CN209287515U - 一种用于半导体设备的排气装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于半导体设备的排气装置，包括装置主体、安装板、叶窗自动开关组件、除尘清理机构和排气扇，装置主体后方固定连接有安装板，安装板四个拐角均设置有螺栓，装置主体上方中部安装有叶窗自动开关组件，百叶窗前端下表面胶合连接有密封软垫，密封软垫为长条状，连杆为铝合金材料轻杆，连杆共有两组，百叶窗一端通过活动铰链连接有连杆，百叶窗另一端通过活动铰链连接有连杆，利用叶窗自动开关组件能让排气装置在停止工作后，自动关闭排风孔，使外界的灰尘与杂志无法通过排风孔，进入设备内部，有效的保护了设备的工作环境，在正常工作时又可以利用电磁铁自动打开，整体机构简单而实用，对设备内部环境有良好的效果。

Description

一种用于半导体设备的排气装置

技术领域

本实用新型涉及排气装置相关技术领域，具体为一种用于半导体设备的排气装置。

背景技术

半导体设备即为利用半导体元件制造的电气设备。半导体，指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用。如二极管就是采用半导体制作的器件。半导体是一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料，常见的半导体设备有激光打标机，激光喷码机，包装机，纯水机等等。

现有的半导体设备通风排气结构通常都极为简单，往往只有简陋的通风排气孔，这使对工作环境要求较为高的半导体设备有所不利，首先绝大部分设备的排气结构都是简单的通风孔，没有自动开启与关闭的能力，在排气扇停止工作后，外界的灰尘与杂质极易通过排气结构进入设备内部，对设备的工作环境有很大的不良影响，其次排气结构长期运行后，容易积累大量的灰尘，常常见到排气扇上积累了厚厚的一层灰，这很显然也会影响到设备内部的工作环境，即使不考虑这点，灰尘的堆积也使排气装置要进行定期的除尘清理，这会带来许多繁琐的事，而且费时费力，为此本实用新型提出一种用于半导体设备的排气装置用于解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于半导体设备的排气装置，以解决上述背景技术中提出的没有自动开启与关闭的能力，停止工作后，灰尘与杂质易通过排气结构进入设备内部，影响工作环境，排气结构长期运行，积累大量的灰尘，排气扇积累了厚厚的一层灰，影响设备工作环境，使排气装置要进行定期的除尘清理，繁琐，且费时费力的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于半导体设备的排气装置，包括装置主体、安装板、叶窗自动开关组件、除尘清理机构和排气扇，所述装置主体后方固定连接有安装板，所述安装板四个拐角均设置有螺栓，所述装置主体上方中部安装有叶窗自动开关组件，所述叶窗自动开关组件包括，百叶窗、固定轴、活动铰链、连杆、伸缩杆、弹簧、金属凸块、一号滑槽、电磁铁，所述百叶窗中部转动连接有固定轴，所述百叶窗后端通过活动铰链连接有连杆，所述连杆上方右侧固定连接有伸缩杆，所述伸缩杆右端下方设有弹簧，所述伸缩杆右端固定连接有金属凸块，所述金属凸块内侧滑动连接有一号滑槽，所述金属凸块下方安装有电磁铁，所述装置主体内表面上方中部设有排风孔，所述装置主体内表面上方中部安装有除尘清理机构，所述除尘清理机构包括通电插槽、插块、通电除尘网、固定毛刷、固定连接杆、滚动毛刷、集尘盒、拉手、齿条、齿轮、电机、凸块、二号滑槽，所述通电插槽下方设有插块，所述插块下表面中部固定连接有通电除尘网,所述通电除尘网下端两侧滑动连接有固定毛刷，所述固定毛刷外端胶合连接有固定连接杆，所述固定连接杆下端转动连接有滚动毛刷，所述滚动毛刷下方设有集尘盒，所述通电除尘网左侧固定连接有齿条，所述齿条左侧可拆卸连接有齿轮，所述齿轮后方安装有电机，所述通电除尘网右侧固定连接有凸块，所述凸块外端滑动连接有二号滑槽，所述装置主体内表面上方中部可拆卸连接有排气扇，所述装置主体上表面右侧设有工作指示灯。

优选的，所述百叶窗前端下表面胶合连接有密封软垫，所述密封软垫为长条状。

优选的，所述连杆为铝合金材料轻杆，所述连杆共有两组，所述百叶窗一端通过活动铰链连接有连杆，所述百叶窗另一端通过活动铰链连接有连杆。

优选的，所述装置主体经高温抗热处理，且外表面涂有金属涂层。

优选的，所述通电除尘网下方裹有一层绝缘体，且排风孔内涂有抗静电涂层。

优选的，所述齿轮为铜质金属材料，且齿轮与齿条外表面均涂有耐磨层。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.利用叶窗自动开关组件能让排气装置在停止工作后，自动关闭排风孔，使外界的灰尘与杂志无法通过排风孔，进入设备内部，有效的保护了设备的工作环境，在正常工作时又可以利用电磁铁自动打开，整体机构简单而实用，对设备内部环境有良好的效果。

2.利用除尘清理机构，使用电除尘原理，能够自然的吸引捕捉灰尘，使装置在长期使用下，仍能保持良好的周边环境，对设备内部的工作元件也有相当的帮助，其次，能够在断电后缩回，利用清理毛刷，在每次工作都能对通电除尘网进行清理，并利用集灰盒收集灰尘，使其可以长期在无人看护的环境下进行有效的除尘工作。

3.利用装置主体经高温抗热处理，且外表面涂有金属涂层，能够抵挡高温烧灼，使其可以在电子元件燃烧的情况下，保持稳定不燃状态，金属涂层则增强了表面硬度，保护其不留下磕碰划痕等等。

4.利用通电除尘网下方裹有一层绝缘体，且排风孔内涂有抗静电涂层，防止通电除尘网不慎将电流传向其他物体，抗静电涂层则减少静电产生的几率，提高装置的稳定与安全性。

附图说明

图1为本实用新型立体示意图；

图2为本实用新型叶窗自动开关组件结构图；

图3为本实用新型除尘清理机构侧面结构图；

图4为本实用新型除尘清理机构正面结构图。

图中：装置主体1、安装板2、螺栓3、叶窗自动开关组件4、百叶窗41、固定轴42、活动铰链43、连杆44、伸缩杆45、弹簧46、金属凸块47、一号滑槽48、电磁铁49、密封软垫410、除尘清理机构5、通电插槽51、插块52、通电除尘网53、固定毛刷54、固定连接杆55、滚动毛刷56、集尘盒57、拉手58、齿条59、齿轮510、电机511、凸块512、二号滑槽513、排风孔6、排气扇7、工作指示灯8。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种用于半导体设备的排气装置，包括装置主体1、安装板2、叶窗自动开关组件4、除尘清理机构5和排气扇7，装置主体1后方固定连接有安装板2，安装板2四个拐角均设置有螺栓3，装置主体1上方中部安装有叶窗自动开关组件4，叶窗自动开关组件4包括，百叶窗41、固定轴42、活动铰链43、连杆44、伸缩杆45、弹簧46、金属凸块47、一号滑槽48、电磁铁49，百叶窗41中部转动连接有固定轴42，百叶窗41后端通过活动铰链43连接有连杆44，连杆44上方右侧固定连接有伸缩杆45，伸缩杆45右端下方设有弹簧46，伸缩杆45右端固定连接有金属凸块47，金属凸块47内侧滑动连接有一号滑槽48，金属凸块47下方安装有电磁铁49，装置主体1内表面上方中部设有排风孔6，装置主体1内表面上方中部安装有除尘清理机构5，除尘清理机构5包括通电插槽51、插块52、通电除尘网53、固定毛刷54、固定连接杆55、滚动毛刷56、集尘盒57、拉手58、齿条59、齿轮510、电机511、凸块512、二号滑槽513，通电插槽51下方设有插块52，插块52下表面中部固定连接有通电除尘网53,通电除尘网53下端两侧滑动连接有固定毛刷54，固定毛刷54外端胶合连接有固定连接杆55，固定连接杆55下端转动连接有滚动毛刷56，滚动毛刷56下方设有集尘盒57，通电除尘网53左侧固定连接有齿条59，齿条59左侧可拆卸连接有齿轮510，齿轮510后方安装有电机511，通电除尘网53右侧固定连接有凸块512，凸块512外端滑动连接有二号滑槽513，装置主体1内表面上方中部可拆卸连接有排气扇7，装置主体1上表面右侧设有工作指示灯8。

进一步地，百叶窗41前端下表面胶合连接有密封软垫410，密封软垫410为长条状。

进一步地，连杆44为铝合金材料轻杆，连杆44共有两组，百叶窗41一端通过活动铰链43连接有连杆44，百叶窗41另一端通过活动铰链43连接有连杆44。

进一步地，装置主体1经高温抗热处理，且外表面涂有金属涂层。

进一步地，通电除尘网53下方裹有一层绝缘体，且排风孔6内涂有抗静电涂层。

进一步地，齿轮510为铜质金属材料，且齿轮510与齿条59外表面均涂有耐磨层。

工作原理：在装置工作时，首先叶窗自动开关组件4启动，电磁铁49通电并吸引金属凸块47，金属凸块47在一号滑槽48的限位下，向下运动，金属凸块47带动伸缩杆45下降，伸缩杆45带动连杆44下拉并收缩，连杆44通过活动铰链43使百叶窗41打开，需要关闭时，使电磁铁49断电，在弹簧46的力量下使伸缩杆45上升拉长，并使连杆44上升，通过活动铰链43带动百叶窗41关闭；除尘清理机构5工作时，首先电机511通电工作，并通过齿轮510与齿条59的传动将通电除尘网53上推，当推到最高处，插块52***通电插槽51中，连接上电源，通电除尘网53通电工作，吸引清除灰尘，当需要关闭时，断开电机511的电力，在重力的作用下，通电除尘网53下降回位，落回最低处，固定毛刷54与滚动毛刷56清理掉通电除尘网53上吸引的灰尘，集尘盒57收集其灰尘。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种用于半导体设备的排气装置，包括装置主体(1)、安装板(2)、叶窗自动开关组件(4)、除尘清理机构(5)和排气扇(7)，其特征在于：所述装置主体(1)后方固定连接有安装板(2)，所述安装板(2)四个拐角均设置有螺栓(3)，所述装置主体(1)上方中部安装有叶窗自动开关组件(4)，所述叶窗自动开关组件(4)包括，百叶窗(41)、固定轴(42)、活动铰链(43)、连杆(44)、伸缩杆(45)、弹簧(46)、金属凸块(47)、一号滑槽(48)、电磁铁(49)，所述百叶窗(41)中部转动连接有固定轴(42)，所述百叶窗(41)后端通过活动铰链(43)连接有连杆(44)，所述连杆(44)上方右侧固定连接有伸缩杆(45)，所述伸缩杆(45)右端下方设有弹簧(46)，所述伸缩杆(45)右端固定连接有金属凸块(47)，所述金属凸块(47)内侧滑动连接有一号滑槽(48)，所述金属凸块(47)下方安装有电磁铁(49)，所述装置主体(1)内表面上方中部设有排风孔(6)，所述装置主体(1)内表面上方中部安装有除尘清理机构(5)，所述除尘清理机构(5)包括通电插槽(51)、插块(52)、通电除尘网(53)、固定毛刷(54)、固定连接杆(55)、滚动毛刷(56)、集尘盒(57)、拉手(58)、齿条(59)、齿轮(510)、电机(511)、凸块(512)、二号滑槽(513)，所述通电插槽(51)下方设有插块(52)，所述插块(52)下表面中部固定连接有通电除尘网(53),所述通电除尘网(53)下端两侧滑动连接有固定毛刷(54)，所述固定毛刷(54)外端胶合连接有固定连接杆(55)，所述固定连接杆(55)下端转动连接有滚动毛刷(56)，所述滚动毛刷(56)下方设有集尘盒(57)，所述通电除尘网(53)左侧固定连接有齿条(59)，所述齿条(59)左侧可拆卸连接有齿轮(510)，所述齿轮(510)后方安装有电机(511)，所述通电除尘网(53)右侧固定连接有凸块(512)，所述凸块(512)外端滑动连接有二号滑槽(513)，所述装置主体(1)内表面上方中部可拆卸连接有排气扇(7)，所述装置主体(1)上表面右侧设有工作指示灯(8)。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体设备的排气装置，其特征在于：所述百叶窗(41)前端下表面胶合连接有密封软垫(410)，所述密封软垫(410)为长条状。

3.根据权利要求1所述的一种用于半导体设备的排气装置，其特征在于：所述连杆(44)为铝合金材料轻杆，所述连杆(44)共有两组，所述百叶窗(41)一端通过活动铰链(43)连接有连杆(44)，所述百叶窗(41)另一端通过活动铰链(43)连接有连杆(44)。

4.根据权利要求1所述的一种用于半导体设备的排气装置，其特征在于：所述装置主体(1)经高温抗热处理，且外表面涂有金属涂层。

5.根据权利要求1所述的一种用于半导体设备的排气装置，其特征在于：所述通电除尘网(53)下方裹有一层绝缘体，且排风孔(6)内涂有抗静电涂层。

6.根据权利要求1所述的一种用于半导体设备的排气装置，其特征在于：所述齿轮(510)为铜质金属材料，且齿轮(510)与齿条(59)外表面均涂有耐磨层。