CN209292465U - 一种阴极电弧源的机箱水冷却*** - Google Patents
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Abstract
为了解决以上由于机箱内部产生的大量的热会影像电源的工作状态的问题，本实用新型提出一种阴极电弧源的机箱水冷却***，其包括：机箱2、水箱1、冷却水进水阀3、冷却水出水阀4、电磁阀5、压力表6、流量计7、水泵M，其中，机箱2内部含有电源和靶材阴极源，且电源与靶材阴极源电性连接，其特征在于：机箱2的外部设有冷却水管支路，冷却水管支路上分别设有电磁阀5、压力表6和流量计7，且冷却水管支路的一端与水泵M连接，水泵M与水箱1连接，冷却水管支路的另外一端与水箱连接。
Description
技术领域
本实用新型属于表面处理技术领域，较为具体的，涉及到一种阴极电弧源的机箱水冷却***。
背景技术
物理气相沉积(PVD,physical Vapor Deposition)是在现代物理、化学、材料学、电子学等多学科基础上发展起来的一门先进的工程技术。它是将靶材(所镀薄膜材料)在真空环境下，经过物理过程而沉积在衬底(需镀膜工件)表面的过程。使用物理气相沉积技术在廉价的金属材料表面制造硬质陶瓷涂层是近年来研究的热点，在工具和模具上已经取得了成功的应用，解决了刀具的磨损和耐高温问题。电弧离子镀和磁控溅射是PVD方法中最为常见的硬质陶瓷涂层的制造技术。
其中，电弧离子镀采用阴极电弧源，离化率高，离子流密度大，离子流量高，沉积速率快，膜基结合力好。但是，阴极电弧源在工作的过程中，由于机箱内部会产生大量的热，而产生的大量的热会直接影像阴极电弧源的电源的工作状态，从而影像与电源电性连接的靶材的离化效果。
发明内容
有鉴于此，为了解决以上由于机箱内部产生的大量的热会影像电源的工作状态的问题，本实用新型提出一种阴极电弧源的机箱水冷却***，其通过将传统的机箱外部的风冷却***改为循环水冷却***，可以快速带走阴极电弧源的机箱表面的热量，从而保证了电源工作的稳定性。
一种阴极电弧源的机箱水冷却***，其包括：机箱2、水箱1、冷却水进水阀3、冷却水出水阀4、电磁阀5、压力表6、流量计7、水泵M，其中，机箱2内部含有电源和靶材阴极源，且电源与靶材阴极源电性连接，其特征在于：机箱2的外部设有冷却水管支路，冷却水管支路上分别设有电磁阀5、压力表6和流量计7，且冷却水管支路的一端与水泵M连接，水泵M与水箱1连接，冷却水管支路的另外一端与水箱连接。
进一步的，水泵M采用轻型立式多级离心泵，水泵M能承受的最高压力为2～5kgf/cm2，扬程为5～10m。
进一步的，水箱1的内部的循环水的体积为1m3。
进一步的，在水泵M与冷却水管支路的一端之间设有冷却水进水阀3，冷却水进水阀3用于调节水箱1中的循环水进入到冷却水管支路的流量。
进一步的，在冷却水管支路的另外一端与水箱1之间设有冷却水出水阀4，冷却水出水阀4用于调节冷却水支路中的循环水进入到水箱1的流量。
进一步的，当只有一个机箱时，冷却水管支路的数量为1个；当机箱的数量为多个时，则冷却水管支路的数量与机箱的数量相等，且各个冷却水支路之间并联。
进一步的，当机箱的数量为多个时，多个冷却水管支路的一端汇流，并与水泵M连接；多个水冷却支路的另外一端汇流，并与水箱1连接。
进一步的，当机箱的数量为多个时，多个冷却水支路的一端汇流处与水泵M之间设有冷却水进水阀3；多个冷却水支路的另外一端汇流处与水箱1之间设有冷却水出水阀4。
进一步的，为了进一步提升降温效果，冷却水支路在机箱的外表面呈蛇形分布。
本实用新型的阴极电弧源的机箱水冷却***的工作原理为：通过调节冷却水进水阀3和冷却水排水阀4的开度，可以调节每一个冷却水管支路上的循环水流量；同时，通过水泵M提供动力，使得循环水在水箱和每一个冷却水支路之间循环，这样可以使得循环水可以有效带走阴极电弧源的机箱表面的热量，保证了电源能够稳定工作。同时，可以通过调节每一个冷却水管支路上的电磁阀5的开关，可以控制每一个冷却水支路是否进行工作。并且，每一个冷却水支路上的压力表6和流量计7用于监控每一条冷却水支路上的水管内部的循环水的压力和流量，当压力和流量发生异常状态时，对此条冷却水支路进行排查。
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型的权利要求。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、同等替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围内。
附图说明
图1为阴极电弧源的机箱水冷却***的结构示意图。
主要元件符号说明：
| 水箱 | 1 |
| 机箱 | 2 |
| 冷却水进水阀 | 3 |
| 冷却水排水阀 | 4 |
| 电磁阀 | 5 |
| 压力表 | 6 |
| 流量计 | 7 |
| 水泵 | M |
如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本实用新型。
具体实施方式
一种阴极电弧源的机箱水冷却***，其包括：机箱2、水箱1、冷却水进水阀3、冷却水出水阀4、电磁阀5、压力表6、流量计7、水泵M，其中，机箱2内部含有电源和靶材阴极源，且电源与靶材阴极源电性连接，其特征在于：机箱2的外部设有冷却水管支路，冷却水支路在机箱的外表面呈蛇形分布，且冷却水管支路上分别设有电磁阀5、压力表6和流量计7，且冷却水管支路的一端与水泵M连接，水泵M与水箱1连接，冷却水管支路的另外一端与水箱连接。
其中，水泵M采用轻型立式多级离心泵，水泵M能承受的最高压力为2.5kgf/cm2，扬程为8m；水箱1的内部的循环水的体积为1m3。机箱的数量为3个，冷却水管支路的数量与机箱的数量相等，且各个冷却水支路之间并联。多个冷却水管支路的一端汇流，并在一端汇流处与水泵M之间设有冷却水进水阀3；多个水冷却支路的另外一端汇流，并在另外一端汇流处与水箱1之间设有冷却水出水阀4。
以上所述实施例，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (9)
1.一种阴极电弧源的机箱水冷却***，其包括：机箱(2)、水箱(1)、冷却水进水阀(3)、冷却水出水阀(4)、电磁阀(5)、压力表(6)、流量计(7)、水泵M，其中，机箱(2)内部含有电源和靶材阴极源，且电源与靶材阴极源电性连接，其特征在于：机箱(2)的外部设有冷却水管支路，冷却水管支路上分别设有电磁阀(5)、压力表(6)和流量计(7)，且冷却水管支路的一端与水泵M连接，水泵M与水箱(1)连接，冷却水管支路的另外一端与水箱连接。
2.如权利要求1所述的阴极电弧源的机箱水冷却***，其特征在于：水泵M采用轻型立式多级离心泵，水泵M能承受的最高压力为2～5kgf/cm2，扬程为5～10m。
3.如权利要求1所述的阴极电弧源的机箱水冷却***，其特征在于：水箱(1)的内部的循环水的体积为1m3。
4.如权利要求1所述的阴极电弧源的机箱水冷却***，其特征在于：在水泵M与冷却水管支路的一端之间设有冷却水进水阀(3)，冷却水进水阀(3)用于调节水箱(1)中的循环水进入到冷却水管支路的流量。
5.如权利要求1所述的阴极电弧源的机箱水冷却***，其特征在于：在冷却水管支路的另外一端与水箱(1)之间设有冷却水出水阀(4)，冷却水出水阀(4)用于调节冷却水支路中的循环水进入到水箱(1)的流量。
6.如权利要求1所述的阴极电弧源的机箱水冷却***，其特征在于：当只有一个机箱时，冷却水管支路的数量为1个；当机箱的数量为多个时，则冷却水管支路的数量与机箱的数量相等，且各个冷却水支路之间并联。
7.如权利要求6所述的阴极电弧源的机箱水冷却***，其特征在于：当机箱的数量为多个时，多个冷却水管支路的一端汇流，并与水泵M连接；多个水冷却支路的另外一端汇流，并与水箱(1)连接。
8.如权利要求7所述的阴极电弧源的机箱水冷却***，其特征在于：多个冷却水支路的一端汇流处与水泵M之间设有冷却水进水阀(3)；多个冷却水支路的另外一端汇流处与水箱(1)之间设有冷却水出水阀(4)。
9.如权利要求1所述的阴极电弧源的机箱水冷却***，其特征在于：冷却水支路在机箱的外表面呈蛇形分布。
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|---|---|---|---|
| CN201822196807.3U CN209292465U (zh) | 2018-12-26 | 2018-12-26 | 一种阴极电弧源的机箱水冷却*** |
Applications Claiming Priority (1)
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| CN201822196807.3U CN209292465U (zh) | 2018-12-26 | 2018-12-26 | 一种阴极电弧源的机箱水冷却*** |
Publications (1)
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| CN209292465U true CN209292465U (zh) | 2019-08-23 |
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ID=67649071
Family Applications (1)
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| CN201822196807.3U Active CN209292465U (zh) | 2018-12-26 | 2018-12-26 | 一种阴极电弧源的机箱水冷却*** |
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|---|---|
| CN (1) | CN209292465U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115627446A (zh) * | 2022-10-26 | 2023-01-20 | 卢成 | 一种镀膜机及方法 |
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2018
- 2018-12-26 CN CN201822196807.3U patent/CN209292465U/zh active Active
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