CN208869719U - 一种准单晶铸锭炉炉体加热机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于单晶炉技术领域，具体涉及一种准单晶铸锭炉炉体加热机构。该准单晶铸锭炉炉体加热机构，包括上炉体、下炉体、钢笼和加热室，所述下炉体上设有上炉体，下炉体内设有加热室，加热室内设有多根底部加热杆，所述各加热杆分别通过电极连接轴与底部电极连接，所述上炉体内设有钢笼，钢笼位于加热室上，钢笼与加热室连通处设有导热块，所述钢笼侧壁四周分别设有侧面加热杆，钢笼顶部设有顶部加热杆。其有益效果是：结构简单，上炉体与下炉体采用顶、中、下三部分独立温控单独加温,并对应三个单独的测温点，从而得到更合理的区域温度。
Description
技术领域
本实用新型属于单晶炉技术领域，具体涉及一种准单晶铸锭炉炉体加热机构。
背景技术
准单晶铸锭炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,是基于准单晶铸锭炉的工艺生长无错位单晶的设备，准单晶（MonoLike）是基于多晶铸锭的工艺，在长晶时通过部分使用单晶籽晶，获得外观和电性能均类似单晶的多晶硅片，这种通过铸锭的方式形成单晶硅的技术，其功耗只比普通多晶硅多，所生产的单晶硅的质量接近直拉单晶硅，简单地说，这种技术就是用多晶硅的成本，生产单晶硅的技术，当下量产的准单晶技术大部分为有籽晶铸锭，这种技术先把籽晶、硅料掺杂元素放置在坩埚中，籽晶一般位于坩埚底部，再加热融化硅料，并保持籽晶不被完全融掉，最后控制降温，调节固液相的温度梯度，确保单晶从籽晶位置开始生长，这种技术的难点在于确保在熔化硅料阶段，籽晶不被完全融化，还有控制好温度梯度的分布，这个是提高晶体生长速度和晶体质量的关键，为了满足准单晶对于温度梯度的工艺要求，需要在炉内达到1450摄氏度的情况下打开风门，来进行逐渐降温的过程，且温度分布合适的热场，不仅单晶生长顺利，而且品质较高；如果热场的温度分布不是很合理,生长单晶的过程中容易产生各种缺陷,影响质量，情况严重的出现变晶现象生长不出来单晶。
实用新型内容
本实用新型为了弥补现有技术的缺陷，提供了一种准单晶铸锭炉炉体加热机构。
本实用新型是通过如下技术方案实现的：
一种准单晶铸锭炉炉体加热机构，包括上炉体、下炉体、钢笼和加热室，所述下炉体上设有上炉体，下炉体内设有加热室，加热室内设有多根底部加热杆，所述各加热杆分别通过电极连接轴与底部电极连接，所述上炉体内设有钢笼，钢笼位于加热室上，钢笼与加热室连通处设有导热块，所述钢笼侧壁四周分别设有侧面加热杆，钢笼顶部设有顶部加热杆，侧面加热杆和顶部加热杆分别通过加热杆电极与对应的上部电极连接，所述下炉体内设有底部测温传感器，上炉体一侧设有中部测温传感器，上炉体上端设有顶部测温传感器，顶部加热杆、侧面加热杆和底部加热杆外接控制器并分别进行控制。
进一步，所述钢笼侧壁与侧面加热杆之间设有侧部保温板，加热室内侧壁上设有多层底部保温板。
进一步，所述上炉体顶部延伸至钢笼内设有进气管，进气管延伸至钢笼处设有多层进气管保温板。
进一步，所述上部电极外设有电极罩。
进一步，所述上炉体一侧设有真空抽气孔，钢笼顶部设有多个出气孔，钢笼内的气体通过各出气孔经真空抽气孔抽出，使其内部保持真空状态。
进一步，所述上部电极通过软连接件与对应加热杆电极连接，软连接件为铜排软连接。
进一步，所述顶部加热杆、侧面加热杆分别成S形布设在相应的位置。
进一步，所述顶部加热杆通过加热杆吊杆装配在钢笼顶部，顶部加热杆与钢笼顶部之间设有多层顶部保温包，钢笼通过装配吊杆设置在上炉体内。
进一步，所述上炉体上设有多个排气孔。
本实用新型的有益效果是：结构简单，上炉体与下炉体采用顶、中、下三部分独立温控单独加温,并对应三个单独的测温点，从而得到更合理的区域温度。
附图说明
下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。
附图1为本实用新型轴侧剖面示意图；
附图2为本实用新型侧轴剖面侧示意图。
图中，1上炉体，2下炉体，3钢笼，4加热室，5底部加热杆，6导热块，7侧面加热杆，8顶部加热杆，9侧部保温板，10加热杆吊杆，11加热杆电极，12装配吊杆，13上部电极，14软连接件，15进气管保温板，16真空抽气孔，17电极罩，18顶部测温传感器，19进气管，20排气孔，21出气孔，22底部测温传感器，23电极连接轴，24底部电极，25中部测温传感器，26顶部保温板，27底部保温板。
具体实施方式
附图1、2为本实用新型的一种具体实施例。该实用新型一种准单晶铸锭炉炉体加热机构，包括上炉体1、下炉体2、钢笼3和加热室4，所述下炉体2上设有上炉体1，下炉体2内设有加热室4，加热室4内设有多根底部加热杆5，所述各加热杆分别通过电极连接轴23与底部电极24连接，所述上炉体1内设有钢笼3，钢笼3位于加热室4上，钢笼3与加热室4连通处设有导热块6，所述钢笼3侧壁四周分别设有侧面加热杆7，钢笼3顶部设有顶部加热杆8，侧面加热杆7和顶部加热杆8分别通过加热杆电极11与对应的上部电极13连接，所述下炉体2内设有底部测温传感器22，上炉体1一侧设有中部测温传感器25，上炉体1上端设有顶部测温传感器18，顶部加热杆8、侧面加热杆7和底部加热杆5外接控制器并分别进行控制。
进一步，所述钢笼3侧壁与侧面加热杆7之间设有侧部保温板9，加热室4内侧壁上设有多层底部保温板27。
进一步，所述上炉体1顶部延伸至钢笼3内设有进气管19，进气管19延伸至钢笼3处设有多层进气管19保温板15。
进一步，所述上部电极13外设有电极罩17。
进一步，所述上炉体1一侧设有真空抽气孔16，钢笼3顶部设有多个出气孔21，钢笼3内的气体通过各出气孔21经真空抽气孔16抽出，使其内部保持真空状态。
进一步，所述上部电极13通过软连接件14与对应加热杆电极11连接，软连接件14为铜排软连接。
进一步，所述顶部加热杆8、侧面加热杆7分别成S形布设在相应的位置。
进一步，所述顶部加热杆8通过加热杆吊杆10装配在钢笼3内顶部，顶部加热杆8与钢笼3顶部之间设有多层顶部保温包26，钢笼3通过装配吊杆12设置在上炉体1内。
进一步，所述上炉体1上设有多个排气孔20。
该实用新型一种准单晶铸锭炉炉体加热机构，使用时上炉体1和下炉体2分为顶、中、下三部分独立温控单独加温，下炉体2的加热室4内的各多根底部加热杆5通过电极连接轴23和底部电极24与对应的控制器连接，并根据下炉体2内的底部测温传感器22检测的信号通过对应的控制器进行控制，上炉体1内的顶部加热杆8和侧面加热杆7分别通过对应的上部电极13与相应的控制器连接，并根据上炉体1内的顶部测温传感器18和中部测温传感器25检测的信号通过对应的控制器进行控制，从而得到更合理的区域温度。
本实用新型不局限于上述实施方式，任何人应得知在本实用新型的启示下作出的与本实用新型具有相同或相近的技术方案，均落入本实用新型的保护范围之内。
本实用新型未详细描述的技术、形状、构造部分均为公知技术。
Claims (9)
1.一种准单晶铸锭炉炉体加热机构，包括上炉体、下炉体、钢笼和加热室，其特征在于，所述下炉体上设有上炉体，下炉体内设有加热室，加热室内设有多根底部加热杆，所述各加热杆分别通过电极连接轴与底部电极连接，所述上炉体内设有钢笼，钢笼位于加热室上，钢笼与加热室连通处设有导热块，所述钢笼侧壁四周分别设有侧面加热杆，钢笼顶部设有顶部加热杆，侧面加热杆和顶部加热杆分别通过加热杆电极与对应的上部电极连接，所述下炉体内设有底部测温传感器，上炉体一侧设有中部测温传感器，上炉体上端设有顶部测温传感器，顶部加热杆、侧面加热杆和底部加热杆外接控制器并分别进行控制。
2.根据权利要求1所述的一种准单晶铸锭炉炉体加热机构，其特征在于：所述钢笼侧壁与侧面加热杆之间设有侧部保温板，加热室内侧壁上设有多层底部保温板。
3.根据权利要求1所述的一种准单晶铸锭炉炉体加热机构，其特征在于：所述上炉体顶部延伸至钢笼内设有进气管，进气管延伸至钢笼处设有多层进气管保温板。
4.根据权利要求1所述的一种准单晶铸锭炉炉体加热机构，其特征在于：所述上部电极外设有电极罩。
5.根据权利要求1所述的一种准单晶铸锭炉炉体加热机构，其特征在于：所述上炉体一侧设有真空抽气孔，钢笼顶部设有多个出气孔，钢笼内的气体通过各出气孔经真空抽气孔抽出，使其内部保持真空状态。
6.根据权利要求1所述的一种准单晶铸锭炉炉体加热机构，其特征在于：所述上部电极通过软连接件与对应加热杆电极连接，软连接件为铜排软连接。
7.根据权利要求1所述的一种准单晶铸锭炉炉体加热机构，其特征在于：所述顶部加热杆、侧面加热杆分别成S形布设在相应的位置。
8.根据权利要求1所述的一种准单晶铸锭炉炉体加热机构，其特征在于：所述顶部加热杆通过加热杆吊杆装配在钢笼顶部，顶部加热杆与钢笼顶部之间设有多层顶部保温包，钢笼通过装配吊杆设置在上炉体内。
9.根据权利要求1所述的一种准单晶铸锭炉炉体加热机构，其特征在于：所述上炉体上设有多个排气孔。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
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| CN201821368599.4U CN208869719U (zh) | 2018-08-24 | 2018-08-24 | 一种准单晶铸锭炉炉体加热机构 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111850683A (zh) * | 2020-07-31 | 2020-10-30 | 刘穗 | 一种热量平衡的高效型铸锭炉 |
| CN111945222A (zh) * | 2020-08-14 | 2020-11-17 | 刘穗 | 一种具有尾气处理功能的铸锭炉 |
| CN113433191A (zh) * | 2021-03-17 | 2021-09-24 | 江苏甫瑞微纳传感科技有限公司 | 环热式气体传感器及其制备方法 |
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