权利要求1所述的一种用于玻璃晶圆的智能搬运装置，其特征在于，所述第二支撑板的一侧侧壁固定有控制箱，控制箱的内部设置有单片机。

4.根据权利要求3所述的一种用于玻璃晶圆的智能搬运装置，其特征在于，所述单片机的输入端连接有输入屏，所述单片机的输出端连接有气缸、旋转电机以及真空泵。

5.根据权利要求1所述的一种用于玻璃晶圆的智能搬运装置，其特征在于，所述第三支撑板的顶端侧壁固定有对称设置的导向板，导向板的底端侧壁滑动连接有滑块，所述滑块远离导向板的一端与第一连接板顶端侧壁固定。