CN209144243U - 脉冲激光沉积***的靶材装载装置及*** - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及薄膜制造技术领域，公开了一种脉冲激光沉积***的靶材装载装置及***。所述脉冲激光沉积***的靶材装载装置包括靶材转盘、至少一个靶座、靶座自转齿轮、靶座自转驱动齿轮、靶材挡板、靶材挡板单向轴承、靶材挡板单向轴承座、公转主轴、靶材转盘自转齿轮、靶材转盘单向轴承和驱动机构，所述驱动机构用于驱动所述公转主轴转动以带动所述靶材转盘转动、驱动所述公转主轴转动带动靶材挡板单向转动以使所述靶材转盘上的靶座可正对所述靶材挡板的靶材孔、以及驱动所述靶座自转驱动齿轮带动所述靶座自转齿轮转动以使所述靶座自转。通过控制旋转靶材挡板就方便快捷地实现了靶材的快速切换，提升了薄膜制造的工作效率。

Description

脉冲激光沉积***的靶材装载装置及***

技术领域

本实用新型涉及薄膜制造技术领域，尤其涉及一种脉冲激光沉积***的靶材装载装置及***。

背景技术

现有脉冲激光沉积***(Pulsed Laser Deposition，PLD)在制造薄膜时，需要人工手动安装和更换多种特定靶材挡板，以避免薄膜被非镀膜靶材污染，但多种特定靶材挡板会占用真空腔的内部空间，且人工手动更换操作繁琐耗时，影响了薄膜制造的工作效率。

实用新型内容

鉴于此，本实用新型提供一种脉冲激光沉积***的靶材装载装置及***，解决现有脉冲激光沉积***镀膜时人工手动更换靶材挡板操作繁琐耗时而影响薄膜制造的工作效率的技术问题。

根据本实用新型的实施例，提供一种脉冲激光沉积***的靶材装载装置，包括靶材转盘、至少一个靶座、靶座自转齿轮、靶座自转驱动齿轮、靶材挡板、靶材挡板单向轴承、靶材挡板单向轴承座、公转主轴、靶材转盘自转齿轮、靶材转盘单向轴承和驱动机构，所述靶座设置在所述靶材转盘第一侧面，所述靶座自转齿轮设置在所述靶材转盘第二侧面与所述靶座的对应位置，所述靶材挡板设置有与所述靶座对应的靶材孔，所述靶材挡板安装在所述靶材挡板单向轴承座上并通过所述靶材挡板单向轴承安装在所述公转主轴上，所述靶座自转齿轮与所述靶座自转驱动齿轮啮合，所述靶材转盘通过所述靶材转盘单向轴承安装在所述公转主轴上且通过所述靶材转盘自转齿轮驱动自转，所述驱动机构用于驱动所述公转主轴转动以带动所述靶材转盘转动、驱动所述公转主轴转动带动靶材挡板单向转动以使所述靶材转盘上的靶座可正对所述靶材挡板的靶材孔、以及驱动所述靶座自转驱动齿轮带动所述靶座自转齿轮转动以使所述靶座自转。

优选的，所述驱动机构包括第一马达、第一旋转驱动部、第二马达和第二旋转驱动部，所述第一马达用于驱动第一旋转驱动部带动所述公转主轴转动，所述第二马达用于驱动所述第二旋转驱动部带动所述靶座自转驱动齿轮转动。

优选的，所述靶座均匀设置在所述靶材转盘第一侧面同一圆周上。

优选的，所述靶材孔和所述靶座半径相同。

优选的，所述靶材孔和所述靶座的中心到所述公转主轴的距离相同。

优选的，所述靶材挡板单向轴承配置为当所述公转主轴向第一方向转动时自锁，以带动所述靶材挡板向第二方向转动。

优选的，所述第一方向、第二方向分别为顺时针方向、逆时针方向。

优选的，所述驱动机构用于驱动所述公转主轴逆时针方向转动。

优选的，所述靶材挡板单向轴承配置为当所述公转主轴向顺时针方向转动时自锁。

根据本实用新型的另一个实施例，还提供一种脉冲激光沉积***，包括激光发射装置、真空腔和上述的脉冲激光沉积***的靶材装载装置，所述激光发射装置发射的激光脉冲穿过所述真空腔的激光孔和所述脉冲激光沉积***的靶材装载装置的靶材挡板的靶材孔而直射所述靶座内的靶材。

本实用新型提供的脉冲激光沉积***的靶材装载装置及***，包括靶材转盘、至少一个靶座、靶座自转齿轮、靶座自转驱动齿轮、靶材挡板、靶材挡板单向轴承、靶材挡板单向轴承座、公转主轴、靶材转盘自转齿轮、靶材转盘单向轴承和驱动机构。本方案采用齿轮系和单向旋转轴承的结构配合，通过控制旋转靶材挡板就方便快捷地实现了靶材的快速切换，避免了人工手动安装特定独立的靶材挡板的繁琐操作和独立靶材挡板占用内部空间，提升了薄膜制造的工作效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型一个实施例中脉冲激光沉积***的靶材装载装置的示意图。

图2为本实用新型一个实施例中脉冲激光沉积***的靶材装载装置的靶材转盘的示意图。

图3为本实用新型一个实施例中脉冲激光沉积***的靶材装载装置的***结构示意图。

图4为本实用新型另一个实施例中脉冲激光沉积***的示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型的技术方案作进一步更详细的描述。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都应属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以结合具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。此外，在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

参见图1、图2和图3，本实施例中的脉冲激光沉积***的靶材装载装置100，包括靶材转盘10、六个靶座11、靶座自转齿轮12、靶座自转驱动齿轮13、靶材挡板20、靶材挡板单向轴承21、靶材挡板单向轴承座22、公转主轴30、靶材转盘自转齿轮41、靶材转盘单向轴承42和驱动机构。

在本实施例中，所述靶座11为六个，均匀设置在所述靶材转盘10左侧面同一圆周上。所述靶座自转齿轮13也为六个，均匀设置在所述靶材转盘10右侧面与所述靶座11的对应位置。所述靶座自转驱动齿轮13与所述靶座自转齿轮12啮合，可驱动所述靶座自转齿轮12带动所述靶座11自转。所述靶材转盘10通过所述靶材转盘单向轴承42安装在所述公转主轴30上，且通过所述靶材转盘自转齿轮41驱动自转。

所述靶材挡板20安装在所述靶材挡板单向轴承座22上，并通过所述靶材挡板单向轴21安装在所述公转主轴30上。所述靶材挡板20呈圆片状，其靠近外侧边缘设置有与所述靶座11对应的靶材孔23，所述靶材孔23和所述靶座11半径相同，且所述靶材孔23和所述靶座11的中心到所述公转主轴30的距离相同，以在所述靶材挡板20转动时可使所述靶材孔23正对所述靶座11内的靶材60，且挡住其他靶座内的靶材，避免了其他非镀膜靶材被激光照射而造成污染。

在本实施例中，所述驱动机构包括第一马达501、第一旋转驱动部502、第二马达503和第二旋转驱动部504。所述第一马达501可驱动第一旋转驱动部502(旋转惯入装置)带动所述公转主轴30顺时针和逆时针转动，进而带动所述靶材转盘10转动。所述第二马达503可驱动所述第二旋转驱动部504(旋转惯入装置)带动所述靶座自转驱动齿轮13转动，进而带动所述靶座自转齿轮12和所述靶座11自转。当所述公转主轴30向顺时针方向转动时所述靶材挡板单向轴承22自锁，以带动所述靶材挡板20单向逆时针方向转动，可控制转动角度而使所述靶材转盘10上的特定靶座11可正对所述靶材挡板20的靶材孔23。通过两个马达方便快捷地实现了靶材自转、靶材公转和靶材挡板旋转切换靶材的独立旋转运动控制，节省了设备的制造成本。

本实施例的脉冲激光沉积***的靶材装载装置100，采用齿轮系和单向旋转轴承的结构配合，通过控制旋转靶材挡板就方便快捷地实现了靶材的快速切换，避免了人工手动安装特定独立的靶材挡板的繁琐操作，并节省了独立靶材挡板占用的内部空间，提升了薄膜制造的工作效率。

参见图4，在本实用新型另一个实施例还提供一种脉冲激光沉积***500，包括激光发射装置300、真空腔200和上述实施例中的脉冲激光沉积***的靶材装载装置100。所述激光发射装置300发射的激光脉冲穿过所述真空腔200的激光孔400，并透过所述脉冲激光沉积***的靶材装载装置100的靶材挡板的靶材孔而直射所述靶座内的靶材，采用齿轮系和单向旋转轴承的结构配合，通过控制旋转靶材挡板就方便快捷地实现了靶材的快速切换，避免了人工手动安装特定独立的靶材挡板的繁琐操作和独立靶材挡板占用内部空间，提升了脉冲激光沉积***薄膜制造的工作效率。

应当理解，本实用新型的各部分可以用硬件、软件、固件或它们的组合来实现。在上述实施方式中，多个步骤或方法可以用存储在存储器中且由合适的指令执行***执行的软件或固件来实现。例如，如果用硬件来实现，和在另一实施方式中一样，可用本领域公知的下列技术中的任一项或他们的组合来实现：具有用于对数据信号实现逻辑功能的逻辑门电路的离散逻辑电路，具有合适的组合逻辑门电路的专用集成电路，可编程门阵列(PGA)，现场可编程门阵列(FPGA)等。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种脉冲激光沉积***的靶材装载装置，其特征在于，包括靶材转盘、至少一个靶座、靶座自转齿轮、靶座自转驱动齿轮、靶材挡板、靶材挡板单向轴承、靶材挡板单向轴承座、公转主轴、靶材转盘自转齿轮、靶材转盘单向轴承和驱动机构，所述靶座设置在所述靶材转盘第一侧面，所述靶座自转齿轮设置在所述靶材转盘第二侧面与所述靶座的对应位置，所述靶材挡板设置有与所述靶座对应的靶材孔，所述靶材挡板安装在所述靶材挡板单向轴承座上并通过所述靶材挡板单向轴承安装在所述公转主轴上，所述靶座自转齿轮与所述靶座自转驱动齿轮啮合，所述靶材转盘通过所述靶材转盘单向轴承安装在所述公转主轴上且通过所述靶材转盘自转齿轮驱动自转，所述驱动机构用于驱动所述公转主轴转动以带动所述靶材转盘转动、驱动所述公转主轴转动带动靶材挡板单向转动以使所述靶材转盘上的靶座可正对所述靶材挡板的靶材孔、以及驱动所述靶座自转驱动齿轮带动所述靶座自转齿轮转动以使所述靶座自转。

2.根据权利要求1所述的脉冲激光沉积***的靶材装载装置，其特征在于，所述驱动机构包括第一马达、第一旋转驱动部、第二马达和第二旋转驱动部，所述第一马达用于驱动第一旋转驱动部带动所述公转主轴转动，所述第二马达用于驱动所述第二旋转驱动部带动所述靶座自转驱动齿轮转动。

3.根据权利要求1所述的脉冲激光沉积***的靶材装载装置，其特征在于，所述靶座均匀设置在所述靶材转盘第一侧面同一圆周上。

4.根据权利要求1所述的脉冲激光沉积***的靶材装载装置，其特征在于，所述靶材孔和所述靶座半径相同。

5.根据权利要求1所述的脉冲激光沉积***的靶材装载装置，其特征在于，所述靶材孔和所述靶座的中心到所述公转主轴的距离相同。

6.根据权利要求1所述的脉冲激光沉积***的靶材装载装置，其特征在于，所述靶材挡板单向轴承配置为当所述公转主轴向第一方向转动时自锁，以带动所述靶材挡板向第二方向转动。

7.根据权利要求6所述的脉冲激光沉积***的靶材装载装置，其特征在于，所述第一方向、第二方向分别为顺时针方向、逆时针方向。

8.根据权利要求1所述的脉冲激光沉积***的靶材装载装置，其特征在于，所述驱动机构用于驱动所述公转主轴逆时针方向转动。

9.根据权利要求8所述的脉冲激光沉积***的靶材装载装置，其特征在于，所述靶材挡板单向轴承配置为当所述公转主轴向顺时针方向转动时自锁。

10.一种脉冲激光沉积***，其特征在于，包括激光发射装置、真空腔和如权利要求1至9任一项所述的脉冲激光沉积***的靶材装载装置，所述激光发射装置发射的激光脉冲穿过所述真空腔的激光孔和所述脉冲激光沉积***的靶材装载装置的靶材挡板的靶材孔而直射所述靶座内的靶材。