CN209481790U - 一种防止前驱体液滴进入管线或腔体的源瓶 - Google Patents
一种防止前驱体液滴进入管线或腔体的源瓶 Download PDFInfo
- Publication number
- CN209481790U CN209481790U CN201920030014.6U CN201920030014U CN209481790U CN 209481790 U CN209481790 U CN 209481790U CN 201920030014 U CN201920030014 U CN 201920030014U CN 209481790 U CN209481790 U CN 209481790U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- isolated area
- partition
- isolated
- cavity
- divided
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Details Of Rigid Or Semi-Rigid Containers (AREA)
Abstract
本实用新型提供一种防止前驱体液滴进入管线或腔体的源瓶，在源瓶中用增加隔板形成隔离区，隔离区成为一个过渡缓冲空间，收集前一步骤产生的液体并可释放前驱体蒸汽到反应腔体中，从而有效避免或减少前驱体液体被带入气体管路或反应腔体。
Description
【技术领域】
本发明属于薄膜制备领域，尤其涉及一种防止前驱体液滴进入管线或腔体的源瓶。
【背景技术】
原子层沉积是当前制备高质量薄膜的主要方法。源瓶是用于存放前驱体材料的装置。在沉积过程中，前驱体的蒸汽从源瓶中以脉冲形式输送到反应腔体中，在衬底上发生反应，生成单原子层薄膜。
对于不同的前驱体材料(液相，或通过加热方式使其成为液相)，由于饱和蒸气压的不同，蒸汽的输送方式也不同，大致可以分为三种：
1.蒸汽抽吸方式，通过直接打开瓶口阀门释放蒸汽，注入反应腔(如图1所示)，一般适用于饱和蒸气压较高的前驱体；
2.气体鼓泡方式，采用鼓泡方式增加蒸汽的产生量，然后再释放蒸汽，注入反应腔(如图2所示)，一般适用于饱和蒸气压偏低的前驱体；
3.直接液体注入方式，将液态前驱体通过喷嘴气化液体，然后释放并注入反应腔(如图3所示)，一般适用于饱和蒸气压偏低或很低的前驱体。
针对第二种蒸汽输送方式，在工业生产过程中，为了提高原子层沉积的速率，会尽量缩短前驱体输送的脉冲时间，为此，必须增加源瓶中的前驱体蒸汽。为增加源瓶内前驱体蒸汽，一般采用两种方式或两种方式同时采用：
(1)提高源瓶温度(但不能无限增加，否则前驱体会在瓶内分解，无法使用)；
(2)增加载气量，产生更多气泡，从而产生更多蒸汽。
在采用增加载气量的方式时(方式(2))，当载气量达到一定量时，会产生大量前驱体液滴，并随载气带入气体输送管线甚至于反应腔(如图4所示)，造成包括前驱体用量增加、管路堵塞、腔体中产生微粒、吹扫步骤时间增长等等现象，进而导致成本增加、设备停工、薄膜性能下降、沉积速率降低等不良后果。因此，如何在增加载气量的情况下、避免或减少前驱体液滴被带入管线和腔体，是目前需要克服的困难之一。然而，在目前源瓶设计的改进中，如CN205979155U、CN102703882A、CN103710683B 等，分别从设置瓶体内部U型底部和隔膜阀、改善进气和出气结构、连通若干带有一定对应关系气孔的鼓泡管等途径进行了改进，但均尚未提出解决前述问题的有效方法。
【发明内容】
本发明提供一种用于盛放前驱体的源瓶，能够防止或者减少前驱体液滴进入后续的管线或腔体。
本发明的技术解决方案如下：
一种防止前驱体液滴进入管线或腔体的源瓶，包括形成容置腔的瓶体、进气管和出气管，其特征在于，还包括将容置腔分成不同隔离区的隔板，所述进气管和出气管分别位于不同的隔离区，不同隔离区之间通过连通管形成气体连通的通路。在源瓶中用增加隔板将容置腔分成不同的隔离区，隔离区成为一个过渡缓冲空间，收集前一步骤产生的液体并可释放前驱体蒸汽通过进气管到反应腔体中，从而有效降低/避免前驱体液体被带入气体管路或反应腔体，即使在增加载气量的情况下也能实现防止前驱体液滴进入后续管线或腔体的作用，提高沉积速率。
进一步的，上述隔板与瓶体的底部之间存在供液体连通的间隙，该间隙可以保证源瓶的液体总容量不会降低，保证源瓶的总容积不会受影响(不会因为增加隔离区而减小源瓶盛放前驱体的量)。
进一步的，上述隔板与瓶体的顶盖之间形成无法通过液体和气体的连接，可通过焊接或者插接+粘结的方式制成，形成有效的隔离区。
进一步的，上述隔板包括至少一个主隔板和至少一个副隔板；由所述主隔板分成的不同的隔离区通过设置于瓶体顶盖的连通管形成气体连通的通路，所述副隔板与所述瓶体的底部之间存在供气体连通的间隙。副隔板可用可不用，但副隔板可以进一步降低液滴被带入管线的可能性。在使用状态时，主隔板的底端始终保持在前驱体液面之下，副隔板的底端始终保持在前驱体液面之上；由主隔板分成的相邻两个隔离区之间液体可以流通且仅液体可以流通，由副隔板分成的相邻两个隔离区之间气体可以流通且仅气体可以流通；主隔板分成的不同的隔离区之间的气体流通需要通过设置于瓶体顶盖的连通管实现。
进一步的，上述副隔板的底端高于最大安全容量的前驱体初始液面1cm或更高。副隔板的最终高度根据最终液体的注入量决定，一般高于初始液面2cm。
进一步的，上述连通管为倒“U”形连通管。设置于源瓶顶盖的连通管，以倒“U”形连通管加工最为简单、气密性最易实现。
进一步的，上述瓶体的底部设置有凹坑或凹槽，进气管的底端位于所述凹坑或凹槽内，主隔板的底端与进气管的底端齐平或者低于所述进气管的底端。为了保证前驱体尽可能地用完而不浪费，源瓶的瓶体会在底部设置一低凹处，进气管的底端接近于低凹处，由于主隔板分成的两个隔离区之间底部液体连通，为了不影响前驱体的有效用量，在主隔板的底端对应的位置，也应设计相应的低凹处，使得主隔板的底端与进气管的底端齐平甚至于更低一些。上述低凹处可以为突变的凹坑或凹槽，也可以是等同功能的平滑实现的弧形结构或者斜边构成的凹进，以高度差实现液体汇集功能为评判依据。
具体在一个实施例中，所述隔板包括一个主隔板和一个副隔板，所述主隔板将容置腔分为第一隔离区和第二隔离区，连接于所述主隔板的所述副隔板将所述第二隔离区分为第三隔离区和和第四隔离区；所述进气管与所述第一隔离区连通，所述第一隔离区与所述第三隔离区通过设置于所述瓶体顶盖的倒“U”形连通管连通，所述第三隔离区与所述第四隔离区通过设置于所述瓶体顶盖的倒“U”形连通管连通，所述第四隔离区与所述出气管连通。
具体在又一个实施例中，所述隔板包括平行设置的第一主隔板和第二主隔板以及平行设置的第一副隔板和第二副隔板，所述第一主隔板将容置腔分为第一隔离区和第二隔离区，所述第二主隔板将第二隔离区分为第五隔离区和第六隔离区，所述第一副隔板将第五隔离区分为第七隔离区和第八隔离区，第二副隔板将第六隔离区分为第九隔离区和第十隔离区；所述进气管与所述第一隔离区连通，所述第一隔离区与所述第七隔离区、所述第八隔离区与所述第九隔离区均通过设置于所述瓶体顶盖的倒“U”形连通管连通，所述第十隔离区与所述出气管连通。
具体在又一个实施例中，所述隔板包括相交设置的第一主隔板的第二主隔板以及第一副隔板和第二副隔板，所述第一主隔板将容置腔分为第一隔离区和第二隔离区，所述第二主隔板将第二隔离区分为第五隔离区和第六隔离区，与所述第一主隔板和第二主隔板相交处连接的所述第一副隔板将第五隔离区分为第七隔离区和第八隔离区，第二副隔板将第六隔离区分为第九隔离区和第十隔离区；所述进气管与所述第一隔离区连通，所述第一隔离区与所述第七隔离区、所述第八隔离区与所述第九隔离区均通过设置于所述瓶体顶盖的倒“U”形连通管连通，所述第十隔离区与所述出气管连通。
本发明的有益效果如下：
本发明能够防止或者减少前驱体液滴进入后续的管线或腔体，即使在增加载气量的情况下，也能有效地会阻止大量前驱体液滴跟随载气带入气体输送管线甚至于反应腔，不会由于增加载气量而造成包括前驱体用量增加、管路堵塞、腔体中产生微粒、吹扫步骤时间增长等等不良后果，最终实现降低成本、提高沉积速率的目的。
【附图说明】
图1为应用于蒸汽抽吸方式的前驱体源瓶的示意图；
图2为应用于气体鼓泡方式的前驱体源瓶的示意图；
图3为应用于直接液体注入方式的前驱体源瓶的示意图；
图4为现有源瓶的使用状态示意图；
图5为实施例一的源瓶的侧面内部结构示意图；
图6为实施例一的源瓶的俯视内部结构示意图；
图7为实施例二的源瓶的俯视内部结构示意图；
图8为实施例三的源瓶的俯视内部结构示意图。
标注说明：
1，实施例一的主隔板；2，实施例一的副隔板；101，实施例一的第一隔离区；102，实施例一的第二隔离区；103，实施例一的第三隔离区；104，实施例一的第四隔离区104； 211，实施例二的第一主隔板；212，实施例二的第二主隔板；221，实施例二的第一副隔板；222，实施例二的第二副隔板；201，实施例二的第一隔离区；202，实施例二的第二隔离区；205，实施例二的第五隔离区；206，实施例二的第六隔离区；207，实施例二的第七隔离区；208，实施例二的第八隔离区；209，实施例二的第九隔离区；210，实施例二的第十隔离区；311，实施例三的第一主隔板；312，实施例三的第二主隔板； 321，实施例三的第一副隔板；322，实施例三的第二副隔板；301，实施例三的第一隔离区；302，实施例三的第二隔离区；305，实施例三的第五隔离区；306，实施例三的第六隔离区；307，实施例三的第七隔离区307；308，实施例三的第八隔离区；309，实施例三的第九隔离区；310，实施例三的第十隔离区；3，连通管；4，进气管；5，出气管。
【具体实施方式】
下面用具体实施例对本发明做进一步详细说明，但本发明不仅局限于以下具体实施例。
一种防止前驱体液滴进入管线或腔体的源瓶，包括形成容置腔的瓶体、进气管和出气管，其特征在于，还包括将容置腔分成不同隔离区的隔板，所述进气管和出气管分别位于不同的隔离区，不同隔离区之间通过连通管形成气体连通的通路。在源瓶中用增加隔板将容置腔分成不同的隔离区，隔离区成为一个过渡缓冲空间，收集前一步骤产生的液体并可释放前驱体蒸汽通过进气管到反应腔体中，从而有效降低/避免前驱体液体被带入气体管路或反应腔体，即使在增加载气量的情况下也能实现防止前驱体液滴进入后续管线或腔体的作用，提高沉积速率。隔板的形状包括但不限于平面、柱面或者其他不规则面，如波浪形、多平面连接，能实现空间隔离功能即可。
进一步的，上述隔板与瓶体的底部之间存在供液体连通的间隙，该间隙可以保证源瓶的液体总容量不会因为增加隔离区而降低。
进一步的，上述隔板与瓶体的顶盖之间形成无法通过液体和气体的连接，可通过焊接或者插接+粘结的方式制成，形成有效的隔离区。
进一步的，上述隔板包括至少一个主隔板和至少一个副隔板；由所述主隔板分成的不同的隔离区通过设置于瓶体顶盖的连通管形成气体连通的通路，所述副隔板与所述瓶体的底部之间存在供气体连通的间隙。副隔板可用可不用，但副隔板可以进一步降低液滴被带入管线的可能性。在使用状态时，主隔板的底端始终保持在前驱体液面之下，副隔板的底端始终保持在前驱体液面之上；由主隔板分成的相邻两个隔离区之间液体可以流通且仅液体可以流通，由副隔板分成的相邻两个隔离区之间气体可以流通且仅气体可以流通；主隔板分成的不同的隔离区之间的气体流通需要通过设置于瓶体顶盖的连通管实现。
进一步的，上述副隔板的底端高于最大安全容量的前驱体初始液面1cm或更高。副隔板的最终高度根据最终液体的注入量决定，一般高于初始液面2cm。
进一步的，上述连通管为倒“U”形连通管。设置于瓶底顶盖的连通管，以倒“U”形连通管加工最为简单、气密性最易实现。
进一步的，上述瓶体的底部设置有凹坑或凹槽，进气管的底端位于所述凹坑或凹槽内，主隔板的底端与进气管的底端齐平或者低于所述进气管的底端。为了保证前驱体尽可能地用完而不浪费，源瓶的瓶体会在底部设置一低凹处，进气管的底端接近于低凹处，由于主隔板分成的两个隔离区之间底部液体连通，为了不影响前驱体的有效用量，在主隔板的底端对应的位置，也应设计相应的低凹处，使得主隔板的底端与进气管的底端齐平甚至于更低一些。上述低凹处可以为突变的凹坑或凹槽，也可以是等同功能的平滑实现的弧形结构或者斜边构成的凹进，以高度差实现液体汇集功能为评判依据。
具体在一个实施例中，所述隔板包括一个主隔板1和一个副隔板2，所述主隔板1将容置腔分为第一隔离区101和第二隔离区102，连接于所述主隔板1的所述副隔板2 将所述第二隔离区102分为第三隔离区103和和第四隔离区104；所述进气管4与所述第一隔离区101连通，所述第一隔离区101与所述第三隔离区103通过设置于所述瓶体顶盖的倒“U”形连通管3连通，所述第四隔离区104与所述出气管5连通。
具体在又一个实施例中，所述隔板包括平行设置的第一主隔板211和第二主隔板212 以及平行设置的第一副隔板221和第二副隔板222，所述第一主隔板211将容置腔分为第一隔离区201和第二隔离区202，所述第二主隔板212将第二隔离区202分为第五隔离区205和第六隔离区206，所述第一副隔板221将第五隔离区205分为第七隔离区207 和第八隔离区208，第二副隔板222将第六隔离区206分为第九隔离区209和第十隔离区210；所述进气管4与所述第一隔离区201连通，所述第一隔离区201与所述第七隔离区207、所述第八隔离区208与所述第九隔离区209均通过设置于所述瓶体顶盖的倒“U”形连通管3连通，所述第十隔离区210与所述出气管5连通。
具体在又一个实施例中，所述隔板包括相交设置的第一主隔板311和第二主隔板312以及第一副隔板321和第二副隔板322，所述第一主隔板321将容置腔分为第一隔离区301和第二隔离区302，所述第二主隔板321将第二隔离区302分为第五隔离区305 和第六隔离区306，与所述第一主隔板311和第二主隔板312相交处连接的所述第一副隔板321将第五隔离区305分为第七隔离区307和第八隔离区308，第二副隔板322将第六隔离区306分为第九隔离区309和第十隔离区310；所述进气管4与所述第一隔离区301连通，所述第一隔离区301与所述第七隔离区307、所述第八隔离区308与所述第九隔离区309均通过设置于所述瓶体顶盖的倒“U”形连通管3连通，所述第十隔离区310与所述出气管5连通。
以下所提供的实施例并非用以限制本发明所涵盖的范围，所描述的步骤也不是用以限制其执行顺序，所描述的方向仅限于附图；对隔离区的命名仅为表示不同空间的区别，其含义为对应隔离板所在平面将隔离板所在的空间分为两个相邻的空间。本领域技术人员结合现有公知常识对本发明做显而易见的改进，亦落入本发明要求的保护范围之内。
实施例一
一种防止前驱体液滴进入管线或腔体的源瓶，包括形成容置腔的瓶体、进气管4和出气管5，还包括将容置腔分成不同隔离区的主隔板1和副隔板2，主隔板1和副隔板2 焊接于瓶体的顶盖。主隔板1与瓶体的底部之间存在供液体连通的间隙；副隔板2的底端高于最大安全容量的前驱体初始液面2cm，与液面之间存在供气体连通的间隙。瓶体的底部设置有凹坑，进气管4的底端位于所述凹坑或凹槽内，主隔板1的底端与进气管4的底端齐平。
主隔板1将容置腔分为第一隔离区101和第二隔离区102，连接于所述主隔板1的所述副隔板2将所述第二隔离区102分为第三隔离区103和和第四隔离区104；所述进气管4与所述第一隔离区101连通，所述第一隔离区101与所述第三隔离区103通过设置于所述瓶体顶盖的倒“U”形连通管3连通，所述第四隔离区104与所述出气管5连通。
当通入大流量的载气时，载气从进气管进入液态前驱体，以气泡的形式从液体中冒出，携带前驱体蒸汽以及部分液滴通过倒“U”形连通管3从第一隔离区101进入第二隔离区102；在第二隔离区102内，液滴会发生凝结降落，从主隔板1与瓶体的底部之间的间隙流回到液态前驱体中，而气体则从副隔板2与液面之间的间隙通过从第三隔离区103进入第四隔离区104，然后进入到出气管5中，进入后续的管线及腔体。
实施例二
一种防止前驱体液滴进入管线或腔体的源瓶，包括形成容置腔的瓶体、进气管4和出气管5，还包括包括平行设置的第一主隔板211和第二主隔板212以及平行设置的第一副隔板221和第二副隔板222，主隔板和副隔板均焊接于瓶体的顶盖。主隔板与瓶体的底部之间存在供液体连通的间隙；副隔板的底端高于最大安全容量的前驱体初始液面 2cm，与液面之间存在供气体连通的间隙。瓶体的底部设置有凹坑或凹槽，进气管4的底端位于所述凹坑或凹槽内，主隔板1的底端与进气管4的底端齐平。
第一主隔板211将容置腔分为第一隔离区201和第二隔离区202，第二主隔板212将第二隔离区202分为第五隔离区205和第六隔离区206，第一副隔板221将第五隔离区205分为第七隔离区207和第八隔离区208，第二副隔板222将第六隔离区206分为第九隔离区209和第十隔离区210；进气管4与所述第一隔离区201连通，第一隔离区201与第七隔离区207、第八隔离区208与第九隔离区209均通过设置于所述瓶体顶盖的倒“U”形连通管3连通，第十隔离区210与出气管5连通。
当通入大流量的载气时，载气从进气管4进入液态前驱体，以气泡的形式从液体中冒出，携带前驱体蒸汽以及部分液滴通过倒“U”形连通管3从第一隔离区201进入第七隔离区207；在第七隔离区207内，液滴会发生凝结降落，从第一主隔板211与瓶体的底部之间的间隙流回到液态前驱体中，而气体则从第一副隔板221与液面之间的间隙通过，进入到第八隔离区208，通过另一个倒“U”形连通管3进入第九隔离区209(第八隔离区208和第九隔离区209之间也可以节省部分隔板形成连通结构)；在第九隔离区209内，残存的液滴会再次发生凝结降落，从第二主隔板212与瓶体的底部之间的间隙流回到液态前驱体中，则从第二副隔板222与液面之间的间隙通过，进入到第十隔离区210，然后进入出气管5中，进入后续的管线及腔体。
实施例三
一种防止前驱体液滴进入管线或腔体的源瓶，包括形成容置腔的瓶体、进气管4和出气管5，包括相交设置的第一主隔板311和第二主隔板312以及第一副隔板321和第二副隔板322，主隔板和副隔板均焊接于瓶体的顶盖。主隔板与瓶体的底部之间存在供液体连通的间隙；副隔板的底端高于最大安全容量的前驱体初始液面2cm，与液面之间存在供气体连通的间隙。瓶体的底部设置有凹坑或凹槽，进气管4的底端位于所述凹坑或凹槽内，主隔板1的底端略低于进气管4的底端。
第一主隔板321将容置腔分为第一隔离区301和第二隔离区302，第二主隔板321将第二隔离区302分为第五隔离区305和第六隔离区306，与第一主隔板311和第二主隔板312相交处连接的第一副隔板321将第五隔离区305分为第七隔离区307和第八隔离区308，第二副隔板322将第六隔离区306分为第九隔离区309和第十隔离区310；进气管4与所述第一隔离区301连通，第一隔离区301述第七隔离区307、第八隔离区 308与第九隔离区309均通过设置于所述瓶体顶盖的倒“U”形连通管3连通，第十隔离区310与出气管5连通。
当通入大流量的载气时，载气从进气管4进入液态前驱体，以气泡的形式从液体中冒出，携带前驱体蒸汽以及部分液滴通过倒“U”形连通管3从第一隔离区301进入第七隔离区307；在第七隔离区307内，液滴会发生凝结降落，从第一主隔板311与瓶体的底部之间的间隙流回到液态前驱体中，而气体则从第一副隔板321与液面之间的间隙通过，进入到第八隔离308，通过另一个倒“U”形连通管3进入第九隔离区309；在第九隔离区309内，残存的液滴会再次发生凝结降落，从第二主隔板312与瓶体的底部之间的间隙流回到液态前驱体中，则从第二副隔板322与液面之间的间隙通过，进入到第十隔离区310，然后进入出气管5中，进入后续的管线及腔体。
Claims (10)
1.一种防止前驱体液滴进入管线或腔体的源瓶，包括形成容置腔的瓶体、进气管和出气管，其特征在于，还包括将容置腔分成不同隔离区的隔板，所述进气管和出气管分别位于不同的隔离区，不同隔离区之间通过连通管形成气体连通的通路。
2.根据权利要求1所述的防止前驱体液滴进入管线或腔体的源瓶，其特征在于，所述隔板与所述瓶体的底部之间存在供液体连通的间隙。
3.根据权利要求2所述的防止前驱体液滴进入管线或腔体的源瓶，其特征在于，所述隔板与所述瓶体的顶盖之间形成无法通过液体和气体的连接。
4.根据权利要求3所述的防止前驱体液滴进入管线或腔体的源瓶，其特征在于，所述隔板包括至少一个主隔板和至少一个副隔板；由所述主隔板分成的不同的隔离区通过设置于瓶体顶盖的连通管形成气体连通的通路，所述副隔板与所述瓶体的底部之间存在供气体连通的间隙。
5.根据权利要求4所述的防止前驱体液滴进入管线或腔体的源瓶，其特征在于，所述副隔板的底端距离最大安全容量的前驱体初始液面≥1cm。
6.根据权利要求4所述的防止前驱体液滴进入管线或腔体的源瓶，其特征在于，所述连通管为倒“U”形连通管。
7.根据权利要求4所述的防止前驱体液滴进入管线或腔体的源瓶，其特征在于，所述瓶体的底部设置有凹坑或凹槽，所述进气管的底端位于所述凹坑或凹槽内，所述主隔板的底端与所述进气管的底端齐平或者低于所述进气管的底端。
8.根据权利要求4-7任一项所述的防止前驱体液滴进入管线或腔体的源瓶，其特征在于，所述隔板包括一个主隔板(1)和一个副隔板(2)，所述主隔板(1)将容置腔分为第一隔离区(101)和第二隔离区(102)，连接于所述主隔板(1)的所述副隔板(2)将所述第二隔离区(102)分为第三隔离区(103)和第四隔离区(104)；所述进气管与所述第一隔离区(101)连通，所述第一隔离区(101)与所述第三隔离区(103)通过设置于所述瓶体顶盖的倒“U”形连通管连通，所述第四隔离区(104)与所述出气管连通。
9.根据权利要求4-7任一项所述的防止前驱体液滴进入管线或腔体的源瓶，其特征在于，所述隔板包括平行设置的第一主隔板(211)和第二主隔板(212)以及平行设置的第一副隔板(221)和第二副隔板(222)，所述第一主隔板(211)将容置腔分为第一隔离区(201)和第二隔离区(202)，所述第二主隔板(212)将第二隔离区(202)分为第五隔离区(205)和第六隔离区(206)，所述第一副隔板(221)将第五隔离区(205)分为第七隔离区(207)和第八隔离区(208)，第二副隔板(222)将第六隔离区(206)分为第九隔离区(209)和第十隔离区(210)；所述进气管与所述第一隔离区(201)连通，所述第一隔离区(201)与所述第七隔离区(207)、所述第八隔离区(208)与所述第九隔离区(209)均通过设置于所述瓶体顶盖的倒“U”形连通管连通，所述第十隔离区(210)与所述出气管连通。
10.根据权利要求4-7任一项所述的防止前驱体液滴进入管线或腔体的源瓶，其特征在于，所述隔板包括相交设置的第一主隔板(311)和第二主隔板(312)以及第一副隔板(321)和第二副隔板(322)，所述第一主隔板(321)将容置腔分为第一隔离区(301)和第二隔离区(302)，所述第二主隔板(321)将第二隔离区(302)分为第五隔离区(305)和第六隔离区(306)，与所述第一主隔板(311)和第二主隔板(312)相交处连接的所述第一副隔板(321)将第五隔离区(305)分为第七隔离区(307)和第八隔离区(308)，第二副隔板(322)将第六隔离区(306)分为第九隔离区(309)和第十隔离区(310)；所述进气管与所述第一隔离区(301)连通，所述第一隔离区(301)与所述第七隔离区(307)、所述第八隔离区(308)与所述第九隔离区(309)均通过设置于所述瓶体顶盖的倒“U”形连通管连通，所述第十隔离区(310)与所述出气管连通。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201920030014.6U CN209481790U (zh) | 2019-01-09 | 2019-01-09 | 一种防止前驱体液滴进入管线或腔体的源瓶 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201920030014.6U CN209481790U (zh) | 2019-01-09 | 2019-01-09 | 一种防止前驱体液滴进入管线或腔体的源瓶 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN209481790U true CN209481790U (zh) | 2019-10-11 |
Family
ID=68130343
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201920030014.6U Active CN209481790U (zh) | 2019-01-09 | 2019-01-09 | 一种防止前驱体液滴进入管线或腔体的源瓶 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN209481790U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109440082A (zh) * | 2019-01-09 | 2019-03-08 | 合肥安德科铭半导体科技有限公司 | 一种防止前驱体液滴进入管线或腔体的源瓶 |
-
2019
- 2019-01-09 CN CN201920030014.6U patent/CN209481790U/zh active Active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109440082A (zh) * | 2019-01-09 | 2019-03-08 | 合肥安德科铭半导体科技有限公司 | 一种防止前驱体液滴进入管线或腔体的源瓶 |
| CN109440082B (zh) * | 2019-01-09 | 2024-05-28 | 合肥安德科铭半导体科技有限公司 | 一种防止前驱体液滴进入管线或腔体的源瓶 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102534563B (zh) | 一种用于金属有机化学气相沉积反应器的斜入式气体喷淋头 | |
| CN209481790U (zh) | 一种防止前驱体液滴进入管线或腔体的源瓶 | |
| US3302418A (en) | Method and apparatus for handling liquids | |
| CN108939823A (zh) | 一种氨气回收处理*** | |
| CN109440082A (zh) | 一种防止前驱体液滴进入管线或腔体的源瓶 | |
| CN102094186A (zh) | 气体供应设备 | |
| CN208065964U (zh) | 气相沉积炉尾气处理*** | |
| CN214743724U (zh) | 一种阻隔结构及阀 | |
| CN115289308A (zh) | 一种用于高压输水管道的消能井 | |
| CN210739469U (zh) | 一种新型止回流装置 | |
| CN209041973U (zh) | 汽车用气瓶 | |
| KR100643123B1 (ko) | 초저온 액화가스 기액분리기의 흡입구 분사노즐 | |
| CN211900568U (zh) | 一种适用于高压高流速井口气的气液分离器 | |
| CN216259942U (zh) | 一种mocvd设备的尾气处理装置 | |
| CN219519762U (zh) | 撬装热动清洗设备 | |
| JP2001033600A (ja) | 液体金属ループ | |
| CN204879450U (zh) | 一种蒸汽排放装置 | |
| JPH10103597A (ja) | 液化ガス用蒸発装置 | |
| CN216155979U (zh) | 具有多级防回火功能的氢氧发生器 | |
| CN2866631Y (zh) | 差压式补气储能罐 | |
| WO2022160154A1 (zh) | 气液混合充填装置及方法 | |
| CN203052086U (zh) | 消除在排放槽车灌装管线内的气体时所产生的噪音的装置 | |
| CN218178862U (zh) | 一种单通道阀蒸汽发生器的供水装置 | |
| CN110194977B (zh) | 一种卧式lng再冷凝装置 | |
| CN102373439B (zh) | 化学沉积反应器及其喷洒装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20210407 Address after: 244000 Linjin Road, East Park, Tongling Economic Development Zone, Anhui Province Patentee after: Tongling andekeming Electronic Material Technology Co.,Ltd. Address before: Zone E, 5 / F, building 3, Mingzhu Industrial Park, 106 innovation Avenue, hi tech Zone, Hefei City, Anhui Province Patentee before: HEFEI ANDE KEMING SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY Co.,Ltd. |
|
| TR01 | Transfer of patent right |