CN209182653U - 一种euv用抽风装置及具有其的平板制程*** - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种EUV用抽风装置及具有其的平板制程***，其中，待加工的平板经传动辊输送至EUV的下方进行光刻处理，所述传动辊封装设置在长方体状的盒体中，所述长方体状的盒体的上部对应EUV开有通槽，EUV的下部安设在所述通槽中，所述盒体内通过隔板间隔地设置成多个工作区，在每个工作区中位于所述盒体底部开设有至少一个抽风口，每一抽风口再分别通过抽风阀接入集气装置，用于抽送排放所述盒体中的废气本实用新型其能够确保EUV在工作时的臭氧完全回收，提高厂区的工作舒适性和安全性。

Description

一种EUV用抽风装置及具有其的平板制程***

技术领域

本实用新型涉及平板加工设备技术领域，具体涉及一种EUV用抽风装置及具有其的平板制程***。

背景技术

极紫外光刻（Extreme Ultraviolet Lithography），常称作EUV光刻，它以波长为10-14纳米的极紫外光作为光源的光刻技术。EUV是使用极紫外波长的下一代光刻技术，需要通过通电激发紫外线管的K极然后放射出紫外线，在此过程中会形成大量的臭氧，导致厂区中具有刺鼻难闻的气味，且在此情况下长期工作对身体的危险也很大。目前，多有在EUV的外侧设置抽风装置，对臭氧进行抽吸然后集中排放，但是还是会存在臭氧溢散情况的发生。

实用新型内容

本实用新型目的是要提供一种EUV用抽风装置及具有其的平板制程***，其能够确保EUV在工作时的臭氧完全回收，提高厂区的工作舒适性和安全性。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

本实用新型提供了一种EUV用抽风装置，待加工的平板经传动辊输送至EUV的下方进行光刻处理，所述传动辊封装设置在长方体状的盒体中，所述长方体状的盒体的上部对应EUV开有通槽，EUV的下部安设在所述通槽中，所述盒体内通过隔板间隔地设置成多个工作区，在每个工作区中位于所述盒体底部开设有至少一个抽风口，每一抽风口再分别通过抽风阀接入集气装置，用于抽送排放所述盒体中的废气。

对于上述技术方案，申请人还有进一步的优化措施。

进一步地，所述盒体通过两块隔板将盒体内腔体分割三个工作区，包括前置区、中间加工区和后置区，所述中间加工区对应的盒体底部对应设置有至少两个与集气装置相连的抽风口。

更进一步地，两块隔板平行于所述传动辊竖直设置在盒体内，且两块隔板分别设置所述通槽的两侧。

进一步地，集气装置包括出气管，出气管上开设有若干个进气口，每一抽风口对应设置有一个第一抽风阀，每一抽风口分别与一第一抽风阀相连，每一第一抽风阀再分别与一进气口相连，在出气管的出气端连接有第二抽风阀。

进一步地，所述第二抽风阀的抽风风量至少为所述第一抽风阀的抽风风量的两倍。

特别地，本实用新型提供了一种平板制程***，其包括EUV，EUV处设置有如上所述的抽风装置。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

本实用新型的EUV用抽风装置，通过盒体包裹EUV的下部，能够防止臭氧溢散，再在盒体内分区域地设置抽风口，进而保证臭氧能够被完全地抽送排放，而采用这一EUV用抽风装置的平板制程***，能够保证厂区工作环境的良好，且提高了工人工作的安全性。

附图说明

后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本实用新型的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解，这些附图未必是按比例绘制的。附图中：

图1是根据本实用新型一个实施例的EUV用抽风装置的结构示意图；

图2是图1所示EUV用抽风装置中盒体内部的结构示意图；

图3是根据本实用新型一个实施例的EUV用抽风装置中的集气装置的结构示意图。

其中，附图标记说明如下：

1、EUV，2、传动辊，3、盒体，31、盒体上的通槽，4、抽风口，5、隔板，6、集气装置，61、进气口，62、第一抽风阀，63、第二抽风阀。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

本实施例描述了一种EUV用抽风装置，如图1所示，待加工的平板经传动辊2输送至EUV1的下方进行光刻处理，所述传动辊2封装设置在长方体状的盒体3中，所述长方体状的盒体3的上部对应EUV1的下端光刻区开有通槽，EUV1的下部安设在所述通槽中，这样的话，光刻过程中所产生的臭氧就能够先被约束在盒体3内，然后再在盒体3内设置抽风口4，进而保证抽风效果，有效防止臭氧溢散处盒体3。

具体说来，在本实施例中，所述盒体3通过两块隔板5将盒体3内腔体分割三个工作区，两块隔板5平行于所述传动辊2竖直设置在盒体3内，且两块隔板5分别设置所述通槽的两侧，包括前置区、中间加工区和后置区，这样的话，中间加工区就是正好对应于光刻区来设置。如图2所示，在前置区、中间加工区和后置区中分别设置有三个抽风口4，每个抽风口4都分别与集气装置6进行单独连接，且在每个抽风口4与集气装置6之间均设置有第一抽风阀62，用于控制抽送排放盒体3内臭氧等废气的风量。可以理解的是，可通过对于各个第一抽风阀62的风量调节，既能够保持抽风效率，也能够防止功耗浪费。比如说，这里就可以调整使得中间加工区的抽风口4对应的抽风阀的风量提高，而其余抽风阀的风量适当降低，既保证有效排放臭氧等废气，还能够使得整体功耗降低，降低生产成本。

集气装置6如图3所示，其通过固定环等固定在底部型材上，集气装置6包括出气管，出气管上开设有若干个进气口61，每一抽风口4对应设置有一个第一抽风阀62，每一抽风口4分别与一第一抽风阀62相连，每一第一抽风阀62再分别与一进气口61相连，在出气管的出气端连接有第二抽风阀63，为了保证排风效果，所述第二抽风阀63的抽风风量至少为所述第一抽风阀62的抽风风量的两倍。

综上可知，本实用新型的EUV用抽风装置，通过盒体3包裹EUV的下部，能够防止臭氧溢散，再在盒体3内分区域地设置抽风口4，进而保证臭氧能够被完全地抽送排放。

而采用上述这一EUV用抽风装置的平板制程***，则能够保证厂区工作环境的良好，且提高了工人工作的安全性。

上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种EUV用抽风装置，待加工的平板经传动辊输送至EUV的下方进行光刻处理，所述传动辊封装设置在长方体状的盒体中，所述长方体状的盒体的上部对应EUV开有通槽，EUV的下部安设在所述通槽中，其特征在于，所述盒体内通过隔板间隔地设置成多个工作区，在每个工作区中位于所述盒体底部开设有至少一个抽风口，每一抽风口再分别通过抽风阀接入集气装置，用于抽送排放所述盒体中的废气。

2.根据权利要求1所述的EUV用抽风装置，其特征在于，所述盒体通过两块隔板将盒体内腔体分割三个工作区，包括前置区、中间加工区和后置区，所述中间加工区对应的盒体底部对应设置有至少两个与集气装置相连的抽风口。

3.根据权利要求2所述的EUV用抽风装置，其特征在于，两块隔板平行于所述传动辊竖直设置在盒体内，且两块隔板分别设置所述通槽的两侧。

4.根据权利要求1所述的EUV用抽风装置，其特征在于，集气装置包括出气管，出气管上开设有若干个进气口，每一抽风口对应设置有一个第一抽风阀，每一抽风口分别与一第一抽风阀相连，每一第一抽风阀再分别与一进气口相连，在出气管的出气端连接有第二抽风阀。

5.根据权利要求4所述的EUV用抽风装置，其特征在于，所述第二抽风阀的抽风风量至少为所述第一抽风阀的抽风风量的两倍。

6.一种平板制程***，其特征在于，包括EUV，EUV处设置有如权利要求1至5中任一项所述的抽风装置。