CN208641824U - 一种冷阱装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种冷阱装置，包括有冷阱池、冷凝管、液氮供应机构、温度传感器和温度显示及控制***，温度传感器安装在冷凝管上与温度显示及控制***相连，冷凝管与冷阱池相对应，液氮供应机构连接冷阱池；冷凝管安装在延伸臂上，延伸臂安装在升降阀上，升降阀安装在轨道上，升降阀连接有电机形成对其升降驱动结构，冷凝管的两端分别安装有冷凝管气体出口阀和冷凝管气体进口阀，两者分别连接温度显示及控制***。本实用新型通过内外结构的冷阱池、轨道、升降阀、电机、延伸臂、冷凝管、液氮桶、温度显示及控制***等机构的相互配合，可以快速、高效、稳定地完成气体检测操作，具有操作方便、体积小、快速调节所需温度、稳定性好等优点。
Description
技术领域
本实用新型涉及多晶硅生产检测技术领域，具体涉及一种用于气体检测的可调温冷阱装置。
背景技术
多晶硅生产中，尾气中杂质的多少直接体现了整个***的干净与否，当杂质含量达到某一较高的范围时，会严重影响整个***及后续产品的质量。但是某些杂质几乎都是超痕量级的，达到ppb范围甚至更低，这使得检测条件变得更加苛刻。针对该问题，现有的方法是先将杂质气体通过富集进行浓缩，从而增大含量便于检测。在富集浓缩时需要冷阱装置将气体冷凝下来，但现有的冷阱装置体积较大，操作不便，降温慢等诸多因素。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是针对现有技术存在的缺点，提供一种结构简单、操作方便、体积小、降温速度快、稳定性较好、用于气体检测的可调温冷阱装置。
为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：一种冷阱装置，包括有冷阱池、冷凝管、液氮供应机构、温度传感器和温度显示及控制***，温度传感器安装在冷凝管上用于测量冷阱池内的温度并传输至温度显示及控制***，冷凝管与冷阱池相对应，液氮供应机构连接冷阱池，其特征在于：所述冷凝管安装在一延伸臂上，延伸臂安装在一升降阀上，升降阀安装在一直立的轨道上，且升降阀连接有电机形成对其升降驱动结构，轨道安装在冷阱池旁边，冷凝管悬于冷阱池上方；冷凝管的两端分别安装有冷凝管气体出口阀和冷凝管气体进口阀，两者分别连接温度显示及控制***，根据检测时需要的不同温度可实现自动调节高度。
进一步地，冷阱池为双层结构，包括有内胆和外胆，外胆包裹在内胆的***，在内胆中设有用于监测液位的浮阀，而在内胆外壁与外胆之间填充有保温棉；液氮供应机构连通至冷阱池的内胆中根据内胆中液位情况实现自动添加。
进一步地，所述液氮供应机构包括一液氮桶，液氮桶与冷阱池连接的导管上设置有电磁阀和阀门，电磁阀位于液氮桶一侧，阀门位于冷阱池一侧，电磁阀与阀门之间通过快接头连接；且液氮桶上设置有专门用于低温液体取样的锁盖和泄压口。
进一步地，在延伸臂的前端固定有一铁圈，铁圈中间设有四氟垫圈，四氟垫圈中间具有一直径为6mm的眼，四氟垫圈一边侧壁上开有一个直通圈内部的眼，另一边侧壁上连同铁圈一起设有一3mm的孔，用螺丝穿过铁圈及四氟垫圈侧壁的眼将两者固定在一起，在使用时将冷凝管的端部塞入四氟垫圈中间的眼中，用四氟垫圈侧壁上的螺丝将冷凝管与四氟垫圈固定在一起。
进一步地，所述冷凝管采用直径为6mm的不锈钢内抛光管制成，其长度为70cm,形状为圆形盘管或U形，管内填装有用于吸附杂质的填料。
进一步地，所述温度传感器采用显示范围为-200℃至+200℃的热电偶温度，温度传感器固定在冷凝管管壁上，其下端与冷凝管位于同一平面。
优选地，所述冷阱池、轨道与液氮桶均固定在一底板上。
进一步地，在轨道上设置有一固定片，固定片与升降阀对接形成对升降阀的固定机构。
当需要进行气体富集检测时，打开阀门和电磁阀，自动加入液氮，当浮阀达到设置的高度时电磁阀自动关闭，当液氮液面低于浮阀位置时自动开启电磁阀，加入液氮。开启升降阀将冷凝管放置冷阱池中，打开温度传感器的电源开关，温度显示及控制***显示当前冷阱池内的温度，当温度达到需要气体富集检测的温度时连接样品打开冷凝管气体出口阀和冷凝管气体进口阀，进行富集。同时在控制***设定富集时需要的温度，当温度显示过低或过高时控制***反馈信号，升降阀自动微调升高或降低，直到稳定至所需温度，当检测完毕后用固定片固定升降阀和电机。
本实用新型通过内外结构的冷阱池、轨道、升降阀、电机、延伸臂、冷凝管、液氮桶等机构的相互配合，可以快速、高效、稳定地完成气体检测操作，具有操作方便、体积小、降温速度快、可快速调节所需温度、稳定性好等优点。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图。
图中，1为内胆，2为保温棉，3为浮阀，4为内胆外壁，5为外胆，6为底板，7为轨道，8为固定片，9为电机，10为升降阀，11为延伸臂，12为冷凝管气体出口阀，13为温度显示及控制***，14为冷凝管气体进口阀，15为冷凝管，16为温度传感器，17为液氮桶，18为电磁阀，19为快接头，20为阀门。
具体实施方式
本实施例中，参照图1，所述冷阱装置，包括有冷阱池、冷凝管15、液氮供应机构、温度传感器16和温度显示及控制***13，温度传感器16安装在冷凝管15上用于测量冷阱池内的温度并传输至温度显示及控制***13，冷凝管15与冷阱池相对应，液氮供应机构连接冷阱池；所述冷凝管15安装在一延伸臂11上，延伸臂11安装在一升降阀10上，升降阀10安装在一直立的轨道7上，且升降阀10连接有电机9形成对其升降驱动结构，轨道7安装在冷阱池旁边，冷凝管15悬于冷阱池上方；冷凝管15的两端分别安装有冷凝管气体出口阀12和冷凝管气体进口阀14，两者分别连接温度显示及控制***13，根据检测时需要的不同温度可实现自动调节高度。
冷阱池为双层结构，包括有内胆1和外胆5，外胆5包裹在内胆1***，在内胆1中设有用于监测液位的浮阀3，而在内胆外壁4与外胆5之间填充有保温棉2；液氮供应机构连通至冷阱池的内胆1中根据内胆中液位情况实现自动添加。
液氮供应机构包括液氮桶17，液氮桶17与冷阱池连接的导管上设置有电磁阀18和阀门20，电磁阀18位于液氮桶17一侧，阀门20位于冷阱池一侧，电磁阀18与阀门20之间通过快接头19连接；且液氮桶17上设置有专门用于低温液体取样的锁盖和泄压口。冷阱池、轨道7与液氮桶17均固定在一底板6上。
在延伸臂11的前端固定有一铁圈，铁圈中间设有四氟垫圈，四氟垫圈中间具有一直径为6mm的眼，四氟垫圈一边侧壁上开有一个直通圈内部的眼，另一边侧壁上连同铁圈一起设有一3mm的孔，用螺丝穿过铁圈及四氟垫圈侧壁的眼将两者固定在一起，在使用时将冷凝管15的端部塞入四氟垫圈中间的眼中，用四氟垫圈侧壁上的螺丝将冷凝管15与四氟垫圈固定在一起。
所述冷凝管15采用直径为6mm的不锈钢内抛光管制成，其长度为70cm,形状为圆形盘管(或U形)，管内填装有用于吸附杂质的填料。
所述温度传感器16采用显示范围为-200℃至+200℃的热电偶温度，温度传感器16固定在冷凝管15的管壁上，其下端与冷凝管15位于同一平面。
在轨道7上设置有一固定片8，固定片8与升降阀10对接形成对升降阀10的固定机构。
当需要进行气体富集检测时，打开阀门20，并手动打开电磁阀18，自动加入液氮，当浮阀3达到设置的高度时电磁阀18自动关闭，当液氮液面低于浮阀3位置时自动开启电磁阀18，加入液氮。开启电机9驱动升降阀10将冷凝管15放置冷阱池中，打开温度传感器16的电源开关，温度显示及控制***13显示当前冷阱池内的温度，当温度达到需要气体富集检测的温度时连接样品打开冷凝管气体出口阀12和冷凝管气体进口阀14，进行富集。同时在控制***设定富集时需要的温度，当温度显示过低或过高时控制***反馈信号，升降阀10自动微调升高或降低，直到稳定至所需温度，当检测完毕后用固定片8固定升降阀10和电机9。
以上已将本实用新型做一详细说明，以上所述，仅为本实用新型之较佳实施例而已，当不能限定本实用新型实施范围，即凡依本申请范围所作均等变化与修饰，皆应仍属本实用新型涵盖范围内。
Claims (8)
1.一种冷阱装置，包括有冷阱池、冷凝管、液氮供应机构、温度传感器和温度显示及控制***，温度传感器安装在冷凝管上用于测量冷阱池内的温度并传输至温度显示及控制***，冷凝管与冷阱池相对应，液氮供应机构连接冷阱池，其特征在于：所述冷凝管安装在一延伸臂上，延伸臂安装在一升降阀上，升降阀安装在一直立的轨道上，且升降阀连接有电机形成对其升降驱动结构，轨道安装在冷阱池旁边；冷凝管的两端分别安装有冷凝管气体出口阀和冷凝管气体进口阀，两者分别连接温度显示及控制***。
2.根据权利要求1所述的冷阱装置，其特征在于：所述冷阱池为双层结构，包括有内胆和外胆，外胆包裹在内胆的***，在内胆中设有用于监测液位的浮阀，而在内胆外壁与外胆之间填充有保温棉；所述液氮供应机构连通至冷阱池的内胆中。
3.根据权利要求1所述的冷阱装置，其特征在于：所述液氮供应机构包括一液氮桶，液氮桶与冷阱池连接的导管上设置有电磁阀和阀门，电磁阀位于液氮桶一侧，阀门位于冷阱池一侧，电磁阀与阀门之间通过快接头连接；且液氮桶上设置有专门用于低温液体取样的锁盖和泄压口。
4.根据权利要求1所述的冷阱装置，其特征在于：在延伸臂的前端固定有一铁圈，铁圈中间设有四氟垫圈，四氟垫圈中间具有一直径为6mm的眼，四氟垫圈一边侧壁上开有一个直通圈内部的眼，另一边侧壁上连同铁圈一起设有一3mm的孔，用螺丝穿过铁圈及四氟垫圈侧壁的眼将两者固定在一起，在使用时将冷凝管的端部塞入四氟垫圈中间的眼中，用四氟垫圈侧壁上的螺丝将冷凝管与四氟垫圈固定在一起。
5.根据权利要求1所述的冷阱装置，其特征在于：所述冷凝管采用直径为6mm的不锈钢内抛光管制成，其长度为70cm,形状为圆形盘管或U形，管内填装有用于吸附杂质的填料。
6.根据权利要求1所述的冷阱装置，其特征在于：所述温度传感器采用显示范围为-200℃至+200℃的热电偶温度，温度传感器固定在冷凝管管壁上，其下端与冷凝管位于同一平面。
7.根据权利要求1所述的冷阱装置，其特征在于：所述冷阱池、轨道与液氮桶均固定在一底板上。
8.根据权利要求1所述的冷阱装置，其特征在于：在轨道上设置有一固定片，固定片与升降阀对接形成对升降阀的固定机构。
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110918001A (zh) * | 2019-12-13 | 2020-03-27 | 亚洲硅业(青海)股份有限公司 | 高沸物的分离方法及装置 |
| CN116413104A (zh) * | 2023-03-31 | 2023-07-11 | 中国地质科学院矿产资源研究所 | 紫外激光剥蚀-气体同位素质谱碳酸盐碳氧同位素微区原位分析***及方法 |
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2018
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN110918001A (zh) * | 2019-12-13 | 2020-03-27 | 亚洲硅业(青海)股份有限公司 | 高沸物的分离方法及装置 |
| CN116413104A (zh) * | 2023-03-31 | 2023-07-11 | 中国地质科学院矿产资源研究所 | 紫外激光剥蚀-气体同位素质谱碳酸盐碳氧同位素微区原位分析***及方法 |
| CN116413104B (zh) * | 2023-03-31 | 2024-01-30 | 中国地质科学院矿产资源研究所 | 紫外激光剥蚀-气体同位素质谱碳酸盐碳氧同位素微区原位分析***及方法 |
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