CN209039565U - 渗碳装置 - Google Patents

Abstract

渗碳装置具备：炉体，收容被处理物；多个加热器，在炉体内沿水平方向延伸；多个保护部件，覆盖加热器；支承部，分别设置于加热器的两端部并支承加热器；渗碳气体供给部，将规定的渗碳气体供给至炉体内；空气供给部，将燃尽用的空气供给至加热器与保护部件之间的间隙，支承部对加热器的端部进行间接冷却。

Description

渗碳装置

技术领域

本实用新型涉及渗碳装置。

背景技术

下述专利文献1中记载了有关渗碳装置中的燃尽。在利用渗碳装置对被处理物进行渗碳处理时,由渗碳气体引起的碳成分(即煤)附着在渗碳装置的内部，上述燃尽是通过将空气导入至渗碳装置内、使附着在渗碳装置内的加热器等上的碳(煤)燃烧并去除的处理。另外，在专利文献2中也公开了这样的燃尽。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本国特许第5830586号公报

专利文献2：日本国特开2007-131936号公报

实用新型内容

实用新型要解决的技术问题

然而，因为上述燃尽是在使用了渗碳装置对被处理物进行渗碳处理的间歇进行的，所以是导致渗碳装置的工作效率降低的因素，同时也是损伤在高温下发热的加热器的行为。在渗碳装置的加热器损伤的情况下，发热效率降低，所以即使接通规定的电力，也不能将渗碳温度设定为期望温度。在渗碳装置中，通常设计有多个加热器，加热器的损伤在维持渗碳装置的装置性能上是极其重要的技术问题。

本实用新型鉴于上述情况而完成，其目的在于抑制渗碳装置中加热器的损伤。

用于解决上述技术问题的方案

为了实现上述目的，在本实用新型中，作为渗碳装置的第1的解决方案，采用如下的方案，具备：炉体，收容被处理物；多个加热器，在所述炉体内沿水平方向延伸；多个保护部件，覆盖所述加热器；支承部，分别设置于所述加热器的两端部并支承所述加热器；渗碳气体供给部，将规定的渗碳气体供给至所述炉体内；空气供给部，将燃尽用的空气供给至所述加热器与所述保护部件之间的间隙，所述支承部对所述加热器的端部进行间接冷却。

在本实用新型中，作为渗碳装置的第2解决方案，采用如下的方案：在上述第1解决方案中，所述加热器以夹着所述被处理物的方式设置为上下两层。

在本实用新型中，作为渗碳装置的第3解决方案，采用如下的方案：在上述第1或者是第2解决方案中，所述支承部具备：承托部件，与所述加热器的端部抵接；支承板，将所述承托部件固定于所述炉体，通过冷却所述支承板，间接地冷却所述加热器的端部。

在本实用新型中，作为渗碳装置的第4解决方案，采用如下的方案：在上述第1～第3的任一种的解决方案中，所述支承部具备：冷媒流路，设置于所述加热器的端部附近；冷却液，在所述冷媒流路中流通。

在本实用新型中，作为渗碳装置的第5解决方案，采用如下的方案：在上述第4解决方案中，具备冷却液供给部，按照各层而分别调节所述冷却液的流量。

实用新型的效果

根据本实用新型，能够抑制渗碳装置中的加热器的损伤。

附图说明

图1是本实用新型的一实施方式的渗碳装置的正剖视图。

图2A是本实用新型的一实施方式的上电极部的侧剖视图。

图2B是本实用新型的一实施方式的上电极部的俯视剖视图。

图3A是本实用新型的一实施方式的下电极部的侧剖视图。

图3B是本实用新型的一实施方式的下电极部的俯视剖视图。

具体实施方式

以下,参照附图对本实用新型的一实施方式进行说明。

如图1所示，本实施方式的渗碳装置A具备：炉体1、隔热容器2、炉床3、多个加热器单元4、上电极部5、上接地部6、下电极部7、下接地部8、渗碳气体管9、排气管10、空气供给部11、气体回收部12、渗碳气体供给部13以及冷却液供给部14等。另外，这些构成要素中，上电极部5、上接地部6、下电极部7以及下接地部8对应于本实用新型的支承部。

该渗碳装置A是对容纳于渗碳室P的被处理物X实施渗碳处理的装置。即，该渗碳装置A将被处理物X加热至接近1000℃的温度，并且使渗碳室P处于渗碳气体气氛，使碳(碳原子)渗入被处理物X的表面，由此形成规定深度的渗碳层。另外，该渗碳装置A的处理对象即被处理物X是因渗碳层而表面硬度上升的金属零件。

炉体1是大致长方体形状的主体容器(金属制容器)，在一侧面(图1中前面一侧的面)设置有开闭门(图示省略)。该炉体1电气地接地(接地)。隔热容器2是设置在炉体1内、呈大致长方体形状并具有隔热性的容器,由规定的隔热材料(例如陶瓷材料)形成。该隔热容器2的内部空间(大致长方体空间)是容纳被处理物X的渗碳室P。炉床3是载置被处理物X的载置台，配置于上述隔热容器2的内侧并且下部。该炉床3由氧化铝等的陶瓷材料(隔热材料)形成。

此外，在上述开闭门的内侧设置有形成隔热容器2的一侧面的隔热板。即，上述隔热容器2由设置于开闭门的内侧的开闭自如的隔热板和固定设置的5个隔热板构成。在这样的渗碳装置A中，通过打开设置于图1的前面一侧的开闭门，将被处理物X容纳于渗碳室P。

在此，图1中的左右方向是渗碳装置A即炉体1以及隔热容器2的宽度方向，图1中的上下方向是渗碳装置A的高度方向，此外，与图1正交的方向是渗碳装置A的深度方向。

多个加热器单元4是具有规定长度、并沿水平方向延伸的棒状部件，以在垂直方向上夹着被处理物X的方式上下地配置。即，如图1所示，多个加热器单元4以轴线方向为渗碳装置A(炉体1以及隔热容器2)的宽度方向的姿势配置于隔热容器2内的上部以及下部。如图2A、图2B以及图3A、图3B所示，这些加热器单元4，隔开规定间隔地沿渗碳装置A(炉体1以及隔热容器2)的深度方向设置。

此外，如图2A、图2B所示，这些加热器单元4，在隔热容器2内的上部(渗碳室P的上部)的深度方向设置有7根，此外如图3A、图3B所示，在隔热容器2内的下部的深度方向也同样地设置有7根。即，多个加热器单元4以夹着被处理物X的方式设置为上下2层。

设置于渗碳室P的上部的7根加热器单元4是上部加热器单元4A。这些上部加热器单元4A，一端(左端)由上电极部5支承，另一端(右端)由上接地部6支承。设置于渗碳室P的下部的7根加热器单元4是下部加热器单元4B。这些下部加热器单元4B，一端(左端)由下电极部7支承，另一端(右端)由下接地部8支承。

这样的各加热器单元4(上部加热器单元4A以及下部加热器单元4B)，各自具备加热器主体4a以及保护管4b。加热器主体4a中位于上电极部5或者下电极部7侧的一端连接电源，此外位于上接地部6或者下接地部8侧的另一端接地。该加热器主体4a是通过从上述电源向一端的通电而发热的圆柱状的电加热器(电阻发热体)，例如是陶瓷制的陶瓷加热器或者石墨制的石墨加热器。另外，加热器主体4a对应于本实用新型的加热器，保护管4b对应于本实用新型的保护部件。

保护管4b是内径比加热器主体4a的直径大的陶瓷制的圆管状部件(直管)，以覆盖加热器主体4a的方式设置。该保护管4b的内表面与加热器主体4a的表面是呈同心状且隔开规定间隔而平行对置的圆环状表面与圆柱状表面。另外，详细情况将在后面描述，燃尽用的压缩空气K在这样的保护管4b的内表面和加热器主体4a的表面的间隙流通。

如图1以及图2A、图2B所示，上电极部5是机械地支承上部加热器单元4A的一端(左端)的结构体，以将7个上部加热器单元4A的一端(左端)作为整体而覆盖的方式设置在炉体1的左上部。这样的上电极部5具备包围部件5a、第1板5b、第2板5c、7个支承板5d以及7个承托部件5e等。

包围部件5a是一表面(右侧面)敞开的大致长方体状的金属部件。该包围部件5a以将7个上部加热器单元4A的一端(左端)作为整体而覆盖的方式设置于炉体1的左上部。第1板5b是金属板，其设置为形成有供保护管4b插通的开口(圆孔)，并密闭包围部件5a的上述一表面。该第1板5b的周缘以密闭上述一表面的方式焊接固定于包围部件5a，并且上述开口的周缘全部焊接于保护管4b。

第2板5c是金属板，与上述第1板5b同样地形成有供保护管4b插通的开口(圆孔)，并设置为在包围部件5a的内部与第1板5b隔开规定距离而平行对置。该第2板5c的周缘焊接固定于包围部件5a，并且开口的周缘全部焊接于保护管4b。

即，由包围部件5a、保护管4b、第1板5b以及第2板5c包围的空间形成供冷却液R流动的冷媒流路5f(密闭空间)。此外，由包围部件5a和第2板5c包围的空间是大致密闭空间，是从空气供给部11供给燃尽用的压缩空气K的空气供给室S1。

7个支承板5d是弯曲板(L字状金属板)，与各上部加热器单元4A即上部加热器4A的各加热器主体4a相对应地设置，其一表面以垂直姿势焊接固定于第2板5c的外侧面(左面)。在各支承板5d中，在与上述一表面正交的另一表面(水平面)上，分别设置有承托部件5e。即，各支承板5d的水平面是承托部件5e的设置面。

各承托部件5e是绝缘部件，与上部加热器单元4A的各加热器主体4a相对应地设置，通过抵接于上部加热器单元4A的各加热器主体4a的一端(左端)而承托各加热器主体4a的载荷。如图2A、图2B所示，这些承托部件5e是上部形成为V形槽的大致长方体状的成形体，上加热器单元4A的各加热器主体4a的一端(左端)以卡合于该V形槽的状态载置于该V形槽。即，各加热器主体4a的一端(左端)利用上电极部5支承于炉体1。

如图1所示，上接地部6是支承上部加热器单元4A的另一端(右端)的结构体，以将7个上部加热器单元4A的另一端(右端)作为整体而覆盖的方式设置于炉体1的右上部。该上接地部6具备包围部件6a、第1板6b、第2板6c、7个支承板6d以及7个承托部件6e等。

包围部件6a是一表面(左侧面)敞开的大致长方体状的金属部件。该包围部件6a以将7个上部加热器单元4A的另一端(右端)作为整体而包围的方式设置于炉体1的右上部。第1板6b是金属板，形成有供保护管4b插通的开口(圆孔)，并且以密闭包围部件6a的上述一表面的方式设置。该第1板6b的周缘以密闭上述一表面的方式焊接固定于包围部件6a，并且上述开口的周缘全部焊接于保护管4b。

第2板6c是金属板，形成有供保护管4b插通的开口(圆孔)，并设置为在包围部件6a的内部与第1板6b隔开规定距离而平行对置。该第2板6c的周缘焊接固定于包围部件6a，并且开口的周缘全部焊接于保护管4b。

即，由包围部件6a、保护管4b、第1板6b以及第2板6c包围的空间形成有供冷却液R流动的冷媒流路6f(密闭空间)。此外，由包围部件6a和第2板6c包围的空间是大致密闭空间，是从存在合计7个的保护管4b与加热器主体4a的各间隙回收燃尽气体的气体回收室C1。

7个支承板6d是弯曲板(L字状金属板)，与各上部加热器单元4A即上部加热器4A的各加热器主体4a相对应地设置，一表面以垂直姿势固定于第2板6c的外侧面(右面)。在各支承板6d中，在与上述一表面正交的另一表面(水平面)上，分别载置有承托部件6e。

即，各支承板6d的水平面是承托部件6e的设置面。

各承托部件6e是绝缘部件，与上部加热器4A的各加热器主体4a相对应地设置，并通过抵接于上部加热器单元4A的各加热器主体4a的另一端(右端)而承受各加热器主体4a的载荷。与承托部件5e同样地，这些承托部件6e是上部形成为V形槽的大致长方体状的成形体，上部加热器单元4A的各加热器主体4a的另一端(右端)以卡合于该V形槽的状态载置于该V形槽。即，各加热器主体4a的另一端(右端)利用上接地部6支承于炉体1。

如图1以及图3A、图3B所示，下电极部7是支承下部加热器单元4B的一端(左端)的结构体，以将7个下部加热器单元4B的一端(左端)作为整体而覆盖的方式设置于炉体1的左下部。这样的下电极部7具备包围部件7a、第1板7b、第2板7c、7个支承板7d以及7个承托部件7e等。

包围部件7a是一表面(右侧面)敞开的大致长方体状的金属部件。该包围部件7a以将7个下部加热器单元4B的一端(左端)作为整体而包围的方式设置于炉体1的左下部。第1板7b是金属板，形成有供保护管4b插通的开口(圆孔)，并设置为密闭包围部件7a的上述一表面。该第1板7b的周缘以密闭上述一表面的方式焊接固定于包围部件7a，并且上述开口的周缘全部焊接于保护管4b。

第2板7c是金属板，与上述第1板7b同样地形成有供保护管4b插通的开口(圆孔)，并设置为在包围部件7a的内部与第1板7b隔开规定距离而平行对置。该第2板7c的周缘焊接固定于包围部件7a，并且开口的周缘全部焊接于保护管4b。

即，由包围部件7a、保护管4b、第1板7b以及第2板7c包围的空间形成有供冷却液R流动的冷媒流路7f(密闭空间)。此外，由包围部件7a和第2板7c包围的空间是大致密闭空间，是从空气供给部11供给燃尽用的压缩空气K的空气供给室S2。

7个支承板7d是弯曲板(L字状金属板)，与各下部加热器单元4B即下部加热器单元4B的各加热器主体4a相对应地设置，一表面以垂直姿势焊接固定于第2板7c的外侧面(左面)。在各支承板7d中，在与上述一表面正交的另一表面(水平面)上，分别设置有承托部件7e。即，各支承板7d的水平面是承托部件7e的设置面。

各承托部件7e是绝缘部件，与下部加热器单元4B的各加热器主体4a相对应地设置，并通过抵接于下部加热器单元4B的各加热器主体4a的一端(左端)而承受各加热器主体4a的载荷。如图3A所示，这些承托部件7e是上部形成为V形槽的大致长方体状的成形体，以下部加热器单元4B的各加热器主体4a的一端(左端)卡合于该V形槽的状态载置于该V形槽。即，各加热器主体4a的一端(左端)利用下电极部7支承于炉体1。

如图1所示，下接地部8是支承下部加热器单元4B的另一端(右端)的结构体，以将7个下部加热器单元4B的另一端(右端)作为整体而覆盖的方式设置于炉体1的右下部。该下接地部8具备包围部件8a、第1板8b、第2板8c、7个支承板8d以及7个承托部件8e等。

包围部件8a是一表面(左侧表面)敞开的大致长方体状的金属部件。该包围部件8a以将7个下部加热器单元4B的另一端(右端)作为整体而包围的方式设置于炉体1的右下部。第1板8b是金属板，形成有供保护管4b插通的开口(圆孔)，并设置为密闭包围部件8a的上述一表面。该第1板8b的周缘以密闭上述一表面的方式焊接固定于包围部件8a，并且上述开口的周缘全部焊接于保护管4b。

第2板8c是金属板，形成有供保护管4b插通的开口(圆孔)，并设置为在包围部件8a的内部与第1板8b隔开规定距离而平行对置。该第2板8c的周缘焊接固定于包围部件8a，并且开口的周缘全部焊接于保护管4b。

即，由包围部件8a、保护管4b、第1板8b以及第2板8c包围的空间形成有供冷却液R流动的冷媒流路8f(密闭空间)。此外，由包围部件8a和第2板8c包围的空间是大致密闭空间，是从合计存在7个的保护管4b与加热器主体4a的各间隙回收燃尽气体的气体回收室C2。

7个支承板8d是弯曲板(L字状板部件)，与各下部加热器单元4B即下部加热器单元4B的各加热器主体4a相对应地设置，一表面以垂直姿势固定于第2板8c的外侧面(右面)。在各支承板8d中，在与上述一表面正交的另一表面(水平面)上，分别设置有承托部件8e。

即，各支承板8d的水平面是承托部件8e的设置面。

各承托部件8e是绝缘部件，与下部加热器单元4B的各加热器主体4a相对应地设置，并通过抵接于下部加热器单元4B的各加热器主体4a的另一端(右端)承托各加热器主体4a的载荷。与承托部件7e同样地，这些承托部件8e是在上部形成为V形槽的大致长方体状的成形体，下部加热器单元4B的各加热器主体4a的另一端(右端)以卡合至该V形槽的状态载置于该V形槽。即，各加热器主体4a的另一端(右端)利用下接地部8支承于炉体1。

渗碳气体管9是用于将渗碳气体导入至渗碳室P内的管状部件，前端在渗碳室P内开口，并且后端与渗碳气体供给部13连通。该渗碳气体管9将从渗碳气体供给部13供给的规定流量的渗碳气体排出至渗碳室P。排气管10是管状部件，其一端朝向渗碳室P开口，另一方面，其另一端连接于排气装置(图示省略)。该排气管10经由排气装置(真空泵)将渗碳室P内的气体(渗碳气体或渗碳气体热分解后的热分解气体等)向外部排气。

空气供给部11连接于上述2个空气供给室S1、S2，将燃尽用的压缩气体K供给至各空气供给室S1、S2。另外，上述压缩空气K是被加压至常压以上的规定压力的空气。气体回收部12连接上述2个气体回收室C1、C2，从气体回收室C1、C2回收燃尽气体。

该燃尽气体是混合气体，除了压缩空气K之外，还包括压缩空气K的一部分与堆积在保护管4b的内表面和加热器主体4a的表面的各间隙中的煤进行化学反应而产生的二氧化碳等。渗碳气体供给部13经由上述各渗碳气体管9将渗碳气体供给至渗碳室P。该渗碳气体例如是乙炔气体(C₂H₂)。

冷却液供给部14将冷却液R供给至上述上电极部5、上接地部6、下电极部7以及下接地部8的各冷媒流路5f、6f、7f、8f。上述冷却液R例如是水(冷却水)。例如，该冷却液供给部14是冷媒循环型的冷却装置，将冷却液R供给至各冷媒流路5f、6f、7f、8f的各一端，并从各冷媒流路5f、6f、7f、8f的各另一端回收冷却液R，通过热交换等将冷却液R冷却后供给至各一端。

这样的冷却液供给部14具有至少按照各层、即按照上部加热器单元4A以及下部加热器单元4B对冷却液R的流量进行调节的功能。即，在上部加热器单元4A与下部加热器单元4B中，存在由于炉体1的上下结构差异等而导致的加热器主体4a的发热量(通电量)不同的情况。

例如，由于在炉体1的下部设置有热容量比较大的炉床3，与上部不同，炉体1的下部存在难以升温的倾向。考虑到这一点，需要通过将向下部加热器单元4B的各加热器主体4a通电的通电量设定为比向上部加热器单元4A的各加热器主体4a通电的通电量大，从而将炉体1的下部和上部设定为均等的温度。该情况下，因为下部加热器单元4B的各加热器主体4a的发热量比上部加热器单元4A的各加热器主体4a的发热量大，所以需要提高下部的各加热器主体4a的冷却能力，使其比上部的各加热器4a的冷却能力高。

接着，对本实施方式的渗碳装置A的动作详细地进行说明。

在使用该渗碳装置A对被处理物X实施渗碳处理的情况下，通过打开配置在炉体1的开闭门，将被处理物X收容于渗碳室P并载置在炉床3上。并且，通过关闭开闭门，使渗碳室P变成密闭状态。在该状态下，通过真空泵工作而将渗碳室P设定为规定的减压气氛。

此外，在通过上述真空泵对渗碳室P进行抽真空的同时，从加热用电源向各加热器单元4(上部加热器单元4A以及下部加热器单元4B)的各加热器主体4a供给电力，由此渗碳室P被加热到规定温度(渗碳温度)。并且，渗碳室P在规定时间(渗碳时间)的范围内被维持在渗碳温度，在此期间渗碳气体供给部13工作，使得规定流量的渗碳气体连续地或者间歇性地从渗碳气体管9供给至渗碳室P。

其结果，来自渗碳气体的碳原子从被处理物X的表面渗入内部，形成从被处理物X的表面到规定深度(渗碳深度)的渗碳层。即，在该渗碳室P中，通过渗碳气体的热分解生成碳原子与热分解气体，由该热分解所生成的碳原子(碳)的一部分渗入被处理物X从而形成渗碳层。

然后，由上述热分解所生成的热分解气体以及渗碳气体的一部分从排气管10向外部排气。例如，在渗碳气体是乙炔气体(C₂H₂)的情况下，作为热分解气体生成氢气(H₂)，该氢气(H₂)经由排气管10从渗碳室P被排气。

在该渗碳装置A中，与形成像这样的向被处理物X渗碳的渗碳层(渗碳处理)的同时，冷却液供给装置14工作，由此将冷却液R向上电极部5、上接地部6、下电极部7以及下接地部8的各冷媒流路5f、6f、7f、8f供给。其结果，各加热器主体4a的两端附近部位被冷却液R间接冷却。即，直接支承各加热器主体4a的两端部的各承托部件5e、6e、7e、8e经由导热性优良的金属部件即各第2板5c、6c、7c、8c以及各支承板5d、6d、7d、8d与冷却液R进行间接热交换，所以能够有效地冷却各加热器主体4a的两端部。

因此，根据本实施方式，通过冷却液R对各加热器主体4a的两端部即由各承托部件5e、6e、7e、8e承托的被支承部进行间接地冷却，能够抑制各加热器主体4a的热损伤。根据这样的本实施方式，能够延长各加热器主体4a的寿命，从而能够实现维护费用的削减。

在此，因为需要将渗碳室P设定为均匀的温度，所以在使向下部加热器单元4B的各加热器主体4a通电的通电量与向上部加热器单元4A的各加热器主体4a通电的通电量不同的情况下，冷却液供给装置14根据上述通电量调节向各冷媒流路5f、6f、7f、8f供给冷却液R的供给量。例如，在向下部加热器单元4B通电的通电量比向上部加热器单元4A通电的通电量大的情况下，冷却液供给装置14使向冷媒流路7f、8f供给的冷却液R的供给量比向各冷媒流路5f、6f供给的冷却液R的供给量多，由此，也使下部加热器单元4B的各加热器主体4a的冷却能力比上部加热器单元4A的各加热器主体4a的冷却能力高。

根据这样的本实施方式，能够消除上部加热器单元4A以及下部加热器单元4B的各加热器主体4a的热损伤的不平衡，从而能够提高各加热主体4a的维护性。

此外，在该渗碳装置A中，各冷媒流路5f、6f、7f、8f隔着保护管4b以及保护管4b与加热器主体4a之间的间隙而与加热器主体4a的端部附近部位对置。即，在该渗碳装置A中，因为各冷媒流路5f、6f、7f、8f相邻配置于加热器主体4a的端部附近部位，所以由此也能够冷却各加热器主体4a的两端部。

在此，由渗碳气体的热分解而生成得碳的一部分渗入各加热器单元4(上部加热器单元4A以及下部加热器单元4B)的加热器主体4a与保护管4b之间的间隙而煤化。该煤(碳)具有导电性，是能够使加热器主体4a的电阻变化的物质。即，在渗碳装置A长时间地运转的情况下，因为加热器主体4a的电阻因煤(碳)而导致从初始状态缓慢地变化，所以，加热器主体4a的发热量也缓慢地变化。在该情况下，在渗碳装置A中难以将渗碳室P加热到期望的渗碳温度。

在该渗碳装置A中，为了去除上述煤而定期或者不定期地进行燃尽处理。即，在该渗碳装置A中，通过从空气供给部11将压缩空气K向上电极部5以及下电极部7供给，使存在于加热器主体4a与保护管4b之间的间隙的煤(碳)与空气进行化学反应从而使其气化为二氧化碳等，并作为燃尽气体从上述间隙回收到气体回收室C1、C2，进而通过气体回收部12从气体回收室C1、C2回收到外部。

根据这样的燃尽处理，能充分去除存在于加热器主体4a与保护管4b之间的间隙的煤(碳)，从而使加热器主体4a的电阻恢复到初始状态。即，根据本实施方式，通过该燃尽处理，能够可靠地防止煤(碳)向加热器主体4a的堆积。

另外，本实用新型并不限于上述实施方式，例如也能够想到如下的变形例。

(1)在上述实施方式中，将各冷媒流路5f、6f、7f、8f设置在与加热器主体4a的端部附近部位对置的位置，但本实用新型并不限于此。例如，也可以将各冷媒流路5f、6f、7f、8f配置于图1中承托部件5e、6e、7e、8e的相反侧，即冷媒流路5f、7f可以配置于承托部件5e、7e的左侧，此外冷媒流路6f、8f可以配置于承托部件6e、8e的右侧。

(2)在上述实施方式中，按照上部加热器单元4A以及下部加热器单元4B调节冷却液R的流量，但本实用新型并不限于此。例如，也可以是，作为按照各层调节冷却液R的流量的代替，按照各支承部即上电极部5、上接地部6、下电极部7以及下接地部8来调节冷却液R的流量。

此外，也可以省略像这样的按照各层以及各支承部进行的调节。

(3)在上述实施方式中，上部加热器单元4A以及下部加热单元4B的根数相同(7根)，但本实用新型并不限于此。因为在隔热容器2内的下部存在炉床3，所以被处理物X的下部比上部更难以加热。如果考虑这样的情况，则优选下部加热器单元4B的根数比上部加热器单元4A的根数多。

(4)在上述实施方式中，采用水(冷却水)作为冷却液R，但本实用新型不限于此，也可以根据需要采用比冷却水热传导率高的液体。

附图标记说明

A 渗碳装置

K 压缩空气

R 冷却液

S1、S2 空气供给室

C1、C2 气体回收室

P 渗碳室

X 被处理物

1 炉体

2 隔热容器

3 炉床

4 加热器单元

4A 上部加热器单元

4B 下部加热器单元

4a 加热器主体(加热器)

4b 保护管(保护部件)

5 上电极部(支承部)

5a 包围部件

5b 第1板

5c 第2板

5d 支承板

5e 承托部件

5f 冷媒流路

6 上接地部(支承部)

6a 包围部件

6b 第1板

6c 第2板

6d 支承板

6e 承托部件

6f 冷媒流路

7 下电极部(支承部)

7a 包围部件

7b 第1板

7c 第2板

7d 支承板

7e 承托部件

7f 冷媒流路

8 下接地部(支承部)

8a 包围部件

8b 第1板

8c 第2板

8d 支承板

8e 承托部件

8f 冷媒流路

9 渗碳气体管

10 排气管

11 空气供给部

12 气体回收部

13 渗碳气体供给部

14 冷却液供给部

Claims (6)

1.一种渗碳装置，其特征在于,具备：

炉体，收容被处理物；

多个加热器，在所述炉体内沿水平方向延伸；

多个保护部件，覆盖所述加热器；

支承部，分别设置于所述加热器的两端部并支承所述加热器；

渗碳气体供给部，将规定的渗碳气体供给至所述炉体内；

空气供给部，将燃尽用的空气供给至所述加热器与所述保护部件之间的间隙，

所述支承部对所述加热器的端部进行间接冷却。

2.如权利要求1所述的渗碳装置，其特征在于，

所述支承部具备：

承托部件，与所述加热器的端部抵接；

支承板，将所述承托部件固定于所述炉体，

通过冷却所述支承板，间接地冷却所述加热器的端部。

3.如权利要求1或2所述的渗碳装置，其特征在于，

所述支承部具备：

冷媒流路，设置于所述加热器的端部附近；

冷却液，在所述冷媒流路中流通。

4.如权利要求1或2所述的渗碳装置，其特征在于，

所述加热器以夹着所述被处理物的方式设置为上下两层。

5.如权利要求3所述的渗碳装置，其特征在于，

所述加热器以夹着所述被处理物的方式设置为上下两层。

6.如权利要求5所述的渗碳装置，其特征在于，还具备：

冷却液供给部，按照各层而分别调节所述冷却液的流量。